CN113135209A - 一种多硅片运输取送车 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多硅片运输取送车，除了具备常规晶圆运送的功能外，还具备升降、伸缩的功能，在承托取送机构中设计有第一升降机构，该第一升降机构可带动托盘取送机构以及托盘进行升降，同时在承托取送机构中还设计有伸缩导轨，进而可实现托盘承托板的前后伸缩，带动托盘进行前后伸缩，通过伸缩功能与升降功的配合能够完成运输取送车的取送功能，以替代人工取送，使得该运输取送车在运送的基础上，还能够一次性取送大量硅片，提高硅片托盘取送效率的同时，有效解决以往人工取送硅片，容易存在高温烫伤的问题；该运输取送车，具有结构简单、设计合理、使用方便、可实现大量硅片的一次性取送、工作效率高，安全性好等优点。

Description

一种多硅片运输取送车

技术领域

本发明公开涉及硅片运输用设备的技术领域，尤其涉及一种多硅片运输取送车。

背景技术

目前，硅片运输车仅用于硅片以及托盘的运输，每次通过运输车将硅片以及托盘运输到机台处后，均需要人工将硅片以及托盘摆放至机台反应腔的加热盘上，进行加工。而当工艺完成后，又需要人工从反应腔加热盘上将硅片或承载硅片的托盘取出。

上述方式对于少量的硅片加工还可以，但是对于多硅片的情况时，不仅费时费力，而且对于在机台处进行硅片以及托盘摆放和取出的工作人员而言，还存在高温烫伤风险。

因此，如何实现从机台上进行硅片以及托盘的高效、安全取送，成为人们亟待解决的问题。

发明内容

鉴于此，本发明提供了一种多硅片运输取送车，以解决以往的硅片运输车仅可实现硅片及托盘的运送，无法实现在机台上取送的功能，导致生产效率低，容易发生工作人员高温烫伤的问题。

本发明提供的技术方案，具体为，一种多硅片运输取送车，该取送车包括：车体以及承托取送机构；

所述承托取送机构包括：平台、托盘座组件、托盘取送机构以及第一升降机构；

所述平台安装在所述车体内；

所述托盘座组件包括：托盘以及多个托盘承托装置；

多个所述托盘承托装置分别间隔布设在所述平台上，且每个所述托盘承托装置的下端均与所述平台的上表面固定连接；

所述托盘位于多个所述托盘承托装置的上方；

所述托盘取送机构包括：导轨固定座、托盘承托板以及两个伸缩导轨；

所述导轨固定座安装在所述平台上，套装在所述托盘的外部，所述导轨固定座由两个间隔平行设置的导向板以及连接板构成，所述连接板位于两个所述导向板之间，且所述连接板的两端分别与邻近的导向板端部固定连接；

所述伸缩导轨与所述导轨固定座中的导向板一一对应，每个所述伸缩导轨均固定设置在对应导向板的内侧；

所述托盘承托板位于两个所述伸缩导轨之间，且所述托盘承托板的两侧分别与邻近伸缩导轨的伸缩端固定连接，在所述托盘承托板的端部设置有容纳所述托盘承托装置的敞口凹槽；

所述第一升降机构具有固定端和升降端，所述第一升降机构的固定端与所述平台固定连接，所述第一升降机构的升降端与所述托盘取送机构中的导轨固定座固定连接，在所述第一升降机构的驱动下，所述托盘取送机构可相对所述平台上下升降。

优选，所述承托取送机构还包括：防尘罩；

所述防尘罩固定安装在所述平台上。

进一步优选，所述托盘座组件还包括：旋转器；

所述旋转器位于所述托盘的中央，安装在所述平台与所述托盘之间，且在外力作用下，所述托盘能够以所述旋转器为轴相对所述平台转动。

进一步优选，在所述平台与所述托盘之间设置有原点定位装置；

所述原点定位装置包括：定位装置以及定位座；

所述定位装置包括：销套、定位销、弹簧以及把手；

所述销套的上端与所述托盘的下表面固定连接；

所述定位销容置于所述销套中，所述定位销的下端设置有滚珠；

所述弹簧容置于所述销套内，所述弹簧一端与所述销套固定连接，另一端与所述定位销相抵，在所述弹簧的作用下，所述定位销可相对所述销套上下移动；

所述把手与所述定位销固定连接，通过驱动所述把手上下移动，可带动所述定位销在所述销套内上下移动；

所述平台上设置有向下凹陷的凹槽，所述定位座安装在所述平台的凹槽内，所述定位座的上端面为与所述定位销下端滚珠配合的弧形凹面，且所述定位座的上端面高度低于所述平台的高度。

进一步优选，在所述平台上设置有互锁销；

所述原点定位装置中设置有与所述把手和所述定位销同步可上下运动的第一压板；

所述互锁销安装在所述平台上，且可相对所述平台上下升降移动，所述互锁销整体为杆体，所述互锁销的上端为定位块，在所述互锁销的下部设置有横向延伸的第二压板，且所述第二压板配合置于所述第一压板的下方，可在所述第一压板的驱动下进行上下移动；

在所述托盘承托板上设置有与所述定位块配合的锁孔，所述锁孔开设有与所述承托板外缘连通的通槽，且所述通槽的宽度大于所述互锁销中部杆体的直径，小于所述定位块的直径。

进一步优选，所述托盘的上表面间隔设置承载单元，每个所述承载单元内均设置有承载凸台，且所述承载凸台的上端面设置有安装槽，所述安装槽内安装有胶圈。

进一步优选，所述多硅片运输取送车，还包括：第二升降机构，且所述承托取送机构的个数为两个；

两个所述承托取送机构沿纵向间隔安装在所述车体内，且位于下方的承托取送机构相对所述车体活动设置；

所述第二升降机构具有固定端和升降端，所述第二升降机构的固定端与所述车体固定连接，所述第二升降机构的升降端与位于下方承托取送机构中的平台固定连接，在所述第二升降机构的驱动下，所述承托取送机构可相对所述车体进行上下移动。

进一步优选，所述车体包括：基架、四个立柱以及四个脚轮；

所述基架位于底部，用于整体支撑；

四个所述立柱均位于所述基架的上方，且每个所述立柱的下端均分别与所述基架四角连接，且相对所述基架垂直向上延伸；

四个脚轮安装在所述基架的下方。

进一步优选，所述车体还包括：两个导向块；

所述导向块与所述车体前端的两个立柱一一对应，且每个所述导向块均具有固定端和自由端，所述导向块的固定端与对应的立柱固定连接，自由端水平向前延伸。

进一步优选，在所述托盘承托板的上表面设置有扶手。

本发明提供的多硅片运输取送车，除了具备常规晶圆运送的功能外，还具备升降、伸缩的功能，具体而言，该运输取送车，在承托取送机构中设计有第一升降机构，该第一升降机构可带动托盘取送机构进行升降，而当托盘取送机构中的托盘承托板上升到一定程度，与托盘座组件中的托盘相抵后，可带动托盘一同上升，而当托盘承托板下降时，又可带动托盘下降，完成升降功能；同时在承托取送机构中还设计有伸缩导轨，进而可实现托盘承托板的前后伸缩，带动托盘进行前后伸缩，通过伸缩功能与升降功的配合能够完成运输取送车的取送功能，以替代人工取送，使得该运输取送车在运送的基础上，还能够一次性取送大量硅片，提高硅片托盘取送效率的同时，有效解决以往人工取送硅片，容易存在高温烫伤的问题。

本发明提供的多硅片运输取送车，具有结构简单、设计合理、使用方便、可实现大量硅片的一次性取送、工作效率高，安全性好等优点。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明的公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明公开实施例提供的一种多硅片运输取送车的结构示意图；

图2为本发明公开实施例提供的一种多硅片运输取送车中托盘的结构示意图；

图3为本发明公开实施例提供的一种多硅片运输取送车中托盘座组件的部分结构示意图；

图4为本发明公开实施例提供的一种多硅片运输取送车中托盘取送机构的结构示意图；

图5为本发明公开实施例提供的一种多硅片运输取送车中定位装置部分的剖面示意图；

图6为本发明公开实施例提供的一种多硅片运输取送车中原点定位装置和互锁销的结构示意图。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置的例子。

由于以往的硅片运输车仅可实现硅片及托盘的运送，无法实现在机台上进行硅片的取送，硅片的取送工作都需要人工进行，导致生产效率低，而且容易发生工作人员高温烫伤的问题。因此，本实施方案提供了一种多硅片运输取送车，参见图1，该运输取送车主要由车体1以及承托取送机构2构成。

参见图1，承托取送机构2主要由平台21、托盘座组件22、托盘取送机构23以及第一升降机构24构成。

参见图1，平台21安装在车体1内，由车体1进行平台21的承载。

参见图1-图3，托盘座组件22主要由托盘222以及多个托盘承托装置223构成，其中，多个托盘承托装置223分别间隔布设在平台21上，且每个托盘承托装置223的下端均与平台21的上表面固定连接，而托盘222位于上述多个托盘承托装置223的上方，由托盘承托装置223进行托盘222的支撑。

参见图4，托盘取送机构23主要由导轨固定座231、托盘承托板233以及两个伸缩导轨232构成，其中，导轨固定座231安装在平台21上，套装在托盘222的外部，导轨固定座231由两个间隔平行设置的导向板以及连接板构成，连接板位于两个导向板之间，且连接板的两端分别与邻近的导向板端部固定连接，伸缩导轨232与导轨固定座231中的导向板一一对应，每个伸缩导轨232均固定设置在对应导向板的内侧，托盘承托板233位于两个伸缩导轨232之间，且托盘承托板233的两侧分别与邻近伸缩导轨232的伸缩端固定连接，在托盘承托板233的端部设置有容纳托盘承托装置223的敞口凹槽2331。为了方便对托盘承托板233的移动操作，作为技术方案的改进，在托盘承托板233的上表面设置有扶手2331。

参见图1，第一升降机构24具有固定端和升降端，该第一升降机构24的固定端与平台21固定连接，第一升降机构24的升降端与托盘取送机构23中的导轨固定座231固定连接，在第一升降机构24的驱动下，托盘取送机构23可相对平台21上下升降。该第一升降机构24可以采用现有的任何结构，只要能实现其升降的目的即可，例如：可以采用气缸或电缸的形式。

上述实施方案提供的多硅片运输取送车，可实现硅片的运输以及取送功能。具体而言，运输功能：该运输取送车通过承托取送机构进行硅片的承载，由车体实现位置的移动，以实现其运输功能；取送功能：主要包括将硅片送入到机台的加热腔中和将硅片从机台的加热腔中取出，其中，将硅片送入到机台加热腔中的具体过程为：首先将硅片此次摆放到托盘上，待硅片摆放结束后，启动第一升降机构向上提升，第一升降机构在向上提升的过程中，会同时带动托盘取送机构向上提升，当托盘取送机构中的托盘承托板与托盘座组件中托盘的底面相抵后，第一升降机构继续向上运动，会使得托盘承托板将托盘整体托起与托盘承托装置分离，直至到达送片位，控制第一升降机构停止运动，然后推动托盘取送机构中的托盘承托板向机台的加热腔方向伸长，将托盘输送到加热腔的加热位后，控制第一升降机构向下收缩，直至托盘放置在加热盘上，继续使第一升降机构向下收缩一端距离后，向回拉动托盘取送机构中的托盘承托板回归至原位，完成将硅片送入到机台加热腔中的过程。当硅片加热结束后，将硅片从机台的加热腔中取出的过程具体为：首先，推动托盘取送机构中的托盘承托板向机台的加热腔方向伸长至托盘的下方，然后控制第一升降机构提升，当托盘承托板与托盘的底面相抵后，第一升降机构继续向上运动，会使得托盘承托板将托盘整体托起与加热盘分离，直至到达取片位，控制第一升降机构停止运动，然后向回拉动托盘承托板，带动托盘一同向车体方向运动，直至托盘再次位于托盘承托装置的上方后，控制第一升降机构向下收缩，直至将托盘放置到托盘承托装置上，第一升降机构继续向下收缩一端距离后停止运动，完成将硅片从机台的加热腔中取出的过程。综上，上述实施方案除了可实现其硅片运输的功能，还能替代人工进行硅片的取送，能够一次性取送大量硅片，提高硅片托盘取送效率的同时，有效解决以往人工取送硅片，容易存在高温烫伤的问题。

为了防止在第一升降机构运动的过程中产生额外的粉尘颗粒落在硅片表面，造成硅片的污染，作为技术方案的改进，参见图1，在承托取送机构2中还设置有防尘罩25，该防尘罩25固定安装在平台21上，以实现防尘的目的。

作为技术方案的改进，参见图3，托盘座组件22中还包括：旋转器221，该旋转器221位于托盘222的中央，安装在平台21与托盘222之间，且在外力作用下，托盘222能够以旋转器221为轴相对平台转动，上述旋转器221优选采用阻尼旋转器，通过附带阻尼效果，以确保旋转的平稳性，而托盘承托装置223的上表面设计为滚珠结构，以便于托盘的旋转。通过该旋转器21的设计，可以简化人工将硅片摆放在托盘上的过程，以往在摆放硅片的时候，需要工人随着摆放位置变化，围绕托盘移动，而设计旋转器后，工人在进行硅片的摆放时，可手动旋转托盘，无需人体的移动。

为了实现托盘旋转360°的自动检测，作为技术方案的改进，参见图2、图3，在平台21与托盘222之间设置有原点定位装置211，参见图6，该原点定位装置211主要由定位装置2111以及定位座2112构成，参见图5，该定位装置2111由销套21111、定位销21112、弹簧以及把手21113构成，其中，销套21111的上端与托盘222的下表面固定连接，定位销21112容置于销套21111中，定位销21112的下端设置有滚珠，弹簧容置于销套21111内，弹簧一端与销套21111固定连接，另一端与定位销21112相抵，在弹簧的作用下，定位销21112可相对销套21111上下移动，把手21113与定位销21112固定连接，通过驱动把手21113上下移动，可带动定位销21112在销套211111内上下移动，平台21上设置有向下凹陷的凹槽，定位座2112安装在平台21的凹槽内，定位座2112的上端面为与定位销21112下端滚珠配合的弧形凹面，且定位座2112的上端面高度低于平台21的高度。

上述原点定位装置开始时，定位销的下端位于凹槽内，下端的滚珠与定位座的上端相抵，当需要进行托盘转动时，通过上提把手带动定位销一同向上运动，直至定位销下端的滚珠，平台上的凹槽中脱离，此时，转动托盘，定位销在弹簧的作用下，其下端的滚珠始终与平台相抵，在托盘转动的过程中，定位销下端的滚珠沿着平台进行滚动，而当定位销转动至定位座位置，定位销在弹簧的作用下，会再次落入到平台的凹槽内，滚珠与定位座的上表面相抵，托盘完成一周360°的转动，当需要再次转动时，再重复上述动作即可。

为了实现对托盘取送机构的运动限位，作为技术方案的改进，在平台21上设置有互锁销212，通过互锁销212实现对托盘取送机构的限位，限制其相对平台伸出运动，为了配合该互锁销212，参见图6，在原点定位装置211中设置有与把手21113和定位销21112同步可上下运动的第一压板21114，上述互锁销212安装在平台21上，且可相对平台21上下升降移动，通常平台与互锁销之间采用进行连接，上述互锁销212整体为杆体，在互锁销212的上端设置有定位块2121，在互锁销212的下部设置有横向延伸的第二压板2122，且第二压板2122配合置于第一压板21114的下方，可在第一压板21114的驱动下进行上下移动。

在托盘承托板233上设置有与定位块2121配合的锁孔，锁孔开设有与承托板外缘连通的通槽，且通槽的宽度大于互锁销212中部杆体的直径，小于定位块2121的直径。

上述互锁销中的第二压板在与原点定位装置中第一压板的作用下，可实现上下运动，具体而言，由于互锁销中的第二压板始终位于第一压板的下方，因此，在按压把手向下运动，带动第一压板向下运动，当第一压板与第二压板相接后，继续向下按压，第一压板会驱动第二压板连同互锁销同步向下运动，当互锁销中的定位块位于托盘承托板的锁孔内时，互锁销将托盘承托板位置锁定，托盘承托板无法相对平台向外移动，而当互锁销的定位块部位与锁孔内时，由于锁孔设置有与外缘连通的通槽，通过通槽可使得托盘承托板从互锁销中部杆体出脱离，而进行相对平台自由的伸出运动，因此，通过该互锁销的设置，可实现托盘承托板相对平台位置的锁定和解锁，根据需要进行选择使用。

在图2中，托盘222以一次性承托40片硅片托盘为例，但应用时，可根据实际情况进行选择，该托盘222的上表面间隔设置承载单元2221，每个承载单元2221内均设置有承载凸台22211，该承载凸台22211可采用分体式，形状也可以根据需求不同进行旋转，为了防止硅片在该承载凸台22211上发生滑动，可在承载凸台22211的上端面设置有安装槽，在安装槽内安装有胶圈，以起到防滑的作用。

为了提高该运输取送车每次硅片运输的数量，作为技术方案的改进，参见图1，在该运输取送车中还设置有第二升降机构3，与第一升降机构一样，该第二升降机构3可以采用任何结构，只要能够实现升降即可，可以采用气缸或电缸的形式。当设置有第二升降机构3后，可在该运输取送车中设置两个承托取送机构2，两个承托取送机构2沿纵向间隔安装在车体1内，且位于下方的承托取送机构2相对车体1活动设置，第二升降机构3具有固定端和升降端，第二升降机构3的固定端与车体1固定连接，第二升降机构3的升降端与位于下方承托取送机构2中的平台21固定连接，在第二升降机构3的驱动下，承托取送机构2可相对车体1进行上下移动。当设置有两个承托取送机构2时，平台21优选采用密封平板，可防止操作上层硅片时，对下层产生额外的粉尘颗粒，污染硅片。

通过上述两层承托取送机构2的设计，下层的承托取送机构2在使用时，可通过第二升降机构进行高度的调节，当调节到适当位置后，再按照上述单层承托取送机构的形式进行操作完成硅片取送的过程，由于上述对于硅片的取送过程已经进行了详细的描述，在此就不再进行赘述。

参见图1，本实施方案提供了一种车体1的具体结构，该车体1主要由基架11、四个立柱12以及四个脚轮13构成，其中，基架11位于底部，用于整体支撑，四个立柱12均位于基架11的上方，且每个立柱12的下端均分别与基架11四角连接，且相对基架11垂直向上延伸，四个脚轮13安装在基架11的下方。

使用时，承托取送机构中的平台四角分别与四个立柱进行连接，当承托取送机构为两层时，上层承托取送机构中的平台四角与四个立柱固定连接，而下层承托取送机构中的平台四角与四个立柱滑动连接，脚轮主要是用于车体的行走，优选在每个脚轮的一侧均具有锁死机构，当车体运动到预定位置时，通过踩踏锁死机构，实现位置的固定，避免位置移动。

作为技术方案的改进，参见图1，在车体1中还设置有两个导向块14，该导向块14与车体1前端的两个立柱12一一对应，且每个导向块14均具有固定端和自由端，导向块14的固定端与的立柱12固定连接，自由端水平向前延伸。通过该导向块14的设计，当人工推动运输取送车靠近机台时，前端的导向块接触机台后，会自动纠正运输取送车的行进方向，实现其导向的功能。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述的内容，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种多硅片运输取送车，其特征在于，包括：车体(1)以及承托取送机构(2)；

所述承托取送机构(2)包括：平台(21)、托盘座组件(22)、托盘取送机构(23)以及第一升降机构(24)；

所述平台(21)安装在所述车体(1)内；

所述托盘座组件(22)包括：托盘(222)以及多个托盘承托装置(223)；

多个所述托盘承托装置(223)分别间隔布设在所述平台(21)上，且每个所述托盘承托装置(223)的下端均与所述平台(21)的上表面固定连接；

所述托盘(222)位于多个所述托盘承托装置(223)的上方；

所述托盘取送机构(23)包括：导轨固定座(231)、托盘承托板(233)以及两个伸缩导轨(232)；

所述导轨固定座(231)安装在所述平台(21)上，套装在所述托盘(222)的外部，所述导轨固定座(231)由两个间隔平行设置的导向板以及连接板构成，所述连接板位于两个所述导向板之间，且所述连接板的两端分别与邻近的导向板端部固定连接；

所述伸缩导轨(232)与所述导轨固定座(231)中的导向板一一对应，每个所述伸缩导轨(232)均固定设置在对应导向板的内侧；

所述托盘承托板(233)位于两个所述伸缩导轨(232)之间，且所述托盘承托板(233)的两侧分别与邻近伸缩导轨(232)的伸缩端固定连接，在所述托盘承托板(233)的端部设置有容纳所述托盘承托装置(223)的敞口凹槽(2331)；

所述第一升降机构(24)具有固定端和升降端，所述第一升降机构(24)的固定端与所述平台(21)固定连接，所述第一升降机构(24)的升降端与所述托盘取送机构(23)中的导轨固定座(231)固定连接，在所述第一升降机构(24)的驱动下，所述托盘取送机构(23)可相对所述平台(21)上下升降。

2.根据权利要求1所述多硅片运输取送车，其特征在于，所述承托取送机构(2)还包括：防尘罩(25)；

所述防尘罩(25)固定安装在所述平台(21)上。

3.根据权利要求1所述多硅片运输取送车，其特征在于，所述托盘座组件(22)还包括：旋转器(221)；

所述旋转器(221)位于所述托盘(222)的中央，安装在所述平台(21)与所述托盘(222)之间，且在外力作用下，所述托盘(222)能够以所述旋转器(221)为轴相对所述平台转动。

4.根据权利要求3所述多硅片运输取送车，其特征在于，在所述平台(21)与所述托盘(222)之间设置有原点定位装置(211)；

所述原点定位装置(211)包括：定位装置(2111)以及定位座(2112)；

所述定位装置(2111)包括：销套(21111)、定位销(21112)、弹簧以及把手(21113)；

所述销套(21111)的上端与所述托盘(222)的下表面固定连接；

所述定位销(21112)容置于所述销套(21111)中，所述定位销(21112)的下端设置有滚珠；

所述弹簧容置于所述销套(21111)内，所述弹簧一端与所述销套(21111)固定连接，另一端与所述定位销(21112)相抵，在所述弹簧的作用下，所述定位销(21112)可相对所述销套(21111)上下移动；

所述把手(21113)与所述定位销(21112)固定连接，通过驱动所述把手(21113)上下移动，可带动所述定位销(21112)在所述销套(211111)内上下移动；

所述平台(21)上设置有向下凹陷的凹槽，所述定位座(2112)安装在所述平台(21)的凹槽内，所述定位座(2112)的上端面为与所述定位销(21112)下端滚珠配合的弧形凹面，且所述定位座(2112)的上端面高度低于所述平台(21)的高度。

5.根据权利要求4所述多硅片运输取送车，其特征在于，在所述平台(21)上设置有互锁销(212)；

所述原点定位装置(211)中设置有与所述把手(21113)和所述定位销(21112)同步可上下运动的第一压板(21114)；

所述互锁销(212)安装在所述平台(21)上，且可相对所述平台(21)上下升降移动，所述互锁销(212)整体为杆体，所述互锁销(212)的上端为定位块(2121)，在所述互锁销(212)的下部设置有横向延伸的第二压板(2122)，且所述第二压板(2122)配合置于所述第一压板(21114)的下方，可在所述第一压板(21114)的驱动下进行上下移动；

在所述托盘承托板(233)上设置有与所述定位块(2121)配合的锁孔，所述锁孔开设有与所述承托板外缘连通的通槽，且所述通槽的宽度大于所述互锁销(212)中部杆体的直径，小于所述定位块(2121)的直径。

6.根据权利要求1所述多硅片运输取送车，其特征在于，所述托盘(222)的上表面间隔设置承载单元(2221)，每个所述承载单元(2221)内均设置有承载凸台(22211)，且所述承载凸台(22211)的上端面设置有安装槽，所述安装槽内安装有胶圈。

7.根据权利要求1～6任意一项所述多硅片运输取送车，其特征在于，还包括：第二升降机构(3)，且所述承托取送机构(2)的个数为两个；

两个所述承托取送机构(2)沿纵向间隔安装在所述车体(1)内，且位于下方的承托取送机构(2)相对所述车体(1)活动设置；

所述第二升降机构(3)具有固定端和升降端，所述第二升降机构(3)的固定端与所述车体(1)固定连接，所述第二升降机构(3)的升降端与位于下方承托取送机构(2)中的平台(21)固定连接，在所述第二升降机构(3)的驱动下，所述承托取送机构(2)可相对所述车体(1)进行上下移动。

8.根据权利要求1所述多硅片运输取送车，其特征在于，所述车体(1)包括：基架(11)、四个立柱(12)以及四个脚轮(13)；

所述基架(11)位于底部，用于整体支撑；

四个所述立柱(12)均位于所述基架(11)的上方，且每个所述立柱(12)的下端均分别与所述基架(11)四角连接，且相对所述基架(11)垂直向上延伸；

四个脚轮(13)安装在所述基架(11)的下方。

9.根据权利要求8所述多硅片运输取送车，其特征在于，所述车体(1)还包括：两个导向块(14)；

所述导向块(14)与所述车体(1)前端的两个立柱(12)一一对应，且每个所述导向块(14)均具有固定端和自由端，所述导向块(14)的固定端与对应的立柱(12)固定连接，自由端水平向前延伸。

10.根据权利要求1所述多硅片运输取送车，其特征在于，在所述托盘承托板(233)的上表面设置有扶手(2331)。

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