CN113066744B - 真空烧结炉的料盘转运机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种真空烧结炉的料盘转运机构，包括机架和安装在所述机架上的若干个工位，若干个所述工位沿横向均匀间隔设置，每个所述工位包括若干个支撑台，若干个所述支撑台沿纵向间隔分布，相邻的支撑台之间均设置有支撑组件，所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架上，通过设置竖直调节机构来驱动支撑组件承托料盘和放置料盘，同时通过横向调节机构来驱动支撑组件在相邻的工位之间转运料盘，实现了物料在各工位间的快速流转和连续作业，相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间，同时结构简单可靠，便于拆装和维护。

Description

真空烧结炉的料盘转运机构
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种真空烧结炉的料盘转运机构。
背景技术
在半导体的制造过程中，需要对封装好的半成品置于真空烧结炉中进行真空烧结，使半导体变为致密、坚硬、体积稳定、具有一定性能的烧结体。真空烧结工序包括多个加热工位、真空烧结工位和冷却工位，物料依次通过多个工位直至加工完成，这就需要转运装置进行物料在各个工位之间的转运。
发明内容
本发明要解决的技术问题是真空烧结炉中需要转运装置在各个工位之间转运物料，本发明提供了一种真空烧结炉的料盘转运机构来解决上述问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空烧结炉的料盘转运机构，包括机架和安装在所述机架上的若干个工位，若干个所述工位沿横向均匀间隔设置，每个所述工位包括若干个支撑台，若干个所述支撑台沿纵向间隔分布，相邻的支撑台之间均设置有支撑组件，所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架上，所述横向调节机构可驱动所述支撑组件沿横向移动在相邻的工位之间转运料盘，所述支撑组件在所述竖直调节机构的驱动下可沿竖直方向向上移动承托起所述料盘或向下移动将所述料盘放置在所述支撑台上。
进一步地：所述支撑组件包括第一支架和沿横向设置的支撑杆，所述支撑杆包括共线设置的左支撑杆和右支撑杆，所述左支撑杆的左端固定安装在所述第一支架上，所述第一支架的右部固定安装有横向设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动设置有第一滑块，所述第一滑块上固定安装有连接架，所述右支撑杆的右端固定安装在所述连接架上，所述第一滑块中安装有第一丝杠，所述第一丝杠平行于所述第一导轨设置，所述第一支架上设有第一电机，所述第一电机的输出轴与所述第一丝杠的一端固定连接，所述第一丝杠在所述第一电机的驱动下转动能够驱动所述第一滑块沿所述第一导轨滑动；所述机架上，位于相邻的工位之间设置有窗孔，所述支撑组件还包括托架，所述托架上设有若干个支撑槽，所述支撑杆贴合放置于所述支撑槽中，并能在所述支撑槽中横向滑动，所述窗孔中设有沿竖直方向设置的导杆，所述导杆的顶部与所述托架的底部固定连接，所述机架上设有与所述导杆相配合的导套，所述导杆的中部活动安装在所述导套中，所述第一支架上设有沿横向设置的第二导轨，所述导杆的底部固定安装有第二滑块，所述第二滑块滑动安装在所述第二导轨上。
进一步地：所述横向调节机构包括第三支架、第三电机、第三导轨和第三丝杠，所述第三导轨沿横向固定安装在所述机架上，所述第三支架通过所述竖直调节机构与所述第一支架相连接，所述第三丝杠平行于所述第三导轨设置，并转动安装在所述机架上，所述第三丝杠上安装有第三滑块，所述第三滑块与所述第三支架固定连接，并滑动安装在所述第三导轨上，所述第三电机固定安装在所述机架上，所述第三电机的输出轴与所述第三丝杠的一端固定连接，所述第三丝杠在所述第三电机的驱动下转动能够带动所述第三滑块沿横向移动。
进一步地：所述竖直调节机构包括第四电机、第四导轨、第四滑块和第四丝杠，所述第四导轨沿竖直方向固定安装在所述第三支架上，所述第四滑块滑动安装在所述第四导轨上，并与所述第一支架固定连接，所述第四丝杠平行于所述第四导轨设置，并转动安装在所述第三支架上，所述第四滑块安装在所述第四丝杠上，所述第四电机固定安装在所述第三支架上，所述第四电机的输出轴与所述第四丝杠的一端固定连接，所述第四丝杠在所述第四电机的驱动下转动能够带动所述第四滑块沿所述第四导轨移动。
本发明的有益效果是，本发明真空烧结炉的料盘转运机构通过设置竖直调节机构来驱动支撑组件承托料盘和放置料盘，同时通过横向调节机构来驱动支撑组件在相邻的工位之间转运料盘，实现了物料在各工位间的快速流转和连续作业，相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间，同时结构简单可靠，便于拆装和维护。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明真空烧结炉的料盘转运机构的结构示意图；
图2是支撑组件的结构示意图；
图3是右支撑杆安装在连接架上的结构示意图；
图4是导杆的安装结构示意图；
图5是托架的结构示意图；
图6是横向调节机构和竖直调节机构的结构示意图。
图中1、机架，2、支撑台，3、第一支架，4、左支撑杆，5、右支撑杆，6、第一导轨，7、第一滑块，8、连接架，9、第一丝杠，10、第一电机，11、窗孔，12、托架，13、支撑槽，14、导杆，15、导套，16、第二导轨，17、第二滑块，20、第三支架，21、第三电机，22、第三导轨，23、第三丝杠，24、第三滑块，25、第四电机，26、第四导轨，27、第四滑块，28、第四丝杠。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。相反，本发明的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
如图1所示，本发明提供了一种真空烧结炉的料盘转运机构，包括机架1和安装在所述机架1上的若干个工位，若干个所述工位沿横向均匀间隔设置，每个所述工位包括若干个支撑台2，若干个所述支撑台2沿纵向间隔分布，相邻的支撑台2之间均设置有支撑组件，所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架1上，所述横向调节机构可驱动所述支撑组件沿横向移动在相邻的工位之间转运料盘，所述支撑组件在所述竖直调节机构的驱动下可沿竖直方向向上移动承托起所述料盘或向下移动将所述料盘放置在所述支撑台2上。
半导体的真空烧结工序一般设置有多道工位，包括将物料加热到不同烧结温度的多个加热工位、真空烧结工位和冷却工位，本方案中，多个工位定距均匀设置， S1通过竖直调节机构驱动支撑组件上升承托起料盘远离支撑台2；S2水平调节机构驱动支撑组件沿横向移动到下道工位；S3竖直调节机构驱动支撑组件下降到相邻支撑台2的间隙中，进而使得料盘放置到支撑台2上进行物料加工；S4水平调节机构驱动支撑组件返回上道工位，重复S1-S4完成料盘在各工位的转运工作。且本方案相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间，同时结构简单可靠，便于拆装和维护。
结合图2、图3、图4和图5所示，所述支撑组件包括第一支架3和沿横向设置的支撑杆，所述支撑杆包括共线设置的左支撑杆4和右支撑杆5，所述左支撑杆4的左端固定安装在所述第一支架3上，所述第一支架3的右部固定安装有横向设置的第一导轨6，所述第一导轨6上滑动设置有第一滑块7，所述第一滑块7上固定安装有连接架8，所述右支撑杆5的右端固定安装在所述连接架8上，所述第一滑块7中安装有第一丝杠9，所述第一丝杠9平行于所述第一导轨6设置，所述第一支架3上设有第一电机10，所述第一电机10的输出轴与所述第一丝杠9的一端固定连接，所述第一丝杠9在所述第一电机10的驱动下转动能够驱动所述第一滑块7沿所述第一导轨6滑动；所述机架1上，位于相邻的工位之间设置有窗孔11，所述支撑组件还包括托架12，所述托架12上设有若干个支撑槽13，所述支撑杆贴合放置于所述支撑槽13中，并能在所述支撑槽13中横向滑动，所述窗孔11中设有沿竖直方向设置的导杆14，所述导杆14的顶部与所述托架12的底部固定连接，所述机架1上设有与所述导杆14相配合的导套15，所述导杆14的中部活动安装在所述导套15中，所述第一支架3上设有沿横向设置的第二导轨16，所述导杆14的底部固定安装有第二滑块17，所述第二滑块17滑动安装在所述第二导轨16上。
本方案中通过多个支撑杆承托料盘的方式来进行料盘的转运工作，结构简单可靠，制造成本低。由于真空烧结工位需要将料盘放置在一个密封的空间中，如果左支撑杆4和右支撑杆5相连成一个支撑杆，则会导致支撑杆对真空烧结工位造成干涉，影响密封效果，本方案通过左支撑杆4和右支撑杆5相独立的设置方式则避免了这一问题。左支撑杆4在前道加热工位和真空烧结工位之间移动，右支撑杆5在真空烧结工位和后道工位之间移动，加工时，左支撑杆4在横向调节机构的驱动下向左远离真空烧结工位，右支撑杆5在第一电机10、第一丝杠9等的作用下向右移动远离真空烧结工位。
通过托架12和托架12上支撑槽13的设置，可以对支撑杆起到有效支撑，避免支撑杆的一端下垂，延长支撑杆的使用寿命，第二导轨16和第二滑块17的设置则可以在第一支架3横向移动时避免托架12跟随第一支架3移动。
结合图6所示，所述横向调节机构包括第三支架20、第三电机21、第三导轨22和第三丝杠23，所述第三导轨22沿横向固定安装在所述机架1上，所述第三支架20通过所述竖直调节机构与所述第一支架3相连接，所述第三丝杠23平行于所述第三导轨22设置，并转动安装在所述机架1上，所述第三丝杠23上安装有第三滑块24，所述第三滑块24与所述第三支架20固定连接，并滑动安装在所述第三导轨22上，所述第三电机21固定安装在所述机架1上，所述第三电机21的输出轴与所述第三丝杠23的一端固定连接，所述第三丝杠23在所述第三电机21的驱动下转动能够带动所述第三滑块24沿横向移动。
所述竖直调节机构包括第四电机25、第四导轨26、第四滑块27和第四丝杠28，所述第四导轨26沿竖直方向固定安装在所述第三支架20上，所述第四滑块27滑动安装在所述第四导轨26上，并与所述第一支架3固定连接，所述第四丝杠28平行于所述第四导轨26设置，并转动安装在所述第三支架20上，所述第四滑块27安装在所述第四丝杠28上，所述第四电机25固定安装在所述第三支架20上，所述第四电机25的输出轴与所述第四丝杠28的一端固定连接，所述第四丝杠28在所述第四电机25的驱动下转动能够带动所述第四滑块27沿所述第四导轨26移动。
第三电机21转动带动第三丝杠23转动从而驱动第三支架20沿横向运动调节支撑组件的位置，第四电机25转动带动第四丝杠28转动从而驱动第一支架3上下移动调节支撑组件上料盘的位置，通过控制电机的转动量可以精确控制滑块的移动参数，从而能够实现对料盘在各工位之间在的精确转运，实现了料盘转运的自动化控制。同时这种丝杠滑块的调节机构稳定可靠，调整的步距较小，调整精度较高，且具有良好的自锁性，能够在调节完成后有效保持当前位置避免窜位。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (4)

1.一种真空烧结炉的料盘转运机构，包括机架（1）和安装在所述机架（1）上的若干个工位，其特征在于：若干个所述工位沿横向均匀间隔设置，每个所述工位包括若干个支撑台（2），若干个所述支撑台（2）沿纵向间隔分布，相邻的支撑台（2）之间均设置有支撑组件，
所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架（1）上，所述横向调节机构可驱动所述支撑组件沿横向移动在相邻的工位之间转运料盘，所述支撑组件在所述竖直调节机构的驱动下可沿竖直方向向上移动承托起所述料盘或向下移动将所述料盘放置在所述支撑台（2）上。
2.如权利要求1所述的真空烧结炉的料盘转运机构，其特征在于：所述支撑组件包括第一支架（3）和沿横向设置的支撑杆，所述支撑杆包括共线设置的左支撑杆（4）和右支撑杆（5），所述左支撑杆（4）的左端固定安装在所述第一支架（3）上，所述第一支架（3）的右部固定安装有横向设置的第一导轨（6），所述第一导轨（6）上滑动设置有第一滑块（7），所述第一滑块（7）上固定安装有连接架（8），所述右支撑杆（5）的右端固定安装在所述连接架（8）上，所述第一滑块（7）中安装有第一丝杠（9），所述第一丝杠（9）平行于所述第一导轨（6）设置，所述第一支架（3）上设有第一电机（10），所述第一电机（10）的输出轴与所述第一丝杠（9）的一端固定连接，所述第一丝杠（9）在所述第一电机（10）的驱动下转动能够驱动所述第一滑块（7）沿所述第一导轨（6）滑动；
所述机架（1）上，位于相邻的工位之间设置有窗孔（11），所述支撑组件还包括托架（12），所述托架（12）上设有若干个支撑槽（13），所述支撑杆贴合放置于所述支撑槽（13）中，并能在所述支撑槽（13）中横向滑动，所述窗孔（11）中设有沿竖直方向设置的导杆（14），所述导杆（14）的顶部与所述托架（12）的底部固定连接，所述机架（1）上设有与所述导杆（14）相配合的导套（15），所述导杆（14）的中部活动安装在所述导套（15）中，所述第一支架（3）上设有沿横向设置的第二导轨（16），所述导杆（14）的底部固定安装有第二滑块（17），所述第二滑块（17）滑动安装在所述第二导轨（16）上。
3.如权利要求2所述的真空烧结炉的料盘转运机构，其特征在于：所述横向调节机构包括第三支架（20）、第三电机（21）、第三导轨（22）和第三丝杠（23），所述第三导轨（22）沿横向固定安装在所述机架（1）上，所述第三支架（20）通过所述竖直调节机构与所述第一支架（3）相连接，所述第三丝杠（23）平行于所述第三导轨（22）设置，并转动安装在所述机架（1）上，所述第三丝杠（23）上安装有第三滑块（24），所述第三滑块（24）与所述第三支架（20）固定连接，并滑动安装在所述第三导轨（22）上，所述第三电机（21）固定安装在所述机架（1）上，所述第三电机（21）的输出轴与所述第三丝杠（23）的一端固定连接，所述第三丝杠（23）在所述第三电机（21）的驱动下转动能够带动所述第三滑块（24）沿横向移动。
4.如权利要求3所述的真空烧结炉的料盘转运机构，其特征在于：所述竖直调节机构包括第四电机（25）、第四导轨（26）、第四滑块（27）和第四丝杠（28），所述第四导轨（26）沿竖直方向固定安装在所述第三支架（20）上，所述第四滑块（27）滑动安装在所述第四导轨（26）上，并与所述第一支架（3）固定连接，所述第四丝杠（28）平行于所述第四导轨（26）设置，并转动安装在所述第三支架（20）上，所述第四滑块（27）安装在所述第四丝杠（28）上，所述第四电机（25）固定安装在所述第三支架（20）上，所述第四电机（25）的输出轴与所述第四丝杠（28）的一端固定连接，所述第四丝杠（28）在所述第四电机（25）的驱动下转动能够带动所述第四滑块（27）沿所述第四导轨（26）移动。
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