CN113049756B - 一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域，尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。本发明包括底板，所述底板上表面固定有检测仓，所述底板上表面固定有移出装置，所述移出装置顶部固定有固定装置，所述固定装置内壁夹持有气瓶，所述移出装置一端固定有密封门，所述检测仓顶部固定有顶架，所述顶架中部固定有切换装置，所述检测仓顶部一端固定有检测管，所述检测仓一侧固定有抽真空接头，所述检测仓内壁顶部固定有放气装置。本发明在检测时，气体不泄露，在检测完成后，通过真空泵抽出，防止气体泄漏，可对四种不同的气体进行分析，适应性较高，通过槽轮减速器可使四种气体分析传感器依次切换，且操作较为方便。

Description

一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法

技术领域

本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域，尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。

背景技术

气体工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级；

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性；

在芯片制造中，对于微电子气体的浓度和纯度有着极大的要求，因此在使用微电子气体之前，需要对微电子气体进行分析；

而现有的微电子气体分析系统在分析结束后，气体容易泄露，造成环境的污染；

在使用时，不方便对不同的气体进行分析，且操作不方便。

因此，有必要提供一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法解决上述技术问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明是提供一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。

本发明提供的一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，包括底板，所述底板上表面固定有检测仓，所述底板上表面固定有移出装置，所述移出装置顶部固定有固定装置，所述固定装置内壁夹持有气瓶，所述移出装置一端固定有密封门，所述检测仓顶部固定有顶架，所述顶架中部固定有切换装置，所述检测仓顶部一端固定有检测管，所述检测仓一侧固定有抽真空接头，所述检测仓内壁顶部固定有放气装置；

所述切换装置包括第一伺服电机、槽轮减速器、第一转盘、固定筒、内螺纹套筒、第一螺纹杆、限位块、限位槽、第二伺服电机、第一平齿轮、第一齿轮环、第二转盘和气体分析传感器，所述顶架顶部固定有槽轮减速器，所述槽轮减速器顶部固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端与槽轮减速器的输入端固定连接，所述槽轮减速器的输出端穿过顶架固定有第一转盘，所述第一转盘下表面固定有固定筒，所述固定筒底部通过轴承转动连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内壁螺纹连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆顶部对称固定有限位块，所述固定筒内壁对称开设有限位槽，且限位块与限位槽滑动连接，所述第一转盘下表面固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定有第一平齿轮，所述内螺纹套筒外侧固定有第一齿轮环，且第一平齿轮与第一齿轮环啮合连接，所述第一螺纹杆底部固定有第二转盘，所述第二转盘外圆等距可拆卸固定有多种气体分析传感器，且气体分析传感器与检测管插接；

所述移出装置包括第一固定板、第二螺纹杆、第三伺服电机、滑块和滑板，所述底板上表面对称固定有第一固定板，两个所述第一固定板中部通过轴承转动连接有第二螺纹杆，一个所述第一固定板一侧固定有第三伺服电机，且第三伺服电机的输出端与第二螺纹杆固定连接，所述底板上表面滑动连接有滑块，所述滑块中部开设有螺纹孔，且滑块通过螺纹孔与第二螺纹杆螺纹连接，所述滑块顶部固定有滑板，且密封门与滑板固定连接。

优选的，所述固定装置包括夹持筒、隔板、凹槽、T形滑槽、第一转轴、第三转盘、斜槽、夹持块、T形块和拨杆，所述滑板上表面固定有夹持筒，所述夹持筒内壁下端固定有隔板，所述夹持筒内壁等距开设有凹槽，所述隔板表面等距开设有T形滑槽，且T形滑槽与凹槽连通，所述隔板下表面中部通过轴承转动连接有第一转轴，所述第一转轴中部固定有第三转盘，所述第三转盘外侧等距开设有斜槽，所述凹槽内壁滑动连接有夹持块，所述夹持块底部固定有T形块，且T形块与T形滑槽滑动连接，所述T形块底部固定有拨杆，且拨杆与斜槽滑动连接。

优选的，所述固定装置还包括第二齿轮环、第二转轴、第二平齿轮、第三转轴、第三平齿轮、立板和齿条，所述夹持筒靠近第三转盘的一端开设有通孔，所述第三转盘外侧固定有第二齿轮环，所述滑板靠近通孔的一端固定有第二转轴，所述第二转轴一端通过轴承转动连接有第二平齿轮，且第二平齿轮穿过通孔与第二齿轮环啮合连接，所述滑板上表面靠近第二平齿轮的一端固定有第三转轴，所述第三转轴一端通过轴承转动连接有第三平齿轮，且第二平齿轮与第三平齿轮啮合连接，所述底板上表面固定有立板，所述立板靠近第三平齿轮的一侧固定有齿条，且第三平齿轮与齿条啮合连接。

优选的，所述放气装置包括电动推杆和顶块，所述检测仓内壁顶部固定有电动推杆，所述电动推杆底部固定有顶块。

优选的，根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述气体分析传感器外侧固定有限位环，所述限位环底部固定有密封环，且密封环与检测管顶部接触。

优选的，所述槽轮减速器包括驱动壳、第四转轴、四分之一槽轮盘、第五转轴、第四转盘、限位盘和拨柱，所述顶架顶部固定有驱动壳，所述驱动壳内壁通过轴承转动连接有第四转轴，且第四转轴与第一转盘固定连接，所述第四转轴一端固定有四分之一槽轮盘，所述驱动壳内壁一端通过轴承转动连接有第五转轴，且第五转轴与第一伺服电机的输出端固定连接，所述第五转轴一端固定有第四转盘，所述第四转盘一侧固定有限位盘，且限位盘外侧设有缺口，所述第四转盘靠近限位盘的缺口的一端固定有拨柱，且拨柱与四分之一槽轮盘上的拨动槽滑动连接。

优选的，所述底板上表面对称固定有T形滑轨，所述滑块底部对称开设有与T形滑轨相配合的T形槽，且T形滑轨与T形槽滑动连接。

优选的，所述底板底部对称固定有防滑垫，所述底板上表面一端固定有控制器。

一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析方法，所述分析方法包括以下步骤：

（1）、将密封门打开，操作人员将装有微电子气体的气瓶放入夹持筒内即可；

（2）、通过切换装置将合适的气体分析传感器切换至检测工位；

（3）、通过真空泵将检测仓内的气体抽出，形成真空；

（4）、通过放气装置来对气瓶进行放气，使得气瓶中的气体飘散在检测仓内，使之与气体分析传感器的检测头接触，对气体进行分析；

（5）、在检测完成后，真空泵继续对检测仓内进行抽真空，且在检测仓内抽出的气体通过过滤装置进行过滤。

与相关技术相比较，本发明提供的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法具有如下有益效果：

本发明提供基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法：

1、在使用过程中，通过移出装置将密封门对检测仓密封，然后通过第二伺服电机驱动内螺纹套筒旋转，使得气体分析传感器插入检测管内，并通过密封环将检测管堵住，在检测时，气体不泄露，在检测完成后，通过真空泵抽出，防止气体泄漏；

2、第二转盘上设置四个不同的气体分析传感器，可对四种不同的气体进行分析，适应性较高，通过槽轮减速器可使四种气体分析传感器依次切换；

3、在使用时，通过移出装置将固定装置移出，在移出的过程中，通过第二平齿轮、第三平齿轮、第二齿轮环和齿条的配合，使得第三转盘旋转，进而可使得夹持块相互远离打开，操作人员可将气瓶放置在夹持筒内，然后当移出装置将气瓶移动至检测仓内时，第二齿轮环反向旋转，使得夹持块将气瓶夹持住，操作较为方便。

附图说明

图1为本发明提供的整体结构示意图；

图2为本发明提供的切换装置结构示意图；

图3为本发明提供的内螺纹套筒结构示意图；

图4为本发明提供的第一螺纹杆结构示意图；

图5为本发明提供的检测管结构示意图；

图6为本发明提供的放气装置结构示意图；

图7为本发明提供的固定机构结构示意图之一；

图8为本发明提供的固定机构结构示意图之二；

图9为本发明提供的夹持筒结构示意图；

图10为本发明提供的夹持筒内部结构示意图；

图11为本发明提供的槽轮减速器结构示意图。

图中标号：1、底板；2、检测仓；3、移出装置；31、第一固定板；32、第二螺纹杆；33、第三伺服电机；34、滑块；35、滑板；4、固定装置；41、夹持筒；42、隔板；43、凹槽；44、T形滑槽；45、第一转轴；46、第三转盘；47、斜槽；48、夹持块；49、T形块；410、拨杆；411、第二齿轮环；412、第二转轴；413、第二平齿轮；414、第三转轴；415、第三平齿轮；416、立板；417、齿条；5、气瓶；6、密封门；7、切换装置；71、第一伺服电机；72、槽轮减速器；721、驱动壳；722、第四转轴；723、四分之一槽轮盘；724、第五转轴；725、第四转盘；726、限位盘；727、拨柱；73、第一转盘；74、固定筒；75、内螺纹套筒；76、第一螺纹杆；77、限位块；78、限位槽；79、第二伺服电机；710、第一平齿轮；711、第一齿轮环；712、第二转盘；713、气体分析传感器；8、放气装置；81、电动推杆；82、顶块；9、顶架；10、检测管；11、抽真空接头；12、密封圈；13、限位环；14、密封环；15、T形滑轨；16、防滑垫；17、控制器。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

在具体实施过程中，如图1、图2、图5和图6所示，一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，包括底板1，底板1上表面固定有检测仓2，底板1上表面固定有移出装置3，移出装置3顶部固定有固定装置4，固定装置4内壁夹持有气瓶5，移出装置3一端固定有密封门6，密封门6靠近检测仓2的一端固定有密封圈12，提高密封门6的密封性，检测仓2顶部固定有顶架9，顶架9中部固定有切换装置7，检测仓2顶部一端固定有检测管10，检测仓2一侧固定有抽真空接头11，检测仓2内壁顶部固定有放气装置8；

参考图2、图3和图4所示，切换装置7包括第一伺服电机71、槽轮减速器72、第一转盘73、固定筒74、内螺纹套筒75、第一螺纹杆76、限位块77、限位槽78、第二伺服电机79、第一平齿轮710、第一齿轮环711、第二转盘712和气体分析传感器713，顶架9顶部固定有槽轮减速器72，槽轮减速器72顶部固定有第一伺服电机71，第一伺服电机71的输出端与槽轮减速器72的输入端固定连接，槽轮减速器72的输出端穿过顶架9固定有第一转盘73，第一转盘73下表面固定有固定筒74，固定筒74底部通过轴承转动连接有内螺纹套筒75，内螺纹套筒75内壁螺纹连接有第一螺纹杆76，第一螺纹杆76顶部对称固定有限位块77，固定筒74内壁对称开设有限位槽78，且限位块77与限位槽78滑动连接，第一转盘73下表面固定有第二伺服电机79，第二伺服电机79的输出端固定有第一平齿轮710，内螺纹套筒75外侧固定有第一齿轮环711，且第一平齿轮710与第一齿轮环711啮合连接，第一螺纹杆76底部固定有第二转盘712，第二转盘712外圆等距可拆卸固定有多种气体分析传感器713，且气体分析传感器713与检测管10插接，此时操作人员通过待检测气体选用对应的气体分析传感器713，通过控制器17控制第一伺服电机71转动，进而通过槽轮减速器72带动第一转盘73转动，进而可带动固定筒74转动，使得固定筒74通过螺纹杆带动第二转盘712转动，且第一伺服电机71没转动一圈，则第二转盘712旋转90°，进而使得第二转盘712上的气体分析传感器713调整位置，使得合适的气体分析传感器713移动至检测管10的正上方，此时通过第二伺服电机79转动带动第一平齿轮710转动，进而可带动第一齿轮环711转动，使得第一齿轮环711带动内螺纹套筒75转动，进而可驱动第一螺纹杆76进行升降，使得第二转盘712下降，进而气体分析传感器713插入检测管10内壁，并使得限位环13上的密封环14压紧检测管10进行密封；

参考图8所示，移出装置3包括第一固定板31、第二螺纹杆32、第三伺服电机33、滑块34和滑板35，底板1上表面对称固定有第一固定板31，两个第一固定板31中部通过轴承转动连接有第二螺纹杆32，一个第一固定板31一侧固定有第三伺服电机33，且第三伺服电机33的输出端与第二螺纹杆32固定连接，底板1上表面滑动连接有滑块34，滑块34中部开设有螺纹孔，且滑块34通过螺纹孔与第二螺纹杆32螺纹连接，滑块34顶部固定有滑板35，且密封门6与滑板35固定连接，通过控制器17控制第三伺服电机33转动，进而可带动第二螺纹杆32转动，使得第二螺纹杆32带动滑块34向外滑动，进而可带动滑板35向外滑动，使得密封门6打开，并使得滑板35上的固定装置4从检测仓2内移出。

参考图6、图7、图8、图9和图10所示，固定装置4包括夹持筒41、隔板42、凹槽43、T形滑槽44、第一转轴45、第三转盘46、斜槽47、夹持块48、T形块49和拨杆410，滑板35上表面固定有夹持筒41，夹持筒41内壁下端固定有隔板42，夹持筒41内壁等距开设有凹槽43，隔板42表面等距开设有T形滑槽44，且T形滑槽44与凹槽43连通，隔板42下表面中部通过轴承转动连接有第一转轴45，第一转轴45中部固定有第三转盘46，第三转盘46外侧等距开设有斜槽47，凹槽43内壁滑动连接有夹持块48，夹持块48底部固定有T形块49，且T形块49与T形滑槽44滑动连接，T形块49底部固定有拨杆410，且拨杆410与斜槽47滑动连接；固定装置4还包括第二齿轮环411、第二转轴412、第二平齿轮413、第三转轴414、第三平齿轮415、立板416和齿条417，夹持筒41靠近第三转盘46的一端开设有通孔，第三转盘46外侧固定有第二齿轮环411，滑板35靠近通孔的一端固定有第二转轴412，第二转轴412一端通过轴承转动连接有第二平齿轮413，且第二平齿轮413穿过通孔与第二齿轮环411啮合连接，滑板35上表面靠近第二平齿轮413的一端固定有第三转轴414，第三转轴414一端通过轴承转动连接有第三平齿轮415，且第二平齿轮413与第三平齿轮415啮合连接，底板1上表面固定有立板416，立板416靠近第三平齿轮415的一侧固定有齿条417，且第三平齿轮415与齿条417啮合连接，在移出装置3运动的过程中，第三平齿轮415与齿条417啮合，进而使得第三平齿轮415在齿条417上滚动，进而使得第三平齿轮415通过第二平齿轮413带动第二齿轮环411转动，进而可带动第三转盘46转动，进而使得第三转盘46上的斜槽47拨动拨杆410滑动，进而通过T形块49带动夹持块48相互远离，此时操作人员将装有微电子气体的气瓶5放入夹持筒41内即可，然后通过控制器17控制移出装置3收回，使得密封门6关闭密封，并且在关闭的过程中，第三平齿轮415反转，进而带动第三转盘46驱动夹持块48挤压气瓶5，当密封门6完全关闭时，夹持块48刚好对气瓶5进行固定，且夹持块48的夹持端为橡胶材质，防止损坏气瓶5。

参考图6所示，放气装置8包括电动推杆81和顶块82，检测仓2内壁顶部固定有电动推杆81，电动推杆81底部固定有顶块82，通过控制器17控制电动推杆81伸缩，进而通过顶块82挤压气瓶5的排气杆，使得气瓶5内的气体排出，使得气体在检测仓2内被气体分析传感器713进行分析检测。

参考图4所示，气体分析传感器713外侧固定有限位环13，限位环13底部固定有密封环14，且密封环14与检测管10顶部接触，通过限位环13和密封环14对检测管10进行密封，防止气体溢散。

参考图11所示，槽轮减速器72包括驱动壳721、第四转轴722、四分之一槽轮盘723、第五转轴724、第四转盘725、限位盘726和拨柱727，顶架9顶部固定有驱动壳721，驱动壳721内壁通过轴承转动连接有第四转轴722，且第四转轴722与第一转盘73固定连接，第四转轴722一端固定有四分之一槽轮盘723，驱动壳721内壁一端通过轴承转动连接有第五转轴724，且第五转轴724与第一伺服电机71的输出端固定连接，第五转轴724一端固定有第四转盘725，第四转盘725一侧固定有限位盘726，且限位盘726外侧设有缺口，第四转盘725靠近限位盘726的缺口的一端固定有拨柱727，且拨柱727与四分之一槽轮盘723上的拨动槽滑动连接，通过第四转盘725转动带动拨柱727转动，进而可拨动四分之一槽轮盘723旋转90°，并且通过第四转盘725与四分之一槽轮盘723的弧形边向嵌合，可对四分之一槽轮盘723进行限位，此槽轮减速器72与现有的四分之一槽轮机构原理相似，在此不做赘述。

参考图8所示，底板1上表面对称固定有T形滑轨15，滑块34底部对称开设有与T形滑轨15相配合的T形槽，且T形滑轨15与T形槽滑动连接，通过T形滑轨15可对滑块34进行限位，提高稳定性。

参考图1所示，底板1底部对称固定有防滑垫16，底板1上表面一端固定有控制器17，便于控制电器设备的运行。

一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析方法，该方法用于本发明的分析系统，所述分析方法包括以下步骤：

（1）、将密封门6打开，操作人员将装有微电子气体的气瓶5放入夹持筒（41）内即可；

（2）、通过切换装置7将合适的气体分析传感器713切换至检测工位；

（3）、通过真空泵将检测仓2内的气体抽出，形成真空；

（4）、通过放气装置8来对气瓶5进行放气，使得气瓶5中的气体飘散在检测仓2内，使之与气体分析传感器713的检测头接触，对气体进行分析；

（5）、在检测完成后，真空泵继续对检测仓2内进行抽真空，且在检测仓2内抽出的气体通过过滤装置进行过滤。

工作原理：

通过控制器17控制第三伺服电机33转动，进而可带动第二螺纹杆32转动，使得第二螺纹杆32带动滑块34向外滑动，进而可带动滑板35向外滑动，使得密封门6打开，并使得滑板35上的固定装置4从检测仓2内移出，在此过程中，第三平齿轮415与齿条417啮合，进而使得第三平齿轮415在齿条417上滚动，进而使得第三平齿轮415通过第二平齿轮413带动第二齿轮环411转动，进而可带动第三转盘46转动，进而使得第三转盘46上的斜槽47拨动拨杆410滑动，进而通过T形块49带动夹持块48相互远离，此时操作人员将装有微电子气体的气瓶5放入夹持筒41内即可；

然后通过控制器17控制移出装置3收回，使得密封门6关闭密封，并且在关闭的过程中，第三平齿轮415反转，进而带动第三转盘46驱动夹持块48挤压气瓶5，当密封门6完全关闭时，夹持块48刚好对气瓶5进行固定，且夹持块48的夹持端为橡胶材质，防止损坏气瓶5；

此时操作人员通过待检测气体选用对应的气体分析传感器713，通过控制器17控制第一伺服电机71转动，进而通过槽轮减速器72带动第一转盘73转动，进而可带动固定筒74转动，使得固定筒74通过螺纹杆带动第二转盘712转动，且第一伺服电机71没转动一圈，则第二转盘712旋转90°，进而使得第二转盘712上的气体分析传感器713调整位置，使得合适的气体分析传感器713移动至检测管10的正上方，此时通过第二伺服电机79转动带动第一平齿轮710转动，进而可带动第一齿轮环711转动，使得第一齿轮环711带动内螺纹套筒75转动，进而可驱动第一螺纹杆76进行升降，使得第二转盘712下降，进而气体分析传感器713插入检测管10内壁，并使得限位环13上的密封环14压紧检测管10进行密封；

通过真空泵与抽真空接头11连接，对检测仓2内进行抽真空，当抽真空完成后，通过控制器17控制电动推杆81伸缩，进而通过顶块82挤压气瓶5的排气杆，使得气瓶5内的气体排出，使得气体在检测仓2内被气体分析传感器713进行分析检测；

在检测完成后，真空泵继续对检测仓2内进行抽真空，且在检测仓2内抽出的气体通过过滤装置进行过滤，且通过第二伺服电机79反转，使得气体分析传感器713抬起，使得检测管10与外界连通，使得外界空气进入检测仓2内，被真空泵一并抽出，大大降低抽吸难度，可防止微电子气体溢散到空气中。

本发明中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）上表面固定有检测仓（2），所述底板（1）上表面固定有移出装置（3），所述移出装置（3）顶部固定有固定装置（4），所述固定装置（4）内壁夹持有气瓶（5），所述移出装置（3）一端固定有密封门（6），所述检测仓（2）顶部固定有顶架（9），所述顶架（9）中部固定有切换装置（7），所述检测仓（2）顶部一端固定有检测管（10），所述检测仓（2）一侧固定有抽真空接头（11），所述检测仓（2）内壁顶部固定有放气装置（8）；

所述切换装置（7）包括第一伺服电机（71）、槽轮减速器（72）、第一转盘（73）、固定筒（74）、内螺纹套筒（75）、第一螺纹杆（76）、限位块（77）、限位槽（78）、第二伺服电机（79）、第一平齿轮（710）、第一齿轮环（711）、第二转盘（712）和气体分析传感器（713），所述顶架（9）顶部固定有槽轮减速器（72），所述槽轮减速器（72）顶部固定有第一伺服电机（71），所述第一伺服电机（71）的输出端与槽轮减速器（72）的输入端固定连接，所述槽轮减速器（72）的输出端穿过顶架（9）固定有第一转盘（73），所述第一转盘（73）下表面固定有固定筒（74），所述固定筒（74）底部通过轴承转动连接有内螺纹套筒（75），所述内螺纹套筒（75）内壁螺纹连接有第一螺纹杆（76），所述第一螺纹杆（76）顶部对称固定有限位块（77），所述固定筒（74）内壁对称开设有限位槽（78），且限位块（77）与限位槽（78）滑动连接，所述第一转盘（73）下表面固定有第二伺服电机（79），所述第二伺服电机（79）的输出端固定有第一平齿轮（710），所述内螺纹套筒（75）外侧固定有第一齿轮环（711），且第一平齿轮（710）与第一齿轮环（711）啮合连接，所述第一螺纹杆（76）底部固定有第二转盘（712），所述第二转盘（712）外圆等距可拆卸固定有多种气体分析传感器（713），且气体分析传感器（713）与检测管（10）插接；

所述移出装置（3）包括第一固定板（31）、第二螺纹杆（32）、第三伺服电机（33）、滑块（34）和滑板（35），所述底板（1）上表面对称固定有第一固定板（31），两个所述第一固定板（31）中部通过轴承转动连接有第二螺纹杆（32），一个所述第一固定板（31）一侧固定有第三伺服电机（33），且第三伺服电机（33）的输出端与第二螺纹杆（32）固定连接，所述底板（1）上表面滑动连接有滑块（34），所述滑块（34）中部开设有螺纹孔，且滑块（34）通过螺纹孔与第二螺纹杆（32）螺纹连接，所述滑块（34）顶部固定有滑板（35），且密封门（6）与滑板（35）固定连接；

所述固定装置（4）包括夹持筒（41）、隔板（42）、凹槽（43）、T形滑槽（44）、第一转轴（45）、第三转盘（46）、斜槽（47）、夹持块（48）、T形块（49）和拨杆（410），所述滑板（35）上表面固定有夹持筒（41），所述夹持筒（41）内壁下端固定有隔板（42），所述夹持筒（41）内壁等距开设有凹槽（43），所述隔板（42）表面等距开设有T形滑槽（44），且T形滑槽（44）与凹槽（43）连通，所述隔板（42）下表面中部通过轴承转动连接有第一转轴（45），所述第一转轴（45）中部固定有第三转盘（46），所述第三转盘（46）外侧等距开设有斜槽（47），所述凹槽（43）内壁滑动连接有夹持块（48），所述夹持块（48）底部固定有T形块（49），且T形块（49）与T形滑槽（44）滑动连接，所述T形块（49）底部固定有拨杆（410），且拨杆（410）与斜槽（47）滑动连接。

2.根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述固定装置（4）还包括第二齿轮环（411）、第二转轴（412）、第二平齿轮（413）、第三转轴（414）、第三平齿轮（415）、立板（416）和齿条（417），所述夹持筒（41）靠近第三转盘（46）的一端开设有通孔，所述第三转盘（46）外侧固定有第二齿轮环（411），所述滑板（35）靠近通孔的一端固定有第二转轴（412），所述第二转轴（412）一端通过轴承转动连接有第二平齿轮（413），且第二平齿轮（413）穿过通孔与第二齿轮环（411）啮合连接，所述滑板（35）上表面靠近第二平齿轮（413）的一端固定有第三转轴（414），所述第三转轴（414）一端通过轴承转动连接有第三平齿轮（415），且第二平齿轮（413）与第三平齿轮（415）啮合连接，所述底板（1）上表面固定有立板（416），所述立板（416）靠近第三平齿轮（415）的一侧固定有齿条（417），且第三平齿轮（415）与齿条（417）啮合连接。

3.根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述放气装置（8）包括电动推杆（81）和顶块（82），所述检测仓（2）内壁顶部固定有电动推杆（81），所述电动推杆（81）底部固定有顶块（82）。

4.根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述密封门（6）靠近检测仓（2）的一端固定有密封圈（12）。

5.根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述气体分析传感器（713）外侧固定有限位环（13），所述限位环（13）底部固定有密封环（14），且密封环（14）与检测管（10）顶部接触。

6.根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述槽轮减速器（72）包括驱动壳（721）、第四转轴（722）、四分之一槽轮盘（723）、第五转轴（724）、第四转盘（725）、限位盘（726）和拨柱（727），所述顶架（9）顶部固定有驱动壳（721），所述驱动壳（721）内壁通过轴承转动连接有第四转轴（722），且第四转轴（722）与第一转盘（73）固定连接，所述第四转轴（722）一端固定有四分之一槽轮盘（723），所述驱动壳（721）内壁一端通过轴承转动连接有第五转轴（724），且第五转轴（724）与第一伺服电机（71）的输出端固定连接，所述第五转轴（724）一端固定有第四转盘（725），所述第四转盘（725）一侧固定有限位盘（726），且限位盘（726）外侧设有缺口，所述第四转盘（725）靠近限位盘（726）的缺口的一端固定有拨柱（727），且拨柱（727）与四分之一槽轮盘（723）上的拨动槽滑动连接。

7.根据权利要求2所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述底板（1）上表面对称固定有T形滑轨（15），所述滑块（34）底部对称开设有与T形滑轨（15）相配合的T形槽，且T形滑轨（15）与T形槽滑动连接。

8.根据权利要求1所述的基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，其特征在于，所述底板（1）底部对称固定有防滑垫（16），所述底板（1）上表面一端固定有控制器（17）。

9.一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析方法，用于权利要求1-8任一项所述的分析系统，其特征在于，所述分析方法包括以下步骤：

（1）、将密封门（6）打开，操作人员将装有微电子气体的气瓶（5）放入夹持筒（41）内即可；

（2）、通过切换装置（7）将合适的气体分析传感器（713）切换至检测工位；

（3）、通过真空泵将检测仓（2）内的气体抽出，形成真空；

（4）、通过放气装置（8）来对气瓶（5）进行放气，使得气瓶（5）中的气体飘散在检测仓（2）内，使之与气体分析传感器（713）的检测头接触，对气体进行分析；

（5）、在检测完成后，真空泵继续对检测仓（2）内进行抽真空，且在检测仓（2）内抽出的气体通过过滤装置进行过滤。

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