CN113048904A - 一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于电子玻璃夹杂颗粒物检测技术领域,公开了一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,包括以下步骤:根据颗粒物的位置裁切样品片,并标记出颗粒物位置;对样品片的上下表面进行擦拭;在样品片上下表面做标记;测量样品片的厚度;将样品片放置到光学显微镜的载物台上,先聚焦到上表面的标记位置,再聚焦到下表面的标记位置,记录从上表面的标记位置到下表面的标记位置载物台的行程刻度数,再聚焦到颗粒物上,直至看到清晰的颗粒物,记录从上表面的标记位置到颗粒物清晰时载物台的行程刻度数;计算夹杂颗粒物距样品片上表面的距离。可满足不同厚度基板玻璃中夹杂颗粒物的深度检测,具有操作简单,工艺成熟且检测快速的优点。
Description
技术领域
本发明属于电子玻璃夹杂颗粒物检测技术领域,特别涉及一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法。
背景技术
在电子玻璃生产过程中,会有一些异物熔入玻璃液中,玻璃成型后表现为颗粒物夹杂在玻璃板中,这些颗粒物会影响基板玻璃的透光性和后续的加工性,夹杂颗粒物在玻璃中厚度方向的位置分布是分析对策的一个重要信息。
传统的检测方法是将样品在颗粒物处裁切、打磨,使颗粒物暴露在表面,在显微镜下测量夹杂颗粒物距上下表面的距离,这种方法的缺点是需要制样,费时费力,还存在样品报废的风险。
发明内容
本发明的目的在于提供一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,解决了现有技术需要制样费时费力,还存在样品报废的问题。
一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,包括以下步骤:
(1)样品准备:根据颗粒物的位置裁切样品片;
(2)样品标记:在样品片上表面和下表面做标记;
(3)样品厚度检测:测量样品片的厚度D;
(4)样品夹杂颗粒物厚度方向位置检测:将样品片放置到光学显微镜的载物台上,先聚焦到上表面的标记位置,再聚焦到下表面的标记位置,记录从上表面的标记位置到下表面的标记位置载物台的行程刻度数M,再聚焦到颗粒物上,直至看到清晰的颗粒物,记录从上表面的标记位置到颗粒物清晰时载物台的行程刻度数m;
(5)计算样品夹杂颗粒物深度:夹杂颗粒物距样品片上表面的距离d=D*m/M。
进一步,步骤(1)中,裁切样品片的过程为:以颗粒物为中心,从玻璃产品上裁切30mm*30mm的方形样片。
进一步,玻璃产品为0.4mm~1.0mm厚的电子玻璃。
进一步,在样品标记前,对样品片的上表面和下表面进行擦拭。
进一步,擦拭为用洁净布沾酒精将玻璃样品上面和下表面擦拭干净。
进一步,步骤(1)和(2)中,所述标记采用标记笔做标记。
进一步,步骤(3)中,使用测厚仪,在样品片的不同位置测量多次,取平均值作为厚度D。
进一步,步骤(4)中,光学显微镜采用透射式显微镜。
进一步,步骤(1)中,在样品片的上表面用标记笔圈出颗粒物的范围。
与现有技术相比,本发明具有以下有益的技术效果:
本发明公开了一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,样品无需特殊制样,可根据颗粒物大小确定裁切位置,操作简单;利用测厚仪和光学显微镜即可实现对颗粒物深度的测量,可以快速测量出颗粒物距离上表面的距离,提高检测的效率;在玻璃样品上下表面做标记,可确保聚焦位置的精准。此方法可满足不同厚度基板玻璃中夹杂颗粒物的深度检测,具有操作简单,工艺成熟且检测快速的优点。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明做进一步的详细说明,所述是对本发明的解释而不是限定。
本发明公开了一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,包括以下步骤:
(1)样品准备:根据颗粒物的位置裁切样品片;
(2)样品标记:在样品片上表面和下表面做标记;
(3)样品厚度检测:测量样品片的厚度D;
(4)样品夹杂颗粒物厚度方向位置检测:将样品片放置到光学显微镜的载物台上,先聚焦到上表面的标记位置,再聚焦到下表面的标记位置,记录从上表面的标记位置到下表面的标记位置载物台的行程刻度数M,再聚焦到颗粒物上,直至看到清晰的颗粒物,记录从上表面的标记位置到颗粒物清晰时载物台的行程刻度数m;
(5)计算样品夹杂颗粒物深度:夹杂颗粒物距样品片上表面的距离d=D*m/M。
更优地,在样品标记前,对样品进行处理:对样品片的上表面和下表面进行擦拭,便于后期观察标记位置更清楚。
具体地,步骤(3)中,使用测厚仪,在样品片的不同位置测量多次,取平均值作为厚度D。
具体地,步骤(4)中,光学显微镜采用透射式显微镜。
玻璃产品为0.4mm~1.0mm厚的电子玻璃,下面以0.7mm厚的玻璃为例进行说明。
实施例1
本发明公开了一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,包括以下步骤:
(1)取厚度0.7mm的电子玻璃,根据颗粒物的位置裁切30mm*30mm的方形样片,并在玻璃上表面用标记笔圈出颗粒物的范围,方便后续快速聚焦颗粒物;
(2)用洁净布沾酒精将玻璃样品上面和下表面擦拭干净;
(3)用标记笔在样品片上表面和下表面做标记;
(4)用测厚仪测量样品片的厚度D=0.708mm;
(5)将样品片放置到光学显微镜的载物台上,先聚焦到上表面的标记位置,再聚焦到下表面的标记位置,记录从上表面的标记位置到下表面的标记位置载物台的行程刻度数M=92,再聚焦到颗粒物上,直至看到清晰的颗粒物,记录从上表面的标记位置到颗粒物清晰时载物台的行程刻度数m=46;
(6)计算样品夹杂颗粒物深度:夹杂颗粒物距样品片上表面的距离d=D*m/M=0.354mm。
本实施例整体测量所用时间为3min,按照传统的方法将样品沿颗粒物裁切,磨抛后在显微镜下测量,用时30min,测得的颗粒物距上表面的距离为351μm,误差0.85%。
实施例2
(1)取厚度0.7mm的电子玻璃,根据颗粒物的位置裁切30mm*30mm的方形样片,并在玻璃上表面用标记笔圈出颗粒物的范围;
(2)用洁净布沾酒精将玻璃样品上面和下表面擦拭干净;
(3)用标记笔在样品片上表面和下表面做标记;
(4)用测厚仪测量样品片的厚度D=0.702mm;
(5)将样品片放置到光学显微镜的载物台上,先聚焦到上表面的标记位置,再聚焦到下表面的标记位置,记录从上表面的标记位置到下表面的标记位置载物台的行程刻度数M=92,再聚焦到颗粒物上,直至看到清晰的颗粒物,记录从上表面的标记位置到颗粒物清晰时载物台的行程刻度数m=35;
(6)计算样品夹杂颗粒物深度:夹杂颗粒物距样品片上表面的距离d=D*m/M=0.267mm。
本实施例整体测量所用时间为4min,按照传统的方法将样品沿颗粒物裁切,磨抛后在显微镜下测量,用时28min,测得的颗粒物距上表面的距离为270μm,误差1.1%。
本发明的测量方法,样品无需特殊制样,可根据颗粒物大小确定裁切位置,操作简单;利用测厚仪和光学显微镜即可实现对颗粒物深度的测量,可以快速测量出颗粒物距离上表面的距离,提高检测的效率;在玻璃样品上下表面做标记,可确保聚焦位置的精准。此方法可满足不同厚度基板玻璃中夹杂颗粒物的深度检测,具有操作简单,工艺成熟且检测快速的优点。
Claims (9)
1.一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)样品准备:根据颗粒物的位置裁切样品片;
(2)样品标记:在样品片上表面和下表面做标记;
(3)样品厚度检测:测量样品片的厚度D;
(4)样品夹杂颗粒物厚度方向位置检测:将样品片放置到光学显微镜的载物台上,先聚焦到上表面的标记位置,再聚焦到下表面的标记位置,记录从上表面的标记位置到下表面的标记位置载物台的行程刻度数M,再聚焦到颗粒物上,直至看到清晰的颗粒物,记录从上表面的标记位置到颗粒物清晰时载物台的行程刻度数m;
(5)计算样品夹杂颗粒物深度:夹杂颗粒物距样品片上表面的距离d=D*m/M。
2.根据权利要求1所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,步骤(1)中,裁切样品片的过程为:以颗粒物为中心,从玻璃产品上裁切30mm*30mm的方形样片。
3.根据权利要求2所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,玻璃产品为0.4mm~1.0mm厚的电子玻璃。
4.根据权利要求1所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,在样品标记前,对样品片的上表面和下表面进行擦拭。
5.根据权利要求4所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,擦拭为用洁净布沾酒精将玻璃样品上面和下表面擦拭干净。
6.根据权利要求1所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,步骤(1)和(2)中,所述标记采用标记笔做标记。
7.根据权利要求1所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,步骤(3)中,使用测厚仪,在样品片的不同位置测量多次,取平均值作为厚度D。
8.根据权利要求1所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,步骤(4)中,光学显微镜采用透射式显微镜。
9.根据权利要求1所述的一种电子玻璃中夹杂颗粒物深度的测量方法,其特征在于,步骤(1)中,在样品片的上表面用标记笔圈出颗粒物的范围。
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