CN113037212B - 光电组件特性测量装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种光电组件特性测量装置，包含物镜、成像镜、摄影镜头以及焦距调整模块。物镜设置于第一光路径中，用以接收第一待测光线，并将第一待测光线转换成第二待测光线。成像镜设置于第一光路径中，用以接收第二待测光线，并将第二待测光线转换成第三待测光线。摄影镜头设置于第一光路径中，用以接收第三待测光线，并测量第三待测光线的光束特性。焦距调整模块受控于测试指令而选择性地提供第一透光件于第一光路径中，用以调整第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置或第二聚焦位置。

Description

光电组件特性测量装置

技术领域

本申请是有关于一种电子组件的测量装置，特别是关于一种用于检查光电组件特性的测量装置。

背景技术

随着光电技术的进步，目前已知可以用许多介质产生雷射，例如可以通过气体、化学或半导体等介质产生雷射。目前市面上以通过半导体产生雷射较为常见，一般称此类半导体为雷射二极管。实务上，雷射二极管制造完成后，还需进行许多光学检测，以确保雷射质量的稳定。然而，在检测雷射二极管发出的雷射光时，许多测量项目需要经常性地移动物镜的物平面或成像镜的像平面，例如与光束特性相关的测量光束腰(beam waist)、发散角(divergence angle)及数值孔径(numerical aperture，NA)等近场参数。于所属技术领域具有通常知识者可以明白，经常性地移动物镜或成像镜，将导致光学架构的测量条件不稳定，也容易产生测量上的误差。

此外，移动物镜的物平面或成像镜的像平面不仅会影响光学架构的稳定性，也会拉长测试时间。据此，业界需要一种新的光电组件特性测量装置，不仅要在测量的过程中保持物镜与成像镜的稳定，更要能快速地完成各种测试项目。

发明内容

有鉴于此，本申请提出一种光电组件特性测量装置，可以在固定物镜与成像镜的情况下，改变成像镜到摄影镜头之间的聚焦位置，从而能加快光电组件特性的测量效率。

本申请提出一种光电组件特性测量装置，包含物镜、成像镜、摄影镜头以及焦距调整模块。物镜设置于第一光路径中，用以接收第一待测光线，并将第一待测光线转换成第二待测光线。成像镜设置于第一光路径中，用以接收第二待测光线，并将第二待测光线转换成第三待测光线。摄影镜头设置于第一光路径中，用以接收第三待测光线，并测量第三待测光线的光束特性。焦距调整模块受控于测试指令而选择性地提供第一透光件于第一光路径中，用以调整第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置或第二聚焦位置。

于一些实施例中，焦距调整模块包含第一载盘，第一载盘具有第一区域，第一透光件可以装设于第一区域中，焦距调整模块受控于测试指令而推动第一载盘，用以选择性地使第一区域对准第一光路径。当第一区域对准第一光路径，第一透光件用以折射第三待测光线，使第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置。此外，第一载盘更可以具有第二区域，第二透光件装设于第二区域中，焦距调整模块受控于测试指令而推动第一载盘，更用以选择性地使第一区域或第二区域对准第一光路径。当第二区域对准该第一光路径，第二透光件也可以折射第三待测光线，使第三待测光线的聚焦位置为第二聚焦位置，第二聚焦位置相异于第一聚焦位置。

于一些实施例中，前述的第一透光件与第二透光件可以均为透明平板，第一透光件与第二透光件的折射率相同，且第一透光件与第二透光件的厚度不相同。或者，前述的第一透光件与第二透光件可以均为透明平板，而第一透光件与第二透光件的折射率不相同。

于一些实施例中，第一载盘更可以具有通孔，焦距调整模块受控于测试指令而推动第一载盘，更用以选择性地使第一区域或通孔对准第一光路径。当通孔对准该第一光路径，第三待测光线的聚焦位置为第二聚焦位置，第二聚焦位置相异于第一聚焦位置。此外，焦距调整模块更可以包含第二载盘，第二载盘可以具有第三区域，第三透光件装设于第三区域中，焦距调整模块受控于测试指令而更推动第二载盘，用以选择性地使第三区域对准第一光路径。

于一些实施例中，摄影镜头在测量第三待测光线的光束特性时，包含测量第三待测光线的光束腰、发散角及数值孔径。在此，成像镜和摄影镜头的相对位置可以固定不变。此外，光电组件特性测量装置还可以包含第一滤镜，设置于第一光路径中且位于物镜和成像镜之间，用以减少第二待测光线的光强度。另外，在第一光路径中，摄影镜头大致上位于成像镜的出光侧焦平面，第一待测光线由光电组件射出，且光电组件是位在物镜的入光侧焦平面。

综上所述，本申请提供的光电组件特性测量装置可以选择性地在成像镜和摄影镜头之间加入透光件，使得光线在经由透光件折射后，能改变成像镜和摄影镜头的聚焦位置。从而，光电组件特性测量装置在不需要移动物镜或成像镜的情况下，不仅能保持光学架构的稳定，并且能加快光电组件特性的测量效率。

有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合附图说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是依据本申请一实施例的光电组件特性测量装置的架构示意图；

图2是依据本申请一实施例的焦距调整模块的架构示意图；

图3是依据本申请一实施例的第三待测光线的聚焦位置的示意图；

图4是依据本申请另一实施例的第三待测光线的聚焦位置的示意图；

图5是依据本申请再一实施例的第三待测光线的聚焦位置的示意图；

图6是依据本申请另一实施例的焦距调整模块的架构示意图；

图7是依据本申请再一实施例的焦距调整模块的架构示意图。

符号说明

1 光电组件特性测量装置 10 物镜

12 成像镜 14 摄影镜头

16 焦距调整模块 160 第一载盘

1600a、1600b、1600c 区域

1602、1602a 第一透光件 1602b 第二透光件

18 滤光片 26 焦距调整模块

260 第一载盘 2602a 第一透光件

2600a、2600b、2600c 区域

2602b 第二透光件 262 第二载盘

2620a、2620b、2620c 区域

2622a 第三透光件 2622b 第四透光件

36 焦距调整模块 360 第一载盘

3600a、3600b、3600c 区域

3602a 第一透光件 3602b 第二透光件

2 光电组件 D0、D1、D2 聚焦位置

H1、H2 透光件的厚度

具体实施方式

有关本申请的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的一优选实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本申请。

请参阅图1，图1是绘示依据本申请一实施例的光电组件特性测量装置的架构示意图。如图1所示，本实施例的光电组件特性测量装置1用于测量光电组件的特性，所述光电组件可以是图1绘示的光电组件2。本实施例不加以限制光电组件的种类，例如所述光电组件可以是一种雷射二极管，也可以归类为气体雷射组件或化学雷射组件。在此，光电组件特性测量装置1可以用于测量光电组件2的光束特性，特别是用来测量光电组件2发出雷射光线的近场(near field)参数。例如，光电组件特性测量装置1可以用来测量雷射光线的光束腰(beam waist，W0)、发散角(divergence angle，θ)及数值孔径(numerical aperture，NA)等近场参数。一般来说，测量光电组件2的近场参数需要使物镜或成像镜在一定范围内移动式扫描，本实施例在此提出了一种不需要移动使物镜或成像镜的光学架构。图1所绘示的光电组件特性测量装置1具有物镜10、成像镜12、摄影镜头14，以及在成像镜12和摄影镜头14之间的焦距调整模块16。实务上，物镜10、成像镜12、摄影镜头14以及焦距调整模块16均设置于第一光路径中，以下依序说明第一光路径中的各个组件。

物镜10设置于第一光路径中，用以接收光电组件2发出的雷射光线(第一待测光线)。图1中光电组件2到物镜10之间的虚线，用以示意第一待测光线沿着第一光路径进入光电组件特性测量装置1，并不限制实际上物镜10与光电组件2的尺寸，也不限制光电组件2发出第一待测光线的角度。有别于已经组装完成的雷射发射器，光电组件2因为还没有组装上适当的透镜，因此光电组件2所发出的雷射光线(第一待测光线)还不是平行光。于所属技术领域具有通常知识者可知，如果将光源摆放在凸透镜一侧焦平面上，通过凸透镜的光学特性，光源发出的光线可以被转换成平行光而从凸透镜的另一侧射出。于一个例子中，物镜10可以是凸透镜，且光电组件2可以例如摆放在物镜10的入光侧焦平面上，从而可以将非平行的雷射光线(第一待测光线)转换成平行的雷射光线(第二待测光线)。换句话说，物镜10可以将第一待测光线转换成具有平行光束特性的第二待测光线。

此外，成像镜12同样设置于第一光路径中，用以接收物镜10出光侧平行的雷射光线(第二待测光线)。如图1中绘示的，物镜10到成像镜12之间的虚线，用以示意第二待测光线沿着第一光路径进入成像镜12。实务上，成像镜12可以是一种镜筒透镜(tube lens)，本实施例在此不加以限制。另外，因为雷射光线被转换成平行光，理论上可以被传送到直线上的任意距离，也等于延长了第一光路径的长度。例如，延长了第一光路径可以看成增加了物镜10到成像镜12之间的距离，从而有机会可以在物镜10到成像镜12之间摆放更多种光学组件。然而，于所属技术领域具有通常知识者可知，平行光由于没有聚焦(没有焦点)的原因，从而没有办法有效成像。因此，成像镜12可以是凸透镜且具有一个焦平面，平行的雷射光线经过成像镜12后，可以再被转换成非平行的雷射光线(第三待测光线)，使得第三待测光线可以被成像并测量。于一个例子中，由于光电组件2发出的雷射光线具有很高的光强度，为了避免摄影镜头14过曝，光电组件特性测量装置1更可以包含一个或多个滤光片18，例如所述滤光片18可以例如图1绘示的设置在物镜10到成像镜12之间，本实施例不加以限制。

接着，焦距调整模块16可以接收从成像镜12方向来的第三待测光线，并且可以受控于外部的测试指令而选择性地提供第一透光件1602于第一光路径中，用以调整第三待测光线的聚焦位置为第一聚焦位置或第二聚焦位置。实务上，由于第三待测光线已经是非平行的雷射光线，会随着光线的前进而慢慢聚焦，因此可以看出焦距调整模块16调整第三待测光线的聚焦位置时，实际上也是在调整第三待测光线在摄影镜头14中的成像平面位置。于一个例子中，焦距调整模块16可以具有相应的结构使第一透光件1602可以被提供于第一光路径中，或者说，焦距调整模块16也可以使第一透光件1602不被提供于第一光路径中。

承接上述，摄影镜头14同样设置于第一光路径中，用以测量从焦距调整模块16射出的第三待测光线的光束特性。如图1中绘示的，从成像镜12到焦距调整模块16，再从焦距调整模块16到摄影镜头14之间的虚线，用以示意第三待测光线沿着第一光路径从成像镜12射出并进入摄影镜头14。以实际操作的例子来说，在测量光电组件2的光束特性时，需要使成像镜12和摄影镜头14在第一光路径的距离(即第三待测光线的聚焦位置)略为改变，以找出光束腰、发散角及数值孔径等近场参数。由此可知，焦距调整模块16调整了第三待测光线在摄影镜头14的成像(聚焦)平面，也可以看成是一种动态改变第三待测光线的聚焦位置的扫描。然而因为物镜10、成像镜12以及摄影镜头14都不需要移动，使得本实施例的光电组件特性测量装置1的稳定性更好，且测量光电组件2的光束特性的速度可以更快。

为了方便说明焦距调整模块16的架构与操作，请一并参阅图1与图2，图2绘示依据本申请一实施例的焦距调整模块的架构示意图。如图所示，焦距调整模块16可以包含第一载盘160，第一载盘160内可以定义有多个区域，例如区域1600a、区域1600b以及区域1600c。虽然图2绘示了第一载盘160有3个区域，但本实施例并不限制区域的数量。于图2绘示的例子中，区域1600a(第一区域)内可以装设有第一透光件1602a，而区域1600b(第二区域)内可以装设有第二透光件1602b。并且，区域1600c内可以不装设有透光件，而仅为一个通孔。

焦距调整模块160可以受控于测试指令而推动第一载盘160，用以选择性地使其中一个区域(例如区域1600a)对准第一光路径。实务上，由于第一光路径的路线是固定的，可以看成第三待测光线会投射至第一载盘160上的固定位置。当第三待测光线会投射的位置恰好重叠区域1600a时，则可称区域1600a对准了第一光路径。以图2绘示的例子来说，焦距调整模块16还可以包含转轴1604，转轴1604可以用来将任一个区域旋转对准第一光路径。在此，本实施例不限制焦距调整模块16如何移动第一载盘160，以将任一个区域对准第一光路径。由图1和图2可知，不论第一载盘160中的哪个区域对准第一光路径，对第一载盘160之前的第三待测光线不生影响，而差别在于第三待测光线离开第一载盘160之后的聚焦位置。

于一个例子中，第一透光件1602a与第二透光件1602b可以都是透明平板，且第一透光件1602a与第二透光件1602b的折射率可以相同。例如，第一透光件1602a与第二透光件1602b可以都是由玻璃制成(即折射率相同)，且都是板状结构，然而第一透光件1602a与第二透光件1602b的差异在于厚度不相同。当然，于其他的例子中，第一透光件1602a与第二透光件1602b也可以由不同材料制成(即折射率不同)，只要第三待测光线可穿透第一透光件1602a与第二透光件1602b且不妨碍测量光电组件2的光束特性，本实施例不限制第一透光件1602a与第二透光件1602b的材料种类。

此外，为了方便说明焦距调整模块16如何动态改变第三待测光线的聚焦位置，请一并参阅图2至图5，图3绘示依据本申请一实施例的第三待测光线的聚焦位置的示意图，图4绘示依据本申请另一实施例的第三待测光线的聚焦位置的示意图，图5绘示依据本申请再一实施例的第三待测光线的聚焦位置的示意图。以图3的例子来说，由于第一载盘160的区域1600c只是通孔，没有装设有透光件，因此当区域1600c对准第一光路径时，第三待测光线经过的介质没有改变(例如都是空气)，因此不会受到折射。此时，第三待测光线的聚焦位置从第一载盘160算起可以假设是D0。

以图4的例子来说，当区域1600a对准第一光路径时，第三待测光线会经过区域1600a内的第一透光件1602a折射，因此应当有别于图3的例子。假设在第一透光件1602a前后的介质均是空气，且空气折射率小于第一透光件1602a的折射率，则于所属技术领域具有通常知识应可以理解第三待测光线的聚焦位置会有不同。此时，第三待测光线的聚焦位置从第一载盘160算起可以假设是D1。实务上，在第三待测光线的入射角已知，第一透光件1602a的折射率已知，且第一透光件1602a的厚度已知的情况下，前述D0和D1的差异可由斯乃尔公式(Snell's Law)轻易地计算出来，本实施例在此不再赘述。于一个例子中，D1应当是会略大于D0，也可以看成焦距调整模块16调整了第三待测光线在摄影镜头14的聚焦位置(成像平面位置)。

以图5的例子来说，当区域1600b对准第一光路径时，第三待测光线会经过区域1600b内的第二透光件1602b折射。假设在第一透光件1602a的厚度H1和第二透光件1602b的厚度H2不同，则于所属技术领域具有通常知识应可以理解，图5的第三待测光线的聚焦位置会不同于图4的第三待测光线的聚焦位置。此时，第三待测光线的聚焦位置从第一载盘160算起可以假设是D2。于一个例子中，在第一透光件1602a与第二透光件1602b折射率相同的情况下，当第二透光件1602b的厚度H2大于第一透光件1602a的厚度H1，则可推知D2也会略大于D1。实务上，透光件的厚度和聚焦位置可以整理出一个对应关系，例如下表1所示。

对准区域	透光件厚度	聚焦位置
			1600c	0	D0
1600a	H1	D1
			1600b	H2	D2

表1

值得一提的是，传统上若要扫描雷射二极管达一定的纵深，通常需要移动光学系统，使得物镜和雷射二极管的物距改变。然而，依照上述例子可知，本实施例的焦距调整模块16可以仅通过简单切换第一载盘160，使得第一载盘160上的多个区域依照默认顺序对准第一光路径，即能使成像镜12和摄影镜头14之间可以产生D0到D2的聚焦位置变化范围，而不用实际移动成像镜12或摄影镜头14。由此可知，本实施例的焦距调整模块16可以通过动态改变第三待测光线的聚焦位置，扫描第三待测光线，以测量光束腰、发散角及数值孔径等近场参数。

本实施例除了不限制第一载盘160中能装设有多少不同的透光件，也同样不限制焦距调整模块16能装设有多少载盘。一并参阅图2与图6，图6绘示依据本申请另一实施例的焦距调整模块的架构示意图。与前一个实施例相同的是，第一载盘260内可以定义有多个区域，例如区域2600a、区域2600b以及区域2600c，区域2600a(第一区域)内可以装设有第一透光件2602a，而区域2600b(第二区域)内可以装设有第二透光件2602b。并且，区域2600c内可以不装设有透光件，而仅为一个通孔。此外，第一载盘260也可以同样通过转轴2604驱动而旋转。与前一个实施例不同的是，焦距调整模块26除了第一载盘260之外，还可以包含第二载盘262。第二载盘262内同样可以定义有多个区域，例如区域2620a、区域2620b以及区域2620c。区域2620a(第三区域)内可以装设有第三透光件2622a，而区域2620b(第四区域)内可以装设有第四透光件2622b。并且，区域2620c内同样可以不装设有透光件，而仅为一个通孔。为了方便说明，在此举第二载盘262的配置和第一载盘260完全相同为例，然而本实施例在此不限制第二载盘262和第一载盘260需要完全相同。

由于两个载盘可以分别用不同的区域对准第一光路径，因此成像镜12和摄影镜头14之间可以产生聚焦位置可以有更多变化。以实际的例子来说，假设第一透光件2602a与第三透光件2622a相同材料与厚度，第二透光件2602b与第四透光件2622b相同材料与厚度，则两个载盘中的区域对准第一光路径的组合如下表2。

对准区域	透光件厚度	聚焦位置
			2600c+2620c	0+0	D0
2600a+2620c	H1+0	D1
			2600b+2620c	H2+0	D2
2600c+2620a	0+H1	D1
			2600a+2620a	H1+H1	D3
2600b+2620a	H2+H1	D4
			2600c+2620b	0+H2	D2
2600a+2620b	H1+H2	D4
			2600b+2620b	H2+H2	D5

表2

由表2可以看出，当焦距调整模块26具有两个载盘时，因为透光件的组合厚度更多样化，使得第三待测光线的聚焦位置更多出了D3、D4和D5等3个位置(图未示)。举例来说，当区域2600a和区域2620a对准第一光路径时，第三待测光线会分别经过区域2600a内的第一透光件2602a和区域2620a内的第三透光件2622a折射。在第一透光件2602a与第三透光件2622a相同的情况下，等于第三待测光线会经过2倍的第一透光件1602a的厚度H1，此时第三待测光线的聚焦位置从第一载盘260算起可以假设是D3。此外，当区域2600b和区域2620a对准第一光路径时，第三待测光线会分别经过区域2600b内的第二透光件2602b和区域2620a内的第三透光件2622a折射，即第三待测光线会经过厚度H1加上厚度H2的两个透光件，此时第三待测光线的聚焦位置从第一载盘260算起可以假设是D4。

另外，当区域2600b和区域2620b对准第一光路径时，第三待测光线会分别经过区域2600b内的第二透光件2602b和区域2620b内的第四透光件2622b折射。在第二透光件2602b与第四透光件2622b相同的情况下，等于第三待测光线会经过2倍的第二透光件2602b的厚度H2，此时第三待测光线的聚焦位置从第一载盘260算起可以假设是D5。换句话说，本实施例的焦距调整模块26可以仅通过简单切换第一载盘260与第二载盘262，并组合第一载盘260与第二载盘262上的多个区域依照默认顺序对准第一光路径，即能使成像镜12和摄影镜头14之间可以产生更多层次的聚焦位置变化范围(D0到D5)，而不用实际移动成像镜12或摄影镜头14。于所属技术领域具有通常知识者可以理解，如果第一透光件2602a与第三透光件2622a的厚度不相同，且第二透光件2602b与第四透光件2622b的厚度不相同，则透光件的组合厚度还可以更多，从而有机会以非常小或非常细的间隔调整的聚焦位置。

前述图2与图6的实施例以转轴带动载盘，使得载盘可以通过转动而将不同区域对准第一光路径，但本实施例并不以此为限。请一并参阅图2与图7，图7绘示依据本申请再一实施例的焦距调整模块的架构示意图。与前述实施例相同的是，本实施例的焦距调整模块36中，第一载盘360内同样可以定义有多个区域，例如区域3600a、区域3600b以及区域3600c，区域3600a(第一区域)内可以装设有第一透光件3602a，而区域3600b(第二区域)内可以装设有第二透光件3602b。并且，区域3600c内可以不装设有透光件，而仅为一个通孔。与前一个实施例不同的是，焦距调整模块36可以没有转轴，即第一载盘360可以不依靠转轴将指定区域对准第一光路径。举例来说，焦距调整模块36可以有滑轨(图未示)与驱动马达(图未示)，第一载盘360可以装设于滑轨上，并通过驱动马达推动第一载盘360，而能够将指定区域对准第一光路径。

综上所述，本申请提供的光电组件特性测量装置可以选择性地在成像镜和摄影镜头之间加入透光件，使得光线在经由透光件折射后，能改变成像镜和摄影镜头的聚焦位置。从而，光电组件特性测量装置在不需要移动物镜或成像镜的情况下，不仅能保持光学架构的稳定，并且能加快光电组件特性的测量效率。

以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修改为其它等效的实施例，但仍应视为与本申请实质相同的技术或实施例。

Claims (13)

1.一种光电组件特性测量装置，其特征在于，包含：

一物镜，设置于一第一光路径中，用以接收一第一待测光线，并将该第一待测光线转换成一第二待测光线；

一成像镜，设置于该第一光路径中，用以接收该第二待测光线，并将该第二待测光线转换成一第三待测光线；

一摄影镜头，设置于该第一光路径中，用以接收该第三待测光线，并测量该第三待测光线的一光束特性；以及

一焦距调整模块，受控于一测试指令而选择性地提供一第一透光件于该第一光路径中，用以调整该第三待测光线的聚焦位置为一第一聚焦位置或一第二聚焦位置；

其中该焦距调整模块包含一第一载盘，该第一载盘具有一第一区域，该第一透光件装设于该第一区域中，该焦距调整模块受控于该测试指令而推动该第一载盘，用以选择性地使该第一区域对准该第一光路径；

其中该焦距调整模块更包含一第二载盘，该第二载盘具有一第三区域，第三透光件装设于该第三区域中，该焦距调整模块受控于该测试指令而更推动该第二载盘，用以选择性地使该第三区域对准该第一光路径。

2.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，当该第一区域对准该第一光路径，该第一透光件用以折射该第三待测光线，使该第三待测光线的聚焦位置为该第一聚焦位置。

3.如权利要求2所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该第一载盘更具有一第二区域，一第二透光件装设于该第二区域中，该焦距调整模块受控于该测试指令而推动该第一载盘，更用以选择性地使该第一区域或该第二区域对准该第一光路径。

4.如权利要求3所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，当该第二区域对准该第一光路径，该第二透光件用以折射该第三待测光线，使该第三待测光线的聚焦位置为该第二聚焦位置，该第二聚焦位置相异于该第一聚焦位置。

5.如权利要求4所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该第一透光件与该第二透光件均为透明平板，该第一透光件与该第二透光件的折射率相同，且该第一透光件与该第二透光件的厚度不相同。

6.如权利要求4所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该第一透光件与该第二透光件均为透明平板，该第一透光件与该第二透光件的折射率不相同。

7.如权利要求2所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该第一载盘更具有一通孔，该焦距调整模块受控于该测试指令而推动该第一载盘，更用以选择性地使该第一区域或该通孔对准该第一光路径。

8.如权利要求7所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，当该通孔对准该第一光路径，该第三待测光线的聚焦位置为该第二聚焦位置，该第二聚焦位置相异于该第一聚焦位置。

9.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该摄影镜头测量该第三待测光线的该光束特性时，包含测量该第三待测光线的光束腰、发散角及数值孔径。

10.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该成像镜和该摄影镜头的相对位置固定不变。

11.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，更包含一第一滤镜，设置于该第一光路径中且位于该物镜和该成像镜之间，用以减少该第二待测光线的光强度。

12.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，在该第一光路径中，该摄影镜头大致上位于该成像镜的一出光侧焦平面。

13.如权利要求1所述的光电组件特性测量装置，其特征在于，该第一待测光线由一光电组件射出，且在该第一光路径中，该光电组件是位在该物镜的一入光侧焦平面。

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