CN112964720A - 评价装置、评价方法、存储介质以及计算机装置 - Google Patents

评价装置、评价方法、存储介质以及计算机装置 Download PDF

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CN112964720A
CN112964720A CN202011345264.2A CN202011345264A CN112964720A CN 112964720 A CN112964720 A CN 112964720A CN 202011345264 A CN202011345264 A CN 202011345264A CN 112964720 A CN112964720 A CN 112964720A
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后藤隆之
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Abstract

本发明旨在提供可以抑制作为测量对象的立体物的测量面形状的影响,以高精度测量立体物体的表面品质的评价装置、评价方法、存储介质以及计算机装置。评价装置(200)具备照明装(202),用于向测量对象物(S)的表面照射光;摄像装置(203),用于取得所述测量对象物(S)的表面的图像;以及,图像评价部(42),用于将所取得的图像之中的规定区域作为评价区域,评价所述测量对象物的品质,所述图像评价部设定的所述评价区域位于所述图像之中,受到所述照明装置照射的光所照亮的所述测量对象物表面上的区域,即照明区域的内侧。

Description

评价装置、评价方法、存储介质以及计算机装置
技术领域
本发明涉及评价装置、评价方法、存储介质以及计算机装置。
背景技术
各种产品表面品品质检查查是众所周知的产品外观质量管理方法之一。关于这种表面品质检查,如有类似瑕疵、斑点、类似凹凸的表面缺陷,或被称为色差、色 斑的涂装面表面缺陷的检查。
另一方面,上述品质检查有非常有自动化的需求,随此,还要求对品质检查标 准进行定量处理。其中,对于表面瑕疵之类的表面缺陷,由于照相机等摄影技术的 提高,在各种表面上进行定量评价相对容易(如参见专利文献1等)。
但是,对于涂装表面的缺陷,评价项目则是美观和色调,难以作机械性判断, 而且观察到的对象随着照明方式等的改变而变化,存在难以进行缺陷判断的问题。
目前为了解决上述问题,存在例如用于定量测量外观差别的测量方法(如参见 专利文献2、3等),但是,尤其是在评价形状复杂的立体物时,依然存在测量面的 形状和照明装置的位置关系对精度等产生影像的问题,定量评价十分困难。
专利文献1:JP特开2011-075534号公报
专利文献2:JP特开2018-151165号公报
专利文献3:JP特开2018-009988号公报
发明内容
鉴于上述问题,本发明旨在提供一种在测量对象为立体物体时能够抑制测量面形状的影响,以高精度测量立体物体的表面品质的评价装置。
为了达到上述目的,本发明提供的评价装置具备,照明装置,用于向测量对象 物的表面照射光;摄像装置,用于取得所述测量对象物的表面的图像;以及,图像 评价部,用于将所取得的图像之中的规定区域作为评价区域,评价所述测量对象物 的品质,所述图像评价部设定的所述评价区域位于所述图像之中,受到所述照明装 置照射的光所照亮的所述测量对象物表面上的区域,即照明区域的内侧。
根据本发明的效果在于,当测量对象为立体物时,能够抑制测量面形状的影响,以高精度测量立体物的表面品质。
附图说明
图1是本发明实施方式涉及的评价系统整体构成的示意图。
图2是本发明实施方式涉及的评价系统的动作流程图。
图3是用图1所示的评价系统拍摄的图像的示意图。
图4是本发明的评价领域的示意图。
图5是入射样品的光的反射方向的示意图。
图6是图3所示的评价领域的另一示意图。
图7是图3所示的评价领域的另一示意图。
图8是本发明实施方式涉及的样品测量结果的示意图。
图9是本发明实施方式涉及的另一个样品测量结果的示意图。
图10是本发明的变形例涉及的具有照明扩大部的评价系统整体构成的示意图。
图11是本发明变形例涉及的另一个具有照明扩大部的评价系统整体构成的示 意图。
图12是本发明变形例涉及的另一个具有照明扩大部的评价系统整体构成的示 意图。
图13是本发明的变形例涉及的照明装置具有光扩散部的示意图。
图14是本发明涉及的图13所示的照明装置的变形例的示意图。
图15是本发明的变形例涉及的照明装置具有光平行部的示意图。
图16是本发明涉及的图15所示的照明装置的变形例的示意图。
图17是用来说明光平行部功能的示意图。
图18是本发明的变形例涉及的评价系统整体构成的示意图。
图19是本发明的变形例涉及的评价系统整体构成的示意图。
图20是本发明的变形例涉及的评价系统整体构成的示意图。
具体实施方式
《第一实施方式》
图1显示评价系统200的基本构成,评价系统200作为本发明第一实施方式的 一个例子,用来评价表面品质的评价装置。
评价系统200具有,支持体201,用于承载相当于被检测的测量对象物的样品 S;照明装置202,用于向样品S的表面照射照明光L;以及,相机装置203,用于 接受照射到样品S上受到反射的反射光L'而取得图像的摄像装置。
评价系统200具有作为评价装置的图像评价部40,用于根据相机装置203拍摄 的样品S的图像,评价样品S的表面品质。
在接下来的说明中,为了简单起见,如图1所示,将垂直上方设为+Z方向,将 垂直于Z方向的平面之中,进入图面内部的方向为Y方向、图面上左右方向为X方 向,样品S是在平行于XY平面放置的立体形状部件,该立体形状部件的上表面上 形成作为涂装表面的涂膜。
实施方式的照明装置202是图1中的(a)所示的,使用LED光源的照明装置。 除此之外,照明装置202也可以如图1的(b)所示,或如下所述,是具有光源20和 指定的光学系统的照明装置。照明装置202的光源20可以用白炽灯、荧光灯、LED 照明、卤素光源、激光光源等各种光源。
照明装置202上安装相当于照明装置驱动装置的照明保持部204,用以手动或 自动改变照明装置202的位置。
本实施方式的相机装置203是超光谱照相机,为了从受到样品P反射的反射光 L'获得色信息,可以以10nm分割400nm~700nm的波长带,获得31波段的分光图 像。
相机装置203既可以是能够获取三个以上的分光信息的多光谱摄像机,也可以 是RGB相机或单色相机等,其构成并没有特别限制。
本实施方式特别详述了从这些分光反射率的平面图像获取三刺激值XYZ图像和L*a*b*图像的方法。
相机装置203上安装有相当于摄像装置驱动装置的相机保持部205,用于手动 或自动改变相机装置203的位置。
为了获得较大的后述图像区域以确保评价领域,更加优选相机装置203可以获 得较大的视角。
本实施方式的图像评价部40是配备CPU和非易失性存储器以及挥发性存储器、 基于控制程序运行的控制用终端。
图像评价部40具有图像处理部41,用于用相机装置203预先拍摄的标准图像 和摄有样品S的图像,计算差值图像;以及,品质评价部42,用于基于样品S的图 像,评价样品品质。标准图像是样品S的表面品质满足标准的标准样品S0的图像。
以下根据图2的流程图说明用具有上述构成的评价系统200执行样品S表面测 量的动作。
首先,为了测量样品S,把样品S放置在支持体201上(步骤S101)。
其次,调整支持体201的位置,同时,用照明保持部204和相机保持部205进 行照明装置202和相机装置203的位置调整,以使照明光L大范围照射样品S(步骤 S102)。
此时,优选将照明光L的位置调整到尽可能大范围样品S的表面。
相机装置203测量样品S的表面状态,将二维反射光量分布作为图像拍摄(步 骤S103)。相机装置203不仅限于上述构成,也可以是多个波长宽度可拍摄二维反 射光光量分布的多光谱照相机和分光照相机,也可以在分辨率等摄影条件下自由更 改。
在本实施方式中,相机装置203拍摄的图像是如图3所示的RGB图像。另外, 为了便于说明,在图3中,以亮度较高的部分即照明装置202的光受到正反射的部 分为白色,其余部分为灰色,作为灰度表示,实际上是各自像素中具有色调的彩色 图像。
在图3中相机装置203以用实线包围的图像区域R1作为摄影范围,拍摄图像。
接下来,图像评价部40进行图像变换处理,将拍摄的图像转换成三刺激值和 L*a*b*图像等(步骤S104)。在本实施方式中,针对转换为L*a*b*图像的方法进行 说明。
首先,三刺激值可用样品S的分光反射率和等色函数以及光源的分光分布,根 据以下式(1)进行计算。
X=k∫s(λ)x(λ)R(λ)dλ
Y=k∫s(λ)y(λ)R(λ)dλ
Z=k∫s(λ)z(λ)R(λ)dλ 式(1)
在此,s(λ)是照明的分光分布,x(λ)、y(λ)、z(λ)是等色函数,R(λ)是分光 反射率,k是系数。k用式(2)求出。
k=100/∫s(λ)y(λ)dλ 式(2)
等色函数是由CIE规定的人感受颜色的灵敏度函数,被定为2度视野和10度 视野。本实施方式使用10度视野。分光分布采用D65条件。
分光反射率用反射率为100%具有接近完全扩散辐射的反射特性的白色标准板的摄影数据,通过对样品S的摄影数据进行标准化来获取反射率的数据。
然后,用式(3)从三刺激值XYZ图像转换到L*a*b*图像。
Figure RE-GDA0002951688840000051
Xn、Yn、Zn是分别用CIE所定的完全发散反射面的三刺激值XYZ,在D65条 件、10度视野的情况下特别是Xn=94.81、Yn=100、Zn=107.33。
图4显示从这些数值计算得到的图像数据中提取L*的值的L*图像。
如图4所示,在相机装置203拍摄的全图像区域,即图像区域R1上,把样品S 作为摄物体显示。
样品S的表面包括作为"照亮区域"的照亮区域R2,照亮区域R2是反射光L'对 受到照射的照明光L进行正反射的区域。
上述照亮区域R2是图像区域R1中的一部分,是根据照明装置202和相机装置 203的位置关系确定的正反射区域。
在本发明中,图像评价部40进行选择,从上述照亮区域R2中切出图4中以一 点锁线表示的作为评价区域R3的任意部分(步骤S105)。
根据上述构成,可以在评价区域R3内尽可能抑制样品S3的表面形状对于照明 装置202的照度分布变化的影响。
以下对此进一步详述。
样品S为立体形状时,所照射的照明光L如图5所示,受到样品S表面的曲面 或平面向各个方向反射。
在以往的测量装置中,当把上述立体形状物体作为测量对象时,由于在人的视 觉中所呈现的“颜色不均”的异常会随着样品S的光照方式不同而发生变动,因此 很难作机械性评价。
但是,发明人通过研究发现,对受到照明光L以一定光照方式照射的部分,可 以通过选择性的图像评价,判断所谓的“颜色不均”的表面品质下降。
对此,在本实施方式中,通过选择性地把“照明光L受到正反射的面”用于品 质评价,使得该局部表面的评价项目能够正确地用于品质评价,从而使得精度良好 的表面品质评价成为可能。
在“照亮区域”中,由于来自样品S的反射光强度增大,不易受到外部环境光的 影响,因此能够以良好的精度进行测量。
具体来说,如步骤S105所述,通过图像评价部40从照亮区域R2的范围内选 择评价区域R3进行评价,选择性地把“照明光L受到正反射的面”用于品质评价。
有关图像评价部40提取评价区域R3的方法,可以举例如下。如图4所示,从 样品S的表面上受到照明光照亮的区域中提取任意矩形区域的方法,以及,如图6 所示,按照照明装置202照亮的区域以自由形状提取的方法。进而,在照明装置202 照亮样品S的整个表面的情况下,如图7所示,在步骤S103中拍摄的整个图像区 域R1可以是照亮区域R2,也可以是评价区域R3。
提取评价区域R3后,图像评价部40从L*图像中提取评价区域R3中的L*图像, 进行保存(步骤S106)。
然后,对于通过步骤S101至S106相同操作所拍摄的标准样品S0,同样地获取 L*图像(步骤S107)。
对于上述标准样品S0,优选使用用评价系统200拍摄的标准样品S0,但不受 该构成限制,只要是能够以数值化显示正确的表面状态的图像数据均可以使用。此 外,只要可以成为品质评价标准的图像数据,并不局限于拍摄的标准样品S0的图 像,例如可以利用其他评价系统200送往图像评价部40而获得的图像数据作为“品 质评价的标准图像”。
图像评价部40基于通过步骤S106和步骤S107得到的样品S以及标准样品S0 各自的L*图像,获得差值图像(步骤S108)。
本实施方式中的差值图像是指,从标准样品S0的标准图像的L*图像和作为测 量对象物的样品S的图像的L*图像之间像素值之差所取得的图像。
通过取得上述L*值的差值图像,可以求出样品S和标准样品S0之间的颜色差 异大小。
在此,优选在步骤S107设定的评价区域R3和在步骤S108设定的评价区域R3 是从同一方向拍摄的图像区域R1的同一区域内部。这是因为,如果样品S和标准 样品S0的方向和位置互不相同,则随着其立体形状的不同,照明的照度之间可能产 生若干偏差。
图8显示本实施方式测量的标准样品S0、样品S、被判断为异常品的样品S'的 各图像的示例。其中,(a)是正常样品S的评价区域R3的图像,当取得了与(b)所示 的标准样品S0的评价区域R3的图像之间得差异后,差值图像的像素值如(c)所示, 评价区域R3中接近0。
另一方面,在拍摄了(d)所示的异常品的样品S'的示例中,对于表面产生异常 的部分(图中相对淡色部分),与(e)的标准样品S0相比,像素值不同,因此,差值 图像(f)也会残留像素值。
也就是说,通过判断样品S和标准样品S0之差的差值图像的像素值绝对值总 和是否超过规定阈值,可以判断表面是否发生异常(步骤S109)。
这样,只要从照亮区域R2中提取评价区域R3,获得差值图像,便可以尽可能 消除样品S的立体形状的影响,评价样品S和标准样品S0之间的差异。
另外,在样品S被施加金属涂装的情况下,如图9所示,在图像内可能产生反 射引起的亮点P。这种亮点P由于如涂装内部金属片的正反射而产生,虽然面积十 分小,但作为L*图像中的像素值绝对值却变得非常大。因此,在取得差值图像时, 有可能求出较大的差值。
对此,对于被提取评价区域R3的图像,为了排除诸如亮点P的奇异值,图像处 理部41可以通过应用中位数过滤器和高斯过滤器,执行消除这些亮点的处理。
采用上述构成,可以防止由于细微亮点的位置错位导致误认品质缺陷,因此, 能够以良好的精度来评价样品S和标准样品S0的差异。
图像处理部41的图像处理也可以采用各种图像滤波器进行处理,如在用FFT等 转换成频率空间的基础上应用低通滤波器等进行处理。
关于步骤S109中的差值图像的正常/异常判断,虽然采用了取得差值图像的像 素值的绝对值总和的方法,但并不受此限制。但是,考虑到与标准样品S0的差异可 以取正负双方的值,而且,如果认为完全相同的图像之间差异当然接近于0,则像 素值的总和可以作为表示标准样品S0和样品S之间表面的“颜色不均”大小的指 标,优选把得到的总和用来判断与阈值的差异大小。
不过在以往的方法中,如果照射光,则对于表面形状的影响和微小变化所产生 的被称为微小“颜色不均”的现象,难以用图像进行机械性测量。比如,关于根据 光照方式或微小变化来辨别颜色不均,尽管在人的视觉中可以通过观察比较来辨别 的,但是,如同以往一样照射光,则对于照射范围,用相机拍摄时很难提高检测精 度。
对此,对于照度不均和表面形状所产生的影响,本实施方式从照明光L3照射样 品S的表面而发生正反射的所谓照亮区域R2中选择评价区域R3,可以消除这些照 度不均,以良好的精度进行样品S表面的品质评价。
虽然在本实施方式中,相机装置203把基于超频照相机拍摄的图像数据求出L* 图像用于评价,但也可以使用a*图像和b*图像、饱和度图像。
另外,在使用多光谱照相机和RGB照相机等时,也可以转换为L*a*b*图像用于 评价。
虽然本实施方式使用差值图像的像素值绝对值和作为“颜色不均”的指标,但 除此之外,也可以将差值图像的像素值的标准偏差、基于差值图像像素值平均值的 偏差最大值,作为指标来使用。
对于在步骤S105中说明的评价区域R3的提取,虽然本实施方式从图像区域R1 中提取被照明装置202着凉的区域,换言之,从照明光L受到正反射的区域中提取, 但也可以自动从例如经过测量的图像区域R1中检测照亮的区域。关于该自动检测 方法,例如有把图像区域R1中的像素值或亮度达到一定值以上的区域作为“照亮区 域”的手法。
上述构成不仅让测量时的操作变得简单方便,而且可以尽可能取得较大的评价区域R3,因此具有提高评价精度的效果。
如上所述,为了提高样品S表面品质评价精度,希望把评价区域R3设置得更 大,同时尽可能减小评价区域R3内照度的变化。因此,作为照明装置202的变形, 如图10、图11显示,还可以具有作为照明扩大部的反射镜21,用于均化照度以及 扩大照明范围。
在图10所示的示例中反射镜21是具有凹面弯曲反射面的镜,被设置在光源20 的光路上的下游。
该构成可以大幅度扩大照明光L照射的范围,因此可以扩大照亮区域R2,也因 此可以最大限度地确保限于照亮区域R2内的评价区域R3。
或者在图11所示的其他变形例中,反射镜21是具有由多个平面镜所组合的形 状的反射面的镜。
进而,反射镜21也可以如图12所示的具有作为反射面的功能的多个平面或曲 面,反射面各自通过保持臂部22相互连接,构成自由面。
保持臂部22通过自由弯曲各个连接的反射面,可以形成多面形状和弯曲形状 等。
该构成可以根据形状选择合适的照明。
虽然本实施方式使用反射镜作为照明扩大部,但除了上述构成以外,如果使用 扩散反射板,也可以兼具作为后述的光扩散部的功能,为此,可减少照明装置202 的元件数量,有助于节省空间和降低成本。
除类似反射镜的反射型光学元件以外,也可以将使用透镜等的扩大光学系统设置在光源20的光路上的下游,作为照明扩大部使用。
照明装置202还可以如图13、图14所示,具有用于均化照度的光扩散部。图 13是为了使光源20发射的光成为散漫光而设置扩散板23的例子。扩散板23被设 置在光源20的LED基板20a和作为光源发挥作用的发光部20b的射出一方,具有 作为减少透过的照明光L照度不均的光扩散部的功能。根据上述构成,可以减少光 源20的照度不均,照射均匀的散漫光。
图14所示的照明装置202是具有光源20、导光板24、设置在导光板24背部 的反射板25以及被设置在反射板25的光路下游的扩散板23。照明装置202使光源 20发生的光入射导光板24,通过位于导光板24的背部的反射板25反射,使得反 射光L如图12所示地射出。
在上述构成中,导光板24、设置在导光板24背部的反射板25以及被设置在反 射板25的光路下游一方的扩散板23具有光扩散部的功能,用于均化照明光L在照 射区域R2中的照度。该构成可以减少光源20的照度不均,照射均匀的散漫光。此 外,采用导光板24,即使光源20不具有足够大的面积,也可以以较少的光源获得 大面积且均匀的照度分布。
《第二实施方式》
作为第二实施方式,照明装置202如图15、图16所示,也可设置在光源20的 光路上的下游,具有用来让照明光L成为平行光的光平行部。
照明装置202射出的照明光L通常方向参差不齐。在第二实施方式中将探讨尤 其是样品S的表面施有金属涂层,混入铝粒子等金属片30,使其产生所得谓光泽感 时的表面品质评价。
通常认为,在如混入金属片30的样品S中,色层内的金属片取向差异会造成颜 色不均。
但是,如图17中的(a)所示,如果用漫射光作为光源,或照射方向不一致的照 明光L照射,那么,某个金属片受到照射时其反射方向也会各不相同。因而,尤其 是对于这样的金属涂装评价,需要采用能够抑制这种差异的照明装置202。
在本实施方式中,如图15所示,照明装置202具有作为光平行部的一对凸镜 27和针孔板28。针孔板28是中心部设有口开的板,起到所谓的光圈效果。从光源 20射出的光受到一个凸镜27聚光,通过针孔板28后再次通过另一个凸镜27成为 平行光,成为平行光的照明光L照射到样品S的表面上。
按照上述构成,照明光L以平行光照射,因此如图17的(b)所示,对某一取向 的金属片的反射方向一致,为此可以利用相机装置203检测出由于金属片的取向差 异而产生的颜色不均。
图16显示照明装置202在光源20的光路上的下游设有两片光控制薄膜29作 为光平行部,该两片光控制薄膜29被设置为发散方向相互正交。光控制薄膜29的 每个胶片上都具有以虚线表示的平行的取向轴29a,光控制薄膜29具备透过的光线 平行于取向轴29a的情况下容易透过,除此以外的情况下不易透过的性质。由于只 能在特定方向上控制光的入射/射出角度,因此通过把上述两片光控制薄膜29相互 正交地使用,可以让从光源20射出的光之中只有与光轴平行的成分透过。
该一对光控制薄膜29在照明装置202中起到光平行部的作用。
上述构成将照明光L作为平行光照射,因此如图17中的(b)所示,可以统一某 一取向的金属片的反射方向,因而能够用相机装置203检测金属片的取向差异所造 成的颜色不均。
图18显示评价系统200的支持体201作为移动样品S的驱动手段的例子。
在样品S表面曲率较大等情况下,单靠一次测量很难评价整个样品S。因此, 如果支持体201构成为可以自动或者手动操作,则通过反复交替样品S的移动和摄 影,就能够测量多个面,方便整个样品S的品质评价。优选支持体201可以同时控 制样品S的位置和角度,也可以使用机器臂。
评价系统200也可以如图19所示,具有用于使照明装置202移动的照明装置 驱动装置71和用于使相机装置203移动的摄像装置驱动装置72。图19的照明装置 驱动装置71是可以在保持照明装置202与样品S之间距离不变的情况下移动的轨 道形状保持部。同样,摄像装置驱动装置72也是可以在保持相机装置203与样品S 之间距离不变的情况下移动的轨道形状保持部。
上述构成能够根据样品S需要测量的面来选择合适的照明角度和摄影角度进行测量,因此有望进一步提高精度。
如图20所示,可以如同一体形成的保持部73那样,把照明装置驱动装置和摄 像装置驱动装置一体形成,用以在照明装置202和相机装置203的相对位置关系保 持一定的状态下移动照明装置202和相机装置203。保持部73除可以在样品S上以 Y轴为中心在XZ平面上旋转之外,还起到保持装置的作用,照明装置202和相机装 置203能够在保持部73的保持下,沿着保持部73的延伸方向滑移。
上述构成,即使在样品S的测量位置发生变化时,也可以抑制测量面上照度变 动,选择适当的照明角度和摄影角度进行测量,有望提高精度。
以上说明了本发明的优选实施方式,但本发明并不受限于该特定的实施方式, 只要在上述说明中特别限制,允许在不超出本发明的专利申请范围所记载的宗旨范 畴内可以进行各种变形和更改。
例如,本实施方式中说明了测量系统具有摄像装置,用该摄像装置拍摄RGB图 像,但在从外部赋予RGB图像等的情况下,测量系统也可以对该图像进行质量评价。
虽然本实施方式展示了评价系统200,但例如该评价方法可以通过执行上述各 个装置的程序或保存了该程序的各种存储介质来执行。
本发明实施方式所述的效果只是列举了本发明所产生的最佳效果,但本发明的效果并不局限于本发明实施方式中所记载的内容。
符号说明
21照明扩大部(反射镜),22、23光扩散部(扩散板),27凸镜(光平行部),28 针孔板(光平行部),29光控制薄膜(光平行部),40图像评价部,41图像处理部, 42品质评价部,71照明装置驱动装置(保持部),72摄影装置驱动装置(保持部), 73照明装置驱动装置(保持部),摄像装置驱动装置(保持部),200评价系统(评价 装置),201保持体,202照明装置,203摄像装置(相机装置),204照明装置驱 动装置(照明保持部),205摄像装置驱动装置(摄像保持部),R1影像区域,R2照 明区域,R3评价区域。

Claims (15)

1.一种评价装置,其特征在于,具备
照明装置,用于向测量对象物的表面照射光;
摄像装置,用于取得所述测量对象物的表面的图像;以及
图像评价部,用于将所取得的图像之中的规定区域作为评价区域,评价所述测量对象物的品质,
所述图像评价部设定的所述评价区域位于所述图像之中,受到所述照明装置照射的光所照亮的所述测量对象物表面上的区域,即照明区域的内侧。
2.根据权利要求1所述的评价装置,其特征在于,所述照明装置具有用于扩大所述照明区域的照明扩大部。
3.根据权利要求2所述的评价装置,其特征在于,所述照明扩大部以多个弯曲面或多个平面构成。
4.根据权利要求3所述的评价装置,其特征在于,所述照明扩大部可以通过控制多个所述弯曲面或多个所述平面的位置关系来改变形状。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的评价装置,其特征在于,具有
图像处理部,用于用通过所述摄像装置预先拍摄表面的所述品质满足标准的标准物而得到的标准图像、和拍摄所述测量对象物而得到的所述图像,计算差值图像;以及
品质评价部,用于根据所述差值图像的评价区域的像素值绝对值总和,评价所述品质。
6.根据权利要求5所述的评价装置,其特征在于,所述图像处理部对所取得的图像或所述标准图像施加过滤处理。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的评价装置,其特征在于,所述图像评价部自动从所述照明区域中选择所述评价区域。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的评价装置,其特征在于,所述照明装置具有光扩散部,用于均化受到所述光照射的所述照射区域的亮度。
9.根据权利要求1至7中任意一项所述的评价装置,其特征在于,所述照明装置具有光平行部,用于将所述光形成为平行光。
10.根据权利要求1至9中任意一项所述的评价装置,其特征在于,具有驱动装置,用于使得所述测量对象物移动。
11.根据权利要求1至10中任意一项所述的评价装置,其特征在于,具有用于使得所述照明装置移动的照明装置驱动装置、以及使得所述摄像装置移动的摄像装置驱动装置。
12.根据权利要求11所述的评价装置,其特征在于,所述照明装置驱动装置和所述摄像装置驱动装置以所述照明装置和所述摄像装置之间的相对位置关系保持一定的状态使得所述照明装置和所述摄像装置移动。
13.一种评价方法,其特征在于,具备,
向测量对象物表面照射光的照明步骤;
取得所述测量对象物表面的图像的摄像步骤;以及,
将所取得的图像之中的规定区域设定为评价区域的评价区域决定步骤,
在所述图像评价区域决定步骤中,所述评价区域被设定在所述图像之中,受到所述照明装置照射的光所照亮的所述测量对象物表面上的区域,即照亮区域的内侧。
14.一种计算机可读的存储介质,其中保存用于实现包括以下步骤的评价用程序,
向测量对象物表面照射光的照明步骤;
取得所述测量对象物表面的图像的摄像步骤;以及,
将所取得的图像之中的规定区域设定为评价区域的评价区域决定步骤,
在所述图像评价区域决定步骤中,所述评价区域被设定在,所述图像之中,受到所述照明装置照射的光所照亮的所述测量对象物表面上的区域,即照明区域的内侧。
15.一种计算机装置,其中具备保存评价用程序的存储装置以及处理器,所述评价用程序通过处理器执行,实现
向测量对象物表面照射光的照明步骤;
取得所述测量对象物表面的图像的摄像步骤;以及,
将所取得的图像之中的规定区域设定为评价区域的评价区域决定步骤,
在所述图像评价区域决定步骤中,所述评价区域被设定在,所述图像之中,受到所述照明装置照射的光所照亮的所述测量对象物表面上的区域,即照明区域的内侧。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009036747A (ja) * 2007-07-06 2009-02-19 Toray Ind Inc 回路パターンの欠陥検査装置および欠陥検査方法
CN101680752A (zh) * 2007-05-25 2010-03-24 丰田自动车株式会社 形状评价方法、形状评价装置及三维检查装置
CN102144156A (zh) * 2008-09-10 2011-08-03 夏普株式会社 评价装置、校正方法、校正程序、及记录介质
CN102356628A (zh) * 2009-12-08 2012-02-15 松下电器产业株式会社 图像处理装置
CN106104261A (zh) * 2014-03-07 2016-11-09 新日铁住金株式会社 表面性状指标化装置、表面性状指标化方法以及程序
JP2017083414A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 株式会社東芝 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP2017201297A (ja) * 2016-04-27 2017-11-09 新日鐵住金株式会社 板パネルの外観の定量評価方法、装置およびプログラム
JP2019003081A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 マクセル株式会社 光源装置およびヘッドアップディスプレイ装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101680752A (zh) * 2007-05-25 2010-03-24 丰田自动车株式会社 形状评价方法、形状评价装置及三维检查装置
JP2009036747A (ja) * 2007-07-06 2009-02-19 Toray Ind Inc 回路パターンの欠陥検査装置および欠陥検査方法
CN102144156A (zh) * 2008-09-10 2011-08-03 夏普株式会社 评价装置、校正方法、校正程序、及记录介质
CN102356628A (zh) * 2009-12-08 2012-02-15 松下电器产业株式会社 图像处理装置
CN106104261A (zh) * 2014-03-07 2016-11-09 新日铁住金株式会社 表面性状指标化装置、表面性状指标化方法以及程序
JP2017083414A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 株式会社東芝 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP2017201297A (ja) * 2016-04-27 2017-11-09 新日鐵住金株式会社 板パネルの外観の定量評価方法、装置およびプログラム
JP2019003081A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 マクセル株式会社 光源装置およびヘッドアップディスプレイ装置

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