CN112898853A - 一种激光切割保护液及其制备方法和应用 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种激光切割保护液及其制备方法和应用，所述激光切割保护液按照重量百分数包括如下组分：水溶性树脂1％‑20％，溶剂1％‑30％，保湿剂0.5％‑5％，水溶性紫外吸收剂0.1％‑1％，水溶性抗氧剂0.1％‑0.5％，水溶性红色色素2％‑10％，pH调节剂1％‑2％，防腐蚀剂0.1％‑0.2％和水至100％；所述溶剂的沸点高于145℃；所述保湿剂包括含有两个或两个以上羟基的醇类。本发明所述激光切割保护液具有优异的耐热性，可以适应多种激光切割保护的应用需求，能节约设备及物料成本。

Description

一种激光切割保护液及其制备方法和应用
技术领域
本发明涉及激光切割技术领域，尤其涉及一种激光切割保护液及其制备方法和应用。
背景技术
随着高亮度LED市场的不断扩大，提高产能效率和成品良率的需求高涨，因此在高亮度LED加工中激光烧蚀加工及隐形切割方法逐渐成为主流制程。其中激光烧蚀加工兼顾了效率、合格率及成本上的平衡。而且随着半导体集成电路特征尺寸不断微缩，带低介电常数膜(Low-k膜)的晶圆若采用传统的刀轮切割，由于Low-k材料的脆性，存在如下问题：产生划痕、缺损等，或者形成在芯片表面上的作为电路元件所必需的绝缘膜发生剥离过大的应力容易造成晶片的崩边而导致内部结构的破坏，无法得到合格的产品。因此，在利用刀轮进行切割之前，沿切割道照射激光，先去除Low-K材料后，再利用该刀轮进行切割。但激光切割过程中所产生的热效应以及切割过程所产生的碎片污染晶圆表面皆会对后续制程的产品稳定性产生影响，或是在激光切割过程结束后，蒸气冷凝后会在基板材料上容易沉积不需要的材料，增加成品的不良机率。
因此，激光加工前需要涂覆保护液形成保护膜，以便能在加工过程中能够很好的保护芯片其他区域抑制LED晶片表面碎片粘附，在满足蓝宝石、砷化镓、碳化硅以及半导体晶圆等切割保护外，尽可能实现切割道窄小、芯片小型化的要求。
CN108687441A公开了一种切割用保护膜剂，其公开的切割用保护膜剂使得即便是机械强度较低的被加工物，在利用高能量激光的加工中也不会产生碎屑，并且还能够抑制加工飞边的产生。其公开的切割用保护膜剂是含有水溶性树脂和激光吸收剂的切割用保护膜剂，该激光吸收剂中的至少一种用无机氧化物进行了表面处理。但是其公开的切割用保护膜剂对紫外波段均有很好的吸收效率，但对其他波段的激光几乎无吸收，无法应用于其他激光器的切割。
CN103666136A公开了一种激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法，其公开的激光切割用晶圆保护膜组合物包含：含有水溶性树脂的树脂、防腐剂以及作为水或水与有机溶剂的混合物的溶剂。其公开的激光切割用晶圆保护膜组合物是通过添加有机酸、胺、醇、无机酸盐、有机酸盐等防腐蚀剂，有效防止在激光切割工序中，晶圆保护膜组合物起电解液的作用而产生对金属接合焊盘和凸点的腐蚀。但是无法同时满足紫外、绿光及红外激光切割要求。
综上所述，开发一种可以适应多种激光切割保护的应用需求的激光切割保护液至关重要。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种激光切割保护液及其制备方法和应用，所述激光切割保护液具有优异的耐热性，可以适应多种激光切割保护的应用需求，能节约设备及物料成本。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供一种激光切割保护液，所述激光切割保护液按照重量百分数包括如下组分：水溶性树脂1％-20％，溶剂1％-30％，保湿剂0.5％-5％，水溶性紫外吸收剂0.1％-1％，水溶性抗氧剂0.1％-0.5％，水溶性红色色素2％-10％，pH调节剂1％-2％，防腐蚀剂0.1％-0.2％和水至100％。
所述溶剂的沸点高于145℃；
所述保湿剂包括含有两个或两个以上羟基的醇类。
本发明所述激光切割保护液采用沸点高于145℃的溶剂，一方面提高保护胶旋涂时的均一性；另一方面与保湿剂进行配合，在蒸发前可以带走大量的热量，使激光切割保护液具有优异的耐热性，可适用与红外激光切割保护。
本发明所述保湿剂选择含有两个或两个以上羟基的醇类，一方面对保护膜层起到保湿作用，防止膜层的干燥，尤其对于水溶性树脂，保持其溶剂不挥发，有利于清洗；另一方面与水相互作用，提供大量的氢键吸收大量的热，防止保护膜层激光切割过程中过度碳化。
本发明所述水溶性紫外吸收剂和水溶性红色色素的添加一方面可以平衡保护膜层与基底在激光切割时的热分解速度；另一方面根据可见光补色原理，绿光和红光为互补色，使保护膜层可以用紫外激光切割和绿光激光切割。
综上，本发明所述激光切割保护液形成的保护膜层耐热性优异，能满足各波段切割的方式。
所述水溶性树脂在所述激光切割保护液中的重量百分数为1％-20％，例如2％、4％、6％、8％、10％、12％、14％、16％、18％等。
所述溶剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为1％-30％，例如5％、10％、15％、20％、25％等。
所述保湿剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为0.5％-5％，例如1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％、4.5％等。
所述水溶性紫外吸收剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为0.1％-1％，例如0.2％、0.3％、0.4％、0.5％、0.6％、0.7％、0.8％、0.9％等。
所述水溶性抗氧剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为0.1％-0.5％，例如0.2％、0.3％、0.4％等。
所述水溶性红色色素在所述激光切割保护液中的重量百分数为2％-10％，例如3％、4％、5％、6％、7％、8％、9％等。
所述pH调节剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为1％-2％，例如1.2％、1.4％、1.6％、1.8％等。
所述防腐蚀剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为0.1％-0.2％，例如0.1％、0.15％等。
优选地，所述水溶性树脂包括聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、聚乙烯吡咯烷酮-醋酸乙烯共聚物、聚环氧乙烷、甲基纤维素、乙基纤维素、羟丙基纤维素或聚乙烯醇-聚丙烯酸嵌段共聚物中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：聚乙烯醇和聚乙烯吡咯烷酮的组合，聚丙烯酸、聚丙烯酰胺和聚乙烯吡咯烷酮-醋酸均聚物的组合，聚环氧乙烷、甲基纤维素、乙基纤维素和羟丙基纤维素的组合聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、聚乙烯吡咯烷酮-醋酸均聚物、聚环氧乙烷、甲基纤维素和乙基纤维素的组合等。
本发明所述水溶性树脂主要是形成保护膜层，用于阻挡以及粘附激光切割加工过程中产生的碎屑。
优选地，所述水溶性树脂的数均分子量为60000-90000g/mol，例如65000g/mol、70000g/mol、75000g/mol、80000g/mol、85000g/mol等。
若选择低分子量的树脂水溶性更好，更便于清洗，但耐热性不足；相反高分子量的树脂耐热性好，但水溶性变差，因此本发明选择数均分子量为60000-90000g/mol的中高分子量的水溶性树脂作为原料。
优选地，所述溶剂包括乙二醇单苯醚、二丙酮醇、乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚、二乙二醇乙醚或二乙二醇丁醚中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：乙二醇单苯醚和二丙酮醇的组合，乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚和二乙二醇乙醚的组合，乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚、二乙二醇乙醚和二乙二醇丁醚的组合，乙二醇单苯醚、二丙酮醇、乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚、二乙二醇乙醚和二乙二醇丁醚的组合等。
优选地，所述溶剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为5％-20％，例如6％、8％、10％、12％、14％、16％、18％等。
优选地，所述保湿剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为0.5％-2％，例如0.6％、0.8％、1％、1.2％、1.4％、1.6％、1.8％等。
优选地，所述保湿剂包括乙二醇、二甘醇、二丙二醇、1,2-丙二醇、聚乙二醇、丙三醇或三甘醇中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的的组合包括：乙二醇和二甘醇的组合，二丙二醇、1,2-丙二醇和聚乙二醇的组合，1,2-丙二醇、聚乙二醇、丙三醇和三甘醇的组合等。
优选地，所述聚乙二醇的重均分子量小于700g/mol，例如600g/mol、500g/mol、400g/mol等。
优选地，所述水溶性紫外吸收剂包括二苯甲酮-4,4-二羧酸、二苯甲酮-4-羧酸、2-羧基蒽醌、1,2-萘二羧酸、1,8-萘二羧酸、2,3-萘二羧酸、2,6-萘二羧酸、2,7-萘二羧酸、钠盐、钾盐、铵盐、2,6-蒽醌二磺酸钠盐或2,7-蒽醌二磺酸钠盐中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：二苯甲酮-4,4-二羧酸和二苯甲酮-4-羧酸的组合，二苯甲酮-4-羧酸、2-羧基蒽醌和1,2-萘二羧酸的组合，1,8-萘二羧酸、2,3-萘二羧酸、2,6-萘二羧酸、2,7-萘二羧酸和钠盐的组合等。
本发明所述水溶性紫外吸收剂主要用于紫外激光吸收，要求其所用的激光的波长在其最大吸收波长范围内，以保证其高效的紫外激光吸收率。上述水溶性紫外吸收剂的吸收能力能较好的满足工艺生产需求，当吸收能力不足，即选择的吸收剂吸收波长范围不当或者用量不足时，会导致保护膜层的热分解明显低于被切基底，基底优先热分解气化，气化产生的压力将导致保护膜脱落，造成切割到外周边部分碎屑堆积；当紫外吸收能力过强，基底反射的激光也会导致保护膜的热分解，这就导致激光加工的宽度明显变宽，不能保证窄小化的切割要求。
优选地，所述水溶性抗氧剂包括抗坏血酸、单宁酸、茶多酚、半胱氨酸或亚硫酸钠中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：坏血酸和单宁酸的组合，单宁酸、茶多酚和半胱氨酸的组合，单宁酸、茶多酚、半胱氨酸和亚硫酸钠的组合等。
本发明所述水溶性抗氧剂的添加主要提高水溶性树脂的耐热性以及防止水溶性树脂在储存过程中的氧化分解。
优选地，所述水溶性红色色素包括食品红2号色素、苋菜红色素、胭脂红色素、食品红105号色素、茜草红色素、紫草红色素、新红色素、赤藓红色素或诱惑红色素中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：食品红2号色素和苋菜红色素的组合，苋菜红色素、胭脂红色素和食品红105号色素的组合，茜草红色素、紫草红色素、新红色素和赤藓红色素的组合，茜草红色素、紫草红色素、新红色素、赤藓红色素和诱惑红色素的组合等。
本发明所述水溶性红色色素选择食品添加剂的色素可以减少环境的污染和负荷量。
优选地，所述水溶性红色色素在所述激光切割保护液中的重量百分数为2％-5％，例如2.5％、3％、3.5％、4％、4.5％等。
优选地，所述pH调节剂包括有机酸和/或有机碱。
优选地，所述有机酸包括甲酸、乙酸、乳酸、丙酸、丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、酒石酸、苯甲酸、水杨酸、马来酸或乙醇酸中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：乙酸和乳酸的组合，丙酸、丁酸和草酸的组合，丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸和酒石酸的组合，丙二酸、琥珀酸、酒石酸、苯甲酸、水杨酸、马来酸和乙醇酸的组合等。
优选地，所述有机碱包括单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、单甲基乙醇胺、二乙二醇胺、二甲基氨基丙胺、N,N-二甲基环己基胺、乙二胺、二亚乙基三胺或三亚乙基四胺中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：单乙醇胺、二乙醇胺和三乙醇胺的组合，二乙醇胺、三乙醇胺、二甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和单甲基乙醇胺的组合，单甲基乙醇胺、二乙二醇胺、二甲基氨基丙胺、N,N-二甲基环己基胺、乙二胺、二亚乙基三胺和三亚乙基四胺的组合等。
优选地，所述防腐蚀剂包括金属缓蚀剂。防腐蚀剂的添加可以阻碍激光切割膜中的电解质对器件上的锡球、铜面等金属产生腐蚀。
优选地，所述金属缓蚀剂包括杂环非磷酸类金属缓蚀剂和/或有机磷酸类金属缓蚀剂。
优选地，所述杂环非磷酸类金属缓蚀剂包括三唑、苯并三氮唑、苯并噻唑或巯基苯并噻唑中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：三唑和苯并三氮唑的组合，苯并三氮唑、苯并噻唑和巯基苯并噻唑的组合，三唑、苯并三氮唑、苯并噻唑和巯基苯并噻唑的组合等。
优选地，所述有机磷酸类金属缓蚀剂包括氨基三甲叉膦酸(ATMP)、羟基乙叉二膦酸(HEDP)、乙二胺四亚甲基膦酸(EDTMP)、2-磷酸基-1,2,4-三羧酸丁烷(PBTCA)或二乙烯三胺五亚甲基叉膦酸(DTPMP)中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合包括：ATMP和HEDP的组合，ATMP、HEDP和EDTMP的组合，HEDP、EDTMP、PBTCA和DTPMP的组合等。
第二方面，本发明提供一种第一方面所述的激光切割保护液，所述制备方法包括如下步骤：将水溶性树脂、溶剂、保湿剂、水溶性紫外吸收剂、水溶性抗氧剂、水溶性红色色素、防腐蚀剂和pH调节剂按照重量百分数在水中混合溶解后过滤，得到所述激光切割保护液。
优选地，所述制备方法包括如下步骤：将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，过滤，得到所述激光切割保护液。
优选地，所述制备方法中加入pH调节剂后体系的pH为2-6，例如3、4、5等，优选4-6。
本发明所述激光切割保护液的pH值在2-6范围，优选4-6，原因在于在酸性条件下更容易形成大量的氢键网络，提高保护膜层的吸热能力。
优选地，所述过滤使用的是20-100nm的滤芯，例如30nm、40nm、50nm、60nm、70nm、80nm、90nm等。
作为优选的技术方案，所述制备方法包括如下步骤：将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，调节pH至2-6，使用20-100nm的滤芯完成过滤，得到所述激光切割保护液。
第三方面，本发明提供一种第一方面所述的激光切割保护液在紫外激光切割、绿光激光切割或红外激光切割中的应用。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
本发明所述激光切割保护液具有优异的耐热性，即使采用较高的8W红外切割也能达到保护效果，没有出现边缘明显碳化物堆积现象，即黑边，可以适应多种激光切割保护的应用需求，能节约设备及物料成本。
附图说明
图1是使用实施例1所述激光切割保护液经过紫外激光切割清洗后的图片。
图2是使用实施例1所述激光切割保护液经过绿光激光切割清洗后的图片。
图3是使用实施例1所述激光切割保护液经过红外激光切割清洗后的图片。
图4是使用对比例1所述激光切割保护液经过红外激光切割清洗后的图片。
具体实施方式
为便于理解本发明，本发明列举实施例如下。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
实施例1
本实施例提供一种激光切割保护液，所述激光切割保护液按照重量百分数包括如下组分：水溶性树脂20％(聚乙烯吡咯烷酮，数均分子量75000g/mol，购于BASF，牌号为Luvitec@)，溶剂20％(二丙酮醇)，保湿剂2％(丙二醇)，水溶性紫外吸收剂0.5％(二苯甲酮-4-羧酸)，水溶性抗氧剂0.25％(单宁酸)，水溶性红色色素5％(食品红105号)，pH调节剂1.5％(乙醇胺)，防腐蚀剂0.15％(苯并三氮唑)和水50.6％。
上述激光保护液的制备方法如下：
将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，调节pH至4，使用80nm的滤芯完成过滤，得到所述激光切割保护液。
实施例2
本实施例提供一种激光切割保护液，所述激光切割保护液按照重量百分数包括如下组分：水溶性树脂10％(聚乙烯醇，数均分子量60000g/mol，购于川维，牌号为2488)，溶剂5％(乙二醇丁醚)，保湿剂0.5％(聚乙二醇，数均分子量为400g/mol，购于陶氏化学，牌号为PEG-400)，水溶性紫外吸收剂0.1％(二苯甲酮-4,4-二羧酸)，水溶性抗氧剂0.1％(亚硫酸钠)，水溶性红色色素2％(赤藓红)，pH调节剂1％(乙酸)，防腐蚀剂0.1％(巯基苯并噻唑)和水81.2％。
上述激光保护液的制备方法如下：
将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，调节pH至2，使用20nm的滤芯完成过滤，得到所述激光切割保护液。
实施例3
本实施例提供一种激光切割保护液，所述激光切割保护液按照重量百分数包括如下组分：水溶性树脂3％(羟丙基纤维素，数均分子量90000g/mol，购于陶氏，牌号为METHOCEL K100MP)，溶剂30％(质量比为1:1的乙二醇丁醚和乙二醇叔丁醚)，保湿剂5％(质量比为2:1的二丙二醇和二甘醇)，水溶性紫外吸收剂1％(2,7-蒽醌二磺酸钠盐)，水溶性抗氧剂0.5％(亚硫酸钠)，水溶性红色色素10％(胭脂红)，pH调节剂2％(N,N-二甲基环己基胺)，防腐蚀剂0.2％(质量比为1:1的苯并噻唑和ATMP)和水48.3％。
上述激光保护液的制备方法如下：
将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，调节pH至6，使用100nm的滤芯完成过滤，得到所述激光切割保护液。
对比例1
本对比例与实施例3的区别在于不添加水溶性紫外吸收剂，水的重量百分数为49.3％，制备方法中不包括水溶性紫外吸收剂的添加，其余均与实施例3相同。
对比例2
本对比例与实施例3的区别在于不添加水溶性红色色素，水的重量百分数为58.3％，制备方法中不包括水溶性红色色素的添加，其余均与实施例3相同。
对比例3
本对比例与实施例3的区别在于不添加溶剂，保湿剂的重量百分数为35％，制备方法中不包括溶剂的添加，其余均与实施例3相同。
对比例4
本对比例与实施例3的区别在于不添加保湿剂，溶剂的重量百分数为35％，制备方法中不包括保湿剂的添加，其余均与实施例3相同。
对比例5
本对比例与实施例3的区别在于不添加溶剂和保湿剂，水溶性树脂的重量百分数为83.3％，制备方法中不包括溶剂和保湿剂的添加，其余均与实施例3相同。
性能测试
将实施例1-3和对比例1-5进行如下测试：
在待切的晶圆或LED上通过旋涂的方式将激光切割保护液涂覆成膜，旋涂参数为：1500～2000rpm，30sec，加速度ACC：1000；旋涂后在室温下保证在3h内进行激光切割，否则可能因为保护膜溶剂挥发过多，导致清洗不净。后续采用紫外光、红外及绿光激光进行切割。切割后采用二流体清洗，清洗时间为2-5min，以不残留保护膜为准。
其中，紫外光切割参数：355nm的紫外光切割两道，划片速度分别为200mm/s和300mm/s，功率为1.5W。
红外光切割参数：1064nm的紫外光切割一道，划片速度为220mm/s，功率为8W。
绿光切割参数：532nm的绿光切割三道，两侧的切割频率、功率和速度分别为1500KHz、5W和200mm/s；中间的切割频率、功率和速度分别为1200KHz、4W和180mm/s。
测试结果汇总于表1和图1-图3中。
表1
紫外光切割 红外光切割 绿光切割
实施例1 OK OK OK
实施例2 OK OK OK
实施例3 OK OK OK
对比例1 黑边 OK OK
对比例2 OK OK 黑边
对比例3 OK 黑边 OK
对比例4 OK 黑边 OK
对比例5 黑边 黑边 黑边
分析表1结果可知，本发明所述激光切割保护液可以适应多种激光切割保护的应用需求，即使采用较高的8W红外切割也能达到保护效果，不出现边缘明显碳化物堆积现象，即黑边，可以节约设备及物料成本。图1-图3分别是使用实施例1所述激光切割保护液经过紫外激光、绿光激光和红外激光切割清洗后的图片，图1和图2可以看出明显的划痕，切割比较规整，未出现黑边，图3中能更清晰地看出，白边边缘不存在碳化堆积。
分析对比例1-5与实施例3可知，对比例1-5不能同时满足多种激光切割保护的应用需求，性能不如实施例3，图3和图4分别是使用实施例1和对比例1所述激光切割保护液经过红外激光切割清洗后的图片，对比图3和图4可以看出，图4存在明显的黑边，证明采用本发明在溶剂和保湿剂的配合作用下，加入水溶性紫外吸收剂和水溶性红色色素所形成的激光切割保护液可以适应多种激光切割保护的应用需求。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细方法，但本发明并不局限于上述详细方法，即不意味着本发明必须依赖上述详细方法才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种激光切割保护液，其特征在于，所述激光切割保护液按照重量百分数包括如下组分：水溶性树脂1％-20％，溶剂1％-30％，保湿剂0.5％-5％，水溶性紫外吸收剂0.1％-1％，水溶性抗氧剂0.1％-0.5％，水溶性红色色素2％-10％，pH调节剂1％-2％，防腐蚀剂0.1％-0.2％和水至100％；
所述溶剂的沸点高于145℃；
所述保湿剂包括含有两个或两个以上羟基的醇类。
2.根据权利要求1所述的激光切割保护液，其特征在于，所述水溶性树脂包括聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、聚乙烯吡咯烷酮-醋酸乙烯共聚物、聚环氧乙烷、甲基纤维素、乙基纤维素、羟丙基纤维素或聚乙烯醇-聚丙烯酸的嵌段共聚物中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述水溶性树脂的数均分子量为60000-90000g/mol。
3.根据权利要求1或2所述的激光切割保护液，其特征在于，所述溶剂包括乙二醇单苯醚、二丙酮醇、乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚、二乙二醇乙醚或二乙二醇丁醚中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述溶剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为5％-20％。
4.根据权利要求1-3任一项所述的激光切割保护液，其特征在于，所述保湿剂在所述激光切割保护液中的重量百分数为0.5％-2％；
优选地，所述保湿剂包括乙二醇、二甘醇、二丙二醇、1,2-丙二醇、聚乙二醇、丙三醇或三甘醇中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述聚乙二醇的重均分子量小于700g/mol。
5.根据权利要求1-4任一项所述的激光切割保护液，其特征在于，所述水溶性紫外吸收剂包括二苯甲酮-4,4-二羧酸、二苯甲酮-4-羧酸、2-羧基蒽醌、1,2-萘二羧酸、1,8-萘二羧酸、2,3-萘二羧酸、2,6-萘二羧酸、2,7-萘二羧酸、钠盐、钾盐、铵盐、2,6-蒽醌二磺酸钠盐或2,7-蒽醌二磺酸钠盐中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述水溶性抗氧剂包括抗坏血酸、单宁酸、茶多酚、半胱氨酸或亚硫酸钠中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述水溶性红色色素包括食品红2号色素、苋菜红色素、胭脂红色素、食品红105号色素、茜草红色素、紫草红色素、新红色素、赤藓红色素或诱惑红色素中的任意一种或至少两种的组合。
6.根据权利要求1-5任一项所述的激光切割保护液，其特征在于，所述水溶性红色色素在所述激光切割保护液中的重量百分数为2％-5％；
优选地，所述pH调节剂包括有机酸和/或有机碱；
优选地，所述有机酸包括甲酸、乙酸、乳酸、丙酸、丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、酒石酸、苯甲酸、水杨酸、马来酸或乙醇酸中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述有机碱包括单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、单甲基乙醇胺、二乙二醇胺、二甲基氨基丙胺、N,N-二甲基环己基胺、乙二胺、二亚乙基三胺或三亚乙基四胺中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述防腐蚀剂包括金属缓蚀剂；
优选地，所述金属缓蚀剂包括杂环非磷酸类金属缓蚀剂和/或有机磷酸类金属缓蚀剂；
优选地，所述杂环非磷酸类金属缓蚀剂包括三唑、苯并三氮唑、苯并噻唑或巯基苯并噻唑中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述有机磷酸类金属缓蚀剂包括氨基三甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸、乙二胺四亚甲基膦酸、2-磷酸基-1,2,4-三羧酸丁烷或二乙烯三胺五亚甲基叉膦酸中的任意一种或至少两种的组合。
7.一种根据权利要求1-6任一项所述的激光切割保护液，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：将水溶性树脂、溶剂、保湿剂、水溶性紫外吸收剂、水溶性抗氧剂、水溶性红色色素、防腐蚀剂和pH调节剂按照重量百分数在水中混合溶解后过滤，得到所述激光切割保护液。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，过滤，得到所述激光切割保护液；
优选地，所述制备方法中加入pH调节剂后体系的pH为2-6，优选4-6；
优选地，所述过滤使用的是20-100nm的滤芯。
9.根据权利要求7或8所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：将水溶性树脂、溶剂和保湿剂按照重量百分数在水中搅拌混合，再按照重量百分数加入水溶性抗氧剂、水溶性红色色素和防腐蚀剂，溶解后按照重量百分数加入pH调节剂，调节pH至2-6，使用20-100nm的滤芯完成过滤，得到所述激光切割保护液。
10.一种根据权利要求1-6任一项所述的激光切割保护液在紫外激光切割、绿光激光切割或红外激光切割中的应用。
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