CN112898030A - Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法 - Google Patents

Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112898030A
CN112898030A CN202110154692.5A CN202110154692A CN112898030A CN 112898030 A CN112898030 A CN 112898030A CN 202110154692 A CN202110154692 A CN 202110154692A CN 112898030 A CN112898030 A CN 112898030A
Authority
CN
China
Prior art keywords
temperature
pvt
thermocouple sheath
growth equipment
preparing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110154692.5A
Other languages
English (en)
Inventor
不公告发明人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Keyou Semiconductor Industry Equipment and Technology Research Institute Co Ltd
Original Assignee
Harbin Keyou Semiconductor Industry Equipment and Technology Research Institute Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Keyou Semiconductor Industry Equipment and Technology Research Institute Co Ltd filed Critical Harbin Keyou Semiconductor Industry Equipment and Technology Research Institute Co Ltd
Priority to CN202110154692.5A priority Critical patent/CN112898030A/zh
Publication of CN112898030A publication Critical patent/CN112898030A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/66—Monolithic refractories or refractory mortars, including those whether or not containing clay
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
    • C04B41/5133—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal with a composition mainly composed of one or more of the refractory metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/88—Metals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
    • G01K1/12—Protective devices, e.g. casings for preventing damage due to heat overloading
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6562—Heating rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6565—Cooling rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6567—Treatment time
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/94—Products characterised by their shape

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，它涉及一种电偶护套的制备方法。本发明是为了解决高温热电偶钨铼丝极易被氧化、易弯曲的技术问题。本方法如下：将Si3N4、ZrO2和Y2O3放入三维振动混合器中充分混合放入预制好的模具压制，然后烧结、沉积、退火处理2小时，即得PVT法高温生长设备用热电偶护套。ZrO2增韧Si3N4材料可以保证极抗热震的Si3N4的韧性进一步增强，这样在温度1850‑2200℃以上的温度，保证保护套不会因接触坩埚顶和坩埚底时产生弯曲和碎裂，另一方面在突然升温和降温时，也可以保证护套的稳定性。本发明属于电偶护套的制备领域。

Description

PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法
技术领域
本发明涉及一种电偶护套的制备方法。
背景技术
目前PVT法氮化铝晶体生长技术所需要的生长温度在1850-2200℃以上，由于整个过程，坩埚有可能会处于移动状态，所以就需要高强度高韧性可移动的热电偶来保证在这样高的温度下持续稳定的保证测温动作持续进行，并且热电偶有时还需要接触到坩埚顶或底部，所以使用传统钨铼材料进行，可能造成弯曲。高温热电偶钨铼丝极易被氧化，即使PVT设备一般都是在真空环境，也不能保证完全没有氧的存在，为保证高温热电偶中钨铼丝的可以长期稳定的使用，因此可以制造一个高强度高韧性的保护套管是非常必要的。
发明内容
本发明的目的是为了解决高温热电偶钨铼丝极易被氧化、易弯曲的技术问题，提供了一种PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法。
本发明的PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法按照以下步骤进行：
一、将Si3N4、ZrO2和Y2O3放入三维振动混合器中充分混合10-15小时，得到混合物；
其中在混合物中ZrO2的重量百分含量为10-30wt.％，Y2O3的重量百分含量为0.5％；二、将步骤一的混合物放入预制好的模具，通过冷等静压的方式，在均压力200-300MPa的条件下，压制10min，得到成型后的套管材料；
三、将成型后的套管材料放入热压烧结炉内，以20-30MPa的压力，在真空中首先从室温开始以3℃/min的升温速率将温度升至1300-1350℃，再以1℃/min的加热速率加热至1800-2000℃，然后停留2-8小时，随后以0.5℃/min的降温速率降至1400℃，保持2小时，再以2.5℃/min的降温速率将温度降至室温，得到烧结好的套管材料；
四、烧结好的套管材料放入电弧离子镀设备，阴极使用高纯Zr靶材料，在沉积温度为130-200℃的条件下，通入流量为130sccm氧气和流量为90sccm氩气，并在2小时内减少氧气流量至零，同时保持氩气流量不变；
五、重复步骤四三次，得到形成梯度ZrO2-Zr材料的套管，然后在1200℃的条件下，退火处理2小时，即得PVT法高温生长设备用热电偶护套。
步骤一中所述Si3N4粒度为0.5μm。步骤一中所述ZrO2粒度为0.5μm。
步骤四中所述高纯Zr靶材料的纯度为99.999％。
ZrO2增韧Si3N4材料可以保证极抗热震的Si3N4的韧性进一步增强，这样在温度1850-2200℃以上的温度，保证保护套不会因接触坩埚顶和坩埚底时产生弯曲和碎裂，另一方面在突然升温和降温时，也可以保证护套的稳定性。再者，保护套外电弧离子镀ZrO2+Zr梯度膜层，薄膜的防护能力表现在物理化学性能和力学性能抗氧化性能两个方面，物理化学性能分组织和性质的化学稳定性和抗扩散渗透性能。ZrO2薄膜含有少量的锆原子，锆容易吸收氢、氮和氧气，1000℃时氧气溶于锆中能使其体积显著增加，是理想的吸气剂，锆的熔点为1852℃，钨铼热电偶的测温在2000℃以上时，金属锆会融化，形成液相，填充在氧化锆晶体的孔隙中，形成更加致密的薄膜，增强了隔绝氧气的作用，即增强了抗氧化能力。其次，高温时，金属锆可与非金属元素和许多金属元素反应，生成固体溶液化合物。当钨铼热电偶的测温在2000℃以上时，氧气会与液相的锆反应生成氧化锆，进一步吸收了氧气，增强了薄膜的抗氧化应力。因此这样的薄膜设计理论上满足钨铼热电偶丝抗氧化的目的以及延缓氧气的渗入。
具体实施方式
本发明技术方案不局限于以下所列举具体实施方式，还包括各具体实施方式间的任意组合。
具体实施方式一：本实施方式PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法按照以下步骤进行：
一、将Si3N4、ZrO2和Y2O3放入三维振动混合器中充分混合10-15小时，得到混合物；
其中在混合物中ZrO2的重量百分含量为10-30wt.％，Y2O3的重量百分含量为0.5％；二、将步骤一的混合物放入预制好的模具，通过冷等静压的方式，在均压力200-300MPa的条件下，压制10min，得到成型后的套管材料；
三、将成型后的套管材料放入热压烧结炉内，以20-30MPa的压力，在真空中首先从室温开始以3℃/min的升温速率将温度升至1300-1350℃，再以1℃/min的加热速率加热至1800-2000℃，然后停留2-8小时，随后以0.5℃/min的降温速率降至1400℃，保持2小时，再以2.5℃/min的降温速率将温度降至室温，得到烧结好的套管材料；
四、烧结好的套管材料放入电弧离子镀设备，阴极使用高纯Zr靶材料，在沉积温度为130-200℃的条件下，通入流量为130sccm氧气和流量为90sccm氩气，并在2小时内减少氧气流量至零，同时保持氩气流量不变；
五、重复步骤四三次，得到形成梯度ZrO2-Zr材料的套管，然后在1200℃的条件下，退火处理2小时，即得PVT法高温生长设备用热电偶护套。
具体实施方式二：本实施方式与具体实施方式一不同的是步骤一中所述Si3N4粒度为0.5μm。其他与具体实施方式一相同。
具体实施方式三：本实施方式与具体实施方式一或二不同的是步骤一中所述ZrO2粒度为0.5μm。其他与具体实施方式一或二相同。
具体实施方式四：本实施方式与具体实施方式一至三之一不同的是步骤二中在均压力230MPa的条件下，压制10min。其他与具体实施方式一至三之一相同。
具体实施方式五：本实施方式与具体实施方式一至四之一不同的是步骤二中在均压力280MPa的条件下，压制10min。其他与具体实施方式一至四之一相同。
具体实施方式六：本实施方式与具体实施方式一至五之一不同的是步骤三中以3℃/min的升温速率将温度升至1320℃。其他与具体实施方式一至五之一相同。
具体实施方式七：本实施方式与具体实施方式一至六之一不同的是步骤三中再以1℃/min的加热速率加热至1900℃，然后停留5小时。其他与具体实施方式一至六之一相同。
具体实施方式八：本实施方式与具体实施方式一至七之一不同的是步骤四中所述高纯Zr靶材料的纯度为99.999％。其他与具体实施方式一至七之一相同。
具体实施方式九：本实施方式与具体实施方式一至八之一不同的是步骤四中所述沉积温度为150℃。其他与具体实施方式一至八之一相同。
具体实施方式十：本实施方式与具体实施方式一至九之一不同的是步骤四中所述沉积温度为180℃。其他与具体实施方式一至九之一相同。

Claims (10)

1.PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法按照以下步骤进行：
一、将Si3N4、ZrO2和Y2O3放入三维振动混合器中充分混合10-15小时，得到混合物；
其中在混合物中ZrO2的重量百分含量为10-30wt.％，Y2O3的重量百分含量为0.5％；
二、将步骤一的混合物放入预制好的模具，通过冷等静压的方式，在均压力200-300MPa的条件下，压制10min，得到成型后的套管材料；
三、将成型后的套管材料放入热压烧结炉内，以20-30MPa的压力，在真空中首先从室温开始以3℃/min的升温速率将温度升至1300-1350℃，再以1℃/min的加热速率加热至1800-2000℃，然后停留2-8小时，随后以0.5℃/min的降温速率降至1400℃，保持2小时，再以2.5℃/min的降温速率将温度降至室温，得到烧结好的套管材料；
四、烧结好的套管材料放入电弧离子镀设备，阴极使用高纯Zr靶材料，在沉积温度为130-200℃的条件下，通入流量为130sccm氧气和流量为90sccm氩气，并在2小时内减少氧气流量至零，同时保持氩气流量不变；
五、重复步骤四三次，得到形成梯度ZrO2-Zr材料的套管，然后在1200℃的条件下，退火处理2小时，即得PVT法高温生长设备用热电偶护套。
2.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤一中所述Si3N4粒度为0.5μm。
3.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤一中所述ZrO2粒度为0.5μm。
4.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤二中在均压力230MPa的条件下，压制10min。
5.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤二中在均压力280MPa的条件下，压制10min。
6.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤三中以3℃/min的升温速率将温度升至1320℃。
7.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤三中再以1℃/min的加热速率加热至1900℃，然后停留5小时。
8.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤四中所述高纯Zr靶材料的纯度为99.999％。
9.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤四中所述沉积温度为150℃。
10.根据权利要求1所述PVT法高温生长设备用热电偶护套的制备方法，其特征在于步骤四中所述沉积温度为180℃。
CN202110154692.5A 2021-02-04 2021-02-04 Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法 Pending CN112898030A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110154692.5A CN112898030A (zh) 2021-02-04 2021-02-04 Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110154692.5A CN112898030A (zh) 2021-02-04 2021-02-04 Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112898030A true CN112898030A (zh) 2021-06-04

Family

ID=76122303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110154692.5A Pending CN112898030A (zh) 2021-02-04 2021-02-04 Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112898030A (zh)

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB870354A (en) * 1959-01-15 1961-06-14 Superheater Co Ltd Improvements in temperature measuring arrangements
CN85103011A (zh) * 1985-04-03 1986-09-10 国家建材局山东工业陶瓷研究所 高韧性氮化硅基陶瓷刀具材料及其制造方法
CN1059137A (zh) * 1990-08-24 1992-03-04 陶氏化学公司 高断裂韧性自增强氮化硅陶瓷及其制备该陶瓷的方法
CN2148954Y (zh) * 1992-09-19 1993-12-08 重庆钢洲科技开发公司 抗氧化钨铼热电偶
JPH09105677A (ja) * 1995-10-12 1997-04-22 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk セラミックシース型部品及びその製造方法
US6050723A (en) * 1998-04-14 2000-04-18 Amra; Lutfi H. High temperature thermocouple assembly for measuring molten metal temperatures
EP1022362A2 (en) * 1999-01-20 2000-07-26 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus and process for producing crystal article
CN101307424A (zh) * 2007-05-16 2008-11-19 中国科学院金属研究所 一种氧化锆涂层制备工艺
CN101591766A (zh) * 2009-06-19 2009-12-02 沈阳大学 钛铝锆氮化物多组元硬质反应梯度膜的制备方法
CN102095517A (zh) * 2010-11-26 2011-06-15 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 基于表面改性钨铼热电偶的高温温度传感器
CN202994316U (zh) * 2012-12-27 2013-06-12 安徽晋源仪表成套贸易有限公司 一种水泥窑用热电偶
CN105018983A (zh) * 2015-06-26 2015-11-04 安徽西得仪表科技有限公司 一种纳米复合电镀型耐温耐磨热电偶保护管及其制备方法
CN105651406A (zh) * 2016-02-23 2016-06-08 西安交通大学 一种钨铼薄膜热电偶传感芯片的封装结构及其制作方法
CN106498355A (zh) * 2016-10-20 2017-03-15 电子科技大学 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制造方法
CN108048839A (zh) * 2017-12-07 2018-05-18 华中科技大学 一种钨铼热电偶高温抗氧化涂层及其应用
CN108303188A (zh) * 2018-02-01 2018-07-20 辽宁伊菲科技股份有限公司 一种氮化硅热电偶护管的制造方法
CN209537676U (zh) * 2019-02-26 2019-10-25 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 一种精确控制电阻式加热温梯的pvt法单晶生长装置
CN110818428A (zh) * 2019-12-03 2020-02-21 清华大学 一种共晶增强增韧氮化硅陶瓷的制备方法

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB870354A (en) * 1959-01-15 1961-06-14 Superheater Co Ltd Improvements in temperature measuring arrangements
CN85103011A (zh) * 1985-04-03 1986-09-10 国家建材局山东工业陶瓷研究所 高韧性氮化硅基陶瓷刀具材料及其制造方法
CN1059137A (zh) * 1990-08-24 1992-03-04 陶氏化学公司 高断裂韧性自增强氮化硅陶瓷及其制备该陶瓷的方法
CN2148954Y (zh) * 1992-09-19 1993-12-08 重庆钢洲科技开发公司 抗氧化钨铼热电偶
JPH09105677A (ja) * 1995-10-12 1997-04-22 Isuzu Ceramics Kenkyusho:Kk セラミックシース型部品及びその製造方法
US6050723A (en) * 1998-04-14 2000-04-18 Amra; Lutfi H. High temperature thermocouple assembly for measuring molten metal temperatures
EP1022362A2 (en) * 1999-01-20 2000-07-26 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus and process for producing crystal article
CN101307424A (zh) * 2007-05-16 2008-11-19 中国科学院金属研究所 一种氧化锆涂层制备工艺
CN101591766A (zh) * 2009-06-19 2009-12-02 沈阳大学 钛铝锆氮化物多组元硬质反应梯度膜的制备方法
CN102095517A (zh) * 2010-11-26 2011-06-15 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 基于表面改性钨铼热电偶的高温温度传感器
CN202994316U (zh) * 2012-12-27 2013-06-12 安徽晋源仪表成套贸易有限公司 一种水泥窑用热电偶
CN105018983A (zh) * 2015-06-26 2015-11-04 安徽西得仪表科技有限公司 一种纳米复合电镀型耐温耐磨热电偶保护管及其制备方法
CN105651406A (zh) * 2016-02-23 2016-06-08 西安交通大学 一种钨铼薄膜热电偶传感芯片的封装结构及其制作方法
CN106498355A (zh) * 2016-10-20 2017-03-15 电子科技大学 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制造方法
CN108048839A (zh) * 2017-12-07 2018-05-18 华中科技大学 一种钨铼热电偶高温抗氧化涂层及其应用
CN108303188A (zh) * 2018-02-01 2018-07-20 辽宁伊菲科技股份有限公司 一种氮化硅热电偶护管的制造方法
CN209537676U (zh) * 2019-02-26 2019-10-25 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 一种精确控制电阻式加热温梯的pvt法单晶生长装置
CN110818428A (zh) * 2019-12-03 2020-02-21 清华大学 一种共晶增强增韧氮化硅陶瓷的制备方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
岳振星: "ZrO2对热压Si3N4性能的影响", 《硅酸盐通报》 *
罗志新: "电弧离子镀法制备钨铼热电偶抗氧化（ZrO2/Zr）梯度层研究", 《中国优秀博硕士学位论文全文数据库(硕士) 工程科技Ⅱ辑》 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2666582B1 (en) Braze compositions, and related devices
WO2017170247A1 (ja) 窒化ケイ素焼結基板、窒化ケイ素焼結基板片、回路基板および窒化ケイ素焼結基板の製造方法
CN111872390B (zh) 一种选区激光熔化工艺制备金刚石金属基复合材料的方法
CN102115834B (zh) 金铜镍合金及其制备方法、用途
CN113802180B (zh) 一种金刚石/金属基复合材料及其制备方法和应用
CN110668821B (zh) 一种无压制备max相陶瓷的方法
KR20160108621A (ko) 텅스텐 소결체 스퍼터링 타깃 및 그 타깃을 사용하여 성막한 텅스텐 막
CN112830790A (zh) 一种铪铌基三元固溶体硼化物的导电陶瓷及其制备方法和应用
CN103402948A (zh) 能够在氧化介质中承受高温的材料和部件及其制备方法
CN112898030A (zh) Pvt法高温生长设备用热电偶护套的制备方法
CN103484701B (zh) 一种铸造钛合金晶粒细化的方法
CN108515174B (zh) 一种抗高温氧化W-Cr-Ti复合材料
Yakaboylu et al. Stability and electrical properties of MoSi2‐and WS i2‐oxide electroconductive composites
CN110656258B (zh) 一种金属/陶瓷复合多孔材料的制备方法
CN112011717A (zh) 一种高强度低膨胀复合材料及制备方法
JPS6337065B2 (zh)
CN106252500B (zh) 一种锑化钴基热电元件及其制备方法
CN112941356B (zh) 一种Cu-MoNbTaVW难熔高熵合金双连续结构材料及其制备方法
CN112479733B (zh) 一种适用于陶瓷/金属连接的陶瓷结合区表面改性方法
CN104498845A (zh) 一种锆基非晶合金及其制备方法
CN115198158A (zh) 一种抗氧化难熔高熵合金及制备方法
CN112962012A (zh) 一种集抗氧化和阻界面扩散于一体的复合防护涂层及其制备方法
CN109722554B (zh) 一种降低高温合金熔体与氧化物陶瓷坩埚间润湿性的方法
CN103060656B (zh) 含有二硼化钛陶瓷相的铜铬触头复合材料及其制备方法
CN113789463B (zh) 一种高导热低膨胀超薄片金刚石-金属基复合材料及其制备方法和应用

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20210604