CN112853299A - 一种调节真空设备样品台角度的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种调节真空设备样品台角度的装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架；支撑法兰；丝杆法兰；滑块，所述滑块设置在丝杆法兰上，且所述滑块与丝杆连接；电机，所述电机设置在所述支撑法兰上，且所述电机的转动轴与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，达到自动调节角度，角度调节准确率高，提高设备自动化水平的技术效果。

Description

一种调节真空设备样品台角度的装置
技术领域
本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种调节真空设备样品台角度的装置。
背景技术
真空设备是产生、改善和(或)维持真空的装置，包括真空应用设备和真空获得设备。目前真空设备快速发展，在微电子领域广泛使用，对真空结构设计提出更高要求。
由于现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种调节真空设备样品台角度的装置，用以解决现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，达到自动调节角度，角度调节准确率高，提高设备自动化水平的技术效果。
为了解决上述问题，本发明实施例提供了一种调节真空设备样品台角度的装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端；丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置一丝杆；滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；电机，所述电机与在所述支撑法兰连接，所述电机的转动轴与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接。
优选地，所述装置还包括：轴承，所述轴承设置在所述支撑法兰内，所述轴承的中心内部穿过所述电机的转动轴。
优选地，所述电机的转动轴转动带动所述丝杆旋转，且所述丝杆旋转带动所述滑块上下运动。
优选地，所述滑块上下运动带动所述丝杆法兰运动，且所述丝杆法兰运动带动所述波纹管伸缩。
优选地，所述波纹管伸缩带动所述连杆连接的所述样品台以所述联轴器的转轴为中心旋转。
优选地，所述丝杠的运动长度大于所述波纹管的伸缩长度。
优选地，所述丝杠与所述波纹管具有同一中心轴，且所述丝杠与所述固定杆平行设置。
优选地，所述底板法兰的下表面采用光滑面。
优选地，所述波纹管采用焊接波纹管。
本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：
本发明实施例提供了一种调节真空设备样品台角度的装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端；丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置一丝杆；滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；电机，所述电机与在所述支撑法兰连接，所述电机的转动轴与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接。通过电机转动带动丝杆旋转，在丝杆上的滑块上下运动，通过滑块连接的丝杆法兰运动带动波纹管伸缩，当波纹管伸缩时，带动连杆运动使样品台以联轴器转轴为中心旋转，实现样品台角度调节，解决现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，达到自动调节角度，角度调节准确率高，提高设备自动化水平的技术效果。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。
附图说明
图1为本说明书实施例中调节真空设备样品台角度的装置的结构示意图；
图2为本说明书实施例中调节真空设备样品台角度的装置的角度计算示意图；
附图标记说明：底板法兰1，固定杆2，联轴器3，样片台4，支撑架5，支撑法兰6，轴承7，电机8，丝杠9，滑块10，丝杠法兰11，波纹管12，连杆13。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种调节真空设备样品台角度的装置，用以解决现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，达到自动调节角度，角度调节准确率高，提高设备自动化水平的技术效果。
本发明实施例中的技术方案，所述装置采用底板法兰；固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端；丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置一丝杆；滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；电机，所述电机与在所述支撑法兰连接，所述电机的转动轴与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接，解决现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，达到自动调节角度，角度调节准确率高，提高设备自动化水平的技术效果。
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
本发明实施例提供了一种调节真空设备样品台角度的装置，请参考图1、图2，所述装置包括：
底板法兰1；固定杆2，所述固定杆2的一端与所述底板法兰1的下表面垂直连接；联轴器3，所述联轴器3与所述固定杆1的另一端连接，且所述联轴器3与样片台4连接；
进一步的，所述底板法兰1的下表面采用光滑面。
具体而言，本申请实施例中的调节真空设备样品台角度的装置包括：底板法兰1、固定杆2、联轴器3、支撑架5、支撑法兰6、丝杆法兰11、滑块10、电机8、波纹管12等。首先，将所述固定杆2的一端垂直安装在所述底板法兰1的下表面，且所述底板法兰1的下表面采用光滑面，用于对真空设备进行真空密封。通过所述联轴器3将所述固定杆2与所述样片台4连接，所述联轴器3可转动。
支撑架5，所述支撑架5设置在所述底板法兰1的上表面；支撑法兰6，所述支撑法兰6设置在所述支撑架5的顶端；丝杆法兰11，所述丝杆法兰11与所述支撑法兰6连接，且所述丝杆法兰11内设置所述丝杆9；滑块10，所述滑块10设置在所述丝杆法兰11上，且所述滑块10与所述丝杆9连接；电机8，所述电机8与在所述支撑法兰6连接，所述电机8的转动轴与所述丝杆9的一端连接；
进一步的，所述装置还包括：轴承7，所述轴承7设置在所述支撑法兰6内，所述轴承7的中心内部穿过所述电机8的转动轴。进一步的，所述电机8的转动轴转动带动所述丝杆9旋转，且所述丝杆9旋转带动所述滑块10上下运动。
具体而言，在所述底板法兰1的上表面设置所述支撑架5，将所述支撑法兰6设置在所述支撑架5的顶端，且在所述支撑法兰6内安装所述轴承7。将所述电机8与所述支撑法兰6连接，且所述电机8的转动轴穿过所述轴承7与所述丝杆9的一端连接，所述滑块10设置在所述丝杆法兰11上，且所述滑块10与所述丝杆9连接，所述滑块10在所述丝杠9上运动灵活，不得卡滞。所述丝杆法兰11与所述支撑法兰6连接，且所述丝杆9设置在所述丝杆法兰11内。当转动所述电机8，所述电机8转动带动所述丝杆9旋转，且所述丝杆9旋转带动所述滑块10上下运动。
波纹管12，所述波纹管12设置在所述底板法兰1的下表面，且所述波纹管12与所述丝杠法兰11同轴连接；连杆13，所述连杆13的一端与所述波纹管12连接，且所述连杆13的另一端与所述样品台4连接。
进一步的，所述滑块10上下运动带动所述丝杆法兰11运动，且所述丝杆法兰11运动带动所述波纹管12伸缩。进一步的，所述波纹管12伸缩带动所述连杆13连接的所述样品台4以所述联轴器3的转轴为中心旋转。进一步的，所述丝杠9的运动长度大于所述波纹管12的伸缩长度。进一步的，所述丝杠9与所述波纹管12具有同一中心轴，且所述丝杠9与所述固定杆2平行设置。进一步的，所述波纹管12采用焊接波纹管。
具体而言，在所述底板法兰1的下表面设置所述波纹管12，且所述波纹管12与所述丝杠法兰11同轴连接，即所述丝杠9与所述波纹管12具有同一中心轴，其中，所述丝杠9与所述固定杆2平行设置。所述连杆13的一端与所述波纹管12连接，且所述连杆13的另一端与所述样品台4连接。所述波纹管12采用焊接波纹管，长度可伸缩，用于真空密封。当所述滑块10在所述电机8的转动轴的转动下，所述滑块10上下运动时，所述滑块10将带动所述丝杆法兰11运动，且所述丝杆法兰11运动带动所述波纹管12伸缩，其中所述丝杠9的运动长度大于所述波纹管12的伸缩长度，进而所述波纹管12伸缩带动所述连杆13连接的所述样品台4以所述联轴器3的转轴为中心旋转，实现所述样品台4的角度自动调节，提高设备自动化水平。
所述样品台4的角度调整范围，可通过所述滑块10移动距离H计算。所需参数如图2所示，所述滑块10移动距离H即所述连杆13与所述底板法兰1之间距离，计算所述波纹管12轴线与所述固定杆2轴线之间距离L1、所述底板法兰1与所述联轴器3转轴距离L2、所述样品台4和所述连杆13连接点与所述联轴器3转轴之间距离L3、所述连杆13长度L4、所述样品台4和所述固定杆2夹角α角、所述连杆13和所述波纹管12轴线夹角β角，通过正弦定理、余弦定理，计算α角与所述滑块移动距离H的关系，如起始角度α1，所述滑块的起始距离H1，终止角度α2，所述滑块运动的终止距离H2，得到所述滑块移动距离H＝H2-H1与所述样品台4的调节角度α＝α2-α1的关系。
本申请实施例中提供的技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
本发明实施例提供了一种调节真空设备样品台角度的装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端；丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置一丝杆；滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；电机，所述电机与在所述支撑法兰连接，所述电机的转动轴与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接，通过电机转动带动丝杆旋转，在丝杆上的滑块上下运动，通过滑块连接的丝杆法兰运动带动波纹管伸缩，当波纹管伸缩时，带动连杆运动使样品台以联轴器转轴为中心旋转，实现样品台角度调节，解决现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，达到自动调节角度，角度调节准确率高，提高设备自动化水平的技术效果。
尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明实施例的精神和范围。这样，倘若本发明实施例的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种调节真空设备样品台角度的装置，其特征在于，所述装置包括：
底板法兰；
固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；
联轴器，所述联轴器的一端与所述固定杆的另一端连接，所述联轴器的另一端与样片台连接；
支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；
支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端；
丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置一丝杆；
滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；
电机，所述电机与在所述支撑法兰连接，所述电机的转动轴与所述丝杆的一端连接；
波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；
连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
轴承，所述轴承设置在所述支撑法兰内，所述轴承的中心内部穿过所述电机的转动轴。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电机的转动轴转动带动所述丝杆旋转，且所述丝杆旋转带动所述滑块上下运动。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述滑块上下运动带动所述丝杆法兰运动，且所述丝杆法兰运动带动所述波纹管伸缩。
5.如权利要求4述的装置，其特征在于，所述波纹管伸缩带动所述连杆连接的所述样品台以所述联轴器的转轴为中心旋转。
6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述丝杠的运动长度大于所述波纹管的伸缩长度。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述丝杠与所述波纹管具有同一中心轴，且所述丝杠与所述固定杆平行设置。
8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述底板法兰的下表面采用光滑面。
9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述波纹管采用焊接波纹管。
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