CN112729418A - 一种高精密检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及测量设备技术领域，公开一种高精密检测设备。其中高精密检测设备包括测量台、定位板、高度测量模块和重量测量模块，测量台设置有通孔，通孔的上方设置有定位板，定位板用于装夹待测零件；高度测量模块包括伺服传动机构和高度检测机构，高度检测机构设置于伺服传动机构上，伺服传动机构用于驱动高度检测机构升降；重量测量模块包括称重平台和垂向升降机构，称重平台安装于垂向升降机构上，垂向升降机构能够驱动称重平台升降。本发明实现了同时对待测零件的重量和高度进行高精度测量，且待测零件进行高度测量时，自动脱离称重平台，以确保高度检测值不受称重平台微变形影响，提高了待测零件的高度测量精度。

Description

一种高精密检测设备

技术领域

本发明涉及测量设备技术领域，尤其涉及一种高精密检测设备。

背景技术

现有技术中，对工件的高度和重量检测常采用人工测量的方式，即对工件进行高度测量后，再放置到另一个工作台，进行重量测量，过程较复杂，且工作效率较低，而且人工测量精度较低。或者直接将工件先放置在称重平台上，进行重量测量，然后在称重平台上进行高度测量。虽然一次装夹工件，实现工件高度和重量的测量。但是，称重平台称重时，上表面会产生微变形量，不同重量的零件，变形量不同，导致工件高度测量时数据不准确。

基于此，亟需一种高精密检测设备，以解决上述存在的问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种高精密检测设备，实现了同时对待测零件的重量和高度进行高精度测量，且待测零件进行高度测量时，自动脱离称重平台，以确保高度检测值不受称重平台微变形影响，提高了待测零件的高度测量精度。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种高精密检测设备，包括：

测量台，其设置有通孔，所述通孔的上方设置有定位板，所述定位板用于装夹待测零件；

高度测量模块，其包括伺服传动机构和高度检测机构，所述高度检测机构设置于所述伺服传动机构上，所述伺服传动机构用于驱动所述高度检测机构升降，以使所述高度检测机构接触所述待测零件的待测部位，得出所述待测部位的高度；

重量测量模块，所述重量测量模块包括称重平台和垂向升降机构，所述称重平台安装于所述垂向升降机构上，所述垂向升降机构能够驱动所述称重平台升降，使所述称重平台穿设所述通孔并托起所述定位板，以测量所述待测零件的重量。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述高度检测机构包括第一测量组件和第二测量组件，所述第一测量组件和所述第二测量组件沿水平方向错位分布，且所述第一测量组件和所述第二测量组件分别与所述待测零件的第一待测部位和第二待测部位的位置相匹配，所述第一测量组件和所述第二测量组件能够分别测量所述第一待测部位和所述第二待测部位的高度。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述高度检测机构还包括固定板，所述第一测量组件包括第一传感器、第一测量板和第一导向轴，所述第一传感器安装于所述固定板上，所述第一导向轴滑动安装于所述固定板，且所述第一导向轴的底端固定所述第一测量板，顶端接触所述第一传感器；

所述第二测量组件包括第二传感器、第二测量板和第二导向轴，所述第二传感器安装于所述固定板上，所述第二导向轴滑动安装于所述固定板，且所述第二导向轴的底端固定所述第二测量板，顶端接触所述第二传感器。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述第一测量组件包括导套、卡箍和弹性件，所述导套固定于所述固定板，所述第一导向轴可滑动穿设于所述导套，所述第一导向轴靠近所述第一传感器一端设置所述卡箍，所述卡箍能够限制所述第一导向轴从所述导套脱落，所述弹性件用于向所述第一导向轴施加向下的弹力。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述待测零件的顶壁中心上设置有凸起的接线柱；所述第一测量板呈圆形，所述第二测量板呈环形，所述第二测量板环设于所述第一测量板，且所述第二测量板的高度低于所述第一测量板的高度，所述第一测量板用于测量所述接线柱的高度，所述第二测量板用于测量所述待测零件的所述顶壁高度。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述伺服传动机构包括丝杠传动组件、支撑组件和连接板组件；

所述支撑组件包括支撑柱和支撑板，所述支撑柱一端固定于所述测量台上，另一端安装所述支撑板；

所述丝杠传动组件安装于所述支撑板上，所述丝杠传动组件包括滑块，所述高度检测机构通过所述连接板组件安装于所述滑块上。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述伺服传动机构还包括光栅尺，所述光栅尺包括读数头和光栅主尺，所述读数头安装于所述支撑板上，所述光栅主尺设置于所述连接板组件上。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述垂向升降机构包括支架、凸轮、传动轴、驱动件和拨片，所述支架设置于所述测量台底部，所述传动轴固定于所述支架上，所述凸轮安装于所述传动轴，所述驱动件用于驱动所述传动轴转动，所述拨片一端铰接于所述支架，另一端通过滚轮搭接于所述凸轮，所述传动轴转动时，所述凸轮通过所述拨片驱动所述称重平台升降。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，所述垂向升降机构还包括底托垫板和第三导向轴，所述称重平台安装于所述底托垫板上，所述拨片设置于所述底托垫板的底部，所述第三导向轴固定于所述测量台上，所述底托垫板可滑动安装于所述第三导向轴。

作为一种高精密检测设备的优选技术方案，还包括直径测量模块，所述直径测量模块包括机械手和直径测量传感器，所述直径测量传感器安装于所述机械手上，所述直径测量传感器用于测量所述待测零件的直径。

本发明的有益效果为：

本发明提供了一种高精密检测设备，其包括测量台、高度测量模块和重量测量模块。当对待测零件进行检测时，先将待测零件安装于定位板上，然后垂向升降机构驱动称重平台上升，使称重平台穿设通孔并托起定位板，称重平台测量值减去定位板的重量，以得出待测零件的重量。然后垂向升降机构驱动称重平台下降，使定位板下落至测量台上。然后伺服传动机构驱动高度检测机构下降，以使高度检测机构接触待测零件的待测部位，得出待测部位的高度。该高精密检测设备，实现了一次装夹待测零件，能够同时对待测零件的重量和高度进行测量，相对于人工测量的方式，提高了测量效率，提高了测量精度，而且待测零件进行高度测量时，自动脱离称重平台，以确保高度检测值不受称重平台微变形影响，提高了待测零件的高度测量精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明具体实施方式提供的高精密检测设备的结构示意图；

图2是本发明具体实施方式提供的重量测量模块的结构示意图；

图3是本发明具体实施方式提供的重量测量模块的结构爆炸图；

图4是图3在A处的放大图；

图5是本发明具体实施方式提供的高度测量模块的结构示意图；

图6是本发明具体实施方式提供的高度测量模块的结构爆炸图；

图7是图6在B处的放大图。

图中标记如下：

100、待测零件；1001、接线柱；1002、顶壁；

1、测量台；11、通孔；2、定位板；21、安装槽；

3、高度测量模块；31、伺服传动机构；311、丝杠传动组件；3111、滑块；3112、伺服驱动马达；3113、丝杠；3114、背板；312、支撑组件；3121、支撑柱；3122、支撑板；313、连接板组件；3131、第一连接板；3132、第二连接板；314、光栅尺；3141、读数头；3142、光栅主尺；

32、高度检测机构；321、第一测量组件；3211、第一传感器；3212、第一测量板；3213、第一导向轴；3214、弹性件；3215、导套；322、第二测量组件；3221、第二传感器；3222、第二测量板；3223、第二导向轴；33、固定板；331、快锁螺钉；

4、重量测量模块；41、称重平台；42、垂向升降机构；421、支架；4211、位置传感器；422、凸轮；423、传动轴；424、驱动件；425、拨片；4251、滚轮；426、监测板；427、底托垫板；4271、衬套；428、第三导向轴；4281、第二弹簧；43、外罩；

5、直径测量模块；51、机械手；52、直径测量传感器；

6、电脑主机；7、扫码器；8、警示灯。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

现有技术中，对工件的高度和重量检测常采用人工测量的方式，即对工件进行高度测量后，再放置到另一个工作台，进行重量测量，过程较复杂，且工作效率较低，而且人工测量精度较低。或者直接将工件先放置在称重平台上，进行重量测量，然后在称重平台上进行高度测量。虽然一次装夹工件，实现工件高度和重量的测量。但是，称重平台称重时，上表面会产生微变形量，不同重量的零件，变形量不同，导致工件高度测量时数据不准确。

为解决上述问题，如图1-图3所示，本实施例提供一种高精密检测设备，该高精密检测设备包括测量台1、高度测量模块3和重量测量模块4。

具体地，测量台1设置有通孔11，通孔11的上方设置有定位板2，定位板2用于装夹待测零件100。高度测量模块3包括伺服传动机构31和高度检测机构32，高度检测机构32设置于伺服传动机构31上，伺服传动机构31用于驱动高度检测机构32升降，以使高度检测机构32接触待测零件100的待测部位，得出待测部位的高度。重量测量模块4包括称重平台41和垂向升降机构42，称重平台41安装于垂向升降机构42上，垂向升降机构42能够驱动称重平台41升降，使称重平台41穿设通孔11并托起定位板2，以测量待测零件100的重量。优选地，定位板2上设置有安装槽21，待测零件100安装于安装槽21内，实现定位和安装。

对待测零件100进行检测时，先将待测零件100安装于定位板2上，然后垂向升降机构42驱动称重平台41上升，使称重平台41穿设通孔11并托起定位板2，称重平台41测量值减去定位板2的重量，以得出待测零件100的重量。然后垂向升降机构42驱动称重平台41下降，使定位板2下落至测量台1上。然后伺服传动机构31驱动高度检测机构32下降，以使高度检测机构32接触待测零件100的待测部位，高度检测机构32将触发信号发送给伺服传动机构31，然后伺服传动机构31根据初始高度减去向下的位移量，得出待测部位的高度。该高精密检测设备实现了一次装夹待测零件100，能够同时对待测零件100的重量和高度进行测量，相对于人工测量的方式，提高了测量效率，提高了测量精度，而且待测零件100进行高度测量时，自动脱离称重平台41，以确保高度检测值不受称重平台41微变形影响，提高了待测零件100的高度测量精度。

本实施例中，待测零件100的顶壁1002中心上设置有凸起的接线柱1001，根据测量需求，需要测量接线柱1001和顶壁1002两部分的高度，但是现有技术中，常规的高度检测设备每次仅能检测顶壁1002或接线柱1001中的一个的高度，当检测另一个高度时，或者移动待测零件100，或移动检测设备，才能进行检测；一方面增加检测步骤，降低了检测效率，另一方面，当检测设备或待测零件100移动后，导致测量精度降低。

为解决上述问题，如图5-图7所示，高度检测机构32包括第一测量组件321和第二测量组件322，第一测量组件321和第二测量组件322沿水平方向错位分布，且第一测量组件321和第二测量组件322分别与待测零件100的第一待测部位和第二待测部位的位置相匹配，第一测量组件321和第二测量组件322能够分别测量第一待测部位和第二待测部位的高度。将待测零件100安装于测量台1上，伺服传动机构31驱动高度检测机构32的第一测量组件321和第二测量组件322向下移动，由于第一测量组件321和第二测量组件322沿水平方向错位分布，且第一测量组件321和第二测量组件322分别与待测零件100的第一待测部位和第二待测部位的位置相匹配，当第一测量组件321接触待测零件100的第一待测部位时，能够得出第一待测部位的高度，伺服传动机构31继续驱动高度检测机构32下移，直到第二测量组件322接触待测零件100的第二待测部位时，此时得出第二待测部位的高度。本实施例实现了一次装夹待测零件100，通过伺服传动机构31驱动高度检测机构32的第一测量组件321和第二测量组件322升降，对待测零件100的第一待测部位和第二待测部位同时测量，提高测量效率，提高测量精度。

优选地，高度检测机构32还包括固定板33，第一测量组件321包括第一传感器3211、第一测量板3212和第一导向轴3213，第一传感器3211安装于固定板33上，第一导向轴3213滑动安装于固定板33，且第一导向轴3213的底端与第一测量板3212固定，顶端接触第一传感器3211；第二测量组件322包括第二传感器3221、第二测量板3222和第二导向轴3223，第二传感器3221安装于固定板33上，第二导向轴3223滑动安装于固定板33，且第二导向轴3223的底端固定第二测量板3222，顶端接触第二传感器3221。当高度检测机构32向下移动时，第一测量板3212能够接触第一待测部位，通过第一导向轴3213将接触信号传递给第一传感器3211，得出第一待测部位的高度值，高度检测机构32继续向下移动，第二测量板3222接触第二待测部位，通过第二导向轴3223将接触信号传递给第二传感器3221，得出第二待测部位的高度值。

进一步优选地，第一测量组件321包括导套3215、卡箍和弹性件3214，导套3215固定于固定板33，第一导向轴3213可滑动穿设于导套3215，卡箍设置于第一导向轴3213靠近第一传感器3211一端，卡箍能够限制第一导向轴3213从导套3215脱落，弹性件3214用于向第一导向轴3213施加向下的弹力。本实施例中弹性件3214为弹簧，弹簧套设在第一导向轴3213上，且一端抵接在导套3215，另一端抵接第一导向轴3213靠近第一测量板3212一端，为第一导向轴3213施加向下的弹力，使第一测量组件321上升后，第一测量板3212复位。第二测量组件322也包括导套3215、卡箍和弹性件3214，其安装结构与第一测量组件321结构相同，作用相同，此处不再赘述。

需要说明的是，本实施例中，第一待测部位为接线柱1001的顶部，第二待测部位为待测零件100的顶壁1002；由于接线柱1001位于工件的顶壁1002中心，所以第一测量板3212呈圆形，第二测量板3222呈环形，第二测量板3222环设于第一测量板3212，由于接线柱1001的高度高于顶壁1002的高度，所以第二测量板3222的高度低于第一测量板3212的高度，第一测量板3212用于测量接线柱1001的高度，第二测量板3222用于测量待测零件100的顶壁1002高度。本实施例中，第二测量组件322的导套3215、卡箍、弹性件3214和第二导向轴3223为三组，间隔设置于第二测量板3222上方，增加第二测量板3222的装配稳固性，且其中一个第二导向轴3223的顶部接触第二传感器3221。

优选地，第一传感器3211和第二传感器3221均为高精度接触式数字传感器，高精度接触式数字传感器的测量头能够变形，使第一测量组件321测量第一待测部位后，能够继续下移，而不会破坏第一传感器3211。高精度接触式数字传感器还能够得出变形量的大小。根据测量头的变形量，以及伺服传动机构31的向下位移量，得出待测部位的高度值。

优选地，本实施例中，伺服传动机构31包括丝杠传动组件311、支撑组件312和连接板组件313，支撑组件312包括支撑柱3121和支撑板3122，支撑柱3121一端固定于测量台1上，另一端安装支撑板3122；丝杠传动组件311安装于支撑板3122上，丝杠传动组件311包括滑块3111，高度检测机构32通过连接板组件313安装于滑块3111上，以使丝杠传动组件311能够驱动高度检测机构32升降。

进一步地，丝杠传动组件311还包括伺服驱动马达3112、丝杠3113和背板3114，背板3114安装于支撑板3122上，伺服驱动马达3112和丝杠3113均安装于背板3114上，且伺服驱动马达3112与丝杠3113传动连接，背板3114上设置有滑轨，滑块3111安装于丝杠3113上，且滑块3111的两侧滑动连接于滑轨，提高滑块3111运动稳定性。连接板组件313包括第一连接板3131和第二连接板3132，第一连接板3131固定于滑块3111上，第二连接板3132呈L形，且第二连接板3132的第一个侧壁固定于第一连接板3131上，第二个侧壁固定高度检测机构32的固定板33，实现了高度检测机构32安装于伺服传动机构31上。本实施例中，根据丝杠传动组件311的伺服驱动马达3112的转动圈数得出滑块3111的升降高度。优选地，本实施例的固定板33通过快锁螺钉331安装于第二连接板3132的第二个侧壁上，实现高度检测机构32的快速拆装，以使该高精密检测设备测量不同型号产品时，可更换相应的高度检测机构32。

进一步优选地，伺服传动机构31还包括光栅尺314，光栅尺314包括读数头3141和光栅主尺3142，读数头3141安装于支撑板3122上，光栅主尺3142设置于连接板组件313上。本实施例中，光栅主尺3142设置于第一连接板3131上，能够随滑块3111上下移动，进而测量高度检测机构32的升降值，提高对工件高度的测量精度。

进一步地，如图2-图4所示，本实施例中，垂向升降机构42包括支架421、凸轮422、传动轴423、驱动件424和拨片425，支架421设置于测量台1底部，传动轴423固定于支架421上，凸轮422安装于传动轴423，驱动件424用于驱动传动轴423转动，拨片425一端铰接于支架421，另一端通过滚轮4251搭接于凸轮422，传动轴423转动时，凸轮422通过拨片425驱动称重平台41相对支架421升降。

优选地，支架421上还设置有至少三个位置传感器4211，传动轴423上设置有监测板426，位置传感器4211能够在监测板426随传动轴423转动时，对监测板426进行辅助监测，得出传动轴423的转动角度，进而控制凸轮422转动的状态，调节称重平台41的升降。

更进一步地，垂向升降机构42还包括底托垫板427和第三导向轴428，称重平台41安装于底托垫板427上，拨片425设置于底托垫板427的底部，第三导向轴428固定于测量台1上，底托垫板427可滑动安装于第三导向轴428。本实施例中，底托垫板427上设置有衬套4271，第三导向轴428滑动安装于衬套4271，实现底托垫板427滑动安装于第三导向轴428上，第三导向轴428底部设置有环形凸台，防止底托垫板427从第三导向轴428的底部脱落。优选地，垂向升降机构42还包括第二弹簧4281，第二弹簧4281套设在第三导向轴428上，且一端抵接于测量台1，另一端抵接于衬套4271，为底托垫板427提供向下的复位弹力。本实施例中，第三导向轴428为四个，设置于底托垫板427的四个角部，提高底托垫板427的升降运动的稳定性。第三导向轴428对称重平台41的底托垫板427具有导向和固定作用。

在其他实施例中，垂向升降机构42包括支架和气缸，将支架安装在测量台1的下方，气缸安装于支架上，同时气缸的驱动杆设置在称重平台41的底托垫板427底部，驱动称重平台41升降。垂向升降机构42还可以采用电机驱动，将电机安装于支架上，同时称重平台41的底托垫板427螺纹连接于电机轴，电机轴转动时，驱动称重平台41升降。

可选地，重量测量模块4还包括外罩43，外罩43罩设于称重平台41和垂向升降机构42，以防护称重平台41和垂向升降机构42。

进一步地，如图1所示，该高精密检测设备还包括直径测量模块5，直径测量模块5包括机械手51和直径测量传感器52，直径测量传感器52安装于机械手51上。机械手51安装于测量台1上，机械手51能够携带直径测量传感器52测量待测零件100的不同部位的直径值。本实施例中，直径测量传感器52优选为激光幕帘直径测量仪，且该直径测量传感器52上设置有“高速曝光CMOS”、“监控CMOS”和“高亮度绿色LED”。利用“高速曝光CMOS”，可对待测零件100的振动等瞬间变动的测量物进行清晰识别、消除误差。同时，利用“监控CMOS”，监控工件的状态，可获取正确的测量值。需要说明的是，“高速曝光CMOS”、“监控CMOS”和“高亮度绿色LED”的工作原理为现有技术，此处不再赘述。

本实施例还提供了直径的测量方法，机械手51可携带直径测量传感器52沿待测零件100的高度方向移动三次，其中每层高度中，机械手51均携带直径测量传感器52沿待测零件100的圆周方向三次旋转，每次间隔60°。因此，可得出该待测零件100的9个实际测量的直径值，提高该待测零件100直径测量的准确性。

进一步地，该高精密检测设备还包括电脑主机6和扫码器7，待测零件100上设置有识别码，扫码器7信号连接于电脑主机6，操作人员可通过扫码器7扫描待测零件100的识别码，将待测零件100信息录入电脑主机6内。当然，待测零件100的信息也可手动输入至电脑主机6内。优选地，该高精密检测设备还包括电阻计和脚踏开关，脚踏开关连接于电阻计，电阻计信号连接于电脑主机6。该电阻计能够测量待测零件100的电阻值，操作人员可手动操作电阻计的电阻线夹对待测零件100进行电阻值检测，待电阻计阻值数据稳定后，踩动脚踏开关，将电阻值录入电脑主机6。

进一步优选地，该高精密检测设备还包括警示灯8，该警示灯8的颜色包括绿色、红色和黄色。当检测该待测零件100的过程中，将待测零件100的电阻值、重量、高度和直径等信息与系统中的标准值进行比对，绿色灯亮为合格、红色灯亮为不合格、黄色灯亮为数据采集失败，合格品进入下一个流程，数据采集失败或不合格品可进行复检。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种高精密检测设备，其特征在于，包括：

测量台（1），其设置有通孔（11），所述通孔（11）的上方设置有定位板（2），所述定位板（2）用于装夹待测零件（100）；

高度测量模块（3），其包括伺服传动机构（31）和高度检测机构（32），所述高度检测机构（32）设置于所述伺服传动机构（31）上，所述伺服传动机构（31）用于驱动所述高度检测机构（32）升降，以使所述高度检测机构（32）接触所述待测零件（100）的待测部位，得出所述待测部位的高度；

重量测量模块（4），所述重量测量模块（4）包括称重平台（41）和垂向升降机构（42），所述称重平台（41）安装于所述垂向升降机构（42）上，所述垂向升降机构（42）能够驱动所述称重平台（41）升降，使所述称重平台（41）穿设所述通孔（11）并托起所述定位板（2），以测量所述待测零件（100）的重量。

2.根据权利要求1所述的高精密检测设备，其特征在于，所述高度检测机构（32）包括第一测量组件（321）和第二测量组件（322），所述第一测量组件（321）和所述第二测量组件（322）沿水平方向错位分布，且所述第一测量组件（321）和所述第二测量组件（322）分别与所述待测零件（100）的第一待测部位和第二待测部位的位置相匹配，所述第一测量组件（321）和所述第二测量组件（322）能够分别测量所述第一待测部位和所述第二待测部位的高度。

3.根据权利要求2所述的高精密检测设备，其特征在于，所述高度检测机构（32）还包括固定板（33），所述第一测量组件（321）包括第一传感器（3211）、第一测量板（3212）和第一导向轴（3213），所述第一传感器（3211）安装于所述固定板（33）上，所述第一导向轴（3213）滑动安装于所述固定板（33），且所述第一导向轴（3213）的底端固定所述第一测量板（3212），顶端接触所述第一传感器（3211）；

所述第二测量组件（322）包括第二传感器（3221）、第二测量板（3222）和第二导向轴（3223），所述第二传感器（3221）安装于所述固定板（33）上，所述第二导向轴（3223）滑动安装于所述固定板（33），且所述第二导向轴（3223）的底端固定所述第二测量板（3222），顶端接触所述第二传感器（3221）。

4.根据权利要求3所述的高精密检测设备，其特征在于，所述第一测量组件（321）包括导套（3215）、卡箍和弹性件（3214），所述导套（3215）固定于所述固定板（33），所述第一导向轴（3213）可滑动穿设于所述导套（3215），所述第一导向轴（3213）靠近所述第一传感器（3211）一端设置所述卡箍，所述卡箍能够限制所述第一导向轴（3213）从所述导套（3215）脱落，所述弹性件（3214）用于向所述第一导向轴（3213）施加向下的弹力。

5.根据权利要求3所述的高精密检测设备，其特征在于，所述待测零件（100）的顶壁（1002）中心上设置有凸起的接线柱（1001）；所述第一测量板（3212）呈圆形，所述第二测量板（3222）呈环形，所述第二测量板（3222）环设于所述第一测量板（3212），且所述第二测量板（3222）的高度低于所述第一测量板（3212）的高度，所述第一测量板（3212）用于测量所述接线柱（1001）的高度，所述第二测量板（3222）用于测量所述待测零件（100）的所述顶壁（1002）高度。

6.根据权利要求1所述的高精密检测设备，其特征在于，所述伺服传动机构（31）包括丝杠传动组件（311）、支撑组件（312）和连接板组件（313）；

所述支撑组件（312）包括支撑柱（3121）和支撑板（3122），所述支撑柱（3121）一端固定于所述测量台（1）上，另一端安装所述支撑板（3122）；

所述丝杠传动组件（311）安装于所述支撑板（3122）上，所述丝杠传动组件（311）包括滑块（3111），所述高度检测机构（32）通过所述连接板组件（313）安装于所述滑块（3111）上。

7.根据权利要求6所述的高精密检测设备，其特征在于，所述伺服传动机构（31）还包括光栅尺（314），所述光栅尺（314）包括读数头（3141）和光栅主尺（3142），所述读数头（3141）安装于所述支撑板（3122）上，所述光栅主尺（3142）设置于所述连接板组件（313）上。

8.根据权利要求1所述的高精密检测设备，其特征在于，所述垂向升降机构（42）包括支架（421）、凸轮（422）、传动轴（423）、驱动件（424）和拨片（425），所述支架（421）设置于所述测量台（1）底部，所述传动轴（423）固定于所述支架（421）上，所述凸轮（422）安装于所述传动轴（423），所述驱动件（424）用于驱动所述传动轴（423）转动，所述拨片（425）一端铰接于所述支架（421），另一端通过滚轮（4251）搭接于所述凸轮（422），所述传动轴（423）转动时，所述凸轮（422）通过所述拨片（425）驱动所述称重平台（41）升降。

9.根据权利要求8所述的高精密检测设备，其特征在于，所述垂向升降机构（42）还包括底托垫板（427）和第三导向轴（428），所述称重平台（41）安装于所述底托垫板（427）上，所述拨片（425）设置于所述底托垫板（427）的底部，所述第三导向轴（428）固定于所述测量台（1）上，所述底托垫板（427）可滑动安装于所述第三导向轴（428）。

10.根据权利要求1所述的高精密检测设备，其特征在于，还包括直径测量模块（5），所述直径测量模块（5）包括机械手（51）和直径测量传感器（52），所述直径测量传感器（52）安装于所述机械手（51）上，所述直径测量传感器（52）用于测量所述待测零件（100）的直径。

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