CN112713116B - 取晶用晶圆蓝膜张紧机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，通过设置扩晶环和半分环，将晶圆蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶圆蓝膜，使得晶圆蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶圆蓝膜过于松弛影响取晶精度。

Description

取晶用晶圆蓝膜张紧机构

技术领域

本发明涉及电子元件制造领域，尤其涉及一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构。

背景技术

在二极管封装制造过程中，需要将储存在晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到石墨盘，由于晶圆蓝膜具有一定的弹性，因此在取晶过程中蓝膜容易出现松弛改变晶圆的位置精度，影响取晶操作。

发明内容

本发明要解决的技术问题是取晶过程中蓝膜容易出现松弛改变晶圆的位置精度，影响取晶操作，本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构来解决上述问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环沿竖直方向移动，并将所述晶圆蓝膜的中部张紧在所述扩晶环上。

进一步地：所述竖直调节机构包括活动环和连接轴，所述活动环套设在所述扩晶环的外周，二个所述半分环对称安装在所述活动环上，所述活动环上设有沿竖直方向设置的螺纹孔，所述连接轴沿竖直方向设置，所述连接轴的底部转动安装在所述支撑环上，所述连接轴的顶部设置有与所述螺纹孔相配合的外螺纹，所述外螺纹安装在所述螺纹孔中，所述连接轴转动能够驱动所述活动环上下移动，所述连接轴和螺纹孔的数量均为多个，多个所述连接轴和螺纹孔均沿周向设置；所述竖直调节机构还包括第一电机、连接架和第一气缸，所述第一气缸的缸体固定安装在所述机架上，所述第一气缸的活塞杆沿水平方向设置，并与所述连接架固定连接，所述连接架上设置有导杆，所述导杆平行于所述第一气缸的活塞杆设置，所述机架上设有与所述导杆相配合的导套，所述导杆插入所述导套中，并能沿所述导套滑动，所述第一电机固定安装在所述连接架上，所述第一电机的输出轴上安装有第一斜齿轮，所述支撑环上转动安装有支撑轴，所述支撑轴沿竖直方向设置，所述支撑轴上固定安装有第二斜齿轮，所述第二斜齿轮与所述第一斜齿轮啮合设置，所述支撑轴和多个所述连接轴上均固定安装有转轮，多个转轮通过闭环传动带连接同步转动。

进一步地：所述支撑环上还固定安装有限位杆，所述限位杆沿竖直方向设置，所述机架上设置有第二气缸，所述第二气缸的活塞杆沿水平方向设置，所述第二气缸的活塞杆上固定安装有限位块，所述限位块上沿竖直方向设置有限位槽，所述第二气缸的活塞杆工作能够顶推所述限位槽卡紧在所述限位杆上。

进一步地：所述支撑环的外壁上设有环形齿，所述机架上安装有第二电机，所述第二电机的输出轴上安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的转动轴心平行于所述支撑环的转动轴心，所述驱动齿轮与所述环形齿通过带连接。

本发明的有益效果是，本发明取晶用晶圆蓝膜张紧机构通过设置扩晶环和半分环，将晶圆蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶圆蓝膜，使得晶圆蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶圆蓝膜过于松弛影响取晶精度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明取晶用晶圆蓝膜张紧机构的结构示意图；

图2是活动环安装在支撑环上的结构示意图；

图3是连接轴安装在螺纹孔中的结构示意图；

图4是第一斜齿轮的安装示意图；

图5是限位块的结构示意图；

图6是支撑环的转动结构示意图。

图中1、机架，2、支撑环，3、安装板，4、扩晶环，5、半分环，10、活动环，11、连接轴，12、螺纹孔，13、外螺纹，14、第一电机，15、连接架，16、第一气缸，17、导杆，18、第一斜齿轮，19、支撑轴，20、第二斜齿轮，21、转轮，22、限位杆，23、第二气缸，24、限位槽，25、环形齿，26、第二电机，27、驱动齿轮。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。相反，本发明的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

如图1所示，本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，包括机架1和支撑环2，所述机架1包括沿水平方向设置的安装板3，所述安装板3中开设有安装孔，所述支撑环2转动安装在所述安装孔中，所述支撑环2的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环2中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环4，所述支撑环2的上方设有半分环5，所述半分环5的数量为二个，二个所述半分环5通过竖直调节机构安装在所述支撑环2上，所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环5沿竖直方向移动，并将所述晶圆蓝膜的中部张紧在所述扩晶环4上。

上料时，竖直调节机构驱动半分环5上移，使得半分环5远离扩晶环4，然后将晶圆蓝膜放置在扩晶环4上，并位于半分环5下方，然后竖直调节机构驱动半分环5下移并下压晶圆蓝膜，使得晶圆蓝膜的中部张紧在扩晶环4上，进而能够避免晶圆蓝膜过于松弛影响取晶精度。

结合图2、图3和图4所示，所述竖直调节机构包括活动环10和连接轴11，所述活动环10套设在所述扩晶环4的外周，二个所述半分环5对称安装在所述活动环10上，所述活动环10上设有沿竖直方向设置的螺纹孔12，所述连接轴11沿竖直方向设置，所述连接轴11的底部转动安装在所述支撑环2上，所述连接轴11的顶部设置有与所述螺纹孔12相配合的外螺纹13，所述外螺纹13安装在所述螺纹孔12中，所述连接轴11转动能够驱动所述活动环10上下移动，所述连接轴11和螺纹孔12的数量均为多个，多个所述连接轴11和螺纹孔12均沿周向设置；所述竖直调节机构还包括第一电机14、连接架15和第一气缸16，所述第一气缸16的缸体固定安装在所述机架1上，所述第一气缸16的活塞杆沿水平方向设置，并与所述连接架15固定连接，所述连接架15上设置有导杆17，所述导杆17平行于所述第一气缸16的活塞杆设置，所述机架1上设有与所述导杆17相配合的导套，所述导杆17插入所述导套中，并能沿所述导套滑动，所述第一电机14固定安装在所述连接架15上，所述第一电机14的输出轴上安装有第一斜齿轮18，所述支撑环2上转动安装有支撑轴19，所述支撑轴19沿竖直方向设置，所述支撑轴19上固定安装有第二斜齿轮20，所述第二斜齿轮20与所述第一斜齿轮18啮合设置，所述支撑轴19和多个所述连接轴11上均固定安装有转轮21，多个转轮21通过闭环传动带连接同步转动。

结合图5所示，所述支撑环2上还固定安装有限位杆22，所述限位杆22沿竖直方向设置，所述机架1上设置有第二气缸23，所述第二气缸23的活塞杆沿水平方向设置，所述第二气缸23的活塞杆上固定安装有限位块，所述限位块上沿竖直方向设置有限位槽24，所述第二气缸23的活塞杆工作能够顶推所述限位槽24卡紧在所述限位杆22上。

结合图6所示，所述支撑环2的外壁上设有环形齿25，所述机架1上安装有第二电机26，所述第二电机26的输出轴上安装有驱动齿轮27，所述驱动齿轮27的转动轴心平行于所述支撑环2的转动轴心，所述驱动齿轮27与所述环形齿25通过带连接。

第二电机26工作控制支撑环2转动，使得限位杆22转动至限位块位置，第二气缸23的活塞杆顶推限位块移动，并使得限位槽24卡紧在限位杆22上，以避免支撑环2转动，然后第一气缸16的活塞杆顶推连接架15移动，并使得第一斜齿轮18和第二斜齿轮20啮合，第一斜齿轮18在第一电机14的驱动下转动带动第二斜齿轮20转动，进而通过闭环传动带带动转轮21转动，转轮21带动连接轴11转动驱动活动环10上下移动，活动环10上下移动则带动半分环5上下移动来进行上下料，然后第一气缸16工作，使得第一斜齿轮18远离第二斜齿轮20，第二气缸23工作，使得限位槽24远离限位杆22，第二电机26工作来控制支撑环2转动来校正放置在扩晶盘上晶圆蓝膜的角度位置，进而避免晶圆蓝膜角度偏斜影响取晶工作。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (3)

1.一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，其特征在于：包括机架（1）和支撑环（2），所述机架（1）包括沿水平方向设置的安装板（3），所述安装板（3）中开设有安装孔，所述支撑环（2）转动安装在所述安装孔中，所述支撑环（2）的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环（2）中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环（4），所述支撑环（2）的上方设有半分环（5），所述半分环（5）的数量为二个，二个所述半分环（5）通过竖直调节机构安装在所述支撑环（2）上，所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环（5）沿竖直方向移动，并将所述晶圆蓝膜的中部张紧在所述扩晶环（4）上；

所述竖直调节机构包括活动环（10）和连接轴（11），所述活动环（10）套设在所述扩晶环（4）的外周，二个所述半分环（5）对称安装在所述活动环（10）上，所述活动环（10）上设有沿竖直方向设置的螺纹孔（12），所述连接轴（11）沿竖直方向设置，所述连接轴（11）的底部转动安装在所述支撑环（2）上，所述连接轴（11）的顶部设置有与所述螺纹孔（12）相配合的外螺纹（13），所述外螺纹（13）安装在所述螺纹孔（12）中，所述连接轴（11）转动能够驱动所述活动环（10）上下移动，所述连接轴（11）和螺纹孔（12）的数量均为多个，多个所述连接轴（11）和螺纹孔（12）均沿周向设置；

所述竖直调节机构还包括第一电机（14）、连接架（15）和第一气缸（16），所述第一气缸（16）的缸体固定安装在所述机架（1）上，所述第一气缸（16）的活塞杆沿水平方向设置，并与所述连接架（15）固定连接，所述连接架（15）上设置有导杆（17），所述导杆（17）平行于所述第一气缸（16）的活塞杆设置，所述机架（1）上设有与所述导杆（17）相配合的导套，所述导杆（17）插入所述导套中，并能沿所述导套滑动，所述第一电机（14）固定安装在所述连接架（15）上，所述第一电机（14）的输出轴上安装有第一斜齿轮（18），所述支撑环（2）上转动安装有支撑轴（19），所述支撑轴（19）沿竖直方向设置，所述支撑轴（19）上固定安装有第二斜齿轮（20），所述第二斜齿轮（20）与所述第一斜齿轮（18）啮合设置，所述支撑轴（19）和多个所述连接轴（11）上均固定安装有转轮（21），多个转轮（21）通过闭环传动带连接同步转动。

2.如权利要求1所述的取晶用晶圆蓝膜张紧机构，其特征在于：所述支撑环（2）上还固定安装有限位杆（22），所述限位杆（22）沿竖直方向设置，所述机架（1）上设置有第二气缸（23），所述第二气缸（23）的活塞杆沿水平方向设置，所述第二气缸（23）的活塞杆上固定安装有限位块，所述限位块上沿竖直方向设置有限位槽（24），所述第二气缸（23）的活塞杆工作能够顶推所述限位槽（24）卡紧在所述限位杆（22）上。

3.如权利要求1所述的取晶用晶圆蓝膜张紧机构，其特征在于：所述支撑环（2）的外壁上设有环形齿（25），所述机架（1）上安装有第二电机（26），所述第二电机（26）的输出轴上安装有驱动齿轮（27），所述驱动齿轮（27）的转动轴心平行于所述支撑环（2）的转动轴心，所述驱动齿轮（27）与所述环形齿（25）通过带连接。

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