CN112708873B - 用于在复杂几何形状部件上改进的气相沉积的系统和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于在复杂几何形状部件上改进的气相沉积的系统和方法。一种在复杂几何形状部件的内部基底表面上沉积材料层的示例性方法包括以下步骤：提供具有孔口的复杂几何形状部件，该孔口限定了复杂几何形状部件的内部基底表面的边缘，内部基底表面的至少一部分限定了从孔口不可见的第一区域；提供邻近复杂几何形状部件的第一区域的加热元件；将加热元件通电以升高第一区域的表面温度并在第一区域和相邻区域之间建立热梯度；以及提供气相沉积设备，该气相沉积设备被配置成在对应于复杂几何形状部件的第一区域的内部基底表面上沉积材料层。

Description

用于在复杂几何形状部件上改进的气相沉积的系统和方法
技术领域
本公开总体上涉及复杂几何形状部件的非视线表面上的气相沉积过程。
背景技术
气相沉积过程用于生产具有优异硬度、耐磨性、光滑度和抗氧化性的部件。通过气相沉积过程施加的薄膜典型地能够在独特的高应力环境中发挥作用。物理气相沉积过程是主要使用物理手段来沉积薄层材料的技术。然而，物理气相沉积过程是“视线”技术，这意味着这些过程对于对诸如在复杂几何形状中的那些不可见表面进行涂层并不理想。
发明内容
根据本公开的实施例提供了许多优点。例如，根据本公开的实施例通过使用局部加热来提高在非视线位置上的沉积效率，并提高在复杂几何形状部件上金属涂层覆盖的均匀性。
在本公开的一个方面，一种在复杂几何形状部件的内部基底表面上沉积材料层的方法包括以下步骤：提供具有孔口的复杂几何形状部件，该孔口限定了复杂几何形状部件的内部基底表面的边缘，内部基底表面的至少一部分限定了从孔口不可见的第一区域；提供邻近复杂几何形状部件的第一区域的加热元件；将加热元件通电以升高第一区域的表面温度；以及提供气相沉积设备，该气相沉积设备被配置成在对应于复杂几何形状部件的第一区域的内部基底表面上沉积材料层。
在一些方面，加热元件是线圈型加热器。
在一些方面，加热元件邻近对应于第一区域的复杂几何形状部件的外表面放置。
在一些方面，加热元件在第一区域和邻近第一区域的复杂几何形状部件的第二区域之间产生热梯度，使得在第一区域处的内部基底表面的温度大于在第二区域处的内部基底表面的温度。
在一些方面，热梯度为至少一百(100)度。
在一些方面，第二区域是从孔口可见的。
在一些方面，材料层由金属材料和陶瓷材料之一构成。
在一些方面，金属材料是镍、镍合金、铜和铜合金中的一种。
在本公开的另一方面，一种在复杂几何形状部件的内部基底表面上沉积材料涂层的方法包括：提供复杂几何形状部件，该复杂几何形状部件具有限定复杂几何形状部件的第一内部基底表面的边缘的第一孔口、限定复杂几何形状部件的第二内部基底表面的边缘的第二孔口，其中第一内部基底表面的至少一部分是不在第一孔口的视线内的第一区域，并且第二内部基底表面的至少一部分是不在第二孔口的视线内的第二区域。该方法还包括：提供邻近复杂几何形状部件的第一区域的第一加热元件；提供邻近复杂几何形状部件的第二区域的第二加热元件；将第一加热元件通电以升高第一区域的表面温度；将第二加热元件通电以升高第二区域的表面温度；在第一区域上气相沉积第一涂层；以及在第二区域上气相沉积第二涂层。
在一些方面，第一和第二加热元件中的每一个都是线圈型加热器。
在一些方面，第一加热元件邻近对应于第一区域的复杂几何形状部件的外表面放置，并且第二加热元件邻近对应于第二区域的复杂几何形状部件的外表面放置。
在一些方面，第一加热元件在第一区域和邻近第一区域的复杂几何形状部件的第三区域之间产生第一热梯度，使得在第一区域处的内部基底表面的温度大于在第三区域处的内部基底表面的温度。
在一些方面，在第一区域处的表面温度和在第三区域处的表面温度之间的差异大于一百(100)度。
在一些方面，第二加热元件在第二区域和邻近第二区域的复杂几何形状部件的第四区域之间产生第二热梯度，使得在第二区域处的内部基底表面的温度大于在第四区域处的内部基底表面的温度。
在一些方面，第一涂层是金属材料和陶瓷材料中的一种。
在一些方面，第二涂层是金属材料和陶瓷材料中的一种。
在一些方面，金属材料是镍、镍合金、铜和铜合金中的一种。
在本公开的另一个方面，一种用于改善内部基底表面上的气相沉积的系统包括：复杂几何形状部件，该复杂几何形状部件具有外表面和限定内部基底表面的第一边缘的第一孔口以及在内部基底表面中产生曲线的弯曲部，使得内部基底表面的至少第一区域从第一孔口不可见；以及邻近第一区域放置的加热元件，该加热元件在内部基底表面的第一区域和邻近第一区域的第二区域之间产生热梯度。
在一些方面，加热元件是线圈型加热器。
在一些方面，加热元件邻近对应于第一区域的复杂几何形状部件的外表面放置，使得加热元件在第一区域处的复杂几何形状部件的内部基底表面和在复杂几何形状部件的第二区域处的复杂几何形状部件的内部基底表面之间产生热梯度。
本发明提供下列方案。
方案1. 一种在部件的内部基底表面上沉积材料层的方法，包括：
提供具有限定所述部件的所述内部基底表面的边缘的孔口的所述部件，所述部件包括至少一个弯曲部，使得限定第一区域的所述内部基底表面的至少一部分从所述孔口不可见；
在所述部件的所述第一区域附近提供加热元件；
将所述加热元件通电以提高所述第一区域的表面温度；和
提供气相沉积设备，所述气相沉积设备被配置成在对应于所述部件的所述第一区域的所述内部基底表面上沉积所述材料层。
方案2. 根据方案1所述的方法，其中，所述加热元件是线圈型加热器。
方案3. 根据方案1所述的方法，其中，所述加热元件邻近对应于所述第一区域的所述部件的外表面放置。
方案4. 根据方案1所述的方法，其中，所述加热元件在所述第一区域和邻近所述第一区域的所述部件的第二区域之间产生热梯度，使得在所述第一区域处的所述内部基底表面的温度大于在所述第二区域处的所述内部基底表面的温度。
方案5. 根据方案4所述的方法，其中，所述热梯度为至少一百(100)度。
方案6. 根据方案4所述的方法，其中，所述第二区域从所述孔口中可见。
方案7. 根据方案1所述的方法，其中，所述材料层由金属材料和陶瓷材料之一构成。
方案8. 根据方案7所述的方法，其中，所述金属材料是镍、镍合金、铜和铜合金中的一种。
方案9. 一种在部件的内部基底表面上沉积材料的涂层的方法，包括：
提供所述部件，所述部件具有限定所述部件的第一内部基底表面的边缘的第一孔口和限定所述部件的第二内部基底表面的边缘的第二孔口，其中，所述第一内部基底表面的至少一部分是不在所述第一孔口的视线内的第一区域，并且所述第二内部基底表面的至少一部分是不在所述第二孔口的视线内的第二区域；
在所述部件的所述第一区域附近提供第一加热元件；
在所述部件的所述第二区域附近提供第二加热元件；
将所述第一加热元件通电以提高所述第一区域的表面温度；
将所述第二加热元件通电以提高所述第二区域的表面温度；
在所述第一区域上气相沉积第一涂层；和
在所述第二区域上气相沉积第二涂层。
方案10. 根据方案9所述的方法，其中，所述第一和第二加热元件中的每一个都是线圈型加热器。
方案11. 根据方案9所述的方法，其中，所述第一加热元件邻近对应于所述第一区域的所述部件的外表面放置，并且所述第二加热元件邻近对应于所述第二区域的所述部件的外表面放置。
方案12. 根据方案9所述的方法，其中，所述第一加热元件在所述第一区域和邻近所述第一区域的所述部件的第三区域之间产生第一热梯度，使得在所述第一区域处的所述内部基底表面的温度大于在所述第三区域处的所述内部基底表面的温度。
方案13. 根据方案12所述的方法，其中，在所述第一区域处的表面温度和在所述第三区域处的表面温度之间的差异大于一百(100)度。
方案14. 根据方案9所述的方法，其中，所述第二加热元件在所述第二区域和邻近所述第二区域的所述部件的第四区域之间产生第二热梯度，使得在所述第二区域处的所述内部基底表面的温度大于在所述第四区域处的所述内部基底表面的温度。
方案15. 根据方案9所述的方法，其中，所述第一涂层是金属材料和陶瓷材料中的一种。
方案16. 根据方案9所述的方法，其中，所述第二涂层是金属材料和陶瓷材料中的一种。
方案17. 根据方案16所述的方法，其中，所述金属材料是镍、镍合金、铜和铜合金中的一种。
方案18. 一种用于改善内部基底表面上的气相沉积的系统，包括：
部件，其具有外表面、限定所述内部基底表面的第一边缘的第一孔口、以及在所述内部基底表面中产生曲线的弯曲部，使得所述内部基底表面的至少第一区域从所述第一孔口不可见；和
邻近所述第一区域放置的加热元件，所述加热元件在所述内部基底表面的所述第一区域和邻近所述第一区域的第二区域之间产生热梯度。
方案19. 根据方案18所述的系统，其中，所述加热元件是线圈型加热器。
方案20. 根据方案18所述的系统，其中，所述加热元件邻近对应于所述第一区域的所述部件的外表面放置，使得所述加热元件在所述第一区域处的所述部件的所述内部基底表面和所述部件的所述第二区域处的所述内部基底表面之间产生热梯度。
附图说明
下文将结合以下附图描述本公开，其中相同的数字表示相同的元件。
图1是根据本发明的实施例的包括局部加热器的复杂几何形状部件的示意图。
图2是根据本发明的实施例的包括多个局部加热器的另一个复杂几何形状部件的示意图。
图3是根据本发明的实施例在复杂几何形状部件上进行气相沉积的方法的流程图。
结合附图，根据以下描述和所附权利要求书，本公开的前述和其他特征将变得更加完全显而易见。应当理解，这些附图仅描绘了根据本公开的若干实施例，而不应被认为是对本公开的范围的限制，将通过使用附图以附加的特征和细节来描述本公开。附图中或本文其他地方公开的任何尺寸仅用于说明目的。
具体实施方式
本文描述了本公开的实施例。然而，应当理解，所公开的实施例仅仅是示例，其他实施例可以采取不同的和替代的形式。附图不一定是按比例绘制的；一些特征可能被夸大或最小化以示出特定部件的细节。因此，本文公开的具体结构和功能细节不应被解释为限制性的，而仅仅作为教导本领域技术人员以各种方式使用本公开的代表性基础。如本领域的普通技术人员将理解的，参考任何一个附图示出和描述的各种特征可以与一个或多个其他附图中示出的特征相结合，以产生没有明确示出或描述的实施例。所示特征的组合为典型应用提供了代表性实施例。然而，与本公开的教导一致的特征的各种组合和修改对于特定的应用或实施方式可能是期望的。
某些术语在以下描述中可能仅出于参考目的而使用，因此并不旨在进行限制。例如，诸如“上方”和“下方”的术语是指所参考的附图中的方向。诸如“前”、“后”、“左”、“右”、“后部”和“侧”的术语描述了部件或元件的部分在一致但任意的参考系内的取向和/或位置，这通过参考描述所讨论的部件或元件的文本和相关联的附图而变得清楚。此外，诸如“第一”、“第二”、“第三”等的术语可以用来描述单独的部件。这样的术语可以包括上面特别提及的词语、其派生词和类似含义的词语。
典型地，气相沉积过程通过视线技术施加涂层，也就是说，从气相沉积设备的位置可以看到涂层施加的目标区域。然而，视线技术不能在复杂几何形状部件上进行有效的涂层沉积，该复杂几何形状部件可以包括将视线限制在内表面区域的例如但不限于多个孔口和形状，包括弯曲部、曲线部等。在各种实施例中，对于具有单个或多个孔口(入口和出口孔口)的复杂几何形状部件，改变气相沉积设备的位置可以改善到部件的一个或多个内部区域的视线，允许使用视线技术将涂层材料施加到期望的厚度。然而，即使在改变气相沉积设备的位置之后，部件的曲线部、弯曲部、转弯部或其他特征也可能限制视线进入一个或多个区域。本文讨论的方法和系统导致在复杂几何形状部件的原本难以到达的区域上形成坚固的涂层，诸如但不限于涡轮的内表面。
图1示出了使用气相沉积在复杂几何形状部件的表面或基底上沉积涂层的系统100的元件。在各种实施例中，涂层包括金属材料，诸如但不限于镍和镍合金以及铜和铜合金。在各种实施例中，涂层是陶瓷材料。系统100包括复杂几何形状部件102，在一些实施例中，复杂几何形状部件102是具有多个转弯部、曲线部等的部件，使得气相沉积设备101不具有到部件的所有内表面的视线。换句话说，部件的内表面的部分从经由气相沉积技术通过其施加涂层的孔口不可见。在各种实施例中，复杂几何形状部件是例如但不限于涡轮、多室部件或其他复杂几何形状部件(即，具有多个曲线部或其他特征使得部件的内表面的部分从部件的孔口不可见的部件)。
在一些实施例中，复杂几何形状部件102包括至少一个孔口103，通过该孔口，气相沉积材料被施加到复杂几何形状部件102的内部基底表面123。孔口103限定了复杂几何形状部件102的内部基底表面123的边缘。复杂几何形状部件102包括曲线部、弯曲部或其他特征。曲线部、弯曲部或其它特征将视线限制到至少一个区域104，导致在气相沉积过程中没有到复杂几何形状部件102的该至少一个区域104的涂层沉积。在区域104处的复杂几何形状部件102的内部基底表面123从孔口103不可见，也就是说，在区域104处的部件102的内部基底表面123不在气相沉积设备101的视线内，该气相沉积设备101邻近孔口103并将涂层导入孔口103中。区域104与区域106相邻，区域106在将涂层导入孔口103中的气相沉积设备101的视线内。
在各种实施例中，定位气相沉积设备以使得区域104在设备的视线内是不切实际的或不可能的。结果，气相沉积导致涂层材料在区域104处的不均匀涂层或不期望的厚度。
诸如加热器110的加热元件邻近区域104放置，与复杂几何形状部件102的外表面125接触或邻近。加热器110在气相沉积过程期间被通电。加热器110通过提高位于区域104处的内部基底表面123的表面温度并相对于邻近区域104的内部基底表面的温度降低区域104处的湿度来增加在区域104处的表面自由能，从而提高气相沉积材料与基底的碰撞率并提高在区域104处的沉积效率，以获得期望的材料涂层厚度。在各种实施例中，加热器110是邻近和/或接触在区域104处的复杂几何形状部件102的外表面的至少一部分放置的局部加热器，使得加热器110加热在区域104处的复杂几何形状部件102的内部基底表面，以在区域104和复杂几何形状部件102的邻近区域(诸如区域106)之间产生热梯度。在各种实施例中，加热器110是线圈型加热器，但是可以使用任何其他类型的局部加热器来加热区域104的基底。
加热器110在区域104处或附近放置在复杂几何形状部件102的外表面125上或附近，使得由加热器110产生的能量加热在区域104处的部件102的内部基底表面123。在各种实施例中，复杂几何形状部件102的相邻内部基底表面区域(诸如区域106)是与非视线区域104相邻的区域，其中传统的视线气相沉积过程已经产生了期望的涂层厚度。在区域104和区域106之间的热梯度的产生导致涂层材料在区域104处的改善的沉积以及材料在非视线区域104和相邻的视线区域之间的更均匀的沉积。在各种实施例中，温度梯度为大约一百(100)度。在其他实施例中，温度梯度大于一百(100)度。
在图2所示的另一个实施例中，系统200包括多个加热器，用于加热复杂几何形状部件202的多个区域的一个或多个内部基底表面223，以在复杂几何形状部件202的内部基底表面内产生多个热梯度。复杂几何形状部件202包括多个弯曲部段，这些弯曲部段导致典型气相沉积过程在部件202的内表面或基底上沉积均匀材料涂层时无效的区域，也就是说，复杂几何形状部件202的内表面的部分在气相沉积设备201的视线之外。复杂几何形状部件202包括多个孔口203，每个孔口限定复杂几何形状部件202的内部基底表面223的边缘。如图2所示，例如，四个孔口203限定了复杂几何形状部件202的四个边缘和四个内部基底表面223。在一些实施例中，气相沉积设备201邻近孔口203中的一个或多个放置，以将涂层材料导入每个孔口中，从而覆盖内部基底表面223。可以调节气相沉积设备201的位置，以将涂层材料引入每个孔口203中。
另外，复杂几何形状部件202还包括孔口213。孔口203可以是入口孔口，并且孔口213可以是出口孔口，反之亦然。在各种实施例中，气相沉积设备201邻近孔口203中的一个或多个和/或邻近孔口213放置，以引导涂层材料通过孔口203、213中的一个或多个。
图2示出了在一个或多个孔口203的视线之外的两个区域204、205，以及在复杂几何形状部件202的一个或多个孔口203的视线之内的两个区域206、207。类似于区域104，在区域204、205处的复杂几何形状部件202的内部基底表面不在孔口203的视线内。在各种实施例中，视线被定义为从孔口203延伸到部件202的弯头、曲线部或其他特征的纵向轴线，并且该纵向轴线不与内部基底表面223的区域204、205相交。
局部加热器210邻近或接触区域204、205中的每一个放置。类似于上面讨论的加热器110，加热器210被放置在复杂几何形状部件202的外表面225上或附近，使得加热器210的通电增加区域204、205中的每一个的内表面或基底温度，以提高沉积效率。
加热器210在区域204和相邻区域206的内部基底表面之间和在区域205和相邻区域207的内部基底表面之间建立热梯度。在各种实施例中，热梯度可以是至少100度。在各种实施例中，在区域204和区域206之间建立的第一热梯度可以不同于在区域205和区域207之间建立的第二热梯度。在各种实施例中，第一和第二热梯度中的每一个都是至少一百(100)度。在各种实施例中，如果部件202诸如通过放置在加热室中被预热，热梯度可以小于一百(100)度。
图3示出了使用气相沉积在复杂几何形状部件的表面上沉积涂层的方法300。方法300可以与包括图1和图2中所示的复杂几何形状部件的系统100和200结合使用，或者与没有到气相沉积表面的视线的任何其他复杂几何形状部件结合使用。不在气相沉积设备的视线内的区域是从孔口中不可见的区域，气相沉积材料通过该孔口被施加到复杂几何形状部件的内部基底表面。例如但不限于，由于部件的弯曲部、曲线部或其他特征，这些区域可能从孔口中看不到。方法300的操作顺序不限于图3所示的顺序执行，而是可以以一个或多个不同的顺序执行，或者可以同时执行步骤，如根据本公开所适用的。
首先，在302，选择复杂几何形状部件以用于气相沉积。接下来，在304，识别复杂几何形状部件的一个或多个非视线区域。一旦识别出非视线区域，在306，诸如加热器110、210的一个或多个加热器被放置成邻近或接触一个或多个非视线区域，并且加热器被通电以增加在非视线区域处的表面自由能。由加热器产生热梯度，使得复杂几何形状部件的基底材料在非视线区域处的温度高于周围视线区域中的温度。气相沉积过程在308继续，加热器增加在非视线区域处的表面自由能，以改善这些区域中涂层材料的粘附性。
在各种实施例中，方法300用于在复杂几何形状部件上沉积任何类型的金属材料，包括例如但不限于镍(Ni)和镍合金以及铜(Cu)和铜合金。在各种实施例中，方法300用于在复杂几何形状部件上沉积陶瓷材料。
应该强调的是，可以对本文描述的实施例进行许多变型和修改，这些实施例的元件应当被理解为在其他可接受的示例中。所有这样的修改和变型都意图在本文中包括在本公开的范围内，并受以下权利要求书的保护。此外，本文描述的任何步骤可以同时执行，或者以不同于本文排序的步骤的顺序执行。此外，应当显而易见的是，本文公开的具体实施例的特征和属性可以以不同的方式组合以形成附加实施例，所有这些都落入本公开的范围内。
除非另外特别说明，或者在所使用的上下文中另外被理解，本文使用的诸如“可”、“可能”、“可以”、“例如”等的条件语言通常旨在传达某些实施例包括而其他实施例不包括某些特征、元件和/或状态。因此，这种条件语言通常不旨在暗示一个或多个实施例以任何方式需要特征、元件和/或状态，或者暗示一个或多个实施例必须包括用于在有或没有作者输入或提示的情况下决定这些特征、元件和/或状态是否被包括在任何特定实施例中或在任何特定实施例中将被执行的逻辑。
此外，本文可能已经使用了以下术语。单数形式“一”、“一个”和“该”包括复数指代，除非上下文另有明确规定。因此，例如，对一个项目的引用包括对一个或多个项目的引用。术语“一”是指一个、两个或更多个，并且通常适用于选择一些或全部数量。术语“多个”是指两个或更多个项目。术语“约”或“大约”意指数量、尺寸、大小、配方、参数、形状和其他特性不需要精确，而是可以根据需要为近似的和/或更大或更小，反映可接受的公差、转换因子、舍入、测量误差等和本领域技术人员已知的其他因素。
为了方便起见，多个项目可能呈现在共同列表中。然而，这些列表应该被解释为好像列表的每个成员被单独地标识为单独的和唯一的成员。因此，在没有相反指示的情况下，此类列表中的任何单个成员都不应仅仅基于它们在共同组中的呈现而被解释为同一列表中的任何其他成员的事实上的等同物。此外，当术语“和”和“或”与项目的列表结合使用时，它们将被广义地解释，因为任何一个或多个列出的项目可以单独使用或与其他列出的项目结合使用。术语“备选地”是指选择两个或更多个备选方案中的一个，并且不旨在将选择限制为仅那些列出的备选方案或者一次仅一个列出的备选方案，除非上下文明确地指出其他情况。
虽然上面描述了示例性实施例，但是这些实施例并不旨在描述权利要求所包含的所有可能的形式。说明书中使用的词语是描述性的词语，而不是限制性的，并且应当理解，在不脱离本公开的精神和范围的情况下，可以进行各种改变。如前所述，各种实施例的特征可以被组合以形成本公开的另外的示例性方面，这些方面可能没有被明确地描述或示出。虽然各种实施例可能已经被描述为提供优势或者在一个或多个期望的特性方面优于其他实施例或现有技术实施方式，但是本领域的普通技术人员认识到，一个或多个特征或特性可以被折衷以实现期望的整体系统属性，这取决于具体的应用和实施方式。这些属性可以包括但不限于成本、强度、耐用性、生命周期成本、可销售性、外观、包装、尺寸、可维护性、重量、可制造性、组装容易性等。因此，在一个或多个特性方面描述为不如其他实施例或现有技术实施方式理想的实施例不在本公开的范围之外，并且对于特定应用可能是期望的。

Claims (16)

1.一种在部件的内部基底表面上沉积材料层的方法，包括：
提供具有限定所述部件的所述内部基底表面的边缘的孔口的所述部件，所述部件包括至少一个弯曲部，使得限定第一区域的所述内部基底表面的至少一部分从所述孔口不可见；
在所述部件的所述第一区域附近提供加热元件；
将所述加热元件通电以提高所述第一区域的表面温度，其中，所述加热元件在所述第一区域和邻近所述第一区域的所述部件的第二区域之间产生热梯度，使得在所述第一区域处的所述内部基底表面的温度大于在所述第二区域处的所述内部基底表面的温度；和
提供气相沉积设备，所述气相沉积设备被配置成在对应于所述部件的所述第一区域的所述内部基底表面上沉积所述材料层。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热元件是线圈型加热器。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热元件邻近对应于所述第一区域的所述部件的外表面放置。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二区域从所述孔口中可见。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述材料层由金属材料和陶瓷材料之一构成。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述金属材料是镍、镍合金、铜和铜合金中的一种。
7.一种在部件的内部基底表面上沉积材料的涂层的方法，包括：
提供所述部件，所述部件具有限定所述部件的第一内部基底表面的边缘的第一孔口和限定所述部件的第二内部基底表面的边缘的第二孔口，其中，所述第一内部基底表面的至少一部分是不在所述第一孔口的视线内的第一区域，并且所述第二内部基底表面的至少一部分是不在所述第二孔口的视线内的第二区域；
在所述部件的所述第一区域附近提供第一加热元件；
在所述部件的所述第二区域附近提供第二加热元件；
将所述第一加热元件通电以提高所述第一区域的表面温度，其中，所述第一加热元件在所述第一区域和邻近所述第一区域的所述部件的第三区域之间产生第一热梯度，使得在所述第一区域处的所述内部基底表面的温度大于在所述第三区域处的所述内部基底表面的温度；
将所述第二加热元件通电以提高所述第二区域的表面温度；
在所述第一区域上气相沉积第一涂层；和
在所述第二区域上气相沉积第二涂层。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一和第二加热元件中的每一个都是线圈型加热器。
9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一加热元件邻近对应于所述第一区域的所述部件的外表面放置，并且所述第二加热元件邻近对应于所述第二区域的所述部件的外表面放置。
10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第二加热元件在所述第二区域和邻近所述第二区域的所述部件的第四区域之间产生第二热梯度，使得在所述第二区域处的所述内部基底表面的温度大于在所述第四区域处的所述内部基底表面的温度。
11.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一涂层是金属材料和陶瓷材料中的一种。
12.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第二涂层是金属材料和陶瓷材料中的一种。
13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述金属材料是镍、镍合金、铜和铜合金中的一种。
14.一种用于改善内部基底表面上的气相沉积的系统，包括：
部件，其具有外表面、限定所述内部基底表面的第一边缘的第一孔口、以及在所述内部基底表面中产生曲线的弯曲部，使得所述内部基底表面的至少第一区域从所述第一孔口不可见；和
邻近所述第一区域放置的加热元件，所述加热元件在所述内部基底表面的所述第一区域和邻近所述第一区域的第二区域之间产生热梯度。
15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述加热元件是线圈型加热器。
16.根据权利要求14所述的系统，其中，所述加热元件邻近对应于所述第一区域的所述部件的外表面放置，使得所述加热元件在所述第一区域处的所述部件的所述内部基底表面和所述部件的所述第二区域处的所述内部基底表面之间产生热梯度。
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