CN112705059A - 动静结合稀释仪及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种动静结合稀释仪及其工作方法，动静结合稀释仪包括静态稀释组件、动态稀释组件、气源组件与稀释模式切换组件。当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通。第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内。当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度，能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通入到第一混合腔与排气总管内动态混合得到预标气。

Description

动静结合稀释仪及其工作方法

技术领域

本发明涉及稀释仪技术领域，特别是涉及一种动静结合稀释仪及其工作方法。

背景技术

动态稀释是指已知浓度的原标气与稀释气按照一定的流速比连续不断地进行混合，从而可以连续不断地配置得到一定浓度的标准气并进入后端装置，配气速度快；静态稀释是根据原标气、稀释气以及苏玛罐的体积或者压力计算稀释比，并依次将原料气和稀释气加入已知体积或压力的苏玛罐中，静态稀释配置出来的是高压气体，易于储存，可以离线使用。然而，常规的稀释仪应用模式较为单一，只有动态稀释模式或者只有静态稀释模式，不能将这两种稀释仪进行自动结合，无法满足更高的使用需求。

发明内容

基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种动静结合稀释仪及其工作方法，它能够兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。

其技术方案如下：一种动静结合稀释仪，所述动静结合稀释仪包括：静态稀释组件，所述静态稀释组件包括第一气路控制件、第一进气管、第二进气管、第一出气管、压力控制器、压力传感器及苏玛罐，所述第一气路控制件用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其中一个管道与所述第一出气管相连通，以及用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其余管道与所述第一出气管相断开，所述压力控制器与所述压力传感器沿着气流方向依次设于所述第一出气管上，所述第一出气管与所述苏玛罐相连通；动态稀释组件，所述动态稀释组件包括第一输气管、第二输气管、第一混合腔及排气总管，所述第一输气管与所述第二输气管上均设有流量计，所述第一输气管与所述第二输气管均和所述第一混合腔的入口相连通，所述第一混合腔的出口与所述排气总管相连；气源组件与稀释模式切换组件，所述气源组件包括第一储存罐与第二储存罐，所述第一储存罐用于储存稀释气体，所述第二储存罐用于储存高标气，所述稀释模式切换组件包括第一切换件与第二切换件，所述第一切换件用于控制所述第一储存罐与所述第一进气管或所述第一输气管相连通，所述第二切换件用于控制所述第二储存罐与所述第二进气管或所述第二输气管相连通。

上述的动静结合稀释仪，当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通。第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内。此外，第一气路控制件还控制第二进气管与第一出气管相连通，以将高标气通入到苏玛罐内。在压力控制器与压力传感器的作用下，便可以将定量的稀释气体与定量的高标气均通入到苏玛罐内进行静态混合得到预标气。当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，实现第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度，能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通入到第一混合腔与排气总管内动态混合得到预标气。如此，动静结合稀释仪兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。

在其中一个实施例中，所述静态稀释组件还包括设于所述第一出气管上的第一三通管，所述压力传感器通过所述第一三通管与所述第一出气管相连通；

或者，所述第二进气管为两个以上；所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二进气管、两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；

或者，所述静态稀释组件还包括第三进气管；所述第一气路控制件用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其中一个管道与第一出气管相连通，以及用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其余管道与第一出气管相断开；所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气，所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与所述第三进气管或第三输气管相连通；

或者，所述第一气路控制件为多位切换多通阀；所述多位切换多通阀设有第一接口、第二接口与出气口，所述第一接口与所述第一进气管相连通，所述第二接口与所述第二进气管相连通，所述出气口与第一出气管相连通；所述多位切换多通阀能用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其中一个接口与所述出气口相连通，以及用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其余接口与所述出气口相断开。

在其中一个实施例中，所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；

所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气；所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与第三进气管或第三输气管相连通。

在其中一个实施例中，所述第一切换件、所述第二切换件与所述第三切换件均为二位三通阀。

在其中一个实施例中，所述第一储存罐的出口通过第一通气管与所述第一切换件相连，所述第一通气管上设有第一开关阀；所述第二储存罐的出口通过第二通气管与所述第二切换件相连，所述第二通气管上设有第二开关阀；所述第三储存罐的出口通过第三通气管与所述第三切换件相连，所述第三通气管上设有第三开关阀。

在其中一个实施例中，所述动态稀释组件还包括第一汇总管、第二气路控制件与第二汇总管；所述第一汇总管、所述第三输气管、所述第二汇总管均和所述第二气路控制件相连；两个以上所述第二输气管均与所述第一汇总管相连通；所述第二汇总管还与所述第一混合腔的入口相连通；所述第二气路控制件用于控制所述第一汇总管或所述第三输气管与所述第二汇总管相连通。

在其中一个实施例中，所述动态稀释组件还包括设于所述第二输气管与所述第一汇总管之间的多通管及至少两个第二混合腔；两个以上所述第二输气管分成与至少两个所述第二混合腔一一对应设置的至少两个小组，每个所述小组均包括至少两个所述第二输气管；每个小组的所述第二输气管均与该小组所对应的所述第二混合腔的入口相连通；至少两个所述第二混合腔通过所述多通管与所述第一汇总管相连通。

在其中一个实施例中，所述第二输气管与所述第二混合腔的入口之间设有第三气路控制件，所述第三气路控制件连接有第一排空管，所述第三气路控制件用于控制所述第二输气管与所述第二混合腔的入口相连通或者与所述第一排空管相连通；所述第二混合腔的出口通过连通管与所述多通管相连，所述连通管上设有第四开关阀。

在其中一个实施例中，所述动态稀释组件还包括设于所述第三输气管与所述第一混合腔的入口之间的第四气路控制件，以及与所述第四气路控制件相连的第二排空管；所述第四气路控制件用于控制所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通或者与所述第二排空管相连通。

在其中一个实施例中，所述动态稀释组件还包括分流管、泄压阀、限流器与第五开关阀；所述排气总管上设有第二三通管，所述第二三通管与所述分流管相连通，所述泄压阀与所述限流器设于所述分流管上，所述第五开关阀设于所述排气总管的出气端。

一种所述的动静结合稀释仪的工作方法，包括如下步骤：

当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，使得第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通；第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内；第一气路控制件还控制第二进气管与第一出气管相连通，以将高标气通入到苏玛罐内；

当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，使得第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度。

上述的动静结合稀释仪的工作方法，兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例的动静结合稀释仪的结构示意图；

图2为本发明另一实施例的动静结合稀释仪的结构示意图；

图3为本发明又一实施例的动静结合稀释仪的结构示意图。

10、静态稀释组件；11、第一气路控制件；P0、出气口；P1、第一接口；P2、第二接口；P3、第三接口；12、第一进气管；13、第二进气管；14、第一出气管；15、压力控制器；16、压力传感器；17、苏玛罐；18、第一三通管；19、第三进气管；20、动态稀释组件；21、第一输气管；22、第二输气管；23、第一混合腔；24、排气总管；25、流量计；26、第三输气管；271、第一汇总管；272、第二气路控制件；273、第二汇总管；281、多通管；282、第二混合腔；283、第三气路控制件；284、第一排空管；285、连通管；286、第四开关阀；287、第四气路控制件；288、第二排空管；291、分流管；292、泄压阀；293、限流器；294、第五开关阀；295、第二三通管；30、气源组件；31、第一储存罐；32、第二储存罐；33、第三储存罐；34、第一通气管；35、第二通气管；36、第三通气管；37、第一开关阀；38、第二开关阀；39、第三开关阀；40、稀释模式切换组件；41、第一切换件；42、第二切换件；43、第三切换件。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

参阅图1，图1示出了本发明一实施例的动静结合稀释仪的结构示意图，本发明一实施例提供的一种动静结合稀释仪，动静结合稀释仪包括：静态稀释组件10、动态稀释组件20、气源组件30与稀释模式切换组件40。静态稀释组件10包括第一气路控制件11、第一进气管12、第二进气管13、第一出气管14、压力控制器15、压力传感器16及苏玛罐17。第一气路控制件11用于控制第一进气管12与第二进气管13中的其中一个管道与第一出气管14相连通，以及用于控制第一进气管12与第二进气管13中的其余管道与第一出气管14相断开。压力控制器15与压力传感器16沿着气流方向依次设于第一出气管14上，第一出气管14与苏玛罐17相连通。动态稀释组件20包括第一输气管21、第二输气管22、第一混合腔23及排气总管24。第一输气管21与第二输气管22上均设有流量计25。第一输气管21与第二输气管22均和第一混合腔23的入口相连通，第一混合腔23的出口与排气总管24相连。气源组件30包括第一储存罐31与第二储存罐32。第一储存罐31用于储存稀释气体，第二储存罐32用于储存高标气。稀释模式切换组件40包括第一切换件41与第二切换件42。第一切换件41用于控制第一储存罐31与第一进气管12或第一输气管21相连通，第二切换件42用于控制第二储存罐32与第二进气管13或第二输气管22相连通。

需要说明的是，高标气指的是高浓度的标准气体，标准气体根据实际需求选取，种类较多，在此不进行赘述与限定。预标气指的是高浓度的标准气经与稀释气体混合后所得到的预设浓度的标准气体。

需要说明的是，稀释气体例如为氮气、干燥空气、氦气及其他稀有气体等等。具体而言，在本实施例中，稀释气体例如为氮气。

上述的动静结合稀释仪，当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件40动作，实现第一储存罐31与第一进气管12连通，以及第二储存罐32与第二进气管13连通。第一气路控制件11控制第一进气管12与第一出气管14相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐17内。此外，第一气路控制件11还控制第二进气管13与第一出气管14相连通，以将高标气通入到苏玛罐17内。在压力控制器15与压力传感器16的作用下，便可以将定量的稀释气体与定量的高标气均通入到苏玛罐17内进行静态混合得到预标气。当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件40动作，实现第一储存罐31与第一输气管21连通，以及第二储存罐32与第二输气管22连通，第一输气管21上的流量计25打开到预设开度，第二输气管22上的流量计25打开到预设开度，能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通入到第一混合腔23与排气总管24内动态混合得到预标气。如此，动静结合稀释仪兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。

请参阅图1，进一步地，静态稀释组件10还包括设于第一出气管14上的第一三通管18，压力传感器16通过第一三通管18与第一出气管14相连通。具体而言，第一出气管14分为两段管，第一三通管18的其中两个连接端分别与两段管相连通，第一三通管18的另一个连接端与压力传感器16相连，这样压力传感器16便接入到第一出气管14上，能感应到苏玛罐17内的压力大小。需要说明的是，压力传感器16还可以通过其它方式装设于第一出气管14上，只要能实现与苏玛罐17相连通，感应苏玛罐17内的压力大小即可，具体如何连接在此不进行限定。

请参阅图1，进一步地，第二进气管13为两个以上。第二输气管22、第二切换件42与第二储存罐32均为两个以上。两个以上第二进气管13、两个以上第二输气管22、两个以上第二切换件42均与两个以上第二储存罐32一一对应设置。如此，两个以上第二进气管13能用于将两个以上第二储存罐32内的高标气对应通入到苏玛罐17中，从而能实现不同高标气各自进行混合，或者相互混合。并具体工作时，作为一个示例，当第一气路控制件11控制两个以上第二进气管13中的其中一个与第一出气管14相连通时，那么便能将该第二进气管13中的高标气相应送入到第一出气管14，此时其余第二进气管13均为截止状态，并不与第一出气管14相连通。此外，类似地，两个以上第二输气管22能用于将两个以上第二储存罐32内的高标气对应通入到第一混合腔23并进入到排气管中，从而能实现不同高标气各自进行动态混合，或者相互动态混合。

请参阅图1，在一个实施例中，静态稀释组件10还包括第三进气管19。第一气路控制件11用于控制第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19中的其中一个管道与第一出气管14相连通，以及用于控制第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19中的其余管道与第一出气管14相断开。

相应地，动态稀释组件20还包括第三输气管26。第三输气管26上设有流量计25，第三输气管26与第一混合腔23的入口相连通。气源组件30还包括第三储存罐33。第三储存罐33用于储存稀释气、再稀释气或空气，稀释模式切换组件40还包括第三切换件43。第三切换件43用于控制第三储存罐33与第三进气管19或第三输气管26相连通。

需要说明的是，当第一气路控制件11控制第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19中的其中一个管道与第一出气管14相连通时，第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19中的其余管道便与第一出气管14相断开。举例而言，当第一气路控制件11控制第一进气管12与第一出气管14相连通时，第二进气管13与第三进气管19均不与第一出气管14相连通，且第二进气管13与第三进气管19均为截止状态；再举例而言，当第一气路控制件11控制第二进气管13与第一出气管14相连通时，第一进气管12与第三进气管19均不与第一出气管14相连通，且第一进气管12与第三进气管19均为截止状态。

请参阅图1，在一个实施例中，第一气路控制件11为多位切换多通阀。多位切换多通阀设有第一接口P1、第二接口P2与出气口P0。第一接口P1与第一进气管12相连通，第二接口P2与第二进气管13相连通，出气口P0与第一出气管14相连通。多位切换多通阀能用于控制第一接口P1与第二接口P2中的其中一个接口与出气口P0相连通，以及用于控制第一接口P1与第二接口P2中的其余接口与出气口P0相断开。如此，当多位切换多通阀控制第一接口P1与出气口P0相连通时，第一进气管12便与第一出气管14相连通，可以将第一进气管12的稀释气体通入，此时第二接口P2为截止状态不与出气口P0连通，也就是此工作状态下第二进气管13不会将高标气通入到第一出气管14中；同样地，当多位切换多通阀控制第二接口P2与出气口P0相连通时，第二进气管13便与第一出气管14相连通，可以将第二进气管13的高标气通入，此时第一接口P1为截止状态不与出气口P0连通，也就是此工作状态下第一进气管12不会将稀释气体通入到第一出气管14中。

请参阅图1，进一步地，为了能连接两个以上第二进气管13，多位切换多通阀的第二接口P2可以不止是一个，例如可以为两个以上，此时，两个以上第二接口P2便可以对应装设两个以上第二进气管13。例如本实施例中示意出的第二接口P2具体为4个，便可以将4种高浓度的标准气体对应通入。

请参阅图1，进一步地，为了能连接第三进气管19，多位切换多通阀还设有第三接口P3，第三接口P3用于与第三进气管19相连通。多位切换多通阀能控制第一接口P1、第二接口P2及第三接口P3中的其中一个接口与出气口P0相连通，以及用于控制第一接口P1、第二接口P2及第三接口P3中的其余接口与出气口P0相断开。

可选地，第一气路控制件11也不限于采用多位切换多通阀，也可以采用多个控制开关，并将控制开关分别布置于第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19上，将第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19中的其中一个管道上的控制开关打开，其余管道上的控制开关关闭，便可以控制第一进气管12、第二进气管13及第三进气管19中的其中一个管道与第一出气管14相连通。

在一个实施例中，动静结合稀释仪还包括用于对第一气路控制件11进行加热处理的加热件(图未示)。如此，通过加热件对第一气路控制件11进行加热，能尽可能地减少第一气路控制件11的管壁会对标准气体有所吸附，从而能提高标气的稀释精度。具体而言，加热件的结构在此不进行限定，例如为缠绕于第一气路控制件11外壁的电热丝，或者置于第一气路控制件11内壁的电热丝，或者采用半导体将产生的热量传递给第一气路控制件11等等。

在一个实施例中，动静结合稀释仪还包括测温件与保温件(图未示)。测温件用于获取第一气路控制件11的温度，测温件与加热件电性连接。保温件套设于第一气路控制件11的外部。如此，通过测温件对第一气路控制件11的温度进行感测，并相应控制加热件进行加热工作与否，从而能较好的控制第一气路控制件11的温度在预设范围。

具体而言，保温件包括绕设于第一气路控制件11外壁上的保温棉、石英纤维布、纳米毡或者其它保温材料。此外，保温件也可以包括罩设于第一气路控制件11外壁上的保温罩。当然，保温件也可以既可以包括绕设于第一气路控制件11外壁上的保温棉，以及罩设于第一气路控制件11外的保温罩，从而对第一气路控制件11起到良好的保温效果。

可选地，也可以无需在第一气路控制件11上设置加热件、测温件及保温件，而是将第一气路控制件11采用钝化处理的金属件，如此钝化处理的金属件同样对标准气体的吸附能力低，能尽可能地减少第一气路控制件11的内壁上吸附的标准气体的量，从而能提高标气的稀释精度。

请参阅1，在一个具体的实施例中，第二输气管22、第二切换件42与第二储存罐32均为两个以上。两个以上第二输气管22、两个以上第二切换件42均与两个以上第二储存罐32一一对应设置。此外，动态稀释组件20还包括第三输气管26。第三输气管26上设有流量计25，第三输气管26与第一混合腔23的入口相连通。气源组件30还包括第三储存罐33。第三储存罐33用于储存稀释气、再稀释气或空气。稀释模式切换组件40还包括第三切换件43。第三切换件43用于控制第三储存罐33与第三进气管19或第三输气管26相连通。

进一步地，第一切换件41、第二切换件42与第三切换件43均为二位三通阀。以第一切换件41为例进行展开说明，第二切换件42与第三切换件43相类似。第一切换件41为二位三通阀，二位三通阀的第一端口与第一储气罐相连通，二位三通阀的第二端口与第一进气管12相连通，二位三通阀的第三端口与第一输气管21相连通。二位三通阀设有第一工作状态与第二工作状态，当二位三通阀工作于第一工作状态时，二位三通阀的第一端口与第二端口相连通，进行静态稀释模式；当二位三通阀工作于第二工作状态时，二位三通阀的第一端口与第三端口相连通，进行动态稀释模式。

请再参阅图1，在一个实施例中，第一储存罐31的出口通过第一通气管34与第一切换件41相连，第一通气管34上设有第一开关阀37。第二储存罐32的出口通过第二通气管35与第二切换件42相连，第二通气管35上设有第二开关阀38。第三储存罐33的出口通过第三通气管36与第三切换件43相连，第三通气管36上设有第三开关阀39。如此，当第一储存罐31不投入工作时，第一开关阀37关闭，避免第一储存罐31内的气体向外输送；当第一储存罐31投入工作时，第一开关阀37打开，第一储存罐31内的气体便可以向外输送。第二储存罐32与第三储存罐33类似，不再赘述。具体而言，第一开关阀37、第二开关阀38、第三开关阀39例如可以是电磁开关阀、气动开关阀、手动机械阀等等，在此不进行限定。

请参阅图1，在一个实施例中，动态稀释组件20还包括第一汇总管271、第二气路控制件272与第二汇总管273。第一汇总管271、第三输气管26、第二汇总管273均和第二气路控制件272相连。两个以上第二输气管22均与第一汇总管271相连通。第二汇总管273还与第一混合腔23的入口相连通。第二气路控制件272用于控制第一汇总管271或第三输气管26与第二汇总管273相连通。如此，在第二气路控制件272的控制下，可以实现第三输气管26将气体输入到第二汇总管273并进入到第一混合腔23，从而与由第一输气管21输入到第一混合腔23内的稀释气体进行混合，然后再进入到排气总管24中；此外，在第二气路控制件272的控制下，可以实现第一汇总管271与第二汇总管273连通，这样其中一个或两个以上第二输气管22的高标气进入到第一汇总管271后，再进入到第二汇总管273及进入到第一混合腔23，与由第一输气管21输入到第一混合腔23内的稀释气体进行混合，接着进入到排气总管24中。

具体而言，第二气路控制件272例如为二位三通阀，二位三通阀的第一端口与第三输气管26相连通，二位三通阀的第二端口与第一汇总管271相连通，二位三通阀的第三端口与第二汇总管273相连通。

其中，二位三通阀例如为二位三通电磁阀或者二位三通气动阀等等，如此可以自动控制第一汇总管271或第三输气管26与第二汇总管273相连通，无需人为手动操作，工作效率较高。

可以理解的是，第二气路控制件272不限于采用上述的二位三通阀，例如可以采用三通管将第三输气管26的出气端、第一汇总管271的出气端及第二汇总管273的进气端相互连接在一起，并在第三输气管26、第一汇总管271及第二汇总管273上分别设置开关阀来代替二位三通阀。

请参阅图2，图2示出了本发明另一实施例的动静结合稀释仪的结构示意图。在一个实施例中，动态稀释组件20还包括设于第二输气管22与第一汇总管271之间的多通管281及至少两个第二混合腔282。两个以上第二输气管22分成与至少两个第二混合腔282一一对应设置的至少两个小组，每个小组均包括至少两个第二输气管22。每个小组的第二输气管22均与该小组所对应的第二混合腔282的入口相连通。至少两个第二混合腔282通过多通管281与第一汇总管271相连通。如此，每个小组的第二输气管22内的气体输入到第二混合腔282中进行混合充分后，再流入到多通管281，通过多通管281进入到第一汇总管271。

具体在本实施例中，第二输气管22例如为4个，4个第二输气管22分为两个小组，每个小组的第二输气管22为两个。对于其中一个小组而言，两个第二输气管22并联接入到第二混合腔282的入口，第二混合腔282的出口与第一汇总管271相连通。

请参阅图3，图3示出了本发明又一实施例的动静结合稀释仪的结构示意图。在一个实施例中，第二输气管22与第二混合腔282的入口之间设有第三气路控制件283。第三气路控制件283连接有第一排空管284。第三气路控制件283用于控制第二输气管22与第二混合腔282的入口相连通或者与第一排空管284相连通。第二混合腔282的出口通过连通管285与多通管281相连，连通管285上设有第四开关阀286。

如此，在将第二输气管22内的气体与其它气体混合之前，可以通过第三气路控制件283控制第二输气管22与第一排空管284连通，这样第二输气管22内的一部分气体通过第一排空管284向外排放，起到对第二输气管22清洁作用。可以理解的是，可以只是在其中一个、两个或若干个第二输气管22与第二混合腔282的入口之间设置第三气路控制件283，也可以在每个第二输气管22与第二混合腔282的入口之间设置第三气路控制件283，在此不进行限定，可以根据实际需求进行设置。

此外，小组不需要向对应的第二混合腔282通入气体时，第二混合腔282连接的连通管285上的第四开关阀286处于关闭状态；小组需要向对应的第二混合腔282通入气体时，第二混合腔282连接的连通管285上的第四开关阀286处于开启状态。如此，这样保证小组在不工作时，能避免其它小组的气体通过多通阀与第二混合腔282进入，能有利于提高小组的洁净度。

需要说明的是，第三气路控制件283例如为二位三通阀，二位三通阀的第一端口与第二输气管22相连通，二位三通阀的第二端口与第二混合腔282的入口相连通，二位三通阀的第三端口与第一排空管284相连通。

请参阅图3，在一个实施例中，动态稀释组件20还包括设于第三输气管26与第一混合腔23的入口之间的第四气路控制件287，以及与第四气路控制件287相连的第二排空管288。第四气路控制件287用于控制第三输气管26与第一混合腔23的入口相连通或者与第二排空管288相连通。如此，类似于第三气路控制件283，第四气路控制件287也可以实现第三输气管26通入气体到第一混合腔23之前，通过使得第三输气管26与第二排空管288相连通，对第三输气管26进行清洁动作，以保障稀释精度。

请参阅图3，在一个具体的实施例中，在第三输气管26与第一混合腔23的入口之间不止是设置有第四气路控制件287，还例如设有第二气路控制件272与第二汇总管273。

请参阅图2或图3，在一个实施例中，动态稀释组件20还包括分流管291、泄压阀292、限流器293与第五开关阀294。排气总管24上设有第二三通管295。第二三通管295与分流管291相连通。泄压阀292与限流器293设于分流管291上，第五开关阀294设于排气总管24的出气端。如此，对于动态稀释模式，在配气稳定之前，第五开关阀294保持关闭；待配气稳定一段时间之后，再打开第五开关阀294，稀释好的气体通过排气总管24进入到检测仪器中。

请参阅图3，在一个实施例中，一种上述任意一实施例的动静结合稀释仪的工作方法，包括如下步骤：

步骤S100、当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件40动作，使得第一储存罐31与第一进气管12连通，以及第二储存罐32与第二进气管13连通；第一气路控制件11控制第一进气管12与第一出气管14相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐17内；第一气路控制件11还控制第二进气管13与第一出气管14相连通，以将高标气通入到苏玛罐17内；

如此，在压力控制器15与压力传感器16的作用下，便可以将定量的稀释气体与定量的高标气均通入到苏玛罐17内进行静态混合得到预标气。

步骤S200、当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件40动作，使得第一储存罐31与第一输气管21连通，以及第二储存罐32与第二输气管22连通，第一输气管21上的流量计25打开到预设开度，第二输气管22上的流量计25打开到预设开度。

如此，能实现定量的稀释气体与定量的高标气均同步通入到第一混合腔23与排气总管24内动态混合得到预标气。

上述的动静结合稀释仪的工作方法，兼具动态稀释模式与静态稀释模式，能提升产品性能。

需要说明的是，将高浓度的标准气体通入到苏玛罐17内稀释结束后，苏玛罐17内标准气体的浓度还不能达到要求，若为了将苏玛罐17内的标准气体进一步进行稀释，则可以将苏玛罐17内的标准气体例如转移到第三储存罐33中，通过第三切换件43控制第三进气管19与第三储存罐33相连，以及通过第一气路控制件11控制第三进气管19与第一出气口P0相连通，按照上述实施例中的方式将第三储存罐33内的标准气体进行进一步稀释即可，在此不进行赘述。

进一步地，当工作于静态稀释模式时，步骤S100具体包括如下步骤：

步骤S110、通入稀释气体步骤，第一气路控制件11控制第一进气管12与第一出气管14相连通，将第一预设量的稀释气体通入到苏玛罐17内；

步骤S120、通入高浓度的标准气体步骤，第一气路控制件11控制第二进气管13与第一出气管14相连通，将第二预设量的高浓度的标准气体通入到苏玛罐17内。

可选地，通入稀释气体步骤与通入高浓度的标准气体步骤的先后顺序在此不进行限定，可以先进行通入稀释气体步骤，然后再进行通入高浓度的标准气体步骤；也可以先进行通入高浓度的标准气体步骤，然后再进行通入稀释气体步骤；还可以先进行通入稀释气体步骤，然后再进行通入高浓度的标准气体步骤，接着再进行通入稀释气体步骤等等。

进一步地，在步骤S110中，将第一预设量的稀释气体通入到苏玛罐17内的方法包括：

步骤S111、先将第一预设量中的一部分稀释气体依次通过第一进气管12、第一出气管14通入到苏玛罐17内；

步骤S112、然后将第二预设量的高浓度的标准气体依次通过第二进气管13、第一出气管14通入到苏玛罐17内；

步骤S113、接着再将第一预设量的其余部分稀释气体依次通过第一进气管12、第一出气管14通入到苏玛罐17内。

如此，苏玛罐17一般选用真空罐，由于先将一部分稀释气体通入到苏玛罐17内，这样苏玛罐17有一定压力，然后将第二预设量的高浓度的标准气体通入到苏玛罐17内与稀释气体相混合时，由于苏玛罐17有一定压力，即使第二预设量通常较小，也能便于准确地通入到苏玛罐17中，从而能提高稀释精度。

例如，第一预设量为20摩尔，第二预设量为2摩尔，先例如将5摩尔的稀释气体通入到苏玛罐17内，然后将2摩尔的标准气体通入到苏玛罐17内，接着将剩余的15摩尔的稀释气体通入到苏玛罐17内。

具体而言，在步骤S111中，先将第一预设量中一部分的稀释气体通入到苏玛罐17内时，通过压力传感器16检测的第一压力大小来判断是否达到要求，例如判断第一压力是否达到12个PSI，当第一压力达到12个PSI时，表明稀释气体第一次通入量达到需求；然后将第二预设量的高浓度标准气体通入到苏玛罐17内，通过压力传感器16检测的第二压力大小来判断是否达到要求，例如判断第二压力是否达到14个PSI，当第二压力达到14个PSI时，表明高浓度的标准气体通入达到需求；接着将第一预设量的剩余部分的稀释气体通入到苏玛罐17内，通过压力传感器16检测的第三压力大小来判断是否达到要求，例如判断第三压力是否达到40个PSI，当第一压力达到40个PSI时，表明稀释气体第二次通入量达到需求，如此便将高浓度标准气体由2个PSI稀释到了40个PSI压力大小，即稀释了20倍。

进一步地，判断苏玛罐17内是否通入预设量的稀释气体的方法包括：

步骤S1111、将稀释气体通入到苏玛罐17内后，当压力传感器16检测到的压力大小达到第一目标值时控制气体流量控制器停止通入稀释气体；

步骤S1112、在停止通入稀释气体的第二预设时间内判断压力传感器16检测到的压力大小的改变量超出第一预设范围，则控制气体流量控制器继续将稀释气体通入到苏玛罐17内；

步骤S1113、在停止通入稀释气体的第二预设时间内判断压力传感器16检测到的压力大小的改变量未超出第一预设范围时，表明苏玛罐17内通入预设量的稀释气体。

如此，当压力传感器16检测到的压力大小达到第一目标值时，需要让气路稳定第二预设时间，然后再判断压力传感器16检测到的压力大小与第一目标值的关系，当改变量超出第一预设范围，则表明苏玛罐17内并未通入预设量的稀释气体，此时则需要进一步向苏玛罐17内通入稀释气体，才能实现达到预设量；反之，则不需要再向苏玛罐17内通入稀释气体。

需要说明的是，第一目标值根据预设量来确定。此外，第一预设范围、第二预设时间、改变量可以根据实际情况进行调整设置，在此不进行限定。

需要说明的是，判断苏玛罐17内是否通入预设量的高浓度标准气体的方法与判断苏玛罐17内是否通入预设量的稀释气体的方法相类似，在此不进行赘述。

进一步地，当需要将两种以上高浓度的标准气体与稀释气体进行稀释混合时，通入高浓度的标准气体步骤具体包括：将两种以上高浓度的标准气体依次通入到苏玛罐17内。

具体而言，本实施例中，第二进气管13为两个以上，当需要将两种以上高浓度的标准气体与稀释气体进行稀释混合时，则第一气路控制件11控制两个以上第二进气管13依次与第一出气管14相连通，便可以实现将两种以上高浓度的标准气体与稀释气体进行稀释混合，且能保证稀释精度。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (10)

1.一种动静结合稀释仪，其特征在于，所述动静结合稀释仪包括：

静态稀释组件，所述静态稀释组件包括第一气路控制件、第一进气管、第二进气管、第一出气管、压力控制器、压力传感器及苏玛罐，所述第一气路控制件用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其中一个管道与所述第一出气管相连通，以及用于控制所述第一进气管与所述第二进气管中的其余管道与所述第一出气管相断开，所述压力控制器与所述压力传感器沿着气流方向依次设于所述第一出气管上，所述第一出气管与所述苏玛罐相连通；

动态稀释组件，所述动态稀释组件包括第一输气管、第二输气管、第一混合腔及排气总管，所述第一输气管与所述第二输气管上均设有流量计，所述第一输气管与所述第二输气管均和所述第一混合腔的入口相连通，所述第一混合腔的出口与所述排气总管相连；

气源组件与稀释模式切换组件，所述气源组件包括第一储存罐与第二储存罐，所述第一储存罐用于储存稀释气体，所述第二储存罐用于储存高标气，所述稀释模式切换组件包括第一切换件与第二切换件，所述第一切换件用于控制所述第一储存罐与所述第一进气管或所述第一输气管相连通，所述第二切换件用于控制所述第二储存罐与所述第二进气管或所述第二输气管相连通。

2.根据权利要求1所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述静态稀释组件还包括设于所述第一出气管上的第一三通管，所述压力传感器通过所述第一三通管与所述第一出气管相连通；

或者，所述第二进气管为两个以上；所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二进气管、两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；

或者，所述静态稀释组件还包括第三进气管；所述第一气路控制件用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其中一个管道与第一出气管相连通，以及用于控制第一进气管、第二进气管及第三进气管中的其余管道与第一出气管相断开；所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气，所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与所述第三进气管或第三输气管相连通；

或者，所述第一气路控制件为多位切换多通阀；所述多位切换多通阀设有第一接口、第二接口与出气口，所述第一接口与所述第一进气管相连通，所述第二接口与所述第二进气管相连通，所述出气口与第一出气管相连通；所述多位切换多通阀能用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其中一个接口与所述出气口相连通，以及用于控制所述第一接口与所述第二接口中的其余接口与所述出气口相断开。

3.根据权利要求1所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述第二输气管、所述第二切换件与所述第二储存罐均为两个以上；两个以上所述第二输气管、两个以上所述第二切换件均与两个以上所述第二储存罐一一对应设置；

所述动态稀释组件还包括第三输气管，所述第三输气管上设有流量计，所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通；所述气源组件还包括第三储存罐，所述第三储存罐用于储存稀释气、再稀释气或空气；所述稀释模式切换组件还包括第三切换件，所述第三切换件用于控制所述第三储存罐与第三进气管或第三输气管相连通。

4.根据权利要求3所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述第一储存罐的出口通过第一通气管与所述第一切换件相连，所述第一通气管上设有第一开关阀；所述第二储存罐的出口通过第二通气管与所述第二切换件相连，所述第二通气管上设有第二开关阀；所述第三储存罐的出口通过第三通气管与所述第三切换件相连，所述第三通气管上设有第三开关阀。

5.根据权利要求3所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括第一汇总管、第二气路控制件与第二汇总管；所述第一汇总管、所述第三输气管、所述第二汇总管均和所述第二气路控制件相连；两个以上所述第二输气管均与所述第一汇总管相连通；所述第二汇总管还与所述第一混合腔的入口相连通；所述第二气路控制件用于控制所述第一汇总管或所述第三输气管与所述第二汇总管相连通。

6.根据权利要求5所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括设于所述第二输气管与所述第一汇总管之间的多通管及至少两个第二混合腔；两个以上所述第二输气管分成与至少两个所述第二混合腔一一对应设置的至少两个小组，每个所述小组均包括至少两个所述第二输气管；每个小组的所述第二输气管均与该小组所对应的所述第二混合腔的入口相连通；至少两个所述第二混合腔通过所述多通管与所述第一汇总管相连通。

7.根据权利要求6所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述第二输气管与所述第二混合腔的入口之间设有第三气路控制件，所述第三气路控制件连接有第一排空管，所述第三气路控制件用于控制所述第二输气管与所述第二混合腔的入口相连通或者与所述第一排空管相连通；所述第二混合腔的出口通过连通管与所述多通管相连，所述连通管上设有第四开关阀。

8.根据权利要求5所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括设于所述第三输气管与所述第一混合腔的入口之间的第四气路控制件，以及与所述第四气路控制件相连的第二排空管；所述第四气路控制件用于控制所述第三输气管与所述第一混合腔的入口相连通或者与所述第二排空管相连通。

9.根据权利要求1所述的动静结合稀释仪，其特征在于，所述动态稀释组件还包括分流管、泄压阀、限流器与第五开关阀；所述排气总管上设有第二三通管，所述第二三通管与所述分流管相连通，所述泄压阀与所述限流器设于所述分流管上，所述第五开关阀设于所述排气总管的出气端。

10.一种如权利要求1至9任意一项所述的动静结合稀释仪的工作方法，其特征在于，包括如下步骤：

当工作于静态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，使得第一储存罐与第一进气管连通，以及第二储存罐与第二进气管连通；第一气路控制件控制第一进气管与第一出气管相连通，以将稀释气体通入到苏玛罐内；第一气路控制件还控制第二进气管与第一出气管相连通，以将高标气通入到苏玛罐内；

当工作于动态稀释模式时，稀释模式切换组件动作，使得第一储存罐与第一输气管连通，以及第二储存罐与第二输气管连通，第一输气管上的流量计打开到预设开度，第二输气管上的流量计打开到预设开度。

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