CN112683586A - 一种取样装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种取样装置，包括：箱体，箱体内限定有第一腔室和第二腔室，第一腔室与第二腔室连通；取样结构，取样结构设置于第一腔室中；机械臂，机械臂上设有夹爪，夹爪在第一腔室与第二腔室中可移动；清洗结构，清洗结构设在第二腔室中。在本发明的取样装置中，取样结构设置于第一腔室中，机械臂上设有夹爪，夹爪在第一腔室与第二腔室中可移动，清洗结构设在第二腔室中，在取样过程中，可以通过夹爪来夹取取样瓶和瓶盖，通过清洗结构可以清洗取样瓶和瓶盖，可以在第一腔室中完成取样，避免外部环境中的污染物进入药液，提高清洗液的检测结果的准确性，保证硅片的清洗效果，提高硅片的加工质量。
Description
技术领域
本发明涉及硅片技术领域，具体涉及一种取样装置。
背景技术
在硅片生产过程中，颗粒和不纯物等各种杂质会导致硅片表面受到污染，在清洗工艺中使用药液对硅片表面的颗粒和金属进行去除。如果药液本身受到污染，也会对硅片表面产生污染，需要取样分析清洗液是否污染，但是在取样过程中，操作员以及周围环境中的污染物会进入到清洗液，导致清洗液的检测结果不准确，影响硅片的清洗效果，导致硅片的加工质量降低。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种取样装置，用以解决在取样过程中，操作员以及周围环境中的污染物会进入到清洗液，导致清洗液的检测结果不准确的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
本发明实施例提供一种取样装置，包括：
箱体，所述箱体内限定有第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室连通；
取样结构，所述取样结构设置于所述第一腔室中；
机械臂，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动；
清洗结构，所述清洗结构设在所述第二腔室中。
其中，所述箱体上设有挡板，所述挡板在第一位置与第二位置之间移动，当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板隔断所述第一腔室与所述第二腔室；当所述挡板位于所述第二位置时，所述第一腔室与所述第二腔室连通。
其中，所述取样结构包括取样管，所述取样管可活动。
其中，所述取样管上设有调节阀以导通或关闭所述取样管。
其中，所述箱体的底部设有承载板，所述承载板与所述箱体的底壁间隔开，所述承载板上设有通孔。
其中，所述清洗结构包括至少一个喷嘴，所述喷嘴位于所述承载板的上方。
其中，所述箱体的底壁上设有排出口。
其中，所述夹爪围绕第一轴线可旋转，所述第一轴线与所述箱体的底壁垂直。
其中，所述夹爪沿上下方向可移动。
其中，所述机械臂包括第一机械臂和第二机械臂，所述第二机械臂设在所述第一机械臂上，所述第二机械臂的至少部分可在所述第一腔室与所述第二腔室中移动，所述夹爪设在所述第二机械臂上。
根据本发明实施例的取样装置，包括：箱体，所述箱体内限定有第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室连通；取样结构，所述取样结构设置于所述第一腔室中；机械臂，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动；清洗结构，所述清洗结构设在所述第二腔室中。在本发明的取样装置中，所述取样结构设置于所述第一腔室中，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动，所述清洗结构设在所述第二腔室中，在取样过程中，可以通过夹爪来夹取取样瓶和瓶盖，通过清洗结构可以清洗取样瓶和瓶盖，可以在第一腔室中完成取样，避免外部环境中的污染物进入药液，提高清洗液的检测结果的准确性，保证硅片的清洗效果，提高硅片的加工质量。
附图说明
图1为本发明实施例的取样装置的一个结构示意图；
图2为本发明实施例的取样装置取样过程中的一个示意图。
附图标记
箱体10；第一腔室11；第二腔室12；挡板13；承载板14；排出口15；
取样管20；调节阀21；控制器22；
第一机械臂31；第二机械臂32；夹爪33；
喷嘴40；
取样瓶50；瓶盖51。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面具体描述根据本发明实施例的取样装置。
如图1和图2所示，根据本发明实施例的取样装置包括箱体10、取样结构、机械臂和清洗结构，其中，箱体10内限定有第一腔室11和第二腔室12，第一腔室11与第二腔室12连通，取样结构设置于第一腔室11中，机械臂上设有夹爪33，夹爪33在第一腔室11与第二腔室12中可移动，清洗结构设在第二腔室12中。其中，箱体10可以为长方体状，取样结构可以为取样管，比如滴管；取样结构设置于第一腔室11中，可以将取样瓶放置于第一腔室11中，便于取样；机械臂上设有夹爪33，夹爪33在第一腔室11与第二腔室12中可移动，夹爪33在第一腔室11与第二腔室12中灵活移动便于移动取样瓶和瓶盖，通过夹爪33可以夹取取样瓶和瓶盖，通过夹爪33可以移动取样瓶和瓶盖，可以将瓶盖安装在取样瓶上或从取样瓶上取下；清洗结构设在第二腔室12中，在第二腔室12中可以通过清洗结构清洗取样瓶和瓶盖，减少污染物，可以将取样瓶放置于第一腔室11中，利用取样结构向取样瓶中加入样液，取样完成后，可以通过夹爪33夹取瓶盖并将瓶盖安装在取样瓶上，防止污染样液。
在本发明的取样装置中，所述取样结构设置于所述第一腔室中，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动，所述清洗结构设在所述第二腔室中，在取样过程中，可以通过夹爪来夹取取样瓶和瓶盖，通过清洗结构可以清洗取样瓶和瓶盖，可以在第一腔室中完成取样，避免外部环境中的污染物进入药液，提高清洗液的检测结果的准确性，保证硅片的清洗效果，提高硅片的加工质量。
在一些实施例中，如图1所示，箱体10上设有挡板13，挡板13在第一位置与第二位置之间移动，比如，挡板13可以沿着竖直方向移动以使挡板13在第一位置与第二位置之间切换，当挡板13位于第一位置时，挡板13隔断第一腔室11与第二腔室12；当挡板13位于第二位置时，第一腔室11与第二腔室12连通，通过挡板13的位置调节可以隔断或连通第一腔室11与第二腔室12。
取样结构设置于第一腔室11中，可以将取样瓶放置于第一腔室11中，清洗结构设在第二腔室12中，在第二腔室12中清洗瓶盖时，可以将挡板13置于第一位置，挡板13隔断第一腔室11与第二腔室12，避免清洗液进入第一腔室11中，防止清洗过程中清洗液进入取样瓶中，避免污染样液。
可选地，如图1所示，取样结构包括取样管20，取样管20可活动，便于根据取样瓶的位置灵活移动，便于放置或取出取样瓶，避免干涉。
其中，在第二腔室12中，可以设置干燥结构，干燥结构可以包括喷气管，喷气管喷出的气体可以干燥清洗后的瓶盖51。
可选地，如图1所示，取样管20上设有调节阀21，通过调节阀21可以导通或关闭取样管20，便于控制取样管20。其中，调节阀21可以与控制器22连接，通过控制器22可以控制调节阀21的开启或关闭，可以控制加入一定的量。
在一些实施例中，如图1所示，箱体10的底部设有承载板14，承载板14位于箱体10内部，承载板14与箱体10的底壁间隔开，承载板14上设有通孔，可以将取样瓶放置在承载板14上，清洗液在清洗过程中可以通过通孔流到箱体10的底部。其中，箱体10的底壁上设有排出口15，清洗液可以通过排出口15流出，箱体10的底部可以设有排液管，排液管与排出口15连通，便于清洗液流出。
可选地，如图1所示，清洗结构包括至少一个喷嘴40，比如两个喷嘴40，两个喷嘴40可以间隔开设置，喷嘴40位于承载板14的上方，喷嘴40可以位于夹爪33的下方，可以通过夹爪33夹取瓶盖，通过喷嘴40清洗瓶盖，减少污染。喷嘴40可以与供应结构连通，通过供应结构为喷嘴40供应清洗液，清洗液可以为去离子水，通过喷嘴40可以清洗瓶盖的内侧和外部。
根据一些实施例，夹爪33围绕第一轴线可旋转，第一轴线与箱体10的底壁垂直，便于夹爪33夹取瓶盖，夹爪33可以与旋转电机连接，可以通过旋转电机驱动夹爪33旋转，可以将瓶盖安装在取样瓶上或者将瓶盖从取样瓶上取下。
根据另一些实施例，夹爪33沿上下方向可移动，便于夹爪33在夹取瓶盖和取样瓶时，使得瓶盖和取样瓶在不同的位置移动。
在一些实施例中，如图1所示，机械臂包括第一机械臂31和第二机械臂32，第二机械臂32设在第一机械臂31上，第二机械臂32的至少部分可在第一腔室11与第二腔室12中移动，夹爪33设在第二机械臂32上，便于夹爪33灵活地夹取和移动取样瓶和瓶盖。其中，可以通过驱动结构来驱动第一机械臂31和第二机械臂32移动，比如，驱动结构可以为驱动电机。
在取样过程中，如图2所示，可以将具有瓶盖51的取样瓶50放置于第一腔室11中，通过夹爪33夹取瓶盖51并将瓶盖51取下，夹爪33移动盖体51至第二腔室12中，将挡板13置于第一位置，通过挡板13隔断第一腔室11与第二腔室12，通过喷嘴40清洗瓶盖51，避免清洗液进入第一腔室11中，移动取样管20，通过取样管20向取样瓶50中加入样品液，取样完成后，将挡板13置于第二位置，第一腔室11与第二腔室12连通，通过夹爪33将清洗后的瓶盖51安装在取样瓶50上，使得取样瓶50密封，从而使得取样过程无污染，保证样品液检测结果的准确性。
除非另作定义，本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种取样装置，其特征在于，包括：
箱体，所述箱体内限定有第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室连通；
取样结构，所述取样结构设置于所述第一腔室中；
机械臂，所述机械臂上设有夹爪，所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动；
清洗结构，所述清洗结构设在所述第二腔室中。
2.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述箱体上设有挡板，所述挡板在第一位置与第二位置之间移动，当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板隔断所述第一腔室与所述第二腔室；当所述挡板位于所述第二位置时，所述第一腔室与所述第二腔室连通。
3.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样结构包括取样管，所述取样管可活动。
4.根据权利要求3所述的取样装置，其特征在于，所述取样管上设有调节阀以导通或关闭所述取样管。
5.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述箱体的底部设有承载板，所述承载板与所述箱体的底壁间隔开，所述承载板上设有通孔。
6.根据权利要求5所述的取样装置，其特征在于，所述清洗结构包括至少一个喷嘴，所述喷嘴位于所述承载板的上方。
7.根据权利要求1或5所述的取样装置，其特征在于，所述箱体的底壁上设有排出口。
8.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述夹爪围绕第一轴线可旋转，所述第一轴线与所述箱体的底壁垂直。
9.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述夹爪沿上下方向可移动。
10.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述机械臂包括第一机械臂和第二机械臂，所述第二机械臂设在所述第一机械臂上，所述第二机械臂的至少部分可在所述第一腔室与所述第二腔室中移动，所述夹爪设在所述第二机械臂上。
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Effective date of registration: 20220627 Address after: 710000 room 1-3-029, No. 1888, Xifeng South Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi Province Applicant after: Xi'an yisiwei Material Technology Co.,Ltd. Applicant after: XI'AN ESWIN SILICON WAFER TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: Room 1323, block a, city gate, No.1 Jinye Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi 710065 Applicant before: XI'AN ESWIN SILICON WAFER TECHNOLOGY Co.,Ltd. Applicant before: Xi'an yisiwei Material Technology Co.,Ltd. |
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| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 710000 room 1-3-029, No. 1888, Xifeng South Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi Province Applicant after: Xi'an Yisiwei Material Technology Co.,Ltd. Applicant after: XI'AN ESWIN SILICON WAFER TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 710000 room 1-3-029, No. 1888, Xifeng South Road, high tech Zone, Xi'an, Shaanxi Province Applicant before: Xi'an yisiwei Material Technology Co.,Ltd. Applicant before: XI'AN ESWIN SILICON WAFER TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
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| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |