CN112655123A - 线性垂直腔表面发射激光器阵列 - Google Patents
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Abstract
本公开描述了各种线性VCSEL阵列，以及并入了这种线性VCSEL阵列的VCSEL阵列芯片，以及其中集成了一个或多个线性VCSEL阵列的模块、主机设备和其他装置。实施方式可以包括例如改变VCSEL的孔径尺寸，使传输线的形状逐渐变窄，和/或改变VCSEL的密度。
Description
技术领域
本公开涉及线性垂直腔表面发射激光器(vertical-cavity surface-emittinglaser,VCSEL)阵列。
背景技术
激光器，诸如VCSEL，可以被用于范围广泛的应用，包括距离或测距应用(例如，可操作来获取关于环境的三维信息的光检测和测距(light detection and ranging,(LIDAR))系统。在一些情况下，多个VCSEL以线性阵列布置，其中VCSEL电连接在一起，也电连接到一端具有导电接触垫的传输线，以允许VCSEL激活或去激活。各个VCSEL之间传输线的有限电阻会导致电压降，其降低更远离接触垫的VCSEL处的最终电压。因为电流和光功率与施加的电压成比例，所以线性阵列中跨VCSEL的电压差会导致更远离接触垫的VCSEL的光输出降低。因此，由线性阵列中的每个VCSEL产生的光功率可能彼此不同，这对于一些应用是不希望的。此外，跨VCSEL的电压差可在线性阵列中的各个VCSEL的激活或去激活的定时上产生差异。这种延迟对于一些应用(例如，高速操作)来说是不希望的。
发明内容
本公开描述了各种线性VCSEL阵列，和并入了这种线性VCSEL阵列的VCSEL阵列芯片，以及其中集成了一个或多个该线性VCSEL阵列的模块、主机设备和其他装置。
例如，在一个方面，本公开描述了光源，该光源包括沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，传输线在一端包括导电接触垫。VCSEL电连接在一起，并且电连接到传输线。每个VCSEL具有相应的孔径，并且每个孔径具有相应的尺寸，使得更靠近接触垫的VCSEL的孔径小于更远离接触垫的VCSEL的孔径。
一些实施方式包括以下一个或多个特征。例如，在一些情况下，VCSEL的相应孔径在远离接触垫的方向上越来越大。在一些情况下，VCSEL孔径的相应尺寸使得VCSEL可操作以发射基本均匀(homogeneous)的光功率。
在另一方面，光源包括沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，传输线在一端包括导电接触垫，其中VCSEL电连接在一起，并且电连接到传输线。传输线具有更靠近接触垫的第一端和更远离接触垫的第二端，并且传输线在第一端比在第二端更宽。
在一些实施方式中，传输线具有随着与接触垫的距离而减小的宽度。此外，在一些实施方式中，传输线具有随着与接触垫的距离而连续减小的宽度。例如，传输线可以具有逐渐变窄的形状。
根据另一方面，本公开描述了光源，该光源包括沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，传输线在一端包括导电接触垫，其中VCSEL电连接在一起，并且电连接到传输线。传输线具有更靠近接触垫的第一端和更远离接触垫的第二端，更靠近第二端的VCSEL的密度大于更靠近第一端的VCSEL的密度。
一些实施方式包括以下一个或多个特征。例如，在一些情况下，VCSEL的密度从第一端到第二端连续增加。在一些实施方式中，VCSEL沿着传输线布置，使得线性阵列中的VCSEL可共同操作以将基本一致的光线投射到对象上。在其他实施方式中，VCSEL被布置成使其共同投射特定的非一致或非均匀的功率图案。
本公开还描述了光源，该光源包括多个诸如上述的VCSEL的线性阵列以及其他组件。在一些情况下，线性阵列可彼此分开寻址。此外，在一些情况下，线性阵列被集成在单片二维VCSEL阵列中。
本公开还描述了线性VCSEL阵列的另外的实施方式。例如，光源可以包括沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，该传输线在第一端包括第一导电接触垫和在第二端包括第二导电垫。VCSEL电连接在一起，并且电连接到传输线。每个VCSEL具有相应的孔径，并且每个孔径具有相应的尺寸，使得更靠近第一或第二接触垫中的至少一个的VCSEL的孔径小于传输线中间区域中的VCSEL的孔径。在一些情况下，VCSEL的相应的孔径在从第一接触垫朝向传输线的中间区域的方向上越来越大，并且在从第二接触垫朝向传输线的中间区域的方向上越来越大。在一些情况下，VCSEL孔径的相应尺寸使得VCSEL可操作以发射基本上均匀的光功率。
在一些实施方式中，光源包括沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，该传输线在第一端包括第一导电接触垫和在第二端包括第二导电垫。VCSEL电连接在一起，并电连接到传输线。传输线具有远离第一端和第二端的中间区域，并且传输线在第一端和第二端比在中间区域更宽。因此，在一些情况下，传输线的宽度随着从第一接触垫朝向中间区域的距离而连续减小，并且随着从第二接触垫朝向中间区域的距离而连续减小。在一些实施方式中，传输线具有从第一端朝向中间区域呈逐渐变窄的形状，并且具有从第二端朝向中间区域呈逐渐变窄的形状。
本公开进一步描述了一种光源，该光源包括沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，该传输线在第一端包括第一导电接触垫和在第二端包括第二导电垫。VCSEL电连接在一起，并电连接到传输线。传输线具有远离第一端和第二端的中间区域，并且更靠近中间区域的VCSEL的密度大于更靠近第一端和第二端的VCSEL的密度。在一些实施方式中，VCSEL的密度从第一端朝向中间区域连续增加，并且VCSEL的密度从第二端朝向中间区域连续增加。
在一些实施方式中，阵列中的VCSEL可操作以发射相对均匀的光功率或可以共同地投射更一致的光线。在其它应用中，特定的非一致的或非均匀的功率曲线(profile)可能是希望的。例如，可以增加端部VCSEL元件的功率，以抵消投射系统中的功率下降。例如在平坦表面上的投射系统中，非一致的功率曲线可以是有利的。因此，在一些实施方式中，针对更靠近传输线的端部的VCSEL元件的功率分配可以更高，以补偿由于余弦效应而可能发生的功率下降。
本公开进一步描述了用于光学传感或成像的装置。该装置包括根据任何前述实施方式或这里描述的其他实施方式的包括一个或多个线性VCSEL阵列的光源。光源可操作以利用辐射照射对象。该装置还可以包括例如可操作以激活光源的电流驱动器，可操作以检测由对象反射的辐射的接收器，以及可操作以接收和处理与检测的辐射成比例的信号的处理器。
本公开进一步描述了一种主机设备(例如，智能电话)，该主机设备包括根据任何前述实施方式或本文所述的其他实施方式的包括一个或多个线性VCSEL阵列的光源。光源可操作以利用辐射照射对象。主机设备还可以包括例如可操作以检测由对象反射的辐射的接收器、通信接口、收发器和补充模块。补充模块可操作以响应来自接收器的一个或多个信号，并响应于一个或多个信号以改变补充模块的状态。
在一些情况下，可以通过将包括如上所述的一个或多个线性VCSEL阵列或VCSEL阵列芯片的光源并入光电模块或主机设备中，来改善所收集数据的准确性。例如，针对响应于或基于所收集数据的操作或功能，改善所收集数据的准确性可以进而改善主机设备的操作。
根据以下具体实施方式、附图和权利要求，其他方面、特征和优点将显而易见。
附图说明
图1示出了包括VCSEL的线性阵列的芯片的顶视图的示例。
图2示出了线性VCSEL阵列的第一示例。
图3示出了用于图2的线性VCSEL阵列的简化等效电路。
图4示出了线性VCSEL阵列的第二示例。
图5示出了线性VCSEL阵列的第三示例。
图6示出了线性VCSEL阵列的第四示例。
图7示出了线性VCSEL阵列的第五示例。
图8示出了线性VCSEL阵列的第六示例。
图9示出了线性VCSEL阵列的第七示例。
图10示出了线性VCSEL阵列的第八示例。
图11示出了可分开寻址的线性VCSEL子阵列的阵列的示例。
图12示出了包括可分开寻址的线性VCSEL子阵列的阵列的成像或感测装置的示例。
具体实施方式
图1示出了单片二维VCSEL阵列10的示例，其包括可分开寻址的VCSEL14的线性子阵列12。VCSEL14的每个线性子阵列12可以通过端到端布置多个VCSEL芯片14来形成。在每个相应的线性子阵列中的VCSEL 14通过充当传输线的公共导电迹线16彼此电连接。迹线16可以由例如金组成，并且通过小的间隔彼此分开以防止电短路。每个导电迹线16的至少一端被电连接到相应的导电焊盘18，导电焊盘18充当用于特定线性子阵列12中的VCSEL的第一电极。每个线性子阵列12可以经由相应的焊盘18被寻址(以及激活或去激活)。阵列10的后侧(在图1中未示出)可以具有公共金属化层(metallization)，其充当用于所有的子阵列12和VCSEL 14的第二电极。在一些情况下，公共基板上的整个VCSEL阵列芯片被放置在底座上，该底座又安装在用于冷却VCSEL的散热器上。
正如以下更详细描述的那样，许多方法可被实现，使得在给定的线性子阵列12中的VCSEL 14可操作以发射相对于彼此更一致的光功率。可替代地，在一些应用中，特定的非一致或非均匀的功率曲线可能是希望的。例如，VCSEL14的功率可被调整以抵消在投射系统中的功率下降。可以单独或组合使用的以下描述的方法包括沿着给定的传输线16改变VCSEL 14的尺寸(即，它们相应的孔径)和/或使传输线16的形状呈逐渐变窄的。一些实施方式可以包括沿着给定的传输线16改变VCSEL 14的密度。
如图2所示，在一些实施方式中，沿着特定的传输线16的VCSEL 14的孔径的尺寸被改变以改善电压分布和所发射的光功率的均匀性。具体地，使得更靠近传输线16的起点(即，更靠近接触垫18)的VCSEL 14A的孔径变得比更远离传输线16的起点的VCSEL 14B的孔径越来越小，这允许VCSEL周围的金属区域更宽。可以根据特定实施方式以各种方式形成VCSEL孔径(例如，氧化孔径或离子注入孔径)。
特定VCSEL 14的电阻(发射器(Remitter))随着孔径的尺寸的减小而增加。因此，沿着传输线16逐渐增加VCSEL 14的孔径的直径会减小更远离接触垫18的VCSEL的电阻，使得更靠近传输线16的起点的VCSEL 14A比在端部的VCSEL 14B具有更高的电阻。尽管由于有限的电阻率，仍然会发生沿传输线16的电压降，但是在给定的施加电压下，更靠近接触垫18的较小的VCSEL 14A将比更远离接触垫18的较大的VCSEL 14B发射更少的功率。可以选择VCSEL孔径的相对尺寸以优化沿着线性阵列12的发射功率的均匀性。
通过图3的等效电路示意性地示出了前述方法，其中更远离接触垫18的VCSEL的电阻(发射器(n+1))小于更靠近接触垫的VCSEL的电阻(发射器(n))，以及跨更远离接触垫18的VCSEL的电压(V(n+1))小于跨更靠近该接触垫的VCSEL的电压(V(n))。VCSEL 14的相对尺寸可以被选择为使得由沿着线性阵列12的各个VCSEL 14发射的功率是基本均匀的(即，P发射器(n+1)≈P发射器(n))。
图4示出另一种方法，其中，传输线16的形状是变化的，使得所述传输线16的宽度在更靠近接触垫18的端20处较宽以及在更远离接触垫的端22处较窄。可以选择传输线16宽度的变化，使得由沿着线性阵列12的各VCSEL 14发射的光功率是基本均匀的。在一些情况下，如图4所示，传输线16具有逐渐变窄的形状，其从传输线16的更靠近接触垫18的较宽端20朝向传输线16的更远离该接触垫的较窄端22变窄。在所示的示例中，VCSEL14具有彼此基本相同的孔径。
如在图5的示例中所示，图2和图4的方法可以组合。因此，在一些情况下，线性阵列12包括传输线16，传输线16在更靠近接触垫18的端20处较宽并且在更远离接触垫的端22处较窄(例如，逐渐变窄的形状)，线性阵列12还包括VCSEL 14，VCSEL 14具有彼此不同的孔径尺寸(例如，更远离接触垫18的VCSEL具有较大的孔径)。可以选择传输线的特定宽度和VCSEL孔径的尺寸，以使得由沿着线性阵列12的各VCSEL 14发射的光功率是基本均匀的(即，一致的)。
在一些应用中，无需线性阵列中的每个VCSEL 14都发射基本均匀的光功率。然而，可能希望线性阵列12中的VCSEL 14发射的总光功率使得线性阵列投射出基本一致的光线。在这种情况下，可以改变沿着传输线16的VCSEL 14的密度，以实现沿传输线16的电阻变化以及由更远离接触垫18的VCSEL 14输出的光功率的相关联的降低。VCSEL密度(即，将线性阵列中的相邻VCSEL分开的距离“d”)可以变化，以实现由线性阵列12投射的基本一致的光功率。图6示出了示例，其中与更靠近接触垫18的相邻的VCSEL 14A相比，更靠近传输线的端22(即，更远离接触垫18)的相邻的VCSEL 14B彼此更加靠近。因此，例如，将更靠近接触垫18的相邻VCSEL分开的距离d1大于将更远离该接触垫的VCSEL分开的距离d2。在该示例中，VCSEL密度从传输线16的端20(即，更靠近接触垫18的一端)朝向传输线16的端22(即，更远离接触垫的一端)连续增加。
尽管前述示例示出了在一端具有接触垫18的线性VCSEL阵列，但是一些实施方式可以包括两个接触垫，即线性阵列的每一端各一个接触垫。图7至图10示出了各种示例，并且将在下文进行更详细地讨论。
在一些此类情况下，VCSEL孔径的尺寸(或VCSEL密度)从每个相应的接触垫朝向传输线的中间部分(例如，中心)增加。图7示出了这种线性VCSEL阵列112的示例，其在一端包括第一接触垫118A和在另一端包括第二接触垫118B。在该示例中，对于更靠近传输线116的中间120的VCSEL 14B来说，VCSEL孔径的尺寸越来越大，而对于更靠近接触垫118A、118B中的任一个的VCSEL 14A来说，VCSEL孔径的尺寸越来越小。尽管图7的线性阵列关于传输线116的中心120是对称的，但是在一些实施方式中，并非如此。例如，可以选择VCSEL孔径的尺寸变化，以使得由沿着线性阵列112的各VCSEL 14A、14B发射的光功率是基本均匀的(即，一致的)。
图8示出了VCSEL线性阵列112的示例，其中对于更靠近传输线116的中间(例如，中心)120的VCSEL 14B来说，VCSEL密度越来越大，而对于更靠近于接触垫118A、118B中的任一个的VCSEL 14A来说，VCSEL密度越来越小。例如，变化的VCSEL密度可被选择，以便实现由线性阵列投射基本一致的光线。
图9示出了VCSEL线性阵列的示例，其中传输线的宽度从每个接触垫118A、118B朝向传输线116的中间(例如，中心)120减小(例如，以逐渐变窄的形状)。例如，传输线宽度的变化可以被选择，以使得由沿着线性阵列的各VCSEL 14发射的光功率是基本均匀的(即，一致的)。
图10示出了结合图7和图9的特征的VCSEL线性阵列的示例。因此，对于更靠近传输线116的中间120的VCSEL 114B来说，VCSEL孔径的尺寸越来越大，而对于更靠近接触垫118A、118B中的任一个的VCSEL 114A来说，VCSEL孔径的尺寸越来越小。此外，传输线的宽度从每个接触垫118A、118B朝向传输线116的中间120减小(例如，以逐渐变窄的形状)。可以选择传输线的特定宽度和VCSEL孔径的尺寸，以使由沿着线性阵列的各VCSEL发射的光功率是基本均匀的。
多个可分开寻址的根据上述任何实施方式的线性VCSEL阵列12(或112)可以被集成为单片二维VCSEL阵列的一部分(参见图1和11)。如图11所示，阵列200中的每个特定的线性VCSEL子阵列12A、12B、12C包括相应的接触垫18A、18B、18C。因此，特定的线性子阵列中的所有VCSEL14可以通过选择性地向对应的接触垫施加电压而被激活(或去激活)。通过使用例如图4或图5中的其中传输线16逐渐变窄的线性VCSEL子阵列，可以在一些情况下减小阵列200的总组合区域。
包括多个可分开寻址的线性VCSEL子阵列的单片二维VCSEL阵列可用于各种应用中，包括例如三维感测和成像应用。如在图12的示例中所示，光源330包括具有一个或多个可分开寻址的线性VCSEL子阵列的VCSEL阵列芯片，该子阵列可操作以照射对象或感兴趣的区域。线性VCSEL子阵列可以是例如以上结合图2-图10描述的任何实施例。阵列芯片可以被安装在例如用于对光源进行外部冷却的热底座331上。一些实施方式包括与VCSEL子阵列集成的一个或多个光学组件(例如，透镜)，以提供光束成形。
图12的装置还包括以一种或多种操作模式中的任何一种来激活照射源330的可编程电流驱动器332，操作模式包括选择性地激活(或去激活)一个或多个单独可寻址的线性VCSEL子阵列。例如，在一种操作模式中，可编程电流驱动器332提供电流脉冲333，以按照预定顺序激活一个或多个线性VCSEL子阵列。产生狭窄的辐射束，并照射对象或感兴趣区域320的相应不同区域(一次照射一个区域)。在所示示例中，生成了总地示出为341(或342)的入射光束以照射特定的水平面。取决于特定应用所需的分辨率，入射光束341(342)可以一次生成一个，也可以一次全部生成。在一些情况下，数组光束(其中每一个在不同的水平面中)按照预定的编程顺序在感兴趣的区域中提供结构化的照射。
从光源330产生并入射到对象320上的辐射作为反射光束(总地示出为351或352)从对象反射出来。尽管取决于对象320的表面特征，入射辐射的某些部分可以被散射，但是入射辐射的很大一部分被反射。
接收器334可以与光源成预定角度放置，以检测反射的辐射。接收器可以是以下形式：模拟或数字照相机、电荷耦合器件(charge couple device,CCD)、光电检测器阵列或可以在包括可见光和红外波长的入射辐射波长中操作的任何其他接收器。
处理器335可操作以接收与所接收的反射的辐射成比例的信号。在一些情况下，可编程电流驱动器332和处理器335可以组合在仪器中，该仪器具有微处理器和存储器设备以提供控制、测量、模拟或/和数字信号处理(ASP/DSP)以及数据分析和数据存储能力。处理器的输入可以从仪器的外部接口进入，或者可以在内部存储器中进行预编程。在一些情况下，仪器还可以包括可编程电流驱动器和信号接收器，它们可以与提供控制、测量、ASP/DSP以及数据分析和数据存储功能的计算机接口连接。
如上所述的一个或多个线性VCSEL阵列(例如，图2-10)也可以在其他应用中使用。这样的应用包括但不限于接近度/距离感测和测量、飞行时间(time-of-flight，TOF)感测和成像应用等等。在一些应用中，可以同时激活在所有线性子阵列或线性VCSEL子阵列的子组中的VCSEL。在一些情况下，可以在脉冲操作模式下打开和关闭VCSEL。
在一些情况下，本文描述的一个或多个线性VCSEL阵列或VCSEL阵列芯片可以集成到例如智能电话、膝上型计算机、可穿戴设备、其他计算机和汽车的主机设备中。主机设备可以包括处理器和其他电子组件，以及配置为收集数据的其他补充模块，例如照相机、飞行时间成像器。可以包括其他补充模块，例如环境照明、显示屏、汽车前照灯等。主机设备可以进一步包括非易失性存储器，在其中存储了用于操作光电模块以及在一些情况下操作补充模块的指令。
在一些情况下，可以通过将如上所述包括一个或多个线性VCSEL阵列或VCSEL阵列芯片的光源并入光电模块或主机设备来改善所收集的数据的准确性。对于响应于或基于所收集的数据的操作或功能，改善所收集的数据的准确性可以进而改善主机设备的操作。作为示例，诸如智能电话的主机设备可以包括例如显示屏的补充模块，显示屏被配置为对由主机设备中的光学传感器(有时被称为光学接收器)收集的信号进行响应。在一些情况下，显示屏的响应包括改变显示屏的状态。此外，在一些情况下，主机设备(例如，智能电话)包括诸如音频设备(例如，扬声器和/或麦克风)的补充模块，音频设备被配置为对由光学传感器收集的信号进行响应。音频设备的响应可以包括，例如，改变音频设备的音量和/或灵敏度。
如上所述的包括VCSEL阵列芯片的一个或多个线性VCSEL阵列的光源可被例如安装在印刷电路板上。印刷电路板可以是诸如手持通信或计算设备(例如，手机、智能电话、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)或膝上型计算机)的主机设备的组成部分。例如，智能电话可以包括处理器、存储器、输入/输出设备(包括交互式显示器)、通信接口、收发器和光学传感器(有时称为光学接收器)、以及其他组件。可以使用各种总线来互连各种组件，并且可以将数个组件安装在公共主板上或以其他合适的方式安装。光源也可以互连到智能电话设备中的其它组件，并且在一些实施方式中，可以与其它组件中的一些一起安装公共主板上。
可以对前述示例进行各种修改，并且在一些情况下，结合不同的实施方式描述的特征可以被组合。此外，在一些实施方式中可以省略上述一些特征。因此，其他实施方式在权利要求的范围内。
Claims (31)
1.一种光源，包括：
沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，所述传输线在一端包括导电接触垫，其中所述VCSEL电连接在一起，并且电连接到所述传输线，
其中，每个VCSEL具有相应的孔径，并且其中每个孔径具有相应的尺寸，使得更靠近所述接触垫的VCSEL的孔径小于更远离所述接触垫的VCSEL的孔径。
2.根据权利要求1所述的光源，其中，所述VCSEL的相应孔径在远离所述接触垫的方向上越来越大。
3.根据权利要求1或2所述的光源，其中，所述VCSEL孔径的相应尺寸使得所述VCSEL能够操作以发射基本上均匀的光功率。
4.一种光源，包括：
沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，所述传输线在一端包括导电接触垫，其中所述VCSEL电连接在一起，并且电连接到所述传输线，
其中，所述传输线具有更靠近所述接触垫的第一端和更远离所述接触垫的第二端，其中所述传输线在所述第一端比在所述第二端更宽。
5.根据权利要求4所述的光源，其中，所述传输线具有随着与所述接触垫的距离而减小的宽度。
6.根据权利要求4所述的光源，其中，所述传输线具有随着与所述接触垫的距离而连续减小的宽度。
7.根据权利要求4所述的光源，其中，所述传输线具有逐渐变窄的形状。
8.根据权利要求4所述的光源，其中，每个VCSEL具有相应的孔径，并且其中，每个孔径具有相应的尺寸，使得更靠近所述接触垫的VCSEL的孔径小于更远离所述接触垫的VCSEL的孔径。
9.根据权利要求8所述的光源，其中，所述VCSEL的相应孔径在远离所述接触垫的方向上越来越大。
10.根据权利要求8所述的光源，其中，所述VCSEL能够操作以发射基本均匀的光功率。
11.根据前述权利要求中的任一项所述的光源，其中，所述VCSEL孔径的相应尺寸使得所述VCSEL能够共同操作以投射非一致或非均匀的功率曲线。
12.一种光源，包括：
沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，所述传输线在一端包括导电接触垫，其中，所述VCSEL电连接在一起，并且电连接到所述传输线，
其中，所述传输线具有更靠近所述接触垫的第一端和更远离所述接触垫的第二端，并且其中，更靠近所述第二端的VCSEL的密度大于更靠近所述第一端的VCSEL的密度。
13.根据权利要求12所述的光源，其中，所述VCSEL的密度从所述第一端到所述第二端连续增加。
14.根据权利要求所述的光源12，其中，所述VCSEL沿着所述传输线布置，使得所述线性阵列中的VCSEL能够共同操作以将基本一致的光线投射到对象上。
15.根据权利要求12所述的光源，其中，所述VCSEL沿着传输线布置，使得所述线性阵列中的VCSEL能够共同操作以将非一致或非均匀的光线投射到对象上。
16.一种光源，包括：
多个根据权利要求1至15中任一项所述的VCSEL的线性阵列。
17.根据权利要求16所述的光源，其中，所述线性阵列能够彼此分开寻址。
18.根据权利要求17所述的光源，其中，所述线性阵列被集成在单片二维VCSEL阵列中。
19.一种光源，包括：
沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，所述传输线在第一端包括第一导电接触垫和在第二端包括第二导电垫，其中所述VCSEL电连接在一起，并且电连接到所述传输线，
其中，每个VCSEL具有相应的孔径，并且其中每个孔径具有相应的尺寸，使得更靠近所述第一接触垫或所述第二接触垫中的至少一个的VCSEL的孔径小于在所述传输线的中间区域中的VCSEL的孔径。
20.根据权利要求19所述的光源，其中，所述VCSEL的相应孔径在从所述第一接触垫朝向所述传输线的中间区域的方向上越来越大，并且在从所述第二接触垫朝向所述传输线的中间区域的方向上越来越大。
21.根据权利要求20所述的光源，其中，所述VCSEL孔径的相应尺寸使得所述VCSEL能够操作以投射基本均匀的光功率。
22.根据权利要求20所述的光源，其中，所述VCSEL孔径的相应尺寸使得所述VCSEL能够操作以投射非均匀的光功率。
23.一种光源，包括：
沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，所述传输线在第一端包括第一导电接触垫和在第二端包括第二导电垫，其中所述VCSEL电连接在一起，并且电连接到所述传输线，
其中所述传输线具有远离所述第一端和所述第二端的中间区域，并且其中所述传输线在所述第一端和所述第二端处比在中间区域中宽。
24.根据权利要求23所述的光源，其中，所述传输线的宽度随着从所述第一接触垫朝向所述中间区域的距离而连续减小，并随着从所述第二接触垫朝向所述中间区域的距离而连续减小。
25.根据权利要求23所述的光源，其中，所述传输线具有从所述第一端朝向所述中间区域呈逐渐变窄的形状，并且具有从所述第二端朝向所述中间区域呈逐渐变窄的形状。
26.一种光源，包括：
沿着传输线布置的VCSEL的线性阵列，所述传输线在第一端包括第一导电接触垫和在第二端包括第二导电垫，其中所述VCSEL电连接在一起，并且电连接到所述传输线，
其中，所述传输线具有远离所述第一端和所述第二端的中间区域，并且其中，更靠近所述中间区域的VCSEL的密度大于更靠近所述第一端和所述第二端的VCSEL的密度。
27.根据权利要求26所述的光源，其中，所述VCSEL的密度从所述第一端朝向所述中间区域连续增加，并且其中，所述VCSEL的密度从所述第二端朝向所述中间区域连续增加。
28.一种用于光学感测或成像的装置，包括：
根据权利要求1-27中任一项所述的光源，能够操作以利用辐射照射对象；
电流驱动器，能够操作以激活所述光源；
接收器，能够操作以检测由所述对象反射的辐射；以及
处理器，能够操作以接收和处理与检测到的辐射成比例的信号。
29.一种主机设备，包括：
根据权利要求1-26中任一项所述的光源，能够操作以利用辐射照射对象；
接收器，能够操作以检测由所述对象反射的辐射；
通信接口；
收发器；以及
补充模块，能够操作以响应来自所述接收器的一个或多个信号和响应于所述一个或多个信号来改变所述补充模块的状态。
30.根据权利要求29所述的主机设备，其中，所述补充模块是显示屏。
31.根据权利要求29所述的主机设备，其中，所述补充模块是音频设备。
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