CN112609166A - 适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具 - Google Patents

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秦琳
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杨英杰
程辉
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Abstract

本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括:顶针、卡头、弹性件和拉杆,谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触,卡头座与卡头连接,谐振子中心轴的另一端固定在顶针上;弹性件套设于拉杆上;顶针和拉杆形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中,可使夹持夹具与谐振子接触面积小,对谐振子任何表面无遮挡,所有表面能够一次成膜,无需翻面镀制;夹具对谐振子有效夹持,可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤,能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题,提高生产效率。

Description

适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具
技术领域
本发明涉及零件装夹技术领域,具体地,涉及一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具。
背景技术
半球谐振子表面金属化镀膜要求在谐振子表面,包括曲面、圆柱面、台阶面内外表面等进行的一次无遮挡成膜,谐振子结构见附图2。使用现有常规夹具进行谐振子表面镀膜,由于其夹持方式的限制,镀制时会造成半球谐振子内外表面存在局部遮挡阴影,且无法实现所有表面一次成膜,需经过多次装夹镀制实现半球谐振子全表面的膜层镀制。目前,针对半球谐振子曲面、圆柱面、台阶面等全表面进行的一次无遮挡成膜夹具还未见报道。
经过检索,专利文献CN106826318A公开了一种单缸双锁型气动真空柔性夹具,包括基座、多个弹簧支撑定位单元及用于对弹簧支撑定位单元进行锁紧的气动锁紧机构,弹簧支撑定位单元安装在基座上,气动锁紧机构安装在基座上,且位于两个弹簧支撑定位单元之间,两个弹簧支撑定位单元共用一个气动锁紧机构,通过吸盘对薄壁件进行真空吸附并通过气动锁紧机构牢固锁紧,以实现工件的稳定可靠夹持。但是该现有技术并不能针对半球谐振子全表面实现一次无遮挡成膜。
因此,针对半球谐振子曲面、圆柱面、台阶面等全表面进行的一次无遮挡成膜夹具的研发亟待推进。
发明内容
针对现有技术中的缺陷,本发明的目的是提供一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题,提高生产效率。
根据本发明提供的一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括:顶针、卡头、弹性件和拉杆,谐振子中心轴的一端与卡头相接触,卡头座与卡头连接;谐振子中心轴的另一端固定在顶针上;弹性件套设于拉杆上;顶针和拉杆形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。
优选地,当适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具处于工作状态时,谐振子中心轴的另外一端通过与拉杆顶针接触,同时通过调节伸缩长度以及连接件位置来匹配工件的尺寸大小。
优选地,还包括拉筒,拉筒套设在弹性件和拉杆的外部。
优选地,还包括拉杆座板,卡头和顶针通过拉杆座板相连。
优选地,还包括转架卡头,转架卡头的一端嵌套在拉杆座板的一端,转架卡头的另一端与卡头相连接。
优选地,还包括卡头座,卡头座装于卡头上,进行装配时,谐振子中心轴的一端插入卡头座底面的凹槽中进行固定,谐振子中心轴的另外一端将拉杆往下压,使拉杆顶针插入谐振子中心轴的中心孔中,拉杆处于弹回状态。
优选地,拉筒处于远离顶针的一端。
优选地,适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具仅与谐振子中心轴的两端接触,均无需刚性夹持,配合完成谐振子空间多维运动。
与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:
1、本发明对于适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具的设计能够在表面金属化镀膜过程中夹持夹具与谐振子接触面积小,对谐振子任何表面无遮挡,所有表面能够一次成膜,无需翻面镀制;夹具对谐振子有效夹持,能够与运动机构配合完成多维运动。
2、本发明能够实现半球谐振子表面金属化,包括谐振子曲面、圆柱面、台阶面及其内外表面等进行的一次成膜,成膜过程无遮挡,无需翻面镀制。
3、本发明仅与半球谐振子中心轴两端接触,无需刚性连接,配合运动机构完成谐振子空间多维运动,并保证运动过程中对半球谐振子有效的夹持。
4、本发明通过拉杆结构伸缩灵活调节工装夹具能够匹配多种尺寸谐振子。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本发明中的半球谐振子的结构示意图;
图2为本发明中的半球谐振子无遮挡工装夹具图;
图3为本发明中的转架卡头示意图;
图4为本发明中的卡头座示意图;
图5为本发明中的装配俯视图;
图6为本发明中的装配主视图;
图7为本发明中的装夹结果示意图。
图中:
Figure BDA0002817571220000031
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明,但不以任何形式限制本发明。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变化和改进。这些都属于本发明的保护范围。
如图1-图7所示,本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括顶针2、卡头3、转架卡头4、卡头座5、拉杆座板6、螺钉7、拉筒8、弹性件9和拉杆10。
其中,谐振子中心轴1的一端与卡头3相接触,卡头座5与卡头3连接;谐振子中心轴1的另一端固定在顶针2上;弹性件9套设于拉杆10上;顶针2和拉杆10形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹性件9进行调节。拉筒8套设在弹性件9和拉杆10的外部,拉筒8处于远离顶针2的一端。卡头3和顶针2通过拉杆座板6相连,转架卡头4的一端嵌套在拉杆座板6的一端,转架卡头4的另一端与卡头3相连接。卡头座5装于卡头3上,进行装配时,谐振子中心轴1的一端插入卡头座5底面的凹槽中进行固定,谐振子中心轴1的另外一端将拉杆10往下压,使拉杆顶针插入谐振子中心轴1的中心孔中,拉杆处于弹回状态。
本发明目的在于设计一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡专用夹具,基于半球谐振子的结构特征及镀膜需求,设计出的专用夹具由卡头及具有弹性拉杆的顶针组成,将半球谐振子的中心轴两端固定,谐振子中心轴1一头与卡头座5接触,采用摩擦力束缚,谐振子中心轴1的另一端与拉杆顶针接触,拉杆顶针压力可由弹簧进行调节。此方式,中心轴两端均无需刚性夹持。
装配方式:
本发明能够实现半球谐振子的无遮挡装夹,使其在薄膜镀制过程中达到一次性无遮挡成膜的效果。半球谐振子的结构如图1所示,根据其结构特征,可通过对谐振子中心轴1进行对夹实现工件的无遮挡装夹。设计如图2所示的工装夹具,由卡头3及具有弹性拉杆10的顶针2组成,将图3中的转架卡头4嵌套在图5中的拉杆座板6一端,另外一端通过螺钉7连接顶针2中的拉筒8、拉杆10及弹性件9,实现卡头3与顶针2的组装。图4中的卡头座5装于图2的卡头3上,将半球谐振子杯口朝下,谐振子中心轴1的一端插入图4卡头座5底面的凹槽中,对其进行固定,另外一端,将图6中的拉杆顶针往下压,使拉杆顶针插入谐振子中心轴1的中心孔中,拉杆顶针弹回最终实现半球谐振陀螺的固定。通过上下旋转图6中的拉筒8在螺钉7上的位置以及通过弹性件9的压力上下调节拉杆顶针的伸缩长度来匹配工件的尺寸大小,其装夹效果如图7所示。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本发明并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改,这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下,本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。

Claims (8)

1.一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,包括:顶针(2)、卡头(3)、卡头座(5)、弹性件(9)和拉杆(10),
谐振子中心轴(1)的一端与所述卡头(3)相接触,所述卡头座(5)与卡头(3)连接;
谐振子中心轴(1)的另一端固定在所述顶针(2)上;
所述弹性件(9)套设于所述拉杆(10)上;
所述顶针(2)和所述拉杆(10)形成拉杆顶针,所述拉杆顶针的压力由所述弹性件(9)进行调节。
2.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,当适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具处于工作状态时,谐振子中心轴(1)的另外一端通过与拉杆顶针接触,同时通过调节伸缩长度以及连接件位置来匹配工件的尺寸大小。
3.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,还包括拉筒(8),所述拉筒(8)套设在所述弹性件和所述拉杆(10)的外部。
4.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,还包括拉杆座板(6),所述卡头(3)和所述顶针(2)通过所述拉杆座板(6)相连。
5.根据权利要求4所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,还包括转架卡头(4),所述转架卡头(4)的一端嵌套在所述拉杆座板(6)的一端,所述转架卡头(4)的另一端与卡头(3)相连接。
6.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,进行装配时,谐振子中心轴(1)的一端插入所述卡头座(5)底面的凹槽中进行固定,谐振子中心轴(1)的另外一端将拉杆(10)往下压,使所述拉杆顶针插入谐振子中心轴(1)的中心孔中,所述拉杆(10)处于弹回状态。
7.根据权利要求3所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,所述拉筒(8)处于远离顶针(2)的一端。
8.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,其特征在于,适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具仅与谐振子中心轴(1)的两端接触,均无需刚性夹持,配合完成谐振子空间多维运动。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113913772A (zh) * 2021-08-31 2022-01-11 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 用于球形电极真空镀膜的专用工装及镀膜方法
CN115612982A (zh) * 2022-09-27 2023-01-17 华中科技大学 一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法及产品

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08112793A (ja) * 1994-10-13 1996-05-07 Toshiba Corp 吸着保持装置及び実装装置
CN202701824U (zh) * 2012-06-21 2013-01-30 重庆歇马机械曲轴有限公司 通用动力机曲轴杆部车加工夹具
CN203542362U (zh) * 2013-11-13 2014-04-16 河南晶锐超硬材料有限公司 一种聚晶金刚石复合片的外圆磨夹具
CN105643493A (zh) * 2016-03-09 2016-06-08 苏州华冲精密机械有限公司 一种夹具
CN109167867A (zh) * 2018-11-02 2019-01-08 成都天兴汽车零部件有限公司 涡轮调节式手机支架
CN211339718U (zh) * 2019-09-11 2020-08-25 深圳市星子繁电子有限公司 一种具有防脱落功能的电路板电镀夹具
CN111633584A (zh) * 2020-05-29 2020-09-08 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种新型谐振子夹持器及其使用方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08112793A (ja) * 1994-10-13 1996-05-07 Toshiba Corp 吸着保持装置及び実装装置
CN202701824U (zh) * 2012-06-21 2013-01-30 重庆歇马机械曲轴有限公司 通用动力机曲轴杆部车加工夹具
CN203542362U (zh) * 2013-11-13 2014-04-16 河南晶锐超硬材料有限公司 一种聚晶金刚石复合片的外圆磨夹具
CN105643493A (zh) * 2016-03-09 2016-06-08 苏州华冲精密机械有限公司 一种夹具
CN109167867A (zh) * 2018-11-02 2019-01-08 成都天兴汽车零部件有限公司 涡轮调节式手机支架
CN211339718U (zh) * 2019-09-11 2020-08-25 深圳市星子繁电子有限公司 一种具有防脱落功能的电路板电镀夹具
CN111633584A (zh) * 2020-05-29 2020-09-08 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种新型谐振子夹持器及其使用方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113913772A (zh) * 2021-08-31 2022-01-11 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 用于球形电极真空镀膜的专用工装及镀膜方法
CN115612982A (zh) * 2022-09-27 2023-01-17 华中科技大学 一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法及产品

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