CN112588689A - 一种硅片清洗堆叠输送一体化系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片清洗堆叠输送一体化系统，现有技术中堆叠机的输出轨道与清洗机的上料机构结构不一致，两者的对接十分远而且需要人工操作，十分复杂，本发明中包括，清洗组件，包括清洗设施、设置在清洗设施内的清洗件以及设置在清洗设施内的清洗剂注入管；堆叠组件，包括设置在靠近清洗设施处的堆叠箱、设置在堆叠箱内的堆叠部件以及开设在堆叠箱上的进入口；以及，运输组件，所述运输组件设置在堆叠组件与清洗组件之间，整套系统一体化设置，并且只需要操作者对硅片进行简单的上料操作即可完成，节省人力且效率更高。
Description
技术领域
本发明涉及硅片清洗技术的技术领域，尤其涉及一种硅片清洗堆叠输送一体化系统。
背景技术
硅片切割后，硅片表面存在硅料碎屑或切割液等脏污，需要进行清洗，以保持硅片表面的洁净。一般的，通过硅片清洗机对硅片进行清洗。在对硅片进行清洗前，需要通过插片机将硅片放置在花篮中。
传统地，堆叠与清洗机单独设置。清洗机上设有上料支架以及可活动的设于上料支架上的上料机构。传统的，堆叠机的输出轨道与清洗机的上料机构结构不一致，两者的对接十分远而且需要人工操作，十分复杂。
发明内容
本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。
鉴于上述现有硅片清洗堆叠输送一体化系统存在的问题，提出了本发明。
因此，本发明目的是提供一种硅片清洗堆叠输送一体化系统。
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种硅片清洗堆叠输送一体化系统，包括，清洗组件，包括清洗设施、设置在清洗设施内的清洗件以及设置在清洗设施内的清洗剂注入管；堆叠组件，包括设置在靠近清洗设施处的堆叠箱、设置在堆叠箱内的堆叠部件以及开设在堆叠箱上的进入口；以及，运输组件，所述运输组件设置在堆叠组件与清洗组件之间。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述清洗件包括转动连接在清洗设施内的转动盘、设置在转动盘上的承接槽以及设置在承接槽内的真空吸附件，
其中，所述承接槽形状为扇形，沿着所述转动盘表面等距开设，所述转动盘的中心处开设有通过孔。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述清洗设施内设置有支架，所述支架上端沿水平方向向外伸出有支撑杆，所述转动盘后端设置有连接在支撑杆内部的连接杆，
其中，所述连接杆和支撑杆之间设有驱动部件。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述驱动部件包括转动连接在支架上端的第一锥齿轮、套设在连接杆上的第二锥齿轮、设置在支撑杆远离支架一端内的第三锥齿轮以及设置在转动盘后侧与第三锥齿轮啮合的第四锥齿轮，
其中，转动盘设置有两个，且两个转动盘的表面平面相互垂直90°设置。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述清洗剂注入管内设置有送料管，所述清洗设施远离送料管一端设置有出料管，所述送料管设置在出料管上端位置，且相对设置。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述转动盘上滑移连接有拨盘，所述拨盘为弧形，所述拨盘前端设置有锥形角，所述清洗设施内设有承接盘，所述承接盘倾斜向下设置。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述承接盘下端设置有堆叠组件，所述堆叠组件包括传送带、设置在清洗设施外的皮带轮以及设置在皮带轮上的承接块，
其中，还包括支架，所述支架上设置有滑移杆，所述承接块两端向外伸出与滑移杆滑移连接的套筒，所述承接块前端设置有接杆。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述传送带前端设置有送料板，所述送料板前端开设有开口，所述送料板包括若干等距设置的承接条，
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：远离所述承接条一端设置有接料箱，所述接料箱上设置有送板，所述送板的结构与送料板结构一致。
作为本发明所述硅片清洗堆叠输送一体化系统的一种优选方案，其中：所述送料板外贴合有橡胶层。
本发明的有益效果：操作者先将硅片放置到承接槽上，然后利用真空吸附件进行吸附，然后操作者将清洗剂进行注入，注入后利用清洗剂的冲击，带动两个转动盘的转动，因为两个转动盘相互呈90°设置，进而会不断接受冲击，然后使得承接槽内的硅片被清洗剂冲洗，在冲洗完成之后，操作者滑动拨盘，利用拨盘将硅片拨下，然后使得硅片落到承接盘上，然后下滑到送料板上，然后操作者因为皮带轮的转动，由承接块承接好硅片，然后将硅片抬出，然后随着承接块的移动，使得承接块带动硅片移动，然后移动到送板处，然后下滑至堆叠箱内，整套系统一体化设置，并且只需要操作者对硅片进行简单的上料操作即可完成，节省人力且效率更高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
图1为本发明硅片清洗堆叠输送一体化系统的整体结构示意图。
图2为本发明硅片清洗堆叠输送一体化系统转动盘结构爆炸示意图。
图3为本发明硅片清洗堆叠输送一体化系统运输组件结构示意图。
图4为本发明硅片清洗堆叠输送一体化系统转动盘结构剖视图。
图中，100、清洗组件；101、清洗设施；102、清洗件；102a、转动盘；102b、承接槽；103、清洗剂注入管；200、堆叠组件；201、堆叠箱；202、进入口；203、第一支架；204、支撑杆；205、连接杆；300、驱动部件；301、第一锥齿轮；302、第二锥齿轮；303、第三锥齿轮；304、第四锥齿轮；306、出料管；307、拨盘；400、运输组件；401、传送带；402、皮带轮；403、承接块；404、第二支架；405、滑移杆；406、套筒；407、接杆；408、送料板；408a、承接条；409、接料箱。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。
再其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
实施例1
参照图1-4，一种硅片清洗堆叠输送一体化系统，包括，清洗组件100，包括清洗设施101、设置在清洗设施101内的清洗件102以及设置在清洗设施101内的清洗剂注入管103；堆叠组件200，包括设置在靠近清洗设施101处的堆叠箱201、设置在堆叠箱201内的堆叠部件以及开设在堆叠箱201上的进入口202；以及，运输组件400，运输组件400设置在堆叠组件200与清洗组件100之间。
具体的，本发明主体结构包括清洗组件100，在本实施例中，清洗组件100包括清洗设施101，清洗设施101形状为箱体形状，并且设置在地面上，然后在清洗设施101里面还设置有清洗件102，清洗件102用于对硅片进行清洗和承接，然后在清洗设施101内设置有清洗剂注入管103，能够将清洗剂注入到清洗设施101内，利用清洗剂和清洗件102的配合实现对硅片的清洗。
进一步的，本发明主体还包括堆叠组件200，在本实施例中，堆叠组件200包括设置在靠近清洗设施101处的堆叠箱201，堆叠箱201靠近清洗设施101处，并且在堆叠箱201的内部位置设置有堆叠部件，在本实施例中，堆叠部件包括沿水平滑移连接在堆叠箱201内的斜面块，斜面块的斜面朝向堆叠箱201上端开口，然后在斜面块的下端固定有竖直方向设置的第一气缸，第一气缸可以将斜面块向上或向下推动，然后在堆叠箱201内还沿水平方向设置有第二气缸，第二气缸的液压杆与第一气缸侧壁固定，能够沿水平方向拉动第一气缸和斜面块，同时在斜面块前端与堆叠箱201之间留有间隙，并且为了方便堆叠，在堆叠箱201上开设有进入口202。
同时本发明主体还包括运输组件400，运输组件400可将硅片从清洗设施101移动到堆叠箱201处。
实施例2
参照图1-4，该实施例不同于第一个实施例的是：清洗件102包括转动连接在清洗设施101内的转动盘102a、设置在转动盘102a上的承接槽102b以及设置在承接槽102b内的真空吸附件102c，其中，承接槽102b形状为扇形，沿着转动盘102a表面等距开设，转动盘102a的中心处开设有通过孔，清洗设施101内设置有第一支架203，第一支架203上端沿水平方向向外伸出有支撑杆204，转动盘102a后端设置有连接在支撑杆204内部的连接杆205，其中，连接杆205和支撑杆204之间设有驱动部件300，驱动部件300包括转动连接在支架上端的第一锥齿轮301、套设在连接杆205上的第二锥齿轮302、设置在支撑杆204远离支架一端内的第三锥齿轮303以及设置在转动盘102a后侧与第三锥齿轮303啮合的第四锥齿轮304，其中，转动盘102a设置有两个，且两个转动盘102a的表面平面相互垂直90°设置，清洗剂注入管103内设置有送料管（图中未画出），清洗设施101内设置有出料管306，送料管设置在出料管306上端位置，且相对设置，转动盘102a上滑移连接有拨盘307，拨盘307为弧形，拨盘307前端设置有锥形角，清洗设施101内设有承接盘，承接盘倾斜向下设置，承接盘下端设置有运输组件400，运输组件400包括传送带401、设置在清洗设施101外的皮带轮402以及设置在皮带轮402上的承接块403，其中，还包括第二支架404，第二支架404上设置有滑移杆405，承接块403两端向外伸出与滑移杆405滑移连接的套筒406，承接块403前端设置有接杆407，传送带401前端设置有送料板408，送料板408前端开设有开口，送料板408包括若干等距设置的承接条408a，远离承接条408a一端设置有接料箱409，接料箱409上设置有送板，送板的结构与送料板408结构一致，送料板408外贴合有橡胶层。
具体的，在本实施例中，清洗件102包括设置在清洗设施101内的第一支架203，在第一支架203的上端还沿水平方向向外伸出有两个支撑杆204，然后在清洗设施101内，两个支撑杆204的端头部分还转动连接有转动盘102a，并且在每个转动盘102a上都开设有承接槽102b，承接槽102b开设在转动盘102a一半的部分上，并且承接槽102b等距开设，然后在承接槽102b内还设置有真空吸附件102c，真空吸附件102c包括橡胶管道，连接到承接槽102b，然后橡胶管道向外伸出，然后连接到第一支架203内，然后在第一支架203内还设置有抽空气管和抽空气泵，能够利用抽取的空气形成真空，将硅片紧紧吸附在承接槽102b内。
进一步的，在转动盘102a的后端都连接有连接杆205，连接杆205连接在支撑杆204内，并且连接杆205和支撑杆204两者套接，进而可以相对转动，然后在连接杆205和支撑杆204之间还设置有驱动部件300，在本实施例中，驱动部件300包括转动连接在支架上端的第一锥齿轮301，第一锥齿轮301的转动平面水平设置，然后在其中一个连接杆205的后端设置有第二锥齿轮302，第一锥齿轮301和第二锥齿轮302啮合，同时在第一锥齿轮301上还设置有导流片，导流片沿竖直方向设置，进而可以随着第一锥齿轮301的转动进行转动。
进一步的，在每个转动盘102a的后端面位置设置有第四锥齿轮304，然后在支撑杆204的远离支架一端还设置有第三锥齿轮303，第三锥齿轮303和第四锥齿轮304啮合。
作为优选的，从出料管306朝向两个转动盘102a方向进行观察作为第一视图时，在第一视图上两个转动盘102c为相互交叉设置，呈现90°设置，并且两个转动盘102a的下端面位置对准清洗剂注入管103，进而可以利用清洗剂的水流冲击，带动两个转动盘102a的转动，然后使得转动盘102a转动后，利用清洗剂对硅片进行清洗，并且转动清洗的效果能够更加充分和良好。
进一步的，在转动盘102a的下端位置，也就是对准清洗剂注入管103的位置滑移连接有拨盘307，拨盘307的形状为半圆形，并且前端设置有锥形角，拨盘307两端设置有方形滑块，然后在转动盘102a上还开设有弧形的与方形滑块配合的滑动槽，保证滑移的稳定性，然后可以使得操作者对拨盘307进行滑移，在滑移后，可以将硅片和承接槽102b分开，能够取下硅片，同时在清洗设施101内设有承接盘，承接盘倾斜向下设置，承接盘下端设置有运输组件400。
作为优选的，在清洗设施101的一侧面上开设有开口，然后在开口上设置有倾斜设置的铁板，铁板的一侧向清洗设施101内伸入，并且能够承接利用拨盘307拨下的硅片，并且硅片会向下滑动，滑动到运输组件400处。
在本实施例中，运输组件400包括传送带401，传送带401倾斜设置，然后在传送带401的下端设置有送料板408，送料板408包括若干等距设置的承接条408a和两端的连板，然后在送料板408的前端位置的连板上开设有开口，然后在清洗设施101外设置有皮带轮402，皮带轮402沿竖直方向设置，进而传动方向为顺时针的转动，然后在皮带轮402的皮带上还设置有承接块403，承接块403的形状为矩形，承接块403包括与皮带相连的抓块（图中未画出）和转动连接在抓块前端的转动块（图中未画出），转动块的转动平面竖直设置，然后在承接块403的前端（转动块前端）伸出有接杆407，同时在堆叠箱201的位置固定有第二支架404，第二支架404沿竖直方向设置，并且在第二支架404上固定有滑移杆405，滑移杆405设置有两个，且沿竖直方向设置，并且承接块403的两端伸出有套筒406，套筒406与滑移杆405滑移连接，进而可以使得承接块403保持水平状态且能够随着皮带轮402进行移动，此设置可以使得承接块403在移动时，可以始终保证接杆407始终处于水平位置，保证接杆407上承接的硅片不会掉落，然后在堆叠箱201上还设置有接料箱409，接料箱409下端开口，并且下端开口位置设置有送板，送板的结构和送料板408一致，并且倾斜向下设置，从接料箱409向下伸入到堆叠箱201内。
其余结构与实施例1相同。
操作过程：操作者先将硅片放置到承接槽102b上，然后利用真空吸附件进行吸附，然后操作者将清洗剂进行注入，注入后利用清洗剂的冲击，带动两个转动盘102a的转动，然后使得承接槽102b内的硅片被清洗剂冲洗，在冲洗完成之后，操作者滑动拨盘307，利用拨盘307将硅片拨下，然后使得硅片落到承接盘上，然后下滑到送料板408上，然后操作者因为皮带轮402的转动，由承接块403承接好硅片，然后将硅片抬出，然后随着承接块403的移动，使得承接块403带动硅片移动，然后移动到送板处，然后下滑至堆叠箱201内。
重要的是，应注意，在多个不同示例性实施方案中示出的本申请的构造和布置仅是例示性的。尽管在此公开内容中仅详细描述了几个实施方案，但参阅此公开内容的人员应容易理解，在实质上不偏离该申请中所描述的主题的新颖教导和优点的前提下，许多改型是可能的（例如，各种元件的尺寸、尺度、结构、形状和比例、以及参数值（例如，温度、压力等）、安装布置、材料的使用、颜色、定向的变化等）。例如，示出为整体成形的元件可以由多个部分或元件构成，元件的位置可被倒置或以其它方式改变，并且分立元件的性质或数目或位置可被更改或改变。因此，所有这样的改型旨在被包含在本发明的范围内。可以根据替代的实施方案改变或重新排序任何过程或方法步骤的次序或顺序。在权利要求中，任何“装置加功能”的条款都旨在覆盖在本文中所描述的执行所述功能的结构，且不仅是结构等同而且还是等同结构。在不背离本发明的范围的前提下，可以在示例性实施方案的设计、运行状况和布置中做出其他替换、改型、改变和省略。因此，本发明不限制于特定的实施方案，而是扩展至仍落在所附的权利要求书的范围内的多种改型。
此外，为了提供示例性实施方案的简练描述，可以不描述实际实施方案的所有特征（即，与当前考虑的执行本发明的最佳模式不相关的那些特征，或于实现本发明不相关的那些特征）。
应理解的是，在任何实际实施方式的开发过程中，如在任何工程或设计项目中，可做出大量的具体实施方式决定。这样的开发努力可能是复杂的且耗时的，但对于那些得益于此公开内容的普通技术人员来说，不需要过多实验，所述开发努力将是一个设计、制造和生产的常规工作。
应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (9)
1.一种硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：包括，
清洗组件（100），包括清洗设施（101）、设置在清洗设施（101）内的清洗件（102）以及设置在清洗设施（101）内的清洗剂注入管（103）；
堆叠组件（200），包括设置在靠近清洗设施（101）处的堆叠箱（201）、设置在堆叠箱（201）内的堆叠部件以及开设在堆叠箱（201）上的进入口（202）；以及，
运输组件（400），所述运输组件（400）设置在堆叠组件（200）与清洗组件（100）之间，所述清洗件（102）包括转动连接在清洗设施（101）内的转动盘（102a）、设置在转动盘（102a）上的承接槽（102b）以及设置在承接槽（102b）内的真空吸附件（102c），
其中，所述承接槽（102b）形状为扇形，沿着所述转动盘（102a）表面等距开设，所述转动盘（102a）的中心处开设有通过孔。
2.如权利要求1所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述清洗设施（101）内设置有支架，所述支架上端沿水平方向向外伸出有支撑杆（204），所述转动盘（102a）后端设置有连接在支撑杆（204）内部的连接杆（205），
其中，所述连接杆（205）和支撑杆（204）之间设有驱动部件（300）。
3.如权利要求2所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述驱动部件（300）包括转动连接在第一支架（203）上端的第一锥齿轮（301）、套设在连接杆（205）上的第二锥齿轮（302）、设置在支撑杆（204）远离第一支架（203）一端内的第三锥齿轮（303）以及设置在转动盘（102a）后侧与第三锥齿轮（303）啮合的第四锥齿轮（304），
其中，转动盘（102a）设置有两个，且两个转动盘（102a）的表面平面相互垂直90°设置。
4.如权利要求1所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述清洗剂注入管（103）内设置有送料管，所述清洗设施（101）远离送料管一端设置有出料管（306），所述送料管设置在出料管（306）上端位置，且相对设置。
5.如权利要求4所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述转动盘（102a）上滑移连接有拨盘（307），所述拨盘（307）为弧形，所述拨盘（307）前端设置有锥形角，所述清洗设施（101）内设有承接盘，所述承接盘倾斜向下设置。
6.如权利要求5所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述承接盘下端设置有运输组件（400），所述运输组件（400）包括传送带（401）、设置在清洗设施（101）外的皮带轮（402）以及设置在皮带轮（402）上的承接块（403），
其中，还包括第二支架（404），所述第二支架（404）上设置有滑移杆（405），所述承接块（403）两端向外伸出与滑移杆（405）滑移连接的套筒（406），所述承接块（403）前端设置有接杆（407）。
7.如权利要求6所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述传送带（401）前端设置有送料板（408），所述送料板（408）前端开设有开口，所述送料板（408）包括若干等距设置的承接条（408a）。
8.如权利要求7所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：远离所述承接条（408a）一端设置有接料箱（409），所述接料箱（409）下方设置有送板，所述送板的结构与送料板（408）结构一致。
9.如权利要求7所述的硅片清洗堆叠输送一体化系统，其特征在于：所述送料板（408）外贴合有橡胶层。
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