CN1125323A - 开架桥式检测系统 - Google Patents
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Abstract
一种两面检测高密度印刷电路板的系统包括一个环绕由电路板载体保持在测试位置的电路板延伸的开放框架。该框架包括两个在测试位置的电路之上并在其两端延伸的平行导轨构件。该框架还包括另外两个在电路板之下并在其两端延伸的延伸的平行导轨构件。下、下导轨构件相互垂直地延伸,并在框架的角上借助于压紧螺栓组合件固定在一起。两个桥式构架运动在上导轨构件间的第一方向内,而另两个桥式构架运动在下导轨构件之间与第一方向垂直的方向内。
Description
本发明涉及一种检测电子电路板的测试设备,特别涉及一种同时检测小间距离电子电路板两面的测试设备。
用于小间距电子电路板,如多忠片组件和多层陶瓷基片的测试操作包括使一个或一个以上探头与板上的个别电路实际接解。这一般采用带有多个相互固定的同时啮盒的接头触点的一簇探测器,或采用由图像数据以数据驱动方式移动一个或一个以上的独立探头的一种串行探测器来进行。一簇探测器灵活性小,并要求投入大量资金为每种类型产品制作专用的探头。虽然,串行探测器可把探头放在适当位置,易于应付产品的变化,但这种设备用于高密度的电路板要求额外的时间。由于在高密度板中必须检测大量的电路,探头则必须在各测试点间高速移动。检测应尽可能快地进行,以尽量减少应付生产线的生产所要求的测试人员数量。
高速检测对检测系统有特殊要求。因为待检测的特征尺寸很小,所以对检测系统的精度要求很高。如果系统结构由于为移动探测器的平台必须施加的加速力而过分抖动的话,那么系统的精度就受到影响。还有,如果在测试过程中探头顶端连续抖动,被测产品可能受到损伤。因为这种类型的测试仪器的工作速度和使用率都高,所以快速而有效地实施维护工作的效率对于减少测试过程的工作成本和增加测试仪器的有效利用率都是很重要的因素。必须进行的这类维护的重要实例是探头顶端的更换。
由于复杂的电路一般沿小间隔电子电路板的两百布置,同时快速而精确探测板的两面的能力越来越重要。虽然逐渐可从市上买到能检测电路板两面的系统,但对能两面检测待测电路板的检测系统有某种特殊要求,即提供串行探测器的灵活性,又易于装卸待测电路板,同时对检测系统提供实际接近途径以用于维护功能。
在专利领域中可发现一些有关检测高密度电路的测试设备的例子。例如山津的美国专利US—4,786,867,山口等人的US—4,934,064,以及大野等人的US—5,091,692描述了使探头相对于高密度电路表面定位的方法。然而,这些方法适合在单个的面朝上的测试电路板的表面的检测工作。为探头仅工作在电路板的一面上时,一般只需从上面接近,采用实体结构,如设置在探头和电路板下面的台子。再有,所需要的是允许探头在电路两面工作的结构和机构,即能提供便于装上待测电路,又便于行使为保持探测器正常运行所需的维护职能。
在与坐标测量机构相关的专利领域中可发现,为探头的高精度、小抖动移动以及为电学探测运动中的探头位置所提供的设备,这种设备可用于确定探头相对于待测的工作表面的位置。例如在Helmsr的美国专利US—4,958,437中表明在坐标测量机构中使用了桥式支撑构架。装设一个进行机械测量的探头,可在实体台表面上方的三个方向上运行。探头装配在可竖直滑动的,从承重台向下延伸的Z导轨的端部,而它本身是滑动装配,以沿桥式构架运行。桥式构架本射是通过使用空气轴承装配的,以便在延伸在实体台侧面的导轨上沿与承重台在桥式构架上的运动垂直的方向上运行。由固定在构架一侧的驱动机构使桥式构架移动。减振器最好同驱动机构所联结的点隔开,它包括通过回弹阻力低的高量吸收体衬垫悬挂在桥式构架上的坚实物质。
这类坐标测量机构被用于制作放在或夹在一般是实心花岗石块的台上部件的各种机械特征的直角坐标测量。无须达到被温暖部件的下侧;也不准备这样做。坐标测量机构的应用类似于电路探测器的应用,要求精确度高,而实际的电路探测器的工作速度必须比坐标测量机构的高得多。
根据本发明一种方案,提供在测试中使检测装置沿电路板两面移动的设备,该设备包括一支撑构架、第一、第二、第三和第四导轨构件、第一和第二桥式构架、桥驱动机构以及在第一和第桥式构架上各装配一个探头。支撑机件有一个电路板接收槽和电路板保持机构,使电路板保持在电路板接收槽内,让电路板第一面面朝第一方向,让电路板第二面即第一面的对面面朝第二方向。第一导轨构件被固定在支撑构架上,从支撑构架以第一方向延伸,铺展在电路板接收槽的第一侧。第二导轨构件被固定在支撑构架上,从支撑构架以第一方向延伸,与第一导轨平行铺展在电路板接收槽的与该槽第一侧相对的另一侧。第三导轨构件被固定在支撑构架上,从支撑构架以第二方向延伸,铺展在电路板接收槽第二侧。第四导轨构件被固定在支撑构架上,从支撑构架以第二方向延伸,与第三导轨构件平行铺展。第一桥式构架可在第一和第二导轨构件间,并沿第一、第二导轨构件移动。第二桥式构架可在第三和第四导轨构件间并沿第三、第四导轨构件移动。桥驱动机构使第一和第二桥式构架运动。每个探头向着和背着保持在电路板保持机构中的电路板运动。
下面参照附图描述发明主题的一个优选实施方案:
图1是表示根据本发明组成的开架桥式检测系统主要部件的立体分解图;
图2是图1检测系的单个桥式结构视图,特别表示从上方看到的下桥;
图3是图2桥式结构一支承座的取自图2剖面线II—II的横截面纵剖图;
图4是图1检测系统的探头组合件及相关的记录载体的立体等轴视图,特别示出从上方看到的下探头。
图5是图1检测系统的正视图,以及
图6是图1检测系统的平面图。
设计本发明的开架桥式检测系统以满足高性能低抖动的需要,并在工作和检护期间提供容易的接近途径。桥式构型是这样选择的,使之可容纳大的产品尺寸而不会因悬梁支座弯曲而降低性能。
参照图1,一个开架桥式检测系统10包括四个独立的桥式构架12,各自均起XY工作台作用。上桥构架12—1、12—2携带沿被测产品(未表示)的上表面使用的探头,而下桥构架12—3、12—4携带沿被测产品下表面使用的探头。框架14包括两个上花岗石横梁20—1、20—2以及两个下花岗石横梁20—3、20—4。一直线支承导轨22和一直线电动机磁体导槽24都固定在每个花岗石横梁20上。译码标尽26固定在上花岗石横梁20—1和下花岗石横梁20—3上。每个桥桥式构架12每端包括一个直线电动机线圈28,工作在对应的直线电动机磁体导槽24内,以及一对循环滚珠轴承30,与对应的直线支承导轨22啮合。每个桥式构架12至少一端还包括一个紧靠对应的译码标尺26所架设的译码读头32。
在系统10的每个上、下位置中,X轴由花岗石横梁20延伸的方向限定,允许桥式构架12在其上运行。这就使系统上位置的X轴由横梁20—1、20—2限定,处于箭头32所指示的方向,而系统下位置的X轴由横梁20—3、20—4限定,处于箭头34所指示的方向。
参照图2,在每个桥式构架20上,在伸到直线电动机磁体导槽42内的直线电动机线圈40的控制下,通过承重台36沿承重台导轨38的运动独立地驱动探头在Y方向上运动。磁体导槽42包括在每一侧各有一行永久磁体44使极性颠倒地排列在其端部。承重台36是铝热压镶嵌在近于方形的构形中的形状,以低摩擦循环轴承运行在导轨38上。承重台36在桥式构架20上的位置由固定在承重台36上的译码读头(未示出)跟踪,紧靠固定在桥式构架20上的译码标尺45运动。
每个桥式构架20的中央部位43,例如可以由Anorad LW-10平台(Anorad Corporation of Hauppage,New York有售)组成,当对平台的各端施行改型时,可提供各种与整个桥构架20有关的机构,诸如直线电动机线圈28、循环滚珠轴承30及译码读头32。这样设置的直线电动机线圈40和磁体导槽42、电缆极限以及止动器作为平台的总体部件形成中央部分43。
再参照图1,四个花岗石横梁20一起形成框架14,作为盒式构架的四个边。U形金属支撑板46夹在上对花岗石磺梁20—1、20—2和下对花岗石横梁20—3、20—4之间,为待测产品提供支撑。花岗石横梁20和支撑板46在各角由贯通各角的压紧螺栓组合件48固定,提供最大的刚度,在中间位置,用另外的压紧螺栓组合件49使花岗石横梁固定到支撑板46上。这种结构为一种开式构形提供了各方向的机械支撑,所有关键部件均容易折装,而且在测试位置的产品是可看得到的。
当桥式构架驱动机构的单个部件,如直线电动机线圈28与对应的承重台驱动部件,如直线电动机线圈40可以是同一型号时,由于桥式构架12的质量和长度,又因不希望有部件由桥式构架沿其运动方向向中心延伸,则在花岗石构架12的各端部给分开的电动机线圈28供电。然而,每个桥式构架12只需要一个译码读头32。而且上桥式构架12—1、12—2的两个译码读头32使用在上花岗石横梁20—1上的同一个译码标尺26,而下桥式构架12—3、12—4的两个译码读头32使用下花岗石横梁20—3上的同一译码标尺26。
图3提供一个支承30连同相关的导轨22的横截面纵剖图。支承30包括四个凹槽47,当支承在导轨上运动时,允许凹槽内的滚珠旋转。导轨22包括四个沿长度延伸的凹槽50,滚珠在槽内滚动。此类直线移动支撑系统已有市售(THK CoLtd of Tokyo,Japan产)如LM系统。
图4提供由四个承重台36(图1和图2示出)各承载一个探头组合件56及相关的探头载体58的立体分解视图。该图详细地示出一个实例,由下向上看到的固定到桥式构架12—1、12—2的上承重台的结构取向。探头组合件56沿箭头59的方向运动,使探头顶端60与测试电路上的一点接触。在一个独立的点被检测后,探头组合件56朝着箭头59所指的相反方向运动,使探头顶端60与测试电路脱离接触。因探头组合件56的蓝宝石轴62在探头载体58的空气轴承64中滑动而产生这种运动。当给线圈66施加电流时,产生探头组合件56的运动,它延伸到作为中心支柱而形成的永久磁体68。由位移传感器,如LVDT互感器70,以滑动铁心71的动作,来探测探头组合件56在载体58中的位置。通过柔软的电缆72实施与探头顶端60和线圈66的电连接。
参照图5的正剖视图,下花岗石横梁20—3、20—4建立在基座构件74台板73上,四个角的腿76向下延伸,使检测系统10与底部表面(未示出)保持合适的高度。台板73最好包括与在花岗石横梁20的盒式构架所设置的孔对准的中心孔(未示出)。
测试电路载体98是滑动装配的,以能在支撑板46的敞口槽80内运动。导杆82沿槽80的一侧延伸,提供一个为手动载体78所导的轨迹。载体78的对应端包括一对与导杆82啮合的轴对准轴承84。载体78的另一端包括可旋轴装配在轴88上的滚轮86。当载体78向内或向外滑动时,轴承84在杆82上滑动,而滚轮86在支撑板46的邻近表面上滚动。测试电路支撑载体88与为其运动提供的导向构件一起装配在U型支撑板46的厚度内的空间中。这种结构允许在支撑板46之上和之下直接布置花岗石横梁20,并允许桥式构架12和探头不受阻碍的运动。
参照图6的平面图,测试电路支撑载体78还包括一个中心孔90,电路板放于其内,以进行测试过程。沿着载体78的下表面,有许多凹边94伸入中心孔90。还可设置压板96以便在测试过程中夹紧测试电路板92牢固地在孔90内入位。
在参照图5,设置宏观Z驱动功能,以使上桥构架12—1、12—2的探头载体58在竖直Z方向运动。以此功能来补偿在系统10中待测的电路板92间的差异。因为所有的电路板92都是将其下表面放在凸边94上安放在孔90内,那么对下桥构架12—3、12—4的探头载体、58就不需要这种补偿。在每个上桥构架12—1、12—2上,使探头载体58固定在宏观Z平台100上,平台在四根从承重台36向下延伸的支柱102上滑动。Z驱动电动机104被固定在承重台36上,使凸轮106转动,与相邻的宏观Z平台100的下表面啮合,以确定平台100的竖直位置。
参照图5和图6,在承重台36还放置一个电视摄像组合件110,提供一个观察装置,例如,电路板92的特征及电路支撑载体78的特征。可以使用位于测试电路支撑载体78基准表面112上的参考标记,以两个工作在载体78同一侧的探头顶端作为摄像组合件110来确定每个这种探头顶端相对于其它特征的位置。最好,为该定标过程设置两个这类摄像组合件,以观察载体78的上、下两侧。
当操作员向外拉出载体78,将待测的电路板92放入孔90内时,开始电路测试过程。载体78可拉出的距离受支承84在导杆82上可滑动的距离限制。当以此方法使载体完全向外延伸时,移出中心孔,以清洗探头系统10的其它构件。当使测试电路板载体78向里返回时,再夹住使表面不动,防止在电路测试过程中表面再移动。然后进行各步操作,将电流施加给相应的直线电动机线圈20,使四个桥式构架12运动,并将电流施加给各自的承重台的直线电动机和线圈40,使四个探头载体58运动。在运动过程中,借助于紧靠对应的译码标尺26运动的译码读头输出的信号跟踪桥式构架12的位置,并借助于紧靠对应译码标尺44运动的安装在承重台36上的译码读头(未示出)输出的信号跟踪承重台36的位置。第一步操作可以是相对于电路板92的上、下表面校准系统10。然后在四个探头60与电路板92上的特定位置建立起实际接触时,采用各种电路与探头60电连接,确定该板92上图形或电路的各种电学特性。
由各线圈66产生的运动被用来建立或取消各探头60和电路板92间的实际接触。当完成这些过程后,操作员向外拉出电路载体78取出电路板92。
花岗石横20的盒式结构提供一个便于观察和维护检测系统10各种部件的开放的中心部位。桥式构架12可在该中心部位移动,便于修护它的各部件。尤为重要的是能达到装配在上桥式构架12—1或12—2上的探头组合件56下面的区域或装配在下桥式构架12—3或12—4上的探头组合件上面的区域。当这些探头60被磨损或其它损伤时,必须取下这些组合件,以便更换或修理。再有,电路板92在其测试位置是完全可看得到的。
因而由花岗石横梁20、支撑板46和压紧螺栓组合件48、49形成的框架14是一个开放式构架,为支撑或驱动桥式构架12的各边提供特殊的刚度。选择桥式承重台在电路板92的相对两侧作垂直方向运动提供构形上的优点,允许各花岗石横梁20即起桥式支撑的导轨作用,又起框架14的构件作用。
虽然介绍了在电路板92的每一侧使用两个桥式构架12的构形,但应理解,也能以此方用单个桥式构架或三个或更多的桥式构架替代。虽然选择桥式构架作垂直方向运动,但应理解借助于根据本发明建立的检测系统,再附加两条花岗石横为电路板92的一侧提供导轨作用也能提供在电路板92的每一侧的平行方向运动。这样,虽然以优选形式或带有某种程序特殊性的实施例介绍了本发明,但应理解,此说明仅以举例方式做出的,但在不脱离本发明的精神和范畴前提下,仍可能做出包括部件结合与排列的结构、制造及使用上的细节的种种变化。
Claims (20)
1.一种使检测装置沿在测的电路板两面运动的设备,该设备包括:
一带有电路板接收槽的支撑构架;
使所说的电路板保持在所说的电路板接收槽内的电路板保持装置,使所说的电路板的第一面面朝第一方向,使所说的电路板的第二面面朝与所说的第一方向相反的第二方向;
一沿所说的电路板接收槽的第一侧铺展的第一导轨构件,被固定在所说的支撑构架上,并由此在所说的第一方向内延伸;
一沿所说的电路板接收槽的与所说的第一侧相对的一侧铺展的第二导轨构件,所说的第二导轨构件与所说的第一导轨构件平行延伸,被固定到所说的支撑构架上,并由此在所说的第一方向内延伸;
一沿所说的电路板接收槽的第二侧铺展的第三导轨构件,被固定在所说的支撑构架上,并由此在所说的第二方向内延伸;
一与所说的第三导轨构件平行铺展的第四导轨构件,被固定在所说的支撑构件上,并由此在所说的第二方向内延伸;
一可在所说的第一和第二导轨构件间并沿第一、第二导轨构件运动的第一桥式构架;
一可在所说的第三和第四导轨构件间并沿第三、第四导轨构件运动的第二桥式构架;
使所说的第一和第二桥式构架运动的桥驱动装置;以及
在每个所说的第一和第二桥式构架上各装配的一个探头,能向着和背着保持在所说的电路板保持装置内的电路板移动。
2.权利要求1的设备,其特征在于,
所说的设备还包括;一可沿各所说的桥式构架移动的承重台及使所说的承重台沿所说的桥式构架运动的承重台驱动装置;以及
每个探头是可移动地装配在所说的承重台上。
3.权利要求1的设备,其特征在于,
所说的第三导轨构件在与所说的第一导轨构件垂直的方向上延伸;以及
使所说的导轨构构固定在一起,形成环绕中心孔的矩形框架。
4.权利要求3的设备,其特征在于,
每个所说的导轨构件包括一花岗石结构部分和一钢导轨部分;以及
每个所说的桥式构架包括在每端与相邻的所说的导轨部分啮合的支承。
5.权利要求4的设备,其特征在于所说的桥驱动装置包括:
一沿每个所说的导轨构件平行于所说的钢导轨部件延伸的直线电动机磁体凹槽;
一从所说的第一桥式构架各端延伸、在相邻的沿所说的第一和第二导轨构件延伸的直线电动和磁体导槽内运动的直线电动机线圈;
一从所说的第二桥式构架各端延伸、在相邻的沿所说的第二和第三导轨构件延伸的直线电动机磁体导槽内运动的直线电动机线圈;
一沿所说的第一导轨构件平行于所说的钢导轨部分延伸的第一译码标尺;
一沿所说的第三导轨构件平行于所说的钢导轨部分延伸的第二译码标尺;
一装配在所说的第一桥式部件靠近所说的第一译码标尺运动的第一译码读头;以及
一装配在所说的第二桥式部件靠近所说的第二译码标尺运动的第二译码读头。
6.权利要求5的设备,其特征在于还包括:
一在所说的第一和第二导轨构件间并沿着所说的第一、第二导轨构件可运动的第三桥式构架;
一在所说的第三和第四导轨构件间并沿着所说的第三、第四导轨构件可运动的第四桥式构架;
在每个所说的第三和第四桥式构架上各装配的一个探头,能向着和背着保持在所说的电路板保持装置内的电路板移动;
一从所说的第三桥式构架各端延伸,在相邻的沿所说的第一和第二导轨构件延伸的直线电动机磁体导槽内运动的直线电动机线圈;
一从所说的第四桥式构架各端延伸,在相邻的沿所说的第二和第三导轨构件延伸的直线电动机磁体导槽内运动的直线电动机线圈;
一装配在所说的第三桥式部件靠近所说的第一译码标尺运动的第三译码读头;以及
一装配在所说的第四桥式部件靠近所说的第二译码标尺运动的第四译码读头。
7.权利要求6的设备,其特征在于,
所说的设备还包括一可沿各所说的桥式构架移动的承重台及使所说的承重台沿所说的桥式构架运动的承重台驱动装置;以及
每个探头是可移动地装配在所说的承重台上。
8.权利要求3的设备,其特征在于,所说的电路板保持装置是一装配在所说的电路板接收槽内、在所说的矩形框架外侧可将所说的电路板装载在所说的电路板载体内的第一位置和使所说的电路板保持在所说的中部开口的第二位置间滑动的电路板载体。
9.一种使检测装置沿在测的电路板两面运动的设备,该设备包括:
一电路板保持器,使所说的电路板的第一面面朝第一方向,第二面面朝第二方向而保持在测试位置;
一环绕所说的在测试位置的电路板延伸的开放框架,所说的开放框架包括在所说的第一方向延伸超出所说的在测试位置的电路板的第一和第二导轨构件,所说的开放框架还包括在所说的第二方向延伸超出所说的在测试位置的电路板的第三和第四导轨构件,所说的第二导轨构件与所说的第一导轨构件平行铺展,所说的第四导轨构件与所说的第三导轨构件平行铺展;
一可在第一和第二导轨构件间并沿第一、第二导轨构件移动的第一桥式构架;
一可在第三和第四导轨构件间并沿第三、第四导轨构件移动的第二桥式构架;
使所说的第一桥式构架沿所说的保持在电路板保持器内的电路板第一面移动的第一桥驱动装置;
使所说的第二桥式构架沿所说的保持在电路板保持器内的电路板第二面移动的第二桥驱动装置;以及
在每个所说的第一和第二桥式构架上各配配的一个探头,能向着和背着保持在所说的电路板保持器内的电路板移动。
10.权利要求9的设备,其特征在于,所说的第三导轨构件垂直于所说的第一导轨构件铺展。
11.权利要求10的设备,其特征在于,
所说的各导轨构件包括一个花岗石结构部件和一个导轨部件;
所说的第一和第二桥式构架每端各包括一个在相邻的所说的导轨部件上支承;以及
所说的在第一和第二导轨构件内的花岗石结构部件在各角上与所说的在第三和第四导轨构件内的花岗石结构部件固定。
12.权利要求11的设备,其特征在于,所说的在第一和第二导轨构件内的花岗石结构部件是借助于压紧螺栓组合件与所说的在第三和第四导轨构件内的花岗石结构部件固定。
13.权利要求10的设备,其特征在于,
所说的第一桥驱动装置包括沿所说的第一和第二导轨构件延伸的第一直线电动机磁体导槽及从所说的第一桥式构架延伸并在所说的第一直线电动机磁体导槽内移动的第一直线电动机磁体线圈;以及
所说的第二桥驱动装置包括沿所说的第三和第四导轨构件延伸的第二直线电动机磁体导槽及从所说的第二桥式构架延伸并在所说的第二直线电动机磁体凹槽内移动的第二直线电动机磁体线圈。
14.权利要求13的设备,其特征在于,还包括:
一可在所说的第一和第二导轨构件间并沿第一、第二导轨构件运动的第三桥式构架;
一可在所说的第三和第四导轨构件间并沿第三、第四导轨构件运动的第四桥式构架;
使所说的第三桥式构架沿所说的保持在所说的电路板保持器内的电路板的第一面移动的第三桥驱动装置,所说的第三桥驱动装置包括从所说的第三桥式构架延伸并在所说的第一直线电动机磁体导槽内移动的第三直线电动机磁体线圈;
使所说的第四桥式构架沿所说的保持在电路板保持器内的电路板的第二面移动的第四桥驱动装置,所说的第四桥驱动装置包括从所说的第四桥式构架延伸并在所说的第二直线电动机磁体导槽内移动的第四直线电动机磁体线圈;以及
在每个所说的第三和第四桥式构架上各装配的一个探头,能向着和背着保持在所说的电路板保持装置内的电路板移动。
15.权利要求14的设备,其特征在于,
每个所说的桥式构架包括一个装配于其上并在其上运行的承重台;以及
所说的探头被装配在一相邻的所说的承重台上。
16.权利要求10的设备,其特征在于所说的电路板保持器包括:
一个包括载体槽的支撑板,所说的支撑板延伸在所说的支撑板第一面上的第一和第二导轨构件和所说的支撑板第二面上的第三和第四导轨构件之间;
一个包括电路板孔的电路板载体,所说的电路板载体装配在所说的载体槽内,以便在可将所说的电路板装入或取自在所说的开放框架之外的电路板孔内的第一位置和将所说的电路板保持在所说的开放框架内的第二位置之间滑动。
17.一种探测装置沿在测的电路板两面运动的设备,该设备包括:
使所说的电路板保持在测试位置的电路板保持装置;
一环绕在所说的测试位置的电路板的框架,所说的框架包括一与所说的电路板的第一面相邻的第一孔和一与所说的电路板的第二面相邻的第二孔,所说的框架还包括在所说的第一孔外侧延伸的第一导轨和在所说的第二孔外侧延伸的第二导轨;
一延伸在所说的第一导轨之间、与所说的第一导轨啮合并沿所说的第一导轨驱动的第一桥式构架;一延伸在所说的第二导轨之间,与所说的第二导轨啮合并沿所说的第二导轨驱动的第二桥式构架;
一沿所说的第一桥式构架在与所说的第一桥式构架的驱动方向垂直的方向驱动的第一承重台;
一沿所说的第二桥式构架在与所说的第二桥式构架的驱动方向垂直的方向驱动的第二承重台;
一装配在所说的第一承重台的第一测试探头;以及
一装配在所说的第二承重台的第二测试探头。
18.权利要求17的设备,其特征在于,所说的第二导轨垂直于所说的第一导轨延伸。
19.权利要求18的设备,其特征在于还包括:
一在所说的第一导轨间延伸,与所说的第一导轨啮合并沿所说的第一导轨驱动的第三桥式构架;
一在所说的第二导轨间延伸,与所说的第二导轨啮合并沿所说的第二导轨驱动的第四桥式构架;
一沿所说的第三桥式构架在与所说的第一桥式构架驱动方向相垂直的方向驱动的第三承重台;
一沿所说的第四桥式构架在与所说的第二桥式构架驱动方向相垂直的方向驱动的第四承重台;
一装配在所说的第三承重台的第三测试探头;以及
一装配在所说的第四承重台的第四测试探头。
20.权利要求19的设备,其特征在于还包括:
驱动每个所说的测试探头进入与保持在所说的电路板保持装置内的电路板的相邻表面啮合的探头啮合装置;
用于保持所说的电路板的第二面对着所说的电路板保持装置内的凸边的装置;以及
用于调整在所说的电路板第一面的第一和第三测试探头间的偏移距离的宏观驱动装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/176,810 US5543726A (en) | 1994-01-03 | 1994-01-03 | Open frame gantry probing system |
US176,810 | 1994-01-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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CN1125323A true CN1125323A (zh) | 1996-06-26 |
CN1053966C CN1053966C (zh) | 2000-06-28 |
Family
ID=22645930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN94113536A Expired - Fee Related CN1053966C (zh) | 1994-01-03 | 1994-12-30 | 开架桥式检测系统 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5543726A (zh) |
EP (1) | EP0661545A3 (zh) |
JP (1) | JP2656744B2 (zh) |
CN (1) | CN1053966C (zh) |
MY (1) | MY114147A (zh) |
PH (1) | PH30859A (zh) |
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US5543726A (en) | 1996-08-06 |
EP0661545A3 (en) | 1996-06-26 |
JP2656744B2 (ja) | 1997-09-24 |
CN1053966C (zh) | 2000-06-28 |
PH30859A (en) | 1997-12-09 |
EP0661545A2 (en) | 1995-07-05 |
JPH07218591A (ja) | 1995-08-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20000628 Termination date: 20100201 |