CN112513314A - 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法 - Google Patents

表面硬化处理装置和表面硬化处理方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112513314A
CN112513314A CN201980050668.8A CN201980050668A CN112513314A CN 112513314 A CN112513314 A CN 112513314A CN 201980050668 A CN201980050668 A CN 201980050668A CN 112513314 A CN112513314 A CN 112513314A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
furnace
ammonia
nitriding potential
treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201980050668.8A
Other languages
English (en)
Inventor
平冈泰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Parker Netsushori Kogyo KK
Original Assignee
Parker Netsushori Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Parker Netsushori Kogyo KK filed Critical Parker Netsushori Kogyo KK
Publication of CN112513314A publication Critical patent/CN112513314A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/28—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases more than one element being applied in one step
    • C23C8/30—Carbo-nitriding
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/24—Nitriding
    • C23C8/26—Nitriding of ferrous surfaces
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/24—Nitriding
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/28—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases more than one element being applied in one step
    • C23C8/30—Carbo-nitriding
    • C23C8/32—Carbo-nitriding of ferrous surfaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/04—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
    • F27B2005/161—Gas inflow or outflow

Abstract

根据由炉内氮化势运算装置运算出的处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变氨气的导入量，由此使上述处理炉内的氮化势接近上述目标氮化势。

Description

表面硬化处理装置和表面硬化处理方法
技术领域
本发明涉及进行例如氮化、软氮化、渗氮淬火等对于金属制的被处理品的表面硬化处理的表面硬化处理装置和表面硬化处理方法。
背景技术
在钢等金属制的被处理品的表面硬化处理中，作为低应变处理的氮化处理的需求很多。作为氮化处理的方法，包括气体法、盐浴法、等离子体法等。
这些方法中，在考虑到品质、环境性、量产性等的情况下，气体法在综合上是优异的。通过使用基于气体法的氮化处理(气体氮化处理)，可改善伴随对于机械部件的淬火的渗碳、碳氮共渗处理或感应淬火所引起的应变。作为与气体氮化处理相同种类的处理，还已知基于伴随渗碳的气体法的软氮化处理(气体软氮化处理)。
气体氮化处理为下述工艺：对于被处理品仅使氮渗透扩散，并使表面硬化。在气体氮化处理中，将氨气单独、氨气与氮气的混合气体、氨气与氨分解气体(由75％的氢和25％的氮构成，也称为AX气体)、或氨气、氨分解气体与氮气的混合气体导入处理炉内，进行表面硬化处理。
另一方面，气体软氮化处理为下述工艺：对于被处理品，与氮一同使碳附带地渗透扩散，并使表面硬化。例如，在气体软氮化处理中，将氨气、氮气与二氧化碳(CO2)的混合气体、或者氨气、氮气、二氧化碳与一氧化碳气体(CO)的混合气体等两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，进行表面硬化处理。
气体氮化处理和气体软氮化处理中的气氛控制的基础是控制炉内的氮化势(KN)。通过控制氮化势(KN)，能够控制在钢材表面生成的化合物层中的γ’相(Fe4N)和ε相(Fe2-3N)的体积分数、或实现不生成该化合物层的处理等，能够得到广泛的氮化品质。例如，根据日本特开2016-211069(专利文献1)，通过γ’相的选择与其厚膜化，可改善弯曲疲劳强度、耐磨耗性，可实现机械部件的功能化的进一步提高。
在上述的气体氮化处理和气体软氮化处理中，为了管理内部配置有被处理品的处理炉内的气氛，设置测定炉内氢浓度或炉内氨浓度的炉内气氛气体浓度测定传感器。并且，由该炉内气氛气体浓度测定传感器的测定值运算出炉内氮化势，与目标(设定)氮化势比较，进行各导入气体的流量控制(“热处理”、55卷、1号、7～11页(平冈泰、渡边阳一)：非专利文献1)。关于各导入气体的控制方法，一边将炉内导入气体的流量比例保持恒定一边控制总导入量的方法是公知的(“铁的氮化与软氮化”、第2版(2013)、158～163页(DieterLiedtke等人、AGNE Gijutsu Center)：非专利文献2)。
日本专利第5629436号(专利文献2)公开了下述装置，其将一边将炉内导入气体的流量比例保持恒定一边控制总导入量的控制方式作为第一控制，将按照炉内导入气体的流量比例发生变化的方式分别地控制炉内导入气体的导入量的控制方式作为第二控制，能够执行这两种控制(同时仅选择性地进行一种控制)。但是，日本专利第5629436号(专利文献2)仅公开了第一控制有效的氮化处理的1个具体例(记载于段落0096和0099：“在保持NH3(氨气)：N2(氮气)＝80：20的状态下，通过控制氨气和氮气向处理炉内的总导入量”，以良好的精度控制氮化势3，3)，对于在何种氮化处理或软氮化处理的情况下采用第二控制有效没有任何公开，另外，对于有效的第二控制的具体例也没有任何公开。
另外，在一边将炉内导入气体的流量比例保持恒定一边控制总导入量的方法中，具有能够期待抑制气体总使用量的优点，另一方面，还可知氮化势的控制范围窄。作为应对该问题的对策，本申请发明人开发了用于在低氮化势侧实现宽的氮化势控制范围(例如580℃下约0.05～1.3)的控制方法，并取得了日本专利第6345320号(专利文献3)。在日本专利第6345320号(专利文献3)的控制方法中，通过在将两种以上的炉内导入气体的总导入量保持恒定的同时改变该两种以上的炉内导入气体的流量比例，从而分别地控制该两种以上炉内导入气体的导入量，以使处理炉内的氮化势接近目标氮化势。
(气体氮化处理的基本的事项)
若用化学方式说明气体氮化处理的基本事项，在气体氮化处理中，在配置被处理品的处理炉(气体氮化炉)内，发生下述式(1)表示的氮化反应。
NH3→[N]+3/2H2…(1)
此时，氮化势KN由下述式(2)定义。
KN＝PNH3/PH2 3/2…(2)
此处，PNH3为炉内氨分压，PH2为炉内氢分压。氮化势KN作为表示气体氮化炉内的气氛所具有的氮化能力的指标而为人所知。
另一方面，在气体氮化处理中的炉内，被导入该炉内的氨气的一部分根据式(3)的反应而热分解成氢气和氮气。
NH3→1/2N2+3/2H2…(3)
在炉内，主要发生式(3)的反应，式(1)的氮化反应在量上几乎可以忽略不计。因此，若已知在式(3)的反应中消耗的炉内氨浓度或在式(3)的反应中产生的氢气浓度，可以运算出氮化势。即，由1摩尔氨，产生的氢和氮分别为1.5摩尔和0.5摩尔，因此若测定炉内氨浓度则还可知炉内氢浓度，能够运算出氮化势。或者，若测定炉内氢浓度，则可知炉内氨浓度，也能运算出氮化势。
需要说明的是，流至气体氮化炉内的氨气在炉内循环后，被排出至炉外。即，在气体氮化处理中，对于炉内的现有气体，不断地使新鲜(新)的氨气流入炉内，从而将该现有气体持续排出至炉外(以供给压力挤出)。
此处，若导入炉内的氨气的流量少，则炉内的气体停留时间变长，因此被分解的氨气的量增加，通过该分解反应产生的氮气+氢气的量增加。另一方面，若导入炉内的氨气的流量多，则未被分解而排出至炉外的氨气的量增加，在炉内产生的氮气+氢气的量减少。
(流量控制的基本的事项)
接着，关于流量控制的基本事项，首先对将炉内导入气体设为仅氨气的情况进行说明。将导入炉内的氨气的分解度设为s(0<s<1)时，炉内的气体反应由下述式(4)表示。
NH3→(1-s)/(1+s)NH3+0.5s/(1+s)N2+1.5s/(1+s)H2…(4)
此处，左边为炉内导入气体(仅氨气)，右边为炉内气体组成，存在未分解的氨气、与通过氨气的分解以1：3的比例产生的氮和氢。因此，在利用氢传感器测定炉内氢浓度的情况下，右边的1.5s/(1+s)对应于基于氢传感器的测定值，能够由该测定值运算出被导入炉内的氨气的分解度s。由此，还能运算出与右边的(1-s)/(1+s)相对应的炉内氨浓度。即，仅由氢传感器的测定值能够获知炉内氢浓度和炉内氨浓度。因此，能够运算出氮化势。
即使在使用两种以上炉内导入气体的情况下，也能控制氮化势KN。例如，将氨和氮这两种气体作为炉内导入气体，将其导入比例设为x：y(x、y已知且x+y＝1。例如，x＝0.5、y＝1－0.5＝0.5(NH3：N2＝1：1))时的炉内的气体反应由下述式(5)表示。
xNH3+(1-x)N2→x(1-s)/(1+sx)NH3+(0.5sx+1-x)/(1+sx)N2+1.5sx/(1+sx)H2…(5)
此处，右边的炉内气体组成为未分解的氨气、通过氨气的分解以1：3的比例产生的氮和氢、所导入的左边的氮气(在炉内未分解)。此时，x已知(例如x＝0.5)，因此，在右边的炉内氢浓度、即1.5sx/(1+sx)下，未知数仅为氨的分解度s。
因此，与式(4)的情况同样地，能够由氢传感器的测定值运算出被导入炉内的氨气的分解度s，由此还能够运算出炉内氨浓度。因此，能够运算出氮化势。
在不固定炉内导入气体的流量比例的情况下，炉内氢浓度和炉内氨浓度包含被导入炉内的氨气的分解度s和氨气的导入比例x这两个作为变量。通常，作为控制气体流量的设备，使用质量流量控制器(MFC)，因此，基于其流量值可以作为数字信号连续地读取氨气的导入比例x。因此，基于式(5)，通过将该导入比例x和氢传感器的测定值进行组合，能够运算出氮化势。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2016-211069
专利文献2：日本专利第5629436号
专利文献3：日本专利第6345320号
非专利文献
非专利文献1：“热处理”、55卷、1号、7～11页(平冈泰、渡边阳一)
非专利文献2：“铁的氮化与软氮化”、第2版(2013)、158～163页(Dieter Liedtke等人、AGNE Gijutsu Center)
非专利文献3：“Effect of Compound Layer Thickness Composed ofγ’-Fe4Non Rotated-Bending Fatigue Strength in Gas-Nitrided JIS-SCM435 Steel(由γ’-Fe4N构成的复合层厚度对气体氮化JIS-SCM435钢旋转弯曲疲劳强度的影响)”、MaterialsTransactions、58卷、No.7(2017)、993～999页(Y.Hiraoka和A.Ishida)
发明内容
发明所要解决的课题
如上所述，日本专利第6345320号(专利文献3)所公开的控制方法能够在低氮化势侧实现宽的氮化势控制范围(例如580℃下约0.05～1.3)，极其有用。
但是，该控制方法为了实现一边将两种以上炉内导入气体的总导入量保持恒定、一边改变该两种以上炉内导入气体的流量比例而使处理炉内的氮化势接近目标氮化势的反馈控制，即使在仅将氨气和氨分解气体作为炉内导入气体的情况下，也需要一点一点地改变这两种炉内导入气体的流量比例。因此，通常需要控制氨气的导入量的质量流量控制器和控制氨分解气体的导入量的质量流量控制器。
本申请发明人对仅将氨气和氨分解气体作为炉内导入气体的情况进行了深入研究，发现在进行使处理炉内的氮化势接近目标氮化势的控制时，通过将氨分解气体的导入量维持恒定并仅仅一点一点地改变氨气的导入量，也能实现满足实用的氮化势控制。
由此，从必须一点一点地反馈控制氨分解气体的导入量中解放出来，即，无需为了控制氨分解气体的导入量而设置质量流量控制器，能够削减与此相关的成本。
本发明是基于上述技术思想而进行的。本发明的目的在于提供一种表面硬化处理装置和表面硬化处理方法，其仅将氨气和氨分解气体作为炉内导入气体，能够实现满足实用的氮化势控制。
用于解决课题的手段
本发明涉及一种表面硬化处理装置，该表面硬化处理装置将氨气和氨分解气体导入处理炉内，进行气体氮化处理作为配置于上述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表面硬化处理装置的特征在于，其具备：炉内气氛气体浓度检测装置，检测出上述处理炉内的氢浓度或氨浓度；炉内氮化势运算装置，基于由上述炉内气氛气体浓度检测装置检测出的氢浓度或氨浓度，运算出上述处理炉内的氮化势；和气体导入量控制装置，根据由上述炉内氮化势运算装置运算出的上述处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将上述氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变上述氨气的导入量，由此使上述处理炉内的氮化势接近上述目标氮化势。
根据本发明，由于通过一边将氨分解气体的导入量保持恒定一边改变氨气的导入量而实现使处理炉内的氮化势接近目标氮化势的反馈控制，从必须一点一点地反馈控制氨分解气体的导入量中解放出来，即，无需为了控制氨分解气体的导入量而设置质量流量控制器，能够削减与此相关的成本。
维持恒定的氨分解气体的导入量与变动的氨气的导入量的初始值可基于目标氮化势的值并参考上述式(2)的关系来确定。具体而言，例如，若将氨分解气体的导入量假定为10[l/min]，将氨气的导入量的初始值假定为25[l/min]，则氨分解气体中的氢的导入量为7.5[l/min]，因此，代入到上述式(2)的右边，为
(25/(25+10))/(7.5/(25+10))3/2＝7.2。
若该值大于目标氮化势的值，则能够采用假定的值。但是，实际上，氨气的热分解度也受到所使用的炉的炉内环境等的影响，因此优选在操作前进行预备实验，确定维持恒定的氨分解气体的导入量和变动的氨气的导入量的初始值。
另外，还已知希望在同一被处理品的处理中变更目标氮化势(“Effect ofCompound Layer Thickness Composed ofγ’-Fe4N on Rotated-Bending FatigueStrength in Gas-Nitrided JIS-SCM435 Steel”、Materials Transactions、58卷、No.7(2017)、993～999页(Y.Hiraoka和A.Ishida)：非专利文献3)。本发明中，上述目标氮化势也优选对于同一被处理品根据时间段而设定为不同的值。
由此，能够对同一被处理品实施两种以上表面硬化处理。例如，能够按照适当的顺序对同一被处理品实施使化合物层厚膜化的处理(在580℃附近的温度下为1.5以上的氮化势)、或选择性地在钢表面形成γ’相的处理(在580℃附近的温度下为0.1～0.6的范围的氮化势)等。
另外，本发明中，优选上述氨气的导入量通过质量流量控制器来改变，上述氨分解气体的导入量通过手动流量计来改变。
由此，安装一个比较昂贵的质量流量控制器即可，能够相应地削减成本。
另外，本发明也可以作为表面硬化处理方法来认识。即，本发明涉及一种表面硬化处理方法，该表面硬化处理方法将氨气和氨分解气体导入处理炉内，进行气体氮化处理作为配置于上述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表面硬化处理方法的特征在于，其包括：炉内气氛气体浓度检测工序，检测出上述处理炉内的氢浓度或氨浓度；炉内氮化势运算工序，基于由上述炉内气氛气体浓度检测工序检测出的氢浓度或氨浓度，运算出上述处理炉内的氮化势；和气体导入量控制工序，根据由上述炉内氮化势运算工序运算出的上述处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将上述氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变上述氨气的导入量，由此使上述处理炉内的氮化势接近上述目标氮化势。
发明的效果
根据本发明，由于通过一边将氨分解气体的导入量保持恒定一边改变氨气的导入量而实现使处理炉内的氮化势接近目标氮化势的反馈控制，从必须一点一点地反馈控制氨分解气体的导入量中解放出来，即，无需为了控制氨分解气体的导入量而设置质量流量控制器，能够削减与此相关的成本。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式的表面硬化处理装置的示意图。
图2是示出实施例的氮化势控制的结果的曲线图。
图3是示出基于日本专利第6345320号(专利文献3)的发明的表面硬化处理装置的示意图。
图4是示出比较例的氮化势控制的结果的曲线图。
具体实施方式
以下对本发明的优选实施方式进行说明，但本发明不限定于以下的实施方式。
(构成)
图1是示出本发明的一个实施方式的表面硬化处理装置的示意图。如图1所示，本实施方式的表面硬化处理装置1是进行气体氮化处理作为配置于处理炉2内的被处理品S的表面硬化处理的表面硬化处理装置，其中，仅将氨气和氨分解气体这两种导入处理炉2内，作为在处理炉2内产生氢的气体。
氨分解气体是也被称为AX气体的气体，是由比例为1：3的氮和氢构成的混合气体。被处理品S为金属制，例如假定为钢部件或模具等。
如图1所示，在本实施方式的表面硬化处理装置1的处理炉2中设有搅拌叶片8、搅拌叶片驱动马达9、炉内温度测量装置10、炉体加热装置11、气氛气体浓度检测装置3、氮化势调节计4、温度调节计5、可编程逻辑控制器30、记录器6和炉内导入气体供给部20。
搅拌叶片8配置于处理炉2内，其在处理炉2内旋转，对处理炉2内的气氛进行搅拌。搅拌叶片驱动马达9与搅拌叶片8连结，使搅拌叶片8以任意的旋转速度旋转。
炉内温度测量装置10具备热电偶，其构成为测量存在于处理炉2内的炉内气体的温度。另外，炉内温度测量装置10在测量炉内气体的温度后，将包括该测量温度的信息信号(炉内温度信号)输出至温度调节计5和记录器6。
气氛气体浓度检测装置3由能够检测出处理炉2内的氢浓度或氨浓度作为炉内气氛气体浓度的传感器构成。该传感器的检测主体部藉由气氛气体配管12而与处理炉2的内部连通。本实施方式中，气氛气体配管12由直接连通气氛气体浓度检测装置3的传感器主体部和处理炉2的单线路径形成。在气氛气体配管12的途中设有开闭阀17，该开闭阀由开闭阀控制装置16进行控制。
另外，气氛气体浓度检测装置3在检测出炉内气氛气体浓度后，将包括该检测浓度的信息信号输出至氮化势调节计4和记录器6。
记录器6包括CPU、存储器等存储介质，基于来自炉内温度测量装置10、气氛气体浓度检测装置3的输出信号使处理炉2内的温度、炉内气氛气体浓度与例如进行了表面硬化处理的日期和时间对应，从而进行存储。
氮化势调节计4具有炉内氮化势运算装置13和气体流量输出调整装置30。另外，可编程逻辑控制器31具有气体导入控制装置14和参数设定装置15。
炉内氮化势运算装置13基于由炉内气氛气体浓度检测装置3检测出的氢浓度或氨浓度运算出处理炉2内的氮化势。具体而言，导入有根据实际的炉内导入气体、基于与式(5)同样的想法而编程的氮化势的运算式，由炉内气氛气体浓度的值运算出氮化势。
参数设定装置15例如由触控面板构成，能够对于同一被处理品根据时间段将目标氮化势设定输入为不同的值，另外，也能够针对目标氮化势的每个不同值而设定输入PID控制的设定参数值。具体而言，能够针对目标氮化势的每个不同值而设定输入PID控制的“比例增益”、“积分增益或积分时间”和“微分增益或微分时间”。设定输入的各设定参数值被传送至气体流量输出调整单元30。
然后，气体流量输出调整单元30实施PID控制，其中，将由炉内氮化势运算装置13运算出的氮化势作为输出值，将目标氮化势(所设定的氮化势)作为目标值，将两种炉内导入气体各自的导入量作为输入值。更具体而言，在该PID控制中，一边将氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变氨气的导入量，由此处理炉2内的氮化势可以接近目标氮化势。另外，在该PID控制中，使用从参数设定装置15传送的各设定参数值。
用于对参数设定装置15的设定输入作业的PID控制的设定参数值的候补，优选实施试验处理而预先获得。本实施方式中，即使(1)处理炉的状态(炉壁或夹具的状态)、(2)处理炉的温度条件和(3)被处理品的状态(类型和个数)相同，也可以(4)针对目标氮化势的每个不同值通过氮化势调节计4本身的自动调节功能预先获得设定参数值的候补。为了构成具有自动调节功能的氮化势调节计4，可以利用横河电气株式会社制造的UT75A(高功能型数字指示调整计、http：//www.yokogawa.co.jp/ns/cis/utup/utadvanced/ns-ut75a-01-ja.htm)等。
作为候补获得的设定参数值(“比例增益”、“积分增益或积分时间”和“微分增益或微分时间”的组)以某种形式被记录，能够根据目标处理内容手动输入到参数设定装置15。然而，作为候补获得的设定参数值可以以与目标氮化势相关联的方式被存储在某个存储装置中，基于设定输入的目标氮化势的值由参数设定装置15自动读出。
气体流量输出调整单元30在PID控制之前基于目标氮化势的值来确定维持恒定的氨分解气体的导入量和变动的氨气的导入量的初始值。这些值的候补优选实施试验性处理而预先获得，通过参数设定装置15从存储装置等自动读出，或者从参数设定装置15手动输入。
之后，根据PID控制确定氨气的导入量(发生变动)，使处理炉2内的氮化势接近目标氮化势(氨分解气体的导入量维持恒定)。气体流量输出调整单元30的输出值被传送至气体导入量控制单元14。
气体导入量控制单元14向氨气用的第1供给量控制装置22发送控制信号。
本实施方式的炉内导入气体供给部20具有氨气用的第1炉内导入气体供给部21、第1供给量控制装置22、第1供给阀23和第1流量计24。另外，本实施方式的炉内导入气体供给部20具有氨分解气体(AX气体)用的第2炉内导入气体供给部25、第2供给阀27和第2流量计28。
本实施方式中，氨气和氨分解气体在放入处理炉2内前的炉内导入气体导入配管29内被混合。
第1炉内导入气体供给部21例如由填充有第1炉内导入气体(本例中为氨气)的罐形成。
第1供给量控制装置22由质量流量控制器(能够在短时间内一点一点地改变流量)形成，介于第1炉内导入气体供给部21与第1供给阀23之间。第1供给量控制装置22的开度根据由气体导入量控制单元14输出的控制信号而变化。另外，第1供给量控制装置22检测出从第1炉内导入气体供给部21向第1供给阀23的供给量，并将包括该检测出的供给量的信息信号输出至气体导入控制单元14和调节计6。该控制信号能够用于气体导入量控制单元14进行的控制的校正等。
第1供给阀23由电磁阀形成，该电磁阀根据气体导入量控制单元14输出的控制信号而切换开闭状态，该第1供给阀23介于第1供给量控制装置22与第1流量计24之间。
第1流量计24例如由流式流量计等机械流量计形成，其介于第1供给阀23与炉内导入气体导入配管29之间。另外，第1流量计24检测出从第1供给阀23向炉内导入气体导入配管29的供给量。第1流量计24检测出的供给量能够用于通过操作者的目视进行的确认操作。
第2炉内导入气体供给部25例如由填充有第2炉内导入气体(本例中为氨分解气体)的罐形成。
第2供给阀27由电磁阀形成，该电磁阀根据气体导入量控制单元14输出的控制信号而切换开闭状态，该第2供给阀27介于第2炉内导入气体供给部25与第2流量计28之间。
第2流量计28例如由流式流量计等机械式手动流量计(无法在短时间内一点一点地改变流量)形成，其介于第2供给阀27与炉内导入气体导入配管29之间，在调整从第2供给阀27向炉内导入气体导入配管29的供给量的同时能够检测出实际的供给流量。第2流量计28的流量(开度)以与从气体导入量控制单元14输出的控制信号对应的方式手动调整，第2流量计28检测的实际供给流量能够用于通过操作者的目视进行的确认操作。
(作用)
接着，参照图2，对本实施方式的表面硬化处理装置1的作用进行说明。首先，向处理炉2内投入被处理品S，开始处理炉2的加热。在图2所示的示例中，作为处理炉2，使用尺寸
Figure BDA0002923037580000101
的井式炉，加热温度设为570℃，使用具有4m2的表面积的钢材作为被处理品S。
在处理炉2的加热中，氨气和氨分解气体以设定初始流量从炉内导入气体供给部20导入处理炉2内。此处，如图2所示，氨气的设定初始流量设为23[l/min]，氨分解气体的设定初始流量设为10[l/min]。这些设定初始流量可以在参数设定装置15中设定输入。另外，搅拌叶片驱动马达9被驱动，搅拌叶片8旋转，对处理炉2内的气氛进行搅拌。
在初始状态下，开闭阀控制装置16使开闭阀17为关闭状态。通常，作为气体氮化处理的前处理，有时进行将钢材表面活化而使氮容易进入的处理。这种情况下，在炉内产生氯化氢气体、氰化氢气体等。这些气体能够使炉内气氛气体浓度检测装置(传感器)3劣化，因此预先使开闭阀17为关闭状态是有效的。
另外，炉内温度测量装置10测量炉内气体的温度，将包括该测量温度的信息信号输出到氮化势调节计4和记录器6。氮化势调节计4对于处理炉2内的状态判定是为升温途中、还是为升温完成的状态(稳定的状态)。
另外，氮化势调节计4的炉内氮化势运算装置13运算炉内的氮化势(最初为极高的值(由于炉内不存在氢)，但随着氨气的分解(产生氢)的进行而逐渐降低)，判定是否低于目标氮化势(图2的示例中为0.7)与基准偏差值之和。该基准偏差值也能在参数设定装置15中设定输入，例如为0.1。
若判定为升温完成的状态，并且判定炉内氮化势的运算值低于目标氮化势与基准偏差值之和(图2的示例中为0.8)(图2的例中为处理开始后约35分钟的时刻)，则氮化势调节计4通过气体导入量控制单元14开始炉内导入气体的导入量的控制。与此相应，开闭控制装置16将开闭阀17切换为开放状态。
若开闭阀17被切换为开放状态，处理炉2与气氛气体浓度检测装置3连通，炉内气氛气体浓度检测装置3检测出炉内氢浓度或炉内氨浓度。所检测出的氢浓度信号或氨浓度信号被输出至氮化势调节计4和记录器6。
氮化势调节计4的炉内氮化势运算装置13基于输入的氢浓度信号或氨浓度信号运算出炉内氮化势。另外，气体流量输出调整单元30实施PID控制，其中，将由炉内氮化势运算装置13运算出的氮化势作为输出值，将目标氮化势(设定的氮化势)作为目标值，将两种炉内导入气体各自的导入量作为输入值。具体而言，在该PID控制中，一边将氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变氨气的导入量，由此实施使处理炉2内的氮化势接近目标氮化势的控制。该PID控制中，使用在参数设定装置15设定输入的各设定参数值。该设定参数值可以根据目标氮化势的值而不同。
另外，作为PID控制的结果，气体流量输出调整单元30控制氨气的导入量。具体而言，气体流量输出调整单元30确定氨气的导入量，该输出值被传递至气体导入量控制单元14。
为了实现所确定的氨气的导入量，气体导入量控制单元14将控制信号送至氨气用的第1供给量控制装置22。
通过上述控制，可以将炉内氮化势稳定地控制在目标氮化势的附近。由此，能够以极高的品质进行被处理品S的表面硬化处理。作为具体例，根据图2所示的示例可知，通过取样时间为数百毫秒左右的反馈控制，氨气的导入量在2ml(±1ml)左右的变动幅度内进行增减，从处理开始后约60分钟的时刻起，能够将氮化势以极高的精度控制在目标氮化势(0，7)。(在图2所示的示例中，在处理开始后约170分钟的时刻，停止各气体流量和氮化势的记录。)
(比较例的构成)
图3是示出基于日本专利第6345320号(专利文献3)的发明的表面硬化处理装置的示意图。
在图3的表面硬化处理装置中，在第2炉内导入气体供给部25与第2供给阀27之间设置有作为质量流量控制器的第2供给量控制装置126。另外，在气体流量输出调整单元130实施的PID控制中，通过一边将氨气与氨分解气体的总导入量保持恒定一边改变氨气与氨分解气体的流量比例，实施使处理炉2内的氮化势接近目标氮化势的控制。
作为PID控制的结果，气体流量输出调整单元130控制炉内导入气体各自的导入量。具体而言，气体流量输出调整单元130将氨气的流量比例确定为0～100％的值，或者将氨分解气体的流量比例确定为0～100％的值。无论哪种情况下，由于两者之和为100％，因此若确定一者的流量比例则也可确定另一者的流量比例。并且，气体流量输出调整单元130的输出值被传送至气体导入量控制单元114。
为了实现与各气体的总导入量(总流量)×流量比例相对应的导入量，气体导入量控制单元114分别向氨气用的第1供给量控制装置22和氨分解气体用的第2供给量控制装置126发送控制信号。本实施方式中，关于各气体的总导入量，也能够针对目标氮化势的每个不同值在参数设定装置115设定输入。
关于图3的装置的其他构成，与利用图1说明的本发明的一个实施方式的装置大致相同。图2中，对于与图1的装置相同的部分附以相同的附图标记，以省略详细的说明。
(比较例的作用)
接着，参照图4对图3的表面硬化处理装置的作用进行说明。首先，向处理炉2内投入被处理品S，开始处理炉2的加热。在图4所示的示例中，作为处理炉2，使用尺寸
Figure BDA0002923037580000131
的井式炉，加热温度设为570℃，使用具有4m2的表面积的钢材作为被处理品S。
在处理炉2的加热中，氨气和氨分解气体以设定初始流量从炉内导入气体供给部20导入处理炉2内。此处，如图4所示，氨气的设定初始流量设为30[l/min]，氨分解气体的设定初始流量设为10[l/min]。这些设定初始流量能够在参数设定装置115中设定输入。另外，搅拌叶片驱动马达9被驱动，搅拌叶片8旋转，对处理炉2内的气氛进行搅拌。
在比较例装置的情况下，在初始状态下，开闭阀控制装置16也使开闭阀17为关闭状态。通常，作为气体氮化处理的前处理，有时进行将钢材表面活化而使氮容易进入的处理。这种情况下，在炉内产生氯化氢气体、氰化氢气体等。这些气体能够使炉内气氛气体浓度检测装置(传感器)3劣化，因此预先使开闭阀17为关闭状态是有效的。
另外，炉内温度测量装置10测量炉内气体的温度，将包括该测量温度的信息信号输出到氮化势调节计4和记录器6。氮化势调节计4对于处理炉2内的状态判定是为升温途中、还是为升温完成的状态(稳定的状态)。
另外，氮化势调节计4的炉内氮化势运算装置113运算炉内的氮化势(最初为极高的值(由于炉内不存在氢)，但随着氨气的分解(产生氢)的进行而逐渐降低)，判定是否低于目标氮化势(图4的示例中为0.7)与基准偏差值之和。该基准偏差值也能在参数设定装置115中设定输入，例如为0.1。
若判定为升温完成的状态，并且判定炉内氮化势的运算值低于目标氮化势与基准偏差值之和(图4的示例中为0.8)(图4的例中为处理开始后约25分钟的时刻)，则氮化势调节计4通过气体导入量控制单元114开始炉内导入气体的导入量的控制。与此相应，开闭控制装置16将开闭阀17切换为开放状态。
若开闭阀17被切换为开放状态，处理炉2与气氛气体浓度检测装置3连通，炉内气氛气体浓度检测装置3检测出炉内氢浓度或炉内氨浓度。所检测出的氢浓度信号或氨浓度信号被输出至氮化势调节计4和记录器6。
氮化势调节计4的炉内氮化势运算装置113基于输入的氢浓度信号或氨浓度信号运算出炉内氮化势。另外，气体流量输出调整单元30实施PID控制，其中，将由炉内氮化势运算装置113运算出的氮化势作为输出值，将目标氮化势(设定的氮化势)作为目标值，将两种炉内导入气体各自的导入量作为输入值。具体而言，在该PID控制中，一边将氨气与氨分解气体总导入量保持恒定，一边改变氨气与氨分解气体的流量比例，由此实施使处理炉2内的氮化势接近目标氮化势的控制。该PID控制中，使用在参数设定装置115设定输入的各设定参数值。该设定参数值可以根据目标氮化势的值而不同。
另外，作为PID控制的结果，气体流量输出调整单元130控制两种以上炉内导入气体各自的导入量。具体而言，气体流量输出调整单元130将氨气和氨分解气体的流量比例确定为0～100％的值，该输出值被传递至气体导入量控制单元114。
为了实现与各气体的总导入量×流量比例相对应的导入量，气体导入量控制单元114分别向氨气用的第1供给量控制装置22和氨分解气体用的第2供给量控制装置126发送控制信号。
通过上述控制，能够将炉内氮化势稳定地控制在目标氮化势的附近。由此，能够以极高的品质进行被处理品S的表面硬化处理。作为具体例，根据图4所示的示例可知，通过取样时间为数百毫秒左右的反馈控制，氨气和氨分解气体的导入量分别在2ml(±1ml)左右的变动幅度内进行增减(一者增加时，另一者减少)，从处理开始后约50分钟的时刻起，能够将氮化势以极高的精度控制在目标氮化势(0，7)。(在图4所示的示例中，在处理开始后约145分钟的时刻，停止各气体流量和氮化势的记录。)
(与比较例的比较)
由图2和图4的曲线图可知，在570℃的温度条件下将目标氮化势设为0.7时，图1的装置(本发明的一个实施方式)能够实现与图3的装置(日本专利第6345320号：专利文献3)相同程度的控制精度。
另一方面，由图1和图3的构成可知，图1的装置(本发明的一个实施方式)无需为了控制氨分解气体的导入量而设置质量流量控制器，因此能够削减与此相关的成本。
接着，对图1的装置(本发明的一个实施方式：实施例)所能够实现的氮化势控制的范围进行了验证，如下述表1所示，能够与图3的装置(专利文献3：比较例)以相同程度地在低氮化势侧实现宽的氮化势控制范围(例如570℃下约0.1～1.5)，确认了图1的装置的有用性。
【表1】
Figure BDA0002923037580000151
在570℃附近(560～600℃左右)的气体氮化处理中，KN＝0.1是不形成化合物层的条件。KN＝0.2～1.0是形成γ’相作为化合物层的条件。KN＝1.5～2.0是在表面形成ε相的条件。特别是，已知能够在表面大致以单相形成实用上重要的γ’相的氮化势为KN＝0.3附近。
另外，如表1所示，在图1的装置(本发明的一个实施方式)中，还确认到根据目标氮化势的值对PID控制的设定参数值(“比例增益(P)”、“积分增益或积分时间(I)”和“微分增益或微分时间(D)”的组)进行细微改变的必要性较小(有时可以不改变)。
符号说明
1 表面硬化处理装置
2 处理炉
3 气氛气体浓度检测装置
4、104 氮化势调节计
5 温度调节计
6 记录器
8 搅拌叶片
9 搅拌叶片驱动马达
10 炉内温度测量装置
11 炉内加热装置
13 氮化势运算装置
14、114 气体导入量控制装置
15、115 参数设定装置(触控面板)
16 开闭阀控制装置
17 开闭阀
20 炉内气体供给部
21 第1炉内导入气体供给部
22 第1炉内气体供给控制装置
23 第1供给阀
24 第1流量计
25 第2炉内导入气体供给部
126 第2炉内气体供给控制装置
27 第2供给阀
28 第2流量计
29 炉内导入气体导入配管
30、130 气体流量输出调整装置
31、131 可编程逻辑控制器
40 炉内气体废弃配管
41 废气燃烧分解装置

Claims (5)

1.一种表面硬化处理装置，该表面硬化处理装置将氨气和氨分解气体导入处理炉内，进行气体氮化处理作为配置于所述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表面硬化处理装置的特征在于，
其具备：
炉内气氛气体浓度检测装置，检测出所述处理炉内的氢浓度或氨浓度；
炉内氮化势运算装置，基于由所述炉内气氛气体浓度检测装置检测出的氢浓度或氨浓度，运算出所述处理炉内的氮化势；和
气体导入量控制装置，根据由所述炉内氮化势运算装置运算出的所述处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将所述氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变所述氨气的导入量，由此使所述处理炉内的氮化势接近所述目标氮化势。
2.如权利要求1所述的表面硬化处理装置，其特征在于，所述目标氮化势对于同一被处理品根据时间段而设定为不同的值。
3.如权利要求1或2所述的表面硬化处理装置，其特征在于，所述氨气的导入量通过质量流量控制器来改变，
所述氨分解气体的导入量通过手动流量计来改变。
4.一种表面硬化处理方法，该表面硬化处理方法将氨气和氨分解气体导入处理炉内，进行气体氮化处理作为配置于所述处理炉内的被处理品的表面硬化处理，该表面硬化处理方法的特征在于，
其包括：
炉内气氛气体浓度检测工序，检测出所述处理炉内的氢浓度或氨浓度；
炉内氮化势运算工序，基于由所述炉内气氛气体浓度检测工序检测出的氢浓度或氨浓度，运算出所述处理炉内的氮化势；和
气体导入量控制工序，根据由所述炉内氮化势运算工序运算出的所述处理炉内的氮化势和目标氮化势，一边将所述氨分解气体的导入量保持恒定，一边改变所述氨气的导入量，由此使所述处理炉内的氮化势接近所述目标氮化势。
5.如权利要求4所述的表面硬化处理方法，其特征在于，所述目标氮化势对于同一被处理品根据时间段而设定为不同的值。
CN201980050668.8A 2018-08-17 2019-08-19 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法 Pending CN112513314A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018153587A JP6503122B1 (ja) 2018-08-17 2018-08-17 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP2018-153587 2018-08-17
PCT/JP2019/032264 WO2020036233A1 (ja) 2018-08-17 2019-08-19 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112513314A true CN112513314A (zh) 2021-03-16

Family

ID=66166775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980050668.8A Pending CN112513314A (zh) 2018-08-17 2019-08-19 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11781209B2 (zh)
EP (1) EP3839089A4 (zh)
JP (1) JP6503122B1 (zh)
KR (1) KR102655059B1 (zh)
CN (1) CN112513314A (zh)
MX (1) MX2021001552A (zh)
WO (1) WO2020036233A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102243284B1 (ko) * 2019-07-16 2021-04-22 한국생산기술연구원 질화 처리 장치 및 질화 처리 방법
TW202124731A (zh) * 2019-10-11 2021-07-01 日商帕卡熱處理工業股份有限公司 表面硬化處理裝置及表面硬化處理方法
WO2022215526A1 (ja) * 2021-04-09 2022-10-13 パーカー熱処理工業株式会社 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007131933A (ja) * 2005-11-14 2007-05-31 Dowa Holdings Co Ltd 浸窒処理方法及び浸窒処理装置
JP2011026627A (ja) * 2009-07-21 2011-02-10 Oriental Engineering Co Ltd 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP2014001459A (ja) * 2013-08-27 2014-01-09 Oriental Engineering Co Ltd 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP2017082275A (ja) * 2015-10-27 2017-05-18 光洋サーモシステム株式会社 窒化処理装置、および、窒化処理方法
JP6345320B1 (ja) * 2017-07-07 2018-06-20 パーカー熱処理工業株式会社 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5120304B2 (zh) 1972-03-02 1976-06-24
JPS53115110A (en) 1977-03-18 1978-10-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Light-combination type current switch scanning system
DE2923285B2 (de) 1979-06-08 1981-05-07 Aichelin GmbH, 7015 Korntal Anordnung zur Steuerung der Zusammensetzung der Atmosphäre eines Wärmebehandlungsofen
JPS6236104Y2 (zh) 1979-08-10 1987-09-14
JPS57193398A (en) 1981-05-25 1982-11-27 Pentel Kk Nose knock type propelling pencil
IT1229078B (it) * 1988-03-16 1991-07-18 Air Liquide Procedimento e dispositivo di trattamento di ricottura di articoli metallici.
AU2003287700A1 (en) 2002-11-12 2004-06-03 Automation Intelligence, Llc Systems and methods for controlling heat treating atmospheres and processes based upon measurement of ammonia concentration
KR20160009504A (ko) 2014-07-15 2016-01-26 금오공과대학교 산학협력단 압출금형의 표면처리방법, 압출금형 및 압출공정시스템
CA2866646A1 (en) * 2014-10-06 2016-04-06 Michel Jozef Korwin Method for heat treating long steel pipes
JP6552209B2 (ja) * 2015-02-10 2019-07-31 サンコール株式会社 金属製ばねの製造方法及び製造装置
JP6636829B2 (ja) 2015-05-12 2020-01-29 パーカー熱処理工業株式会社 窒化鋼部材及び窒化鋼部材の製造方法
JP7094540B2 (ja) 2018-04-26 2022-07-04 パーカー熱処理工業株式会社 窒化鋼部材並びに窒化鋼部材の製造方法及び製造装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007131933A (ja) * 2005-11-14 2007-05-31 Dowa Holdings Co Ltd 浸窒処理方法及び浸窒処理装置
JP2011026627A (ja) * 2009-07-21 2011-02-10 Oriental Engineering Co Ltd 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP2014001459A (ja) * 2013-08-27 2014-01-09 Oriental Engineering Co Ltd 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP2017082275A (ja) * 2015-10-27 2017-05-18 光洋サーモシステム株式会社 窒化処理装置、および、窒化処理方法
JP6345320B1 (ja) * 2017-07-07 2018-06-20 パーカー熱処理工業株式会社 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
CN110914467A (zh) * 2017-07-07 2020-03-24 帕卡热处理工业株式会社 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法

Also Published As

Publication number Publication date
MX2021001552A (es) 2021-04-13
WO2020036233A1 (ja) 2020-02-20
US20210214832A1 (en) 2021-07-15
JP2020026569A (ja) 2020-02-20
US11781209B2 (en) 2023-10-10
EP3839089A1 (en) 2021-06-23
EP3839089A4 (en) 2021-12-08
JP6503122B1 (ja) 2019-04-17
KR102655059B1 (ko) 2024-04-08
KR20210058810A (ko) 2021-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110914467B (zh) 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法
CN112513314A (zh) 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法
JP5629436B2 (ja) 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP5883727B2 (ja) ガス窒化及びガス軟窒化方法
JP5167553B2 (ja) 浸窒処理方法及び浸窒処理装置
US4175986A (en) Inert carrier gas heat treating control process
KR100512187B1 (ko) 열처리로의 분위기 제어방법 및 장치
CN114829668A (zh) 表面硬化处理装置和表面硬化处理方法
EP0024106B1 (en) Method of heat treating ferrous workpieces
JPS63199859A (ja) 鋼の自動熱処理装置
WO2022215526A1 (ja) 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
JP5671588B2 (ja) 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法
Winter et al. Controlled nitriding and nitrocarburizing–state of the art
JP6543208B2 (ja) ガス浸炭方法およびガス浸炭装置
TWI758650B (zh) 氮化鋼構件
JP6724201B2 (ja) 窒化処理装置、および、窒化処理方法
JP2023028533A (ja) 窒化鋼部材並びに窒化鋼部材の製造方法
JP2003247056A (ja) 熱処理炉の雰囲気制御方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination