CN112359345A - 一种管内气相沉积设备进气装置 - Google Patents

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Abstract

本申请涉及一种管内气相沉积设备进气装置，包括一端连接气柜的进气管和一端连接卡盘的反应管，反应管的另一端套设在所述进气管的另一端外侧，所述进气管和反应管之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与所述反应管内壁间密封，所述弹性密封件内壁与所述进气管外壁间留有间隙，还包括真空密封组件，真空密封组件包括套设在所述弹性密封件外侧的真空密封件主体，真空密封件主体上开设有高纯气体进气口、抽真空进气口、抽真空排气口和空气进气口。本发明的管内气相沉积设备进气装置，通过在机床卡盘和气柜间增加一套密封装置，采用抽真空原理，利用气体实现密封，解决了旋转密封的问题，使用气体密封代替磁液密封或航空脂，成本低。

Description

一种管内气相沉积设备进气装置
技术领域
本申请属于气相沉积设备领域，尤其是涉及一种管内气相沉积设备进气装置。
背景技术
在管内气相沉积工艺中，其进口端需满足旋转和密封两个条件。一般进口管道与气柜相连，其状态为固定的。反应管与机床的卡盘连接，其状态为旋转的。现有的技术通过磁流体密封或者采用航空密封脂涂抹O型圈的方式进行密封。磁液本身不耐高温，高温下容易损坏且有析出磁液混入气体中的可能，影响工艺效果。磁流体密封成本高，本身耐温在100-120度需配合水冷装置，且有磁液析出污染反应气体的可能。航空脂作为长期消耗品价格较高，且选用的O型圈尺寸要求很高。密封脂作为消耗品成本较高，对O型圈的尺寸要求也较高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中管内气相沉积设备连接管道旋转密封能力的不足，从而提供一种成本低，密封效果好的种管内气相沉积设备进气装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种管内气相沉积设备进气装置，包括进气管和反应管，反应管的一端套设在所述进气管的一端外侧，所述进气管和反应管之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与所述反应管内壁间密封，所述弹性密封件内壁与所述进气管外壁间留有间隙，还包括真空密封组件，真空密封组件包括套设在所述弹性密封件外侧的真空密封件主体，真空密封件主体上开设有高纯气体进气口、抽真空进气口、抽真空排气口和空气进气口，所述高纯气体进气口、空气进气口和所述间隙之间形成有空气气道，所述抽真空进气口和抽真空排气口之间形成有抽真空气道，所述高纯气体进气口和空气进气口之间的空气气道与所述抽真空气道间通过气管连通，通过所述抽真空排气口抽真空，所述高纯气体进入所述空气气道后，一部分经过所述间隙进入所述反应管，另一部分通过所述气管进入所述抽真空气道并排出大气。
在其中一个实施例中，所述弹性密封件包括弹性密封件主体和套设在弹性密封件主体外的第一密封圈，所述弹性密封件主体与所述进气管外壁间形成所述间隙，所述第一密封圈在所述弹性密封件主体和所述反应管内壁间形成密封。
在其中一个实施例中，所述第一密封圈至少有一对、彼此间隔分布，相邻所述第一密封圈之间夹设有定位块。
在其中一个实施例中，所述第一密封圈为橡胶密封圈。
在其中一个实施例中，所述真空密封件主体和所述进气管间设有第二密封圈，第二密封圈上盖设有密封盖。
在其中一个实施例中，所述反应管外侧夹设有旋转夹头，所述反应管通过所述旋转夹头带动转动，所述旋转夹头在所述反应管上的夹设部位位于所述反应管和进气管的连接部分。
在其中一个实施例中，所述高纯气体为惰性气体。
本发明的有益效果是：本发明的管内气相沉积设备进气装置，通过在机床卡盘和气柜间增加一套密封装置，采用抽真空原理，利用气体实现密封，解决了旋转密封的问题，使用气体密封代替磁液密封或航空脂，成本低且没有污染气源的风险。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的管内气相沉积设备进气装置结构示意图。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
一种管内气相沉积设备进气装置，包括一端连接气柜的进气管1和一端连接卡盘的反应管2。气柜为固定装置，卡盘为转动装置，进口管1与气柜相连，其状态为固定的，反应管2与机床的旋转机构连接，其状态为旋转的。反应管2的另一端套设在进气管1的另一端外侧，反应管2和进气管1转动连接，具体的，进气管1和反应管2之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与反应管2内壁间密封，弹性密封件内壁与进气管1外壁间留有间隙。
本实施例的管内气相沉积设备进气装置还包括真空密封组件，用于密封因转动连接需要而存在于反应管2和进气管1间的缝隙。其中，真空密封组件包括套设在弹性密封件外侧的真空密封件主体5，真空密封件主体5上开设有高纯气体进气口6、抽真空进气口7、抽真空排气口8和空气进气口9。高纯气体进气口6、空气进气口9和间隙之间形成有空气气道，抽真空进气口7和抽真空排气口8之间形成有抽真空气道。高纯气体进气口6和空气进气口9之间的空气气道与抽真空气道间通过气管连通。高纯气体通过高纯气体进气口6进入管内气相沉积设备进气装置，在抽真空气道形成气封环。由于反应管2内是负压，为避免形成气封环的高纯气体和空气一起进入反应管2内，在真空密封件主体5中添加的几段类似文丘里装置的管道，通过抽真空进气与排气形成一定真空，使得形成密封环的高纯气体往两侧运动，一部分进入反应管2，一部分由抽真空排气口8排出，即通过抽真空排气口8抽真空，高纯气体进入空气气道后，一部分经过间隙进入反应管2，另一部分通过气管进入抽真空气道并排出大气。同时让空气与抽真空气体一气随抽真空排气口8排出，避免空气进入反应管2内，污染反应气体。
在其中一个实施例中，弹性密封件包括弹性密封件主体3和套设在弹性密封件主体3外的第一密封圈4，弹性密封件主体3用于使进气管1和反应管2间的连接相对固定。弹性密封件主体3与进气管1外壁间形成间隙，使进气管1和反应管2可以相对转动，第一密封圈4在弹性密封件主体3和反应管2内壁间，对弹性密封件主体3和反应管2间可能存在的缝隙形成密封。在本实施例中，进气管1通过插入弹性密封件主体3的中心孔实现安装，中心孔的孔径略大于进气管1的外径，相对转动时以避免摩擦，并产生了上述间隙。
为了提高密封效果，在其中一个实施例中，第一密封圈4至少有一对、彼此间隔分布，相邻第一密封圈4之间夹设有定位块，防止长时间的转动运动后，密封圈4产生晃动位移，使密封效果下降，气体泄漏。
在其中一个实施例中，第一密封圈4为橡胶密封圈，经济实惠。
为了进一步提高密封效果，在其中一个实施例中，真空密封件主体5和进气管1间设有第二密封圈10，第二密封圈10上盖设有密封盖11。
在其中一个实施例中，反应管2外侧夹设有旋转夹头12，反应管2通过旋转夹头12带动转动，旋转夹头12在反应管2上的夹设部位位于反应管2和进气管1的连接部分。
在其中一个实施例中，高纯气体为惰性气体，如纯度为99.99％的氮气等。
本发明的有益效果是：本发明的管内气相沉积设备进气装置，通过在机床卡盘和气柜间增加一套密封装置，采用抽真空原理，利用气体实现密封，解决了旋转密封的问题，使用气体密封代替磁液密封或航空脂，成本低且没有污染气源的风险。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

1.一种管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，包括进气管和反应管，反应管的一端套设在所述进气管的一端外侧，所述进气管和反应管之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与所述反应管内壁间密封，所述弹性密封件内壁与所述进气管外壁间留有间隙，还包括真空密封组件，真空密封组件包括套设在所述弹性密封件外侧的真空密封件主体，真空密封件主体上开设有高纯气体进气口、抽真空进气口、抽真空排气口和空气进气口，所述高纯气体进气口、空气进气口和所述间隙之间形成有空气气道，所述抽真空进气口和抽真空排气口之间形成有抽真空气道，所述高纯气体进气口和空气进气口之间的空气气道与所述抽真空气道间通过气管连通，通过所述抽真空排气口抽真空，所述高纯气体进入所述空气气道后，一部分经过所述间隙进入所述反应管，另一部分通过所述气管进入所述抽真空气道并排出大气。
2.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述弹性密封件包括弹性密封件主体和套设在弹性密封件主体外的第一密封圈，所述弹性密封件主体与所述进气管外壁间形成所述间隙，所述第一密封圈在所述弹性密封件主体和所述反应管内壁间形成密封。
3.根据权利要求2所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述第一密封圈至少有一对、彼此间隔分布，相邻所述第一密封圈之间夹设有定位块。
4.根据权利要求2所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述第一密封圈为橡胶密封圈。
5.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述真空密封件主体和所述进气管间设有第二密封圈，第二密封圈上盖设有密封盖。
6.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述反应管外侧夹设有旋转夹头，所述反应管通过所述旋转夹头带动转动，所述旋转夹头在所述反应管上的夹设部位位于所述反应管和进气管的连接部分。
7.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述高纯气体为惰性气体。
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