CN211570471U - 一种光纤pcvd熔缩工艺的稳压装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，包括沉积管、进气组件、出气组件、缓冲容器和抽真空组件，所述进气组件和出气组件分别连接在所述沉积管的两端，所述抽真空组件依次连接所述缓冲容器和出气组件，所述进气组件包括进气管，所述出气组件包括出气管，所述抽真空组件包括真空发生器，真空发生器产生负压使气流依次通过所述进气管、沉积管、出气管进入缓冲容器。本实用新型在沉积管的外部管路中增加缓冲容器，能有效的控制气体压力波动，使得工艺平稳进行。大容量的缓冲容器可以有效防止气体流量突变导致的压力突变，让操作人员有足够的时间去做相应的处理，防止芯棒发生鼓包，节约了芯棒制造成本。
Description
技术领域
本申请属于光纤制造领域，尤其是涉及一种光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置。
背景技术
PCVD技术指将等离子体技术引人化学气相沉积，形成覆盖层的方法称为等离子体化学气相沉积，简称PCVD。PCVD技术利用低温等离子体可以促进化学反应，可使在比热化学反应低的温度下沉积薄膜。近年来，在半导体、电子产品、光学仪器等工业领域中，等离子体化学气相沉积技术的实用性已经引起重视，它的应用正在迅速发展。
在光纤PCVD熔缩过程中，工艺人员通过微负压以及对沉积管加热实现芯棒的熔缩。但是如果工艺参数出现变化，使得瞬间气体流量起变化，现有的技术受限于设备本身的工作方式以及管道管径的影响，以及尾部管道尺寸较小以及颗粒物堵塞使得管径变小等原因存在，由工艺参数的变化引起的气体流量变化往往引起管内压力的剧烈变化。当管内压力的剧烈变化，管子内外两侧压力差变大，在石英管熔融状态部位极易发生鼓包或者缩瘪现象。操作人员难以及时控制，使得芯棒发生鼓包现象，造成了芯棒制造成本增加。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中解决PCVD熔缩过程中瞬间气体流量起变化导致的鼓包等问题的能力不足，从而提供一种降低压力波动，防止鼓包的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，包括沉积管、进气组件、出气组件、缓冲容器和抽真空组件，所述进气组件和出气组件分别连接在所述沉积管的两端，所述抽真空组件依次连接所述缓冲容器和出气组件，所述进气组件包括进气管，所述出气组件包括出气管，所述抽真空组件包括真空发生器，真空发生器产生负压使气流依次通过所述进气管、沉积管、出气管进入缓冲容器。
在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括风管，风管连接在所述真空发生器上。
在其中一个实施例中，所述缓冲容器内设有过滤网。
在其中一个实施例中，所述缓冲容器为金属箱体。
在其中一个实施例中，所述出气管为金属软管。
在其中一个实施例中，所述真空发生器通过一金属硬管与所述缓冲容器连通。
在其中一个实施例中，所述金属硬管上设有压力表，压力表检测所述金属硬管内气压。
在其中一个实施例中，所述真空发生器包括排气口，排气口上连接有所述风管，风管两端分别与一空气尾气净化系统和所述真空发生器连通。
在其中一个实施例中，所述出气管上设有法兰或卡套，所述出气管与所述缓冲容器的连接处通过所述法兰或卡套密封连接。
本实用新型的有益效果是：本实用新型在沉积管的外部管路中增加缓冲容器，能有效的控制气体压力波动，使得工艺平稳进行。大容量的缓冲容器可以有效防止气体流量突变导致的压力突变，让操作人员有足够的时间去做相应的处理，防止芯棒发生鼓包，节约了芯棒制造成本。容器内带有过滤器，利用结构简单可以有效防止管道堵塞。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置的局部示意图；
图2是本申请实施例光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置的示意图。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
一种光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，包括沉积管1、用于通入沉积管1气体的进气组件、用于输出沉积管1气体的出气组件、缓冲容器2和抽真空组件。进气组件和出气组件分别连接在沉积管1的两端，抽真空组件依次连接缓冲容器2和出气组件。进气组件包括进气管3，出气组件包括出气管4。抽真空组件包括真空发生器5，真空发生器5产生负压使气流依次通过进气管3、沉积管1、出气管4进入缓冲容器2。缓冲容器2具有一定量的气体容纳空间，能有效的控制气体压力波动，使得工艺平稳进行。
在其中一个实施例中，抽真空组件还包括风管6，风管6连接在真空发生器5上。风管6一端与真空发生器5连通，另一端与外部大气连通。风管可采用金属、非金属薄板或其他材料制作而成，用于增强气体流通，并减少污染。
在其中一个实施例中，缓冲容器2内设有过滤网7，用于过滤进入缓冲容器2内的杂质颗粒，防止堵塞管路。内置的过滤装置可以有效节省空间的同时避免管道的堵塞。设于容器内的过滤网7可由缓冲容器2内便捷拆卸，且杂质积累于缓冲容器2内相比于附着于沉积管1等管路内更加便于清洁。
在其中一个实施例中，缓冲容器2为金属箱体，箱体体积可根据需要增大，以进一步提高控制压力波动的效果。在其中一个实施例中，出气管4为金属软管。在其中一个实施例中，真空发生器5通过一金属硬管8与缓冲容器2连通。
在其中一个实施例中，金属硬管8上设有压力表9，压力表9检测金属硬管8内气压，便于工人观察气压情况，校验稳压装置的稳压效果，操作人员可以及时调整抽力大小，便于减少芯棒损失。
在其中一个实施例中，真空发生器5包括排气口，排气口上连接有风管6，风管6两端分别与一空气尾气净化系统和真空发生器5连通。空气尾气净化系统用于净化即将排入大气的气流，防止污染，具体可采用吸附技术、HEPA高效过滤技术或静电集尘技术等。
为了便于拆装的同时保证气密性，在其中一个实施例中，出气管4上设有法兰或卡套10，出气管4与缓冲容器2的连接处通过法兰或卡套10密封连接，如KF系列卡箍等，KF系列快速装卸卡箍是重要的真空连接配件，对密封性起着重要作用。
本实用新型实施例包括将沉积完成的石英管与本实施例光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置的进气组件和出气组件密封连接，出气组件出气端尾端通过金属软管与缓冲容器通过法兰或卡套形式连接，缓冲容器通过金属硬管与抽真空装置相连，管路配置压力表。根据理想气体公式P＝nRT/V可知(P为压力，n为一定气体量，V为体积，R为常数，T为一定温度)，当不添加缓冲容器时，P1＝n1RT/V1，添加缓冲容器时，P2＝N2RT/V2。由于工艺状态相同，其P1＝P2，当工艺参数发生变化，即气体流量发生变化(此时抽真空装置无法及时反应的情况下)，P1’＝(n1+n3)RT/V1，P2’＝(n2+n3)RT/V2。不添加缓冲容器增加的压力为n3RT/V1，增加缓冲容器增加的压力为n3RT/V2。此时V2远大于V1，瞬时的压力波动将明显减小。操作人员可以及时调整抽力大小，便于减少芯棒损失。同时缓冲容器内置过滤装置，节省空间的同时可有效避免管道的堵塞。
本实用新型的有益效果是：本实用新型在沉积管的外部管路中增加缓冲容器，能有效的控制气体压力波动，使得工艺平稳进行。大容量的缓冲容器可以有效防止气体流量突变导致的压力突变，让操作人员有足够的时间去做相应的处理，防止芯棒发生鼓包，节约了芯棒制造成本。容器内带有过滤器，利用结构简单可以有效防止管道堵塞。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (9)
1.一种光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，包括沉积管、进气组件、出气组件、缓冲容器和抽真空组件，所述进气组件和出气组件分别连接在所述沉积管的两端，所述抽真空组件依次连接所述缓冲容器和出气组件，所述进气组件包括进气管，所述出气组件包括出气管，所述抽真空组件包括真空发生器，真空发生器产生负压使气流依次通过所述进气管、沉积管、出气管进入缓冲容器。
2.根据权利要求1所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述抽真空组件还包括风管，风管连接在所述真空发生器上。
3.根据权利要求1所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述缓冲容器内设有过滤网。
4.根据权利要求1所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述缓冲容器为金属箱体。
5.根据权利要求1所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述出气管为金属软管。
6.根据权利要求1所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述真空发生器通过一金属硬管与所述缓冲容器连通。
7.根据权利要求6所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述金属硬管上设有压力表，压力表检测所述金属硬管内气压。
8.根据权利要求2所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述真空发生器包括排气口，排气口上连接有所述风管，风管两端分别与一空气尾气净化系统和所述真空发生器连通。
9.根据权利要求5所述的光纤PCVD熔缩工艺的稳压装置，其特征在于，所述出气管上设有法兰或卡套，所述出气管与所述缓冲容器的连接处通过所述法兰或卡套密封连接。
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| CN112359345B (zh) * | 2020-10-22 | 2023-03-07 | 江苏永鼎光纤科技有限公司 | 一种管内气相沉积设备进气装置 |
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