CN112276731A - 一种旋转靶材的表面处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种旋转靶材的表面处理装置，其技术方案是：包括支撑板，所述支撑板顶部设有打磨机构，所述支撑板底部设有收集机构；所述打磨机构包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定设于支撑板顶部两侧，所述第一固定板一侧设有夹持组件，所述第二固定板一侧设有电机，本发明的有益效果是：通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用。

Description

一种旋转靶材的表面处理装置
技术领域
本发明涉及旋转靶材技术领域，具体涉及一种旋转靶材的表面处理装置。
背景技术
光伏太阳能作为21世纪最理想的新能源，近年来发展十分迅猛。数据显示，全球对光伏太阳能电池的需求每年40％的速度增长，靶材作为配套耗材，需求量也呈现出激增，靶材以溅射薄膜方式被消耗，主要用作TFT栅极，和太阳能电池组件的金属堆叠层等，旋转靶材主要用于太阳能光伏行业，由于其利用率高，镀膜均匀性好，适用于大面积连续性磁控溅射生产线，已经成为未来靶材发展的新趋势，管状旋转靶的理论利用率可达70％，大大高于平面靶20％-30％的利用率，大大降低了镀膜生产成本，是靶材的发展方向。
现有技术存在以下不足：现有技术中的旋转靶材在经过机械加工完成后，旋转靶材表面存在车刀纹，导致靶材表面粗糙，不但影响旋转靶材的外观，同时还会对旋转靶材的使用造成一定的影响，不便于使用者的使用。
因此，发明一种旋转靶材的表面处理装置很有必要。
发明内容
为此，本发明提供一种旋转靶材的表面处理装置，通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用，以解决靶材表面粗糙，不但影响旋转靶材的外观，同时还会对旋转靶材的使用造成一定的影响的问题。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种旋转靶材的表面处理装置，包括支撑板，所述支撑板顶部设有打磨机构，所述支撑板底部设有收集机构；
所述打磨机构包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定设于支撑板顶部两侧，所述第一固定板一侧设有夹持组件，所述第二固定板一侧设有电机，所述电机通过输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆设于第二固定板一侧并贯穿第二固定板，所述转动杆一侧固定设有往复丝杆，所述往复丝杆外部设有轴承座，所述轴承座底部固定设有连接块，所述连接块底部固定设有移动框，所述移动框内部设有移动板，所述移动框与移动板通过轴承连接，所述第二固定板内部设有连接杆，所述连接杆与第二固定板通过轴承连接，所述连接杆一端延伸出第二固定板一侧，所述连接杆一端固定设有转动板，所述转动板一侧固定设有竹节式伸缩杆，所述竹节式伸缩杆一侧与转动板固定连接，所述转动板一侧固定设有横板，所述横板底部设有衔接板，所述横板和衔接板之间固定设有多个伸缩杆，多个所述伸缩杆外部均固定设有弹簧，所述衔接板底部固定设有打磨片，所述连接杆另一端延伸出第二固定板另一侧，所述连接杆外部设有传动组件；
所述传动组件包括第一皮带轮，所述第一皮带轮固定设于转动杆外部，所述连接杆外部固定设有第二皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮之间设有皮带，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过皮带连接。
优选的，所述支撑板顶部固定设有支撑台，所述支撑台设于第二固定板一侧，所述支撑台顶部与电机底部固定连接，所述连接杆另一端与支撑台通过轴承连接。
优选的，所述往复丝杆一侧固定设有衔接杆，所述衔接杆一侧与第二固定板通过轴承连接。
优选的，所述轴承座顶部固定设有限位块，所述第一固定板和第二固定板之间固定设有限位杆，所述限位杆设于往复丝杆顶部，所述限位杆贯穿限位块。
优选的，所述夹持组件包括螺纹杆，所述螺纹杆外部固定设有两个夹板，两个所述夹板均与螺纹杆通过螺纹连接且两个夹板螺纹旋向相反，所述第一固定板上开设有通槽，两个所述夹板均贯穿通槽并延伸出通槽一侧，所述螺纹杆顶部设有把手。
优选的，所述收集机构包括网板，所述网板镶嵌于支撑板内部，所述支撑板底部固定设有风罩，所述风罩设于网板底部，所述风罩底部固定连接收集箱，所述收集箱一侧固定设有过滤网，所述过滤网一侧固定设有风机，所述收集箱底部设有活动门，所述活动门与收集箱通过合页连接。
优选的，所述支撑板底部两侧均固定设有竖板，其中一个所述竖板一侧固定设有挡板，所述挡板顶部与风机底部固定连接，另一个所述竖板一侧固定设有固定杆，所述固定杆与收集箱一侧固定连接。
优选的，所述传动组件包括第一齿轮，所述第一齿轮固定设于转动杆外部，所述连接杆外部固定设有第二齿轮，所述第二齿轮设于第一齿轮底部并与第一齿轮相啮合。
本发明的有益效果是：
1、本发明通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用；
2、本发明通过收集机构的设计，可以对打磨片打磨下的靶材粉末进行收集，可将活动门打开，再将活动门内部的靶材粉末取出，可以对靶材粉末进行再次利用，避免了靶材粉末的浪费，节省了制作靶材时的原料，同时也给使用者提供了一个安全舒适的工作环境；
3、本发明通过传动组件的设计，可使电机同时带动往复丝杆和连接杆转动，节省了本发明的生产成本，便于使用者的使用。
附图说明
图1为本发明提供的整体结构示意图；
图2为本发明提供的图1中的A处放大图；
图3为本发明提供的移动框的立体图；
图4为本发明提供的收集箱的立体图；
图5为本发明提供的收集箱的仰视图；
图6为本发明提供的实施例2的剖视图；
图中：1支撑板、2第一固定板、3第二固定板、4电机、5转动杆、6往复丝杆、7轴承座、8连接块、9移动框、10移动板、11连接杆、12转动板、13竹节式伸缩杆、14横板、15衔接板、16伸缩杆、17弹簧、18打磨片、19第一皮带轮、20第二皮带轮、21皮带、22支撑台、23衔接杆、24限位块、25限位杆、26螺纹杆、27夹板、28通槽、29把手、30网板、31风罩、32收集箱、33过滤网、34风机、35活动门、36竖板、37第一齿轮、38第二齿轮。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例1，参照附图1-5，本发明提供的一种旋转靶材的表面处理装置，包括支撑板1，所述支撑板1顶部设有打磨机构，所述支撑板1底部设有收集机构；
所述打磨机构包括第一固定板2和第二固定板3，所述第一固定板2和第二固定板3分别固定设于支撑板1顶部两侧，所述第一固定板2一侧设有夹持组件，所述第二固定板3一侧设有电机4，所述电机4通过输出轴固定连接有转动杆5，所述转动杆5设于第二固定板3一侧并贯穿第二固定板3，所述转动杆5一侧固定设有往复丝杆6，所述往复丝杆6外部设有轴承座7，所述轴承座7底部固定设有连接块8，所述连接块8底部固定设有移动框9，所述移动框9内部设有移动板10，所述移动框9与移动板10通过轴承连接，所述第二固定板3内部设有连接杆11，所述连接杆11与第二固定板3通过轴承连接，所述连接杆11一端延伸出第二固定板3一侧，所述连接杆11一端固定设有转动板12，所述转动板12一侧固定设有竹节式伸缩杆13，所述竹节式伸缩杆13一侧与转动板12固定连接，所述转动板12一侧固定设有横板14，所述横板14底部设有衔接板15，所述横板14和衔接板15之间固定设有多个伸缩杆16，多个所述伸缩杆16外部均固定设有弹簧17，所述衔接板15底部固定设有打磨片18，所述连接杆11另一端延伸出第二固定板3另一侧，所述连接杆11外部设有传动组件；
所述传动组件包括第一皮带轮19，所述第一皮带轮19固定设于转动杆5外部，所述连接杆11外部固定设有第二皮带轮20，所述第一皮带轮19和第二皮带轮20之间设有皮带21，所述第一皮带轮19和第二皮带轮20通过皮带21连接，通过传动组件的设计，可使电机4同时带动往复丝杆6和连接杆11转动，节省了本发明的生产成本，便于使用者的使用。
进一步地，所述支撑板1顶部固定设有支撑台22，所述支撑台22设于第二固定板3一侧，所述支撑台22顶部与电机4底部固定连接，所述连接杆11另一端与支撑台22通过轴承连接，便于对电机4的支撑。
进一步地，所述往复丝杆6一侧固定设有衔接杆23，所述衔接杆23一侧与第二固定板3通过轴承连接，便于对往复丝杆6支撑。
进一步地，所述轴承座7顶部固定设有限位块24，所述第一固定板2和第二固定板3之间固定设有限位杆25，所述限位杆25设于往复丝杆6顶部，所述限位杆25贯穿限位块24，便于对轴承座7移动限位。
进一步地，所述夹持组件包括螺纹杆26，所述螺纹杆26外部固定设有两个夹板27，两个所述夹板27均与螺纹杆26通过螺纹连接且两个夹板27螺纹旋向相反，所述第一固定板2上开设有通槽28，两个所述夹板27均贯穿通槽28并延伸出通槽28一侧，所述螺纹杆26顶部设有把手29。
进一步地，所述收集机构包括网板30，所述网板30镶嵌于支撑板1内部，所述支撑板1底部固定设有风罩31，所述风罩31设于网板30底部，所述风罩31底部固定连接收集箱32，所述收集箱32一侧固定设有过滤网33，所述过滤网33一侧固定设有风机34，所述收集箱32底部设有活动门35，所述活动门35与收集箱32通过合页连接。
进一步地，所述支撑板1底部两侧均固定设有竖板36，其中一个所述竖板36一侧固定设有挡板，所述挡板顶部与风机34底部固定连接，另一个所述竖板36一侧固定设有固定杆，所述固定杆与收集箱32一侧固定连接。
本发明的使用过程如下：在使用本发明时，首先本发明连接外部电源，然后将需要加工的靶材放置于两个夹板27之间，转动把手29，把手29转动带动螺纹杆26转动，螺纹杆26转动带动两个夹板27向中间移动，通过两个夹板27可将靶材夹紧，然后启动电机4，电机4工作带动转动杆5转动，转动杆5转动带动往复丝杆6转动，往复丝杆6转动带动轴承座7向右移动，轴承座7向右移动带动连接块8、移动框9和移动板10向右移动，移动板10向右移动带动移动板10一侧的竹节式伸缩杆13拉伸，移动板10移动同时带动横板14、衔接板15和打磨片18向右移动，转动杆5转动的同时还会带动第一皮带轮19转动，第一皮带轮19通过皮带21带动第二皮带轮20转动，第二皮带轮20转动带动连接杆11转动，连接杆11转动带动转动板12转动，转动板12转动带动竹节式伸缩杆13转动，竹节式伸缩杆13转动可带动移动板10转动，移动板10转动从而带动打磨片18转动，电机4工作的同时启动风机34，风机34工作将打磨片18打磨下的粉末通过网板30和风罩31吸入到收集箱32内部。
实施例2，参照附图6，本发明提供的一种旋转靶材的表面处理装置，所述传动组件包括第一齿轮37，所述第一齿轮37固定设于转动杆5外部，所述连接杆11外部固定设有第二齿轮38，所述第二齿轮38设于第一齿轮37底部并与第一齿轮37相啮合。
本发明的使用过程如下：在使用本发明时，通过传动组件的设计，可使电机4同时带动往复丝杆6和连接杆11转动，节省了本发明的生产成本，便于使用者的使用。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本发明加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本发明的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本发明要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种旋转靶材的表面处理装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)顶部设有打磨机构，所述支撑板(1)底部设有收集机构；
所述打磨机构包括第一固定板(2)和第二固定板(3)，所述第一固定板(2)和第二固定板(3)分别固定设于支撑板(1)顶部两侧，所述第一固定板(2)一侧设有夹持组件，所述第二固定板(3)一侧设有电机(4)，所述电机(4)通过输出轴固定连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)设于第二固定板(3)一侧并贯穿第二固定板(3)，所述转动杆(5)一侧固定设有往复丝杆(6)，所述往复丝杆(6)外部设有轴承座(7)，所述轴承座(7)底部固定设有连接块(8)，所述连接块(8)底部固定设有移动框(9)，所述移动框(9)内部设有移动板(10)，所述移动框(9)与移动板(10)通过轴承连接，所述第二固定板(3)内部设有连接杆(11)，所述连接杆(11)与第二固定板(3)通过轴承连接，所述连接杆(11)一端延伸出第二固定板(3)一侧，所述连接杆(11)一端固定设有转动板(12)，所述转动板(12)一侧固定设有竹节式伸缩杆(13)，所述竹节式伸缩杆(13)一侧与转动板(12)固定连接，所述转动板(12)一侧固定设有横板(14)，所述横板(14)底部设有衔接板(15)，所述横板(14)和衔接板(15)之间固定设有多个伸缩杆(16)，多个所述伸缩杆(16)外部均固定设有弹簧(17)，所述衔接板(15)底部固定设有打磨片(18)，所述连接杆(11)另一端延伸出第二固定板(3)另一侧，所述连接杆(11)外部设有传动组件；
所述传动组件包括第一皮带轮(19)，所述第一皮带轮(19)固定设于转动杆(5)外部，所述连接杆(11)外部固定设有第二皮带轮(20)，所述第一皮带轮(19)和第二皮带轮(20)之间设有皮带(21)，所述第一皮带轮(19)和第二皮带轮(20)通过皮带(21)连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)顶部固定设有支撑台(22)，所述支撑台(22)设于第二固定板(3)一侧，所述支撑台(22)顶部与电机(4)底部固定连接，所述连接杆(11)另一端与支撑台(22)通过轴承连接。
3.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述往复丝杆(6)一侧固定设有衔接杆(23)，所述衔接杆(23)一侧与第二固定板(3)通过轴承连接。
4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述轴承座(7)顶部固定设有限位块(24)，所述第一固定板(2)和第二固定板(3)之间固定设有限位杆(25)，所述限位杆(25)设于往复丝杆(6)顶部，所述限位杆(25)贯穿限位块(24)。
5.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述夹持组件包括螺纹杆(26)，所述螺纹杆(26)外部固定设有两个夹板(27)，两个所述夹板(27)均与螺纹杆(26)通过螺纹连接且两个夹板(27)螺纹旋向相反，所述第一固定板(2)上开设有通槽(28)，两个所述夹板(27)均贯穿通槽(28)并延伸出通槽(28)一侧，所述螺纹杆(26)顶部设有把手(29)。
6.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述收集机构包括网板(30)，所述网板(30)镶嵌于支撑板(1)内部，所述支撑板(1)底部固定设有风罩(31)，所述风罩(31)设于网板(30)底部，所述风罩(31)底部固定连接收集箱(32)，所述收集箱(32)一侧固定设有过滤网(33)，所述过滤网(33)一侧固定设有风机(34)，所述收集箱(32)底部设有活动门(35)，所述活动门(35)与收集箱(32)通过合页连接。
7.根据权利要求6所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)底部两侧均固定设有竖板(36)，其中一个所述竖板(36)一侧固定设有挡板，所述挡板顶部与风机(34)底部固定连接，另一个所述竖板(36)一侧固定设有固定杆，所述固定杆与收集箱(32)一侧固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述传动组件包括第一齿轮(37)，所述第一齿轮(37)固定设于转动杆(5)外部，所述连接杆(11)外部固定设有第二齿轮(38)，所述第二齿轮(38)设于第一齿轮(37)底部并与第一齿轮(37)相啮合。
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