CN112255242A - 表面缺陷检测系统和检测方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供了一种表面缺陷检测系统和检测方法，该检测系统包括：检测平台，其入口端用于与上一工序设备输出线对接，其出口端用于与下一工序设备输入线对接；检测平台上安装有传动滚轮组，用于传送样品；蒸汽喷淋部，其位于检测平台的入口端，用于将蒸汽喷涂至样品以在样品表面形成雾膜；光源部，其用于提供照射光线；以及风刀部，其设置在检测平台的出口端的上游，用于干燥样品。利用该表面缺陷检测系统，能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
Description
技术领域
本发明涉及缺陷检测技术，尤其涉及一种表面缺陷检测系统和检测方法。
背景技术
基板玻璃是电子产品生产制造的原材料，其表面的洁净程度影响着电子产品的品质。例如，薄膜光伏基板玻璃工艺面的洁净程度就影响着薄膜光伏材料的溅射蒸镀品质。
为了保证基板玻璃表面的洁净程度符合后续工艺的要求，需要对基板玻璃表面进行缺陷检测。缺陷检测可以及时发现基板玻璃表面的污渍、油膜、刮痕等缺陷，从而有利于避免表面洁净程度不合格的基板玻璃进入下一生产工序。
现有的表面缺陷检测系统需要将基板玻璃样品从生产线取出，并搬运至指定的检测区域进行蒸汽检测，该搬运过程费时、耗力不利于降低生产成本且容易造成安全风险。蒸汽检测需要将蒸汽喷涂至基板玻璃样品的待测面，在检测完成后，基板玻璃样品表面的残留雾膜无法及时清除，使得合格的基板玻璃样品也无法继续投入下一生产工序，只能进行报废处理，进一步地增加了生产成本。
发明内容
针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种表面缺陷检测系统和检测方法，该系统能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
第一方面，本发明提供了一种表面缺陷检测系统，包括：检测平台，其入口端用于与上一工序设备输出线对接，其出口端用于与下一工序设备输入线对接；所述检测平台上安装有传动滚轮组，用于传送样品；蒸汽喷淋部，其位于所述检测平台的所述入口端，用于将蒸汽喷涂至所述样品以在所述样品表面形成雾膜；光源部，其用于提供照射光线；以及风刀部，其设置在所述检测平台的所述出口端的上游，用于干燥所述样品。利用该表面缺陷检测系统，能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
在第一方面的一个实施方式中，所述光源部包括LED光源和支撑所述LED光源的光源支架，所述光源部位于所述检测平台远离检测人员的一侧。通过该实施方式，有利于检测人员观察样品的表面。
在第一方面的一个实施方式中，在竖直方向上，所述传动滚轮组靠近所述光源部的一侧高于所述传动管轮组远离所述光源部的一侧，以使所述传动滚轮组所在平面与水平面间形成轮夹角，所述轮夹角在0至45度之间。通过该实施方式，检测人员能够通过改变轮夹角调整观察角度，以更好地观察样品表面雾膜的附着情况，从而准确地判断样品表面的洁净度是否合格。
在第一方面的一个实施方式中，所述风刀部包括风刀和支撑所述风刀的风刀支架，所述风刀支架包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架位于所述检测平台安装有所述光源部的一侧，所述第二支撑架位于所述检测平台远离所述光源部的一侧，所述风刀连接在所述第一支撑架的顶端和所述第二支撑架的顶端之间；在样品传送方向上，所述第一支撑架位于所述第二支撑架上游，以使所述风刀在水平面的投影与样品宽度方向间形成第一风刀夹角，所述第一风刀夹角在15至30度之间，其中，所述样品宽度方向垂直于所述样品传送方向和竖直方向；在竖直方向上，所述第一支撑架高于所述第二支撑架，以使所述风刀与水平面间形成第二风刀夹角，所述第二风刀夹角在0至45度之间。通过该实施方式，检测人员能够通过调节第一风刀夹角和第二风刀夹角，使得风刀在吹扫干燥样品时，能够更加彻底地清除从样品顶端流下并汇聚在样品底端的水流或水珠。
在第一方面的一个实施方式中，所述第二风刀夹角等于所述轮夹角。通过该实施方式，风刀近乎平行于样品，有利于风刀高效地进行吹扫作业。
在第一方面的一个实施方式中，所述蒸汽喷淋部包括：喷淋组件，其包括喷淋横杆，所述喷淋横杆平行于样品宽度方向设置；距离调节组件，用于调节所述喷淋横杆与所述检测平台的间距；蒸汽发生器，用于向所述喷淋组件提供喷淋用蒸汽；传输管道，用于连接所述蒸汽发生器和所述喷淋组件；以及管道支架，用于支撑所述传输管道。通过该实施方式，有利于将雾膜均匀地涂覆在样品表面并能够通过调节喷淋横杆与检测平台的间距控制雾膜的生长速度。
在第一方面的一个实施方式中，所述喷淋横杆上设置有多个均匀分布的喷淋单元，所述喷淋单元包括同心设置的喷淋内环、喷淋中环和喷淋外环，所述喷淋内环、所述喷淋中环和所述喷淋外环均由呈环状分布的多个喷淋孔构成。通过该实施方式，有利于雾膜均匀、快速地涂覆在样品表面。
在第一方面的一个实施方式中，表面缺陷检测系统还包括控制按钮。通过该实施方式，有利于命令风刀、传动滚轮组开始工作，以将表面洁净度合格的样品传送至下一工序设备输入线。
在第一方面的一个实施方式中，表面缺陷检测系统还包括人机交互界面。通过该实施方式，有利于检测人员更好、更便捷地控制检测系统。
第二方面，本发明还提供了一种利用第一方面及其任一实施方式的所述表面缺陷检测系统的表面缺陷检测方法，包括以下步骤：利用所述传动滚轮组使样品从所述上一工序设备输出线进入所述检测平台；位于所述检测平台的所述入口端的所述蒸汽喷淋部将蒸汽喷涂至所述样品以在所述样品表面形成雾膜；当所述样品全部进入所述检测平台后，所述光源部提供照射光线以使检测人员观察所述样品表面；若样品合格，所述风刀部干燥所述样品；利用所述传动滚轮组使干燥后的所述样品从所述检测平台进入所述下一工序设备输入线。利用该检测方法，能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
在第二方面的一个实施方式中，所述光源部提供照射光线以使检测人员观察所述样品表面包括调节轮夹角以使所述传动滚轮组靠近光源部的一侧高于所述传动管轮组远离光源部的一侧。通过该实施方式，在观察过程中，检测人员可以通过改变轮夹角调整观察角度，以更好地观察样品表面雾膜的附着情况，有利于更加准确地判断样品表面的洁净度是否合格。
在第二方面的一个实施方式中，若样品合格，所述风刀部干燥所述样品包括若样品合格，按下控制按钮，启动所述风刀部，调节第一风刀夹角和第二风刀夹角。通过该实施方式，检测人员可以通过调节第一风刀夹角和第二风刀夹角，使得风刀在吹扫干燥样品时，能够更加彻底地清除从样品顶端流下并汇聚在样品底端的水流或水珠。
本申请提供的表面缺陷检测系统和检测方法，相较于现有技术，具有如下的有益效果。
1、本发明能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品，且能够自动干燥检测合格的样品，并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
2、可以通过改变轮夹角调整观察角度，以更好地观察样品表面雾膜的附着情况，有利于更加准确地判断样品表面的洁净度是否合格。
3、通过调节风刀在水平面的投影与样品宽度方向间形成的第一风刀夹角和风刀与水平面间形成的第二风刀夹角，使得风刀在吹扫干燥样品时，能够更加彻底地清除从样品顶端流下并汇聚在样品底端的水流或水珠。
上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述，其中：
图1显示了根据本发明一实施方式的表面缺陷检测系统的主视示意图；
图2显示了根据本发明一实施方式的表面缺陷检测系统的右视示意图；
图3显示了根据本发明一实施方式的表面缺陷检测系统的俯视示意图；
图4显示了根据本发明一实施方式的喷淋横杆的结构示意图。
附图标记清单：
1-蒸汽发生器；2-传输管道；3-检测平台；4-喷淋横杆；5-管道支架；6-传动滚轮组；7-LED光源；8-风刀；10-样品；11-光源支架；12-人机交互界面；13-喷淋单元；14-控制按钮；15-第一支撑架；16-第二支撑架。
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
本实施方式中，样品传送方向垂直于竖直方向，样品宽度方向垂直于样品传送方向及竖直方向。
如图1至图3所示，本实施方式提供了一种表面缺陷检测系统，包括：检测平台3，其入口端用于与上一工序设备输出线对接，其出口端用于与下一工序设备输入线对接；检测平台3上安装有传动滚轮组6，用于传送样品10；蒸汽喷淋部，其位于检测平台3的入口端，用于将蒸汽喷涂至样品10以在样品10表面形成雾膜；光源部，其用于提供照射光线；以及风刀部，其设置在检测平台3的出口端的上游，用于干燥样品10。
安装有传动滚轮组6的检测平台3设置在上一工序设备输出线与下一工序设备输入线之间。检测平台3为生产线的一部分。需要进入检测平台3的样品10从上一工序设备输出线沿着生产线的传送方向进入检测平台3。
在传动滚轮组6的带动下，整个样品10进入检测平台3。当整个样品10进入检测平台3后，传动滚轮组6不再沿传送方向向前传送样品10直至检测完成。检测完成后，传动滚轮组6接着沿传送方向向前传送合格样品10直至其进入下一工序设备输入线以备下一工序设备加工、使用。
检测平台3作为生产线的一部分，相比于现有的表面缺陷检测系统，无需将样品10从生产线取出并搬运至指定的检测区域进行蒸汽检测，而是生产线将样品10自动传送至检测平台3进行检测，能够省去人工搬运过程，从而使得检测更加省时省力，且有利于降低生产成本及安全风险。
为了检测的顺利进行，需要在样品10表面喷涂雾膜，以方便检测人员对样品10表面进行观察。若雾膜分布均匀，则样品10表面为洁净表面；若在样品10表面出现水珠或雾膜无法附着的区域，则该区域存在污渍、油膜、刮痕等缺陷。
蒸汽喷淋部负责在样品10表面喷涂雾膜，其位于检测平台3的入口端，以喷涂正在进入检测平台3的样品部分。当样品10全部进入检测平台3时，蒸汽喷淋部完成该样品10的喷涂工作。
检测过程中，光源部用于提供照射光线并使用光线照射附着有雾膜的样品10表面，以方便检测人员观察样品10表面，从而提高观察效率。
在现有技术中，在检测完成后，样品10表面的残留雾膜无法及时清除，使得合格的样品10也无法继续投入下一生产工序，只能进行报废处理，进一步地增加了生产成本。
当检测完成后且样品10为合格样品，本实施方式能够将合格的样品10运送至下一工序设备输入线，此时需要先对附着有雾膜的样品10进行干燥以去除雾膜，以备下一工序设备加工、使用。
风刀部用于干燥合格样品10，其设置在检测平台3的出口端的上游，从而确保经干燥后的样品10才可进入下一工序设备，使得合格的样品10能够继续投入下一生产工序，避免了对合格样品进行报废处理，从而有利于降低抽检、生产成本。
使用本实施方式的表面缺陷检测系统包括以下步骤：利用检测平台3的传动滚轮组6将样品10从上一工序设备输出线运送至检测平台3；随着样品10进入检测平台3，位于检测平台3的入口端的蒸汽喷淋部将蒸汽喷涂至样品10表面，以在进入检测平台3的样品部分的表面形成雾膜；当样品10全部进入检测平台3后，蒸汽喷淋部完成了该样品10的喷涂工作，光源提供照射光线并使用光线照射附着有雾膜的样品10表面，以方便检测人员观察样品10表面，从而提高观察效率；经观察，样品10为合格样品时，设置在检测平台3的出口端上游的风刀部干燥合格样品，从而确保经干燥后的样品10才可进入下一工序设备；干燥后的样品10在传动滚轮组6的带动下从检测平台3进入下一工序设备输入线。
本实施方式的表面缺陷检测系统能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品10，且能够自动干燥检测合格的样品10，并能够将干燥后的样品10自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
如图2所示，可选地，本实施方式的光源部包括LED光源7和支撑LED光源7的光源支架11，光源部位于检测平台3远离检测人员的一侧。
为了方便检测人员观察样品10的表面，光源部位于检测平台3远离检测人员的一侧。光源支架11使得光源具有一定高度，以使照射光线更接近于平行光。光源采用LED光源7是由于LED光源7具有体积小、耗电量小、寿命长及效率高等优点，从而有利于降低更换频率及其它维护的频率。
如图2所示，可选地，本实施方式中，在竖直方向上，传动滚轮组6靠近光源部的一侧高于传动管轮组远离光源部的一侧，以使传动滚轮组6所在平面与水平面间形成轮夹角，轮夹角在0至45度之间。
在观察过程中，检测人员可以通过改变轮夹角调整观察角度，以更好地观察样品10表面雾膜的附着情况，从而准确地判断样品10表面的洁净度是否合格。
可选地，可以通过抬高传动滚轮组6靠近光源部的一侧，以使传动滚轮组6所在平面与水平面间形成轮夹角；也可以通过降低传动滚轮组6远离光源部的一侧，以使传动滚轮组6所在平面与水平面间形成轮夹角；还可以同时抬高传动滚轮组6靠近光源部的一侧并降低传动滚轮组6远离光源部的一侧，以使传动滚轮组6所在平面与水平面间形成轮夹角。
如图2和图3所示，可选地，本实施方式的风刀部包括风刀8和支撑风刀8的风刀支架，风刀支架包括相对设置的第一支撑架15和第二支撑架16，第一支撑架15位于检测平台3安装有光源部的一侧，第二支撑架16位于检测平台3远离光源部的一侧，风刀8连接在第一支撑架15的顶端和第二支撑架16的顶端之间；在样品传送方向上，第一支撑架15位于第二支撑架16上游，以使风刀8在水平面的投影与样品宽度方向间形成第一风刀夹角，第一风刀夹角在15至30度之间，其中，样品宽度方向垂直于样品传送方向和竖直方向；在竖直方向上，第一支撑架15高于第二支撑架16，以使风刀8与水平面间形成第二风刀夹角，第二风刀夹角在0至45度之间。
通过调节风刀8在水平面的投影与样品宽度方向间形成的第一风刀夹角和风刀8与水平面间形成的第二风刀夹角，使得风刀8在吹扫干燥样品10时，能够更加彻底地清除从样品10顶端流下并汇聚在样品10底端的水流或水珠。
如图2所示，可选地，本实施方式的第二风刀夹角等于轮夹角。
当第二风刀夹角等于轮夹角时，风刀8近乎平行于样品10，有利于风刀8高效地进行吹扫作业。
如图1和图3所示，可选地，本实施方式的蒸汽喷淋部包括：喷淋组件，其包括喷淋横杆4，喷淋横杆4平行于样品宽度方向设置；距离调节组件，用于调节喷淋横杆4与检测平台3的间距；蒸汽发生器1，用于向喷淋组件提供喷淋用蒸汽；传输管道2，用于连接蒸汽发生器1和喷淋组件；以及管道支架5，用于支撑传输管道2。
蒸汽喷淋部负责在样品10表面喷涂雾膜，其位于检测平台3的入口端，以喷涂正在进入检测平台3的样品10部分。当样品10全部进入检测平台3时，蒸汽喷淋部完成该样品10的喷涂工作。
蒸汽发生器1产生的蒸汽通过传输管道2运输至喷淋横杆4，喷淋横杆4平行于样品宽度方向设置，有利于将雾膜均匀地涂覆在样品10表面。距离调节组件用于调节喷淋横杆4与检测平台3的间距，有利于调节雾膜的生长速度。
如图4所示，可选地，本实施方式的喷淋横杆4上设置有多个均匀分布的喷淋单元13，喷淋单元13包括同心设置的喷淋内环、喷淋中环和喷淋外环，喷淋内环、喷淋中环和喷淋外环均由呈环状分布的多个喷淋孔构成。
喷淋横杆4的设计有利于雾膜均匀、快速地涂覆在样品10表面。
可选地，喷淋内环、喷淋中环和喷淋外环均呈圆环状，且喷淋内环、喷淋中环和喷淋外环的半径分别为5毫米、10毫米和15毫米。
如图1所示，可选地，本实施方式的表面缺陷检测系统还包括控制按钮14。
当样品10表面的洁净度合格时，检测人员按下控制按钮14，用于指示检测系统该样品10需要被干燥并传送至下一工序设备输入线。按下控制按钮14后，风刀8、传动滚轮组6开始工作。
如图1所示，可选地，本实施方式的表面缺陷检测系统还包括人机交互界面12。
可选地，人机交互界面12包括触摸式显示屏，用于检测人员与检测系统间的交互，有利于检测人员更好、更便捷地控制检测系统。
可选地，检测人员可以通过人机交互界面12设定样品10的抽检比例。可选地，人机交互界面12可以显示抽检样品10的合格率等信息。可选地，当检测人员按下控制按钮14后，人机交互界面12还可显示该样品10的合格状态及相关信息。
本实施方式还提供了一种利用上述表面缺陷检测系统的表面缺陷检测方法，包括以下步骤：利用传动滚轮组6使样品10从上一工序设备输出线进入检测平台3；位于检测平台3的入口端的蒸汽喷淋部将蒸汽喷涂至样品10以在样品10表面形成雾膜；当样品10全部进入检测平台3后，光源部提供照射光线以使检测人员观察样品10表面；若样品10合格，风刀部干燥样品10；利用传动滚轮组6使干燥后的样品10从检测平台3进入下一工序设备输入线。
本实施方式的检测方法能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品10，且能够自动干燥检测合格的样品10，并能够将干燥后的样品10自动运送至下一生产工序以备使用，从而降低生产成本及安全风险。
可选地，本实施方式的光源部提供照射光线以使检测人员观察样品10表面包括调节轮夹角以使传动滚轮组6靠近光源部的一侧高于传动管轮组远离光源部的一侧。
采用本实施方式的检测方法，在观察过程中，检测人员可以通过改变轮夹角调整观察角度，以更好地观察样品10表面雾膜的附着情况，有利于更加准确地判断样品10表面的洁净度是否合格。
可选地，本实施方式中，若样品10合格，风刀部干燥样品10包括若样品10合格，按下控制按钮14，启动风刀部，调节第一风刀夹角和第二风刀夹角。
采用本实施方式的检测方法，通过调节风刀8在水平面的投影与样品宽度方向间形成的第一风刀夹角和风刀8与水平面间形成的第二风刀夹角，使得风刀8在吹扫干燥样品10时，能够更加彻底地清除从样品10顶端流下并汇聚在样品10底端的水流或水珠。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。
Claims (12)
1.一种表面缺陷检测系统，其特征在于，包括：
检测平台，其入口端用于与上一工序设备输出线对接，其出口端用于与下一工序设备输入线对接；所述检测平台上安装有传动滚轮组，用于传送样品；
蒸汽喷淋部，其位于所述检测平台的所述入口端，用于将蒸汽喷涂至所述样品以在所述样品表面形成雾膜；
光源部，其用于提供照射光线；以及
风刀部，其设置在所述检测平台的所述出口端的上游，用于干燥所述样品。
2.根据权利要求1所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，所述光源部包括LED光源和支撑所述LED光源的光源支架，所述光源部位于所述检测平台远离检测人员的一侧。
3.根据权利要求2所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，在竖直方向上，所述传动滚轮组靠近所述光源部的一侧高于所述传动管轮组远离所述光源部的一侧，以使所述传动滚轮组所在平面与水平面间形成轮夹角，所述轮夹角在0至45度之间。
4.根据权利要求3所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，所述风刀部包括风刀和支撑所述风刀的风刀支架，所述风刀支架包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架位于所述检测平台安装有所述光源部的一侧，所述第二支撑架位于所述检测平台远离所述光源部的一侧，所述风刀连接在所述第一支撑架的顶端和所述第二支撑架的顶端之间；在样品传送方向上，所述第一支撑架位于所述第二支撑架上游，以使所述风刀在水平面的投影与样品宽度方向间形成第一风刀夹角，所述第一风刀夹角在15至30度之间，其中，所述样品宽度方向垂直于所述样品传送方向和竖直方向；在竖直方向上，所述第一支撑架高于所述第二支撑架，以使所述风刀与水平面间形成第二风刀夹角，所述第二风刀夹角在0至45度之间。
5.根据权利要求4所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，所述第二风刀夹角等于所述轮夹角。
6.根据权利要求1所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，所述蒸汽喷淋部包括：
喷淋组件，其包括喷淋横杆，所述喷淋横杆平行于样品宽度方向设置；
距离调节组件，用于调节所述喷淋横杆与所述检测平台的间距；
蒸汽发生器，用于向所述喷淋组件提供喷淋用蒸汽；
传输管道，用于连接所述蒸汽发生器和所述喷淋组件；以及
管道支架，用于支撑所述传输管道。
7.根据权利要求6所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，所述喷淋横杆上设置有多个均匀分布的喷淋单元，所述喷淋单元包括同心设置的喷淋内环、喷淋中环和喷淋外环，所述喷淋内环、所述喷淋中环和所述喷淋外环均由呈环状分布的多个喷淋孔构成。
8.根据权利要求1所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，还包括控制按钮。
9.根据权利要求1所述的表面缺陷检测系统，其特征在于，还包括人机交互界面。
10.一种利用权利要求1-9中任一项所述的表面缺陷检测系统的表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
利用所述传动滚轮组使样品从所述上一工序设备输出线进入所述检测平台；
位于所述检测平台的所述入口端的所述蒸汽喷淋部将蒸汽喷涂至所述样品以在所述样品表面形成雾膜；
当所述样品全部进入所述检测平台后，所述光源部提供照射光线以使检测人员观察所述样品表面；
若样品合格，所述风刀部干燥所述样品；
利用所述传动滚轮组使干燥后的所述样品从所述检测平台进入所述下一工序设备输入线。
11.根据权利要求10所述的表面缺陷检测方法，其特征在于，所述光源部提供照射光线以使检测人员观察所述样品表面包括调节轮夹角以使所述传动滚轮组靠近光源部的一侧高于所述传动管轮组远离光源部的一侧。
12.根据权利要求10所述的表面缺陷检测方法，其特征在于，若样品合格，所述风刀部干燥所述样品包括若样品合格，按下控制按钮，启动所述风刀部，调节第一风刀夹角和第二风刀夹角。
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