CN112192348A - 金刚石复合片精抛机及精抛工艺 - Google Patents

金刚石复合片精抛机及精抛工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN112192348A
CN112192348A CN202010989773.2A CN202010989773A CN112192348A CN 112192348 A CN112192348 A CN 112192348A CN 202010989773 A CN202010989773 A CN 202010989773A CN 112192348 A CN112192348 A CN 112192348A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fine polishing
base
grinding
diamond
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010989773.2A
Other languages
English (en)
Inventor
魏芝勇
申建中
何旻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jinhua Zhongye Superhard Material Composite Co ltd
Original Assignee
Jinhua Zhongye Superhard Material Composite Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jinhua Zhongye Superhard Material Composite Co ltd filed Critical Jinhua Zhongye Superhard Material Composite Co ltd
Priority to CN202010989773.2A priority Critical patent/CN112192348A/zh
Publication of CN112192348A publication Critical patent/CN112192348A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06Work supports, e.g. adjustable steadies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/006Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • B24B57/02Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

本发明涉及精抛技术领域,尤其是金刚石复合片精抛机及精抛工艺,包括底座,底座顶部的中心处开设有安装槽,安装槽槽底的中心处固定安装有旋转电机,旋转电机顶部的输出轴表面固定安装有研磨盘,底座顶部的边侧处均匀设置有三个辅助研磨装置,辅助研磨装置包括设置于底座顶部的转轴,转轴的顶部设置有开设于底座顶部的连接槽,连接槽的底部设置有安装于底座内部的摆动电机,转轴顶部的侧面固定安装有弧形的加工挡板,加工挡板的侧面设置有滑动相接于研磨盘顶部的载物块,载物块的底部设置有金刚石磨板,本发明通过让底部安装有金刚石的载物块无规则的在加工材料的表面移动,能够使得处理后的材料更加均匀光滑。

Description

金刚石复合片精抛机及精抛工艺
技术领域
本发明涉及精抛技术领域,尤其涉及金刚石复合片精抛机及精抛工艺。
背景技术
精抛主要是指对部分经过粗磨或者未经加工的可磨性材料进行处理的过程,通常需要使用细磨砂转轮对可磨性材料进行缓慢的磨平处理。
目前所使用的精抛设备通常需要手动操作,工作效率较低,且同时会造成在精抛中因为缺乏研磨液而导致精抛的材料表面温度过高产生损坏的情况,因此需要一种新型的设备和完整的工艺来对精抛进行细化的处理。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的金刚石复合片精抛机及精抛工艺。
为达到以上目的,本发明采用的技术方案为:金刚石复合片精抛机及精抛工艺,包括底座,其特征在于,底座顶部的中心处开设有安装槽,安装槽槽底的中心处固定安装有旋转电机,旋转电机顶部的输出轴表面固定安装有研磨盘,底座顶部的边侧处均匀设置有三个辅助研磨装置,辅助研磨装置包括设置于底座顶部的转轴,转轴的顶部设置有开设于底座顶部的连接槽,连接槽的底部设置有安装于底座内部的摆动电机,摆动电机的输出轴贯穿连接槽并与转轴的底部相互插接,其中一个转轴的顶部固定连接有喷水管,且转轴底部的侧面设置有安装于底座内部的输水管,输水管和喷水管均贯穿转轴并相互连通,转轴顶部的侧面固定安装有弧形的加工挡板,加工挡板的侧面设置有滑动相接于研磨盘顶部的载物块,载物块的底部固定安装有金刚石磨板,加工挡板的表面贯穿开设有两个通槽,两个通槽的内侧均固定安装有限位螺柱,限位螺柱的底部固定安装有耐磨橡胶垫,底座的正面设置有控制面板,底座的背面安装有检修板,检修板的靠近控制面板的一侧固定安装有散热风扇;其精抛工艺如下:
S1材料预选:选择金属、陶瓷、玻璃、PCB板、光学材料、耐火材料等进行精抛处理,将材料加热至40-50℃后,对材料进行过水处理,并置于常温下干燥至材料表面湿润不滴水的状态;
S2物料装填:将待精抛的材料按照研磨盘的大小作精准切割,并将切割完成后的材料固定于研磨盘的顶部;
S3预处理:通过喷水管将待精抛材料的顶部均匀喷涂金刚石研磨液,其中金刚石研磨液的需要1-5ml/cm2
S4精抛处理:打开旋转电机和摆动电机,使得研磨盘旋转并保持加工挡板摆动,其中旋转电机的转速保持在100-200rpm,摆动电机的摆动频率为8-14次/分钟,之后将载物块放置于研磨盘的顶部,开始对材料进行精抛打磨处理,打磨过程中,需要通过喷水管对材料的表面继续喷洒金刚石研磨液,此时金刚石研磨液需要保持2-5ml/cm2
S5干燥处理:停止喷水管喷洒金刚石研磨液,保持旋转电机和摆动电机的正常工作,并持续5-10min,随后关机并取下研磨盘顶部精抛完成后的材料,检验合格后即可入库存储。
所述载物块的底部设置有金刚石磨板,所述金刚石磨板呈扇叶型均匀安装于载物块底部。
两个所述通槽的内侧均固定安装有限位螺柱,所述限位螺柱的底部固定安装有耐磨橡胶垫。
所述检修板的靠近控制面板的一侧固定安装有散热风扇。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:通过使用的底部设置有金刚石磨板的载物块对研磨盘顶部的材料进行摩擦处理,并配合上摆动频率为8-14次/分钟的加工挡板,使得载物块能够无规则的在研磨盘的顶部移动,并进而使得载物块与待精抛材料表面每一个区域的接触面积相等,不会造成精抛后物料表面不平的情况,精抛的过程中,喷水管能够持续的喷出金刚石研磨液,可以降低材料表面的温度,防止材料损坏,研磨完成后,停止喷出金刚石研磨液,可以进行短暂的干磨,从而干燥整块精抛后的材料。
简而言之,本申请技术方案利用连贯而又紧凑的结构,解决了传统搬运车存在的问题。
本发明的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上,基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的,或者可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得
附图说明
图1为本发明的正面结构示意图;
图2为本发明的侧面剖视结构示意图。
图中:1、底座;2、安装槽;3、旋转电机;4、研磨盘;5、研磨装置;6、转轴,7、通槽;8、限位螺柱;9、加工挡板;10、喷水管;11、控制面板;12、检修板;13、散热风扇;14、摆动电机;15、载物块;16、耐磨橡胶垫。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
因此,以下对提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的上述描述中,需要说明的是,术语“一侧”、“另一侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“相同”等术语并不表示要求部件绝对相同,而是可以存在微小的差异。术语“垂直”仅仅是指部件之间的位置关系相对“平行”而言更加垂直,并不是表示该结构一定要完全垂直,而是可以稍微倾斜。
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例,本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
如图1-2所示的金刚石复合片精抛机及精抛工艺,包括底座1,其特征在于,底座1顶部的中心处开设有安装槽2,安装槽2槽底的中心处固定安装有旋转电机3,旋转电机3顶部的输出轴表面固定安装有研磨盘4,底座1顶部的边侧处均匀设置有三个辅助研磨装置5,辅助研磨装置5包括设置于底座1顶部的转轴6,转轴6的顶部设置有开设于底座1顶部的连接槽,连接槽的底部设置有安装于底座1内部的摆动电机14,摆动电机14的输出轴贯穿连接槽并与转轴6的底部相互插接,其中一个转轴6的顶部固定连接有喷水管10,且转轴6底部的侧面设置有安装于底座1内部的输水管,输水管和喷水管10均贯穿转轴6并相互连通,转轴6顶部的侧面固定安装有弧形的加工挡板9,加工挡板9的侧面设置有滑动相接于研磨盘4顶部的载物块15,载物块15的底部固定安装有金刚石磨板,加工挡板9的表面贯穿开设有两个通槽7,两个通槽7的内侧均固定安装有限位螺柱8,限位螺柱8的底部固定安装有耐磨橡胶垫16,底座1的正面设置有控制面板11,底座1的背面安装有检修板12,检修板12的靠近控制面板11的一侧固定安装有散热风扇13;其精抛工艺如下:
S1材料预选:选择金属、陶瓷、玻璃、PCB板、光学材料、耐火材料等进行精抛处理,将材料加热至40-50℃后,对材料进行过水处理,并置于常温下干燥至材料表面湿润不滴水的状态;
S2物料装填:将待精抛的材料按照研磨盘4的大小作精准切割,并将切割完成后的材料固定于研磨盘4的顶部;
S3预处理:通过喷水管10将待精抛材料的顶部均匀喷涂金刚石研磨液,其中金刚石研磨液的需要1-5ml/cm2
S4精抛处理:打开旋转电机3和摆动电机14,使得研磨盘4旋转并保持加工挡板9摆动,其中旋转电机3的转速保持在100-200rpm,摆动电机14的摆动频率为8-14次/分钟,之后将载物块15放置于研磨盘4的顶部,开始对材料进行精抛打磨处理,打磨过程中,需要通过喷水管10对材料的表面继续喷洒金刚石研磨液,此时金刚石研磨液需要保持2-5ml/cm2
S5干燥处理:停止喷水管10喷洒金刚石研磨液,保持旋转电机3和摆动电机14的正常工作,并持续5-10min,随后关机并取下研磨盘4顶部精抛完成后的材料,检验合格后即可入库存储。
载物块15的底部设置有金刚石磨板,金刚石磨板呈扇叶型均匀安装于载物块15底部。
两个通槽7的内侧均固定安装有限位螺柱8,限位螺柱8的底部固定安装有耐磨橡胶垫16。
检修板12的靠近控制面板11的一侧固定安装有散热风扇13。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。
本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (4)

1.金刚石复合片精抛机及精抛工艺,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)顶部的中心处开设有安装槽(2),所述安装槽(2)槽底的中心处固定安装有旋转电机(3),所述旋转电机(3)顶部的输出轴表面固定安装有研磨盘(4),所述底座(1)顶部的边侧处均匀设置有三个辅助研磨装置(5),所述辅助研磨装置(5)包括设置于底座(1)顶部的转轴(6),所述转轴(6)的顶部设置有开设于底座(1)顶部的连接槽,所述连接槽的底部设置有安装于底座(1)内部的摆动电机(14),所述摆动电机(14)的输出轴贯穿连接槽并与转轴(6)的底部相互插接,其中一个转轴(6)的顶部固定连接有喷水管(10),且转轴(6)底部的侧面设置有安装于底座(1)内部的输水管,所述输水管和喷水管(10)均贯穿转轴(6)并相互连通,所述转轴(6)顶部的侧面固定安装有弧形的加工挡板(9),所述加工挡板(9)的侧面设置有滑动相接于研磨盘(4)顶部的载物块(15),所述加工挡板(9)的表面贯穿开设有两个通槽(7),所述底座(1)的正面设置有控制面板(11),所述底座(1)的背面安装有检修板(12);其精抛工艺如下:
S1材料预选:选择金属、陶瓷、玻璃、PCB板、光学材料、耐火材料等进行精抛处理,将材料加热至40-50℃后,对材料进行过水处理,并置于常温下干燥至材料表面湿润不滴水的状态;
S2物料装填:将待精抛的材料按照研磨盘(4)的大小作精准切割,并将切割完成后的材料固定于研磨盘(4)的顶部;
S3预处理:通过喷水管(10)将待精抛材料的顶部均匀喷涂金刚石研磨液,其中金刚石研磨液的需要1-5ml/cm2
S4精抛处理:打开旋转电机(3)和摆动电机(14),使得研磨盘(4)旋转并保持加工挡板(9)摆动,其中旋转电机(3)的转速保持在100-200rpm,摆动电机(14)的摆动频率为8-14次/分钟,之后将载物块(15)放置于研磨盘(4)的顶部,开始对材料进行精抛打磨处理,打磨过程中,需要通过喷水管(10)对材料的表面继续喷洒金刚石研磨液,此时金刚石研磨液需要保持2-5ml/cm2
S5干燥处理:停止喷水管(10)喷洒金刚石研磨液,保持旋转电机(3)和摆动电机(14)的正常工作,并持续5-10min,随后关机并取下研磨盘(4)顶部精抛完成后的材料,检验合格后即可入库存储。
2.根据权利要求1所述的金刚石复合片精抛机及精抛工艺,其特征在于,所述载物块(15)的底部设置有金刚石磨板,所述金刚石磨板呈扇叶型均匀安装于载物块(15)底部。
3.根据权利要求1所述的金刚石复合片精抛机及精抛工艺,其特征在于,两个所述通槽(7)的内侧均固定安装有限位螺柱(8),所述限位螺柱(8)的底部固定安装有耐磨橡胶垫(16)。
4.根据权利要求1所述的金刚石复合片精抛机及精抛工艺,其特征在于,所述检修板(12)的靠近控制面板(11)的一侧固定安装有散热风扇(13)。
CN202010989773.2A 2020-09-19 2020-09-19 金刚石复合片精抛机及精抛工艺 Pending CN112192348A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010989773.2A CN112192348A (zh) 2020-09-19 2020-09-19 金刚石复合片精抛机及精抛工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010989773.2A CN112192348A (zh) 2020-09-19 2020-09-19 金刚石复合片精抛机及精抛工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112192348A true CN112192348A (zh) 2021-01-08

Family

ID=74015666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010989773.2A Pending CN112192348A (zh) 2020-09-19 2020-09-19 金刚石复合片精抛机及精抛工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112192348A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115338716A (zh) * 2022-08-31 2022-11-15 金华中烨超硬材料有限公司 一种金刚石复合片的研磨设备
WO2023116555A1 (zh) * 2021-12-20 2023-06-29 唐山国芯晶源电子有限公司 一种大面积石英晶片研磨装置及其研磨方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB947623A (en) * 1961-12-07 1964-01-22 Atomic Energy Authority Uk Improvements relating to grinding or like machines
JPH11347925A (ja) * 1998-06-10 1999-12-21 Ebara Corp 基板受渡し装置
CN101249632A (zh) * 2008-03-20 2008-08-27 沈阳材佳机械设备有限公司 往复直线加旋转运动研磨抛光装置
CN101422872A (zh) * 2007-10-30 2009-05-06 昆明市凯跃机电塑料有限责任公司 一种气浮式机械抛光方法
CN102186627A (zh) * 2008-08-21 2011-09-14 株式会社荏原制作所 抛光衬底的方法和装置
CN103419123A (zh) * 2012-05-14 2013-12-04 株式会社荏原制作所 研磨工件用研磨垫、化学机械研磨装置及用该化学机械研磨装置研磨工件的方法
CN106695533A (zh) * 2017-02-24 2017-05-24 广州安卓机械科技有限公司 平面研磨机
CN106737129A (zh) * 2016-12-16 2017-05-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 可调转速比的平面研磨装置
CN207858579U (zh) * 2017-11-30 2018-09-14 广东长盈精密技术有限公司 研磨机
CN208557106U (zh) * 2018-07-31 2019-03-01 江西赛瓷材料有限公司 一种自动循环抛光设备
CN110666675A (zh) * 2019-08-22 2020-01-10 中南钻石有限公司 一种金刚石复合片表面金属皮去除装置及工艺

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB947623A (en) * 1961-12-07 1964-01-22 Atomic Energy Authority Uk Improvements relating to grinding or like machines
JPH11347925A (ja) * 1998-06-10 1999-12-21 Ebara Corp 基板受渡し装置
CN101422872A (zh) * 2007-10-30 2009-05-06 昆明市凯跃机电塑料有限责任公司 一种气浮式机械抛光方法
CN101249632A (zh) * 2008-03-20 2008-08-27 沈阳材佳机械设备有限公司 往复直线加旋转运动研磨抛光装置
CN102186627A (zh) * 2008-08-21 2011-09-14 株式会社荏原制作所 抛光衬底的方法和装置
CN103419123A (zh) * 2012-05-14 2013-12-04 株式会社荏原制作所 研磨工件用研磨垫、化学机械研磨装置及用该化学机械研磨装置研磨工件的方法
CN106737129A (zh) * 2016-12-16 2017-05-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 可调转速比的平面研磨装置
CN106695533A (zh) * 2017-02-24 2017-05-24 广州安卓机械科技有限公司 平面研磨机
CN207858579U (zh) * 2017-11-30 2018-09-14 广东长盈精密技术有限公司 研磨机
CN208557106U (zh) * 2018-07-31 2019-03-01 江西赛瓷材料有限公司 一种自动循环抛光设备
CN110666675A (zh) * 2019-08-22 2020-01-10 中南钻石有限公司 一种金刚石复合片表面金属皮去除装置及工艺

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023116555A1 (zh) * 2021-12-20 2023-06-29 唐山国芯晶源电子有限公司 一种大面积石英晶片研磨装置及其研磨方法
CN115338716A (zh) * 2022-08-31 2022-11-15 金华中烨超硬材料有限公司 一种金刚石复合片的研磨设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112192348A (zh) 金刚石复合片精抛机及精抛工艺
US4583325A (en) Grinding machine
US5060424A (en) Surface grinding apparatus
CN213731110U (zh) 金刚石复合片精抛机
GB2302830A (en) Conditioning polishing pads
JPS61159371A (ja) Icの基板用シリコンウェーハのブラスト装置
US8454410B2 (en) Polishing apparatus
US5931724A (en) Mechanical fastener to hold a polishing pad on a platen in a chemical mechanical polishing system
US6932684B1 (en) Reciprocal blade lapping machine
CN114932500B (zh) 一种研抛一体装置及其运行方法
CN110076686A (zh) 一种非平面按键分片装置及分片加工方法
CN201493729U (zh) 光学玻璃的抛光装置
CN111168553A (zh) 一种蓝宝石衬底的稳固装置
JP2002200552A (ja) ポリッシング装置
CN215700701U (zh) 一种晶片抛光设备的装载装置
CN208391767U (zh) 一种电压力锅内锅生产用抛光装置
CN213999098U (zh) 一种变频式内圆磨床旋转式砂轮修整装置
CN212945849U (zh) 一种用于齿轮磨削装置
CN220944617U (zh) 一种用于针尖加工的抛光设备
CN219426494U (zh) 旋转工作台抛光机
CN220993844U (zh) 一种手板加工使用的磨平机
CN217728159U (zh) 一种金刚石平面研抛一体装置
CN220761964U (zh) 一种带有降温结构的打磨设备
CN219380175U (zh) 一种刀片加工用的砂轮修整仪
CN220740683U (zh) 双锅抛光机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20210108