CN112179561B - 一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备 - Google Patents

一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备 Download PDF

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CN112179561B CN202010980518.1A CN202010980518A CN112179561B CN 112179561 B CN112179561 B CN 112179561B CN 202010980518 A CN202010980518 A CN 202010980518A CN 112179561 B CN112179561 B CN 112179561B
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    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L25/00Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
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Abstract

本发明公开了一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备,所述方法包括以下步骤:获取待测传感器阵列的位置信息;根据待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;根据驱动信号、压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线。通过光学定位器获取待测传感器阵列的位置信息,然后驱动三轴驱动模块,从而带动压力传感器移动,实现对待测传感器阵列的定标,提高工作效率,利用压力传感器和待测传感器阵列产生的信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线,利用压力传感器的力变和形变作为定标的因素,提高定标的精确度。

Description

一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备
技术领域
本发明涉及传感器定标领域,特别涉及一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备。
背景技术
传感器是一种检测装置,能检测到被测量的信息,并能将检测到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。随着智能化的发展,传感器的应用越来越广泛,然而,在将传感器投入应用之前,需要对传感器进行定标,进而根据定标的结果实现传感器的应用。
一般来说,在对压力传感器阵列进行定标时,所采用的定标设备的测量头只能进行一维方向的上下移动,因此,只能对压力传感器阵列实现单点测试,导致工作效率低,而且定标设备只能利用压力传感器的力变作为定标的因素,没有利用压力传感器的形变作为定标的因素,导致定标的精确度低。
发明内容
本发明的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备,能够提高工作效率和定标的精确度。
本发明解决其技术问题的解决方案是:
第一方面,本发明提供了一种压力传感器阵列定标方法,应用于定标设备,所述定标设备用于定标待测传感器阵列,所述定标设备包括三轴驱动模块、压力传感器和控制处理器,所述三轴驱动模块包括两轴运动平台和施压杆,所述两轴运动平台、所述施压杆和所述压力传感器分别与所述控制处理器电性连接,所述方法包括以下步骤:
获取待测传感器阵列的位置信息;
根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;
获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;
根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线。
进一步,所述根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块,包括:
根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到第一维度脉冲信号和第二维度脉冲信号,以驱动两轴运动平台;
获取两轴运动平台的反馈信号;
根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到Z轴脉冲信号,以使施压杆朝两轴运动平台的方向移动。
进一步,所述根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线,包括:
根据所述驱动信号和所述压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量;
根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线;
根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线。
进一步,所述根据所述驱动信号和所述压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,利用传感器形变量公式,得到压力传感器的形变量;
根据所述驱动信号,得到Z轴位移量;
所述Z轴位移量和所述压力传感器的形变量作差,得到待测传感器阵列的形变量。
进一步,所述根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;
根据所述待测传感器阵列的反馈信号,得到待测传感器阵列的电阻变化率;
根据所述压力传感器的电阻变化率,利用传感器应力公式,得到压力传感器的应力;
根据所述压力传感器的电阻变化率、所述待测传感器阵列的电阻变化率和所述压力传感器的应力,得到力学响应曲线。
进一步,所述传感器应力公式,具体为:
F=A*(expB*γ-1),
其中,A和B均为常数,
Figure GDA0003552064350000032
ΔR为压力传感器的电阻变化,R0为压力传感器的初始电阻。
进一步,所述根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;
根据所述压力传感器的电阻变化率和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线。
第二方面,本发明提供了一种定标装置,包括:
定位获取模块,用于获取待测传感器阵列的位置信息;
驱动处理模块,用于根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;
传感器获取模块,用于获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;
曲线生成模块,用于根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线。
第三方面,本发明提供了一种定标设备,包括:三轴驱动模块,包括用于放置待测传感器阵列的两轴运动平台和设置在所述两轴运动平台上的施压杆;压力传感器,设置在所述施压杆朝向所述两轴运动平台的一端;光学定位器,设置在所述施压杆上;一个或多个控制处理器;以及,存储器,用于存储可执行指令;所述两轴运动平台、所述施压杆、所述压力传感器和所述光学定位器分别与所述控制处理器电性连接;所述控制处理器,用于执行所述存储器中存储的可执行指令时,实现如上所述的压力传感器阵列定标方法。
第四方面,本发明提供了一种计算机可读存储介质,计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令,计算机可执行指令用于使计算机执行如上所述的压力传感器阵列定标方法。
第五方面,本发明还提供了一种计算机程序产品,所述计算机程序产品包括存储在计算机可读存储介质上的计算机程序,所述计算机程序包括程序指令,当所述程序指令被计算机执行时,使计算机执行如上所述的压力传感器阵列定标方法。
本发明实施例中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下有益效果:本发明给出了一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备,通过光学定位器获取待测传感器阵列的位置信息,然后驱动三轴驱动模块,从而带动压力传感器移动,实现对待测传感器阵列的定标,提高工作效率,利用压力传感器产生的信号和待测传感器阵列产生的信号,从而得到力学响应曲线和形变响应曲线,利用压力传感器的力变和形变作为定标的因素,提高定标的精确度。
附图说明
下面结合附图和实施例对发明进一步地说明;
图1是本发明第一实施例提供的一种压力传感器阵列定标方法的流程图;
图2是本发明第一实施例提供的一种压力传感器阵列定标方法中步骤S200之前的具体方法流程图;
图3是本发明第一实施例提供的一种压力传感器阵列定标方法中步骤S400的具体方法流程图;
图4是本发明第一实施例提供的一种压力传感器阵列定标方法中步骤S410的具体方法流程图;
图5是本发明第一实施例提供的一种压力传感器阵列定标方法中步骤S420的具体方法流程图;
图6是本发明第一实施例提供的一种压力传感器阵列定标方法中步骤S430的具体方法流程图;
图7是本发明第二实施例提供的一种定标装置的装置框图;
图8是本发明第三实施例提供的一种定标设备的结构示意图;
图9是本发明第三实施例提供的一种定标设备的工作流程示意图;
图10是本发明第三实施例提供的一种定标设备得到的力学响应曲线示意图;
图11是本发明第三实施例提供的一种定标设备得到的形变响应曲线示意图;
图中标号:
100-定标装置、110-定位获取模块、120-驱动处理模块、130-传感器获取模块、140-曲线生成模块、200-定标设备、210-三轴驱动模块、211-两轴运动平台、2111-第一步进电机、2112-第二步进电机、212-施压杆、2121-Z轴步进电机、220-压力传感器、230-光学定位器、240-控制处理器、250-存储器、300-待测传感器阵列。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述,所描述的实施例不应视为对本发明的限制,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
在以下的描述中,涉及到“一些实施例”,其描述了所有可能实施例的子集,但是可以理解,“一些实施例”可以是所有可能实施例的相同子集或不同子集,并且可以在不冲突的情况下相互结合。
在以下的描述中,所涉及的术语“第一\第二\第三”仅仅是是区别类似的对象,不代表针对对象的特定排序,可以理解地,“第一\第二\第三”在允许的情况下可以互换特定的顺序或先后次序,以使这里描述的本发明实施例能够以除了在这里图示或描述的以外的顺序实施。
除非另有定义,本发明实施例所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本发明实施例中所使用的术语只是为了描述本发明实施例的目的,不是旨在限制本发明。
对本发明实施例进行进一步详细说明之前,对本发明实施例中涉及的名词和术语进行说明,本发明实施例中涉及的名词和术语适用于如下的解释。
1)压力传感器,指将力的物理变化转换成电信号的传感器。
2)步进电机,是一种将脉冲信号转化为角位移的装置;一般来说,当步进电机接收到一个脉冲信号时,通过步进驱动器驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度(步进角),从而能够通过控制脉冲信号的数量来控制角度位移量,达到准确定位的效果,另外,还可以通过控制脉冲信号的频率来控制步进电机转达的速度和加速度,达到调速的效果。
通常来说,对压力传感器阵列进行定标时,由于定标设备的测量头只能在一个维度上上下移动,因此只能对压力传感器阵列进行单点定标,如果要实现对压力传感器阵列中每个压力传感器的定标,则需要人工介入来移动压力传感器阵列实现;比如,力学测试平台Instron上的测量头只能上下移动,在测量底部固定的触觉传感器时,仅能对触觉传感器的一个点进行施加不同力的测试,而无法实现前后左右移动触觉传感器来测量触觉传感器上的线区域或面区域;因此,定标流程复杂,定标过程的工作效率低,而且定标设备只能利用压力传感器的力变作为定标的因素,没有利用压力传感器的形变作为定标的因素,导致定标的精确度低。
基于此,本发明实施例提供一种压力传感器阵列定标方法、装置及设备,能够提高工作效率和定标的精确度。
在本发明的第一实施例中,如图1所示,一种压力传感器阵列定标方法的流程图,该方法也可以由定标设备来执行,该方法具体包括:
S100、获取待测传感器阵列的位置信息;
S200、根据待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;
S300、获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;
S400、根据驱动信号、压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线。
可以理解的是,当利用定标设备对压力传感器阵列进行定标时,所确定的要定标的压力传感器阵列即待测传感器阵列;首先需要利用光学定位器获取待测传感器阵列的位置信息,光学定位器采用CCD相机,CCD相机能够有效的确定待测传感器阵列中单个传感器单元的位置,从而保证三轴驱动模块移动的精确度;利用待测传感器阵列的位置信息,分析得出待测传感器阵列上每个压力传感器的位置;通过驱动信号驱动三轴驱动模块的第一步进电机、第二步进电机和Z轴步进电机;X轴方向定义为待测传感器阵列的长度方向,Y轴方向定义为传感器阵列的宽度方向,Z轴方向定义为竖直方向;位于两轴运动平台的待测传感器阵列既能沿X轴方向运动,又能沿Y轴方向运动,位于施压杆的压力传感器沿Z轴方向运动,先驱动两轴运动平台,使施压杆位于需要定标的传感器单元的正上方,然后驱动施压杆竖直向下运动,从而自动完成待测传感器阵列上每个传感器单元的定标,能够提高工作效率;两轴运动平台沿X轴方向运动和沿Y轴方向运动的最小步长为1μm,施压杆沿Z轴方向运动的最小步长为1μm,施压杆对待测传感器阵列施加的压力最小精度为0.5mN;对待测传感器阵列进行定标时,施压杆的进行等距离间断性运动,本实施例中,以1s作为时间间隔,施压杆的Z轴步进电机接收到驱动信号后,使施压杆每1s的以最小步长进行运动,每隔1s获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;当施压杆位移至设定值,则进行复位;根据驱动信号,分析得出施压杆的运动距离,结合压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号,得出力学响应曲线和形变响应曲线,利用压力传感器的力变和形变作为定标的因素,提高定标的精确度。
如图2所示,步骤S200包括,包括:
S210、根据待测传感器阵列的位置信息,得到第一维度脉冲信号和第二维度脉冲信号,以驱动两轴运动平台;
S220、获取两轴运动平台的反馈信号;
S230、根据待测传感器阵列的位置信息,得到Z轴脉冲信号,以使施压杆朝两轴运动平台的方向移动。
可以理解的是,需要对待测传感器阵列的每个传感器单元定标,根据待测传感器阵列的位置信息,得到待测传感器阵列的每个传感器单元在X轴和Y轴上的位置,从而利用第一维度脉冲信号和第二维度脉冲信号,驱动两轴运动平台,使施压杆位于需要定标的传感器单元的正上方;然后利用Z轴脉冲信号,驱动施压杆竖直向下运动,完成定标工作,能够增加工作效率。
如图3所示,步骤S400包括:
S410、根据驱动信号和压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量;
S420、根据压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线;
S430、根据压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线。
可以理解的是,利用驱动信号和压力传感器的反馈信号,分析得出待测传感器阵列的形变量,利用压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线,利用压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线,同时利用压力传感器的力变和形变作为定标的因素,提高定标的精确度。
如图4所示,步骤S410包括:
S411、根据压力传感器的反馈信号,利用传感器形变量公式,得到压力传感器的形变量;
S412、根据驱动信号,得到Z轴位移量;
S413、Z轴位移量和压力传感器的形变量作差,得到待测传感器阵列的形变量。
在步骤S411中,传感器形变量公式,具体为:
Figure GDA0003552064350000091
其中,y是压力传感器的形变量,x是压力传感器的电阻变化率,A1、t1和y0均为常数。
在具体实践中,施压杆的Z轴步进电机接收到驱动信号后,使施压杆每1s的以最小步长进行运动,每隔1s获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;利用压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;施压杆每1s沿Z轴方向位移1μm,从而得出Z轴位移量,然后利用Z轴位移量和压力传感器的形变量作差,得到待测传感器阵列的形变量。
可以理解的是,能够精确的计算出传感器阵列的形变量,保证压力传感器阵列定标的准确度。
如图5所示,步骤S420包括:
S421、根据压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;
S422、根据待测传感器阵列的反馈信号,得到待测传感器阵列的电阻变化率;
S423、根据压力传感器的电阻变化率,利用传感器应力公式,得到压力传感器的应力;
S424、根据压力传感器的电阻变化率、待测传感器阵列的电阻变化率和压力传感器的应力,得到力学响应曲线。
在步骤S423中,传感器应力公式,具体为:
F=A*(expB*γ-1),
其中,A和B均为常数,
Figure GDA0003552064350000102
ΔR为压力传感器的电阻变化,R0为压力传感器的初始电阻。
可以理解的是,利用传感器应力公式,能够精确的得出压力传感器的应力,从而得出精确的力学响应曲线,保证压力传感器阵列定标的准确度。
如图6所示,步骤S430包括:
S431、根据压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;
S432、根据压力传感器的电阻变化率和待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线。
可以理解的是,形变响应曲线由压力传感器的电阻变化率和待测传感器阵列的形变量构成,形变量也是对压力传感器定标的一个重要参考因素,利用压力传感器的和形变作为定标的因素,提高定标的精确度。
在本发明的第二实施例中,如图7所示,一种定标装置100,包括:
定位获取模块110,用于获取待测传感器阵列的位置信息;
驱动处理模块120,用于根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;
传感器获取模块130,用于获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;
曲线生成模块140,用于根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线。
可以理解的是,由于本实施例中的一种定标装置与上述的一种压力传感器阵列定标方法基于相同的发明构思,因此,方法实施例中的相应内容同样适用于本实施例,此处不再详述。
在本发明的第三实施例中,如图8所示,定标设备200,包括:
三轴驱动模块210,包括用于放置待测传感器阵列300的两轴运动平台211和设置在两轴运动平台211上的施压杆212;
压力传感器220,设置在施压杆朝向两轴运动平台211的一端;
光学定位器230,设置在施压杆212上;
一个或多个控制处理器240;以及,
存储器250,用于存储可执行指令;两轴运动平台211、施压杆212、压力传感器220和光学定位器230分别与控制处理器240电性连接;图8中以一个控制处理器240为例。
可以理解的是,两轴运动平台211上放置有待测传感器阵列300,两轴运动平台211设置有第一步进电机2111和第二步进电机2112,施压杆212设置有Z轴步进电机2121,控制处理器240通过光学定位器230获取待测传感器阵列300的位置信息,根据待测传感器阵列300的位置信息,得到驱动信号,驱动信号包括第一维度脉冲信号、第二维度脉冲信号和Z轴脉冲信号;控制处理器240利用第一维度脉冲信号,控制第一步进电机2111工作来驱动两轴运动平台211在三维空间沿X轴移动,控制处理器240利用第二维度脉冲信号,控制第二步进电机2112工作来驱动两轴运动平台211在三维空间沿Y轴移动,控制处理器240利用Z轴脉冲信号Z轴脉冲信号,控制Z轴步进电机2121工作来驱动施压杆212在三维空间沿Z轴移动,从而带动压力传感器220移动,当压力传感器的电阻变化率高于设定的上限值后,施压杆212复位,实现对待测传感器阵列300的定标;获取压力传感器220根据接收到的待测传感器阵列300的反作用力产生的信号,还获取待测传感器阵列300产生的信号,从而得到待测传感器阵列300的形变量;进一步,得到力学响应曲线和形变响应曲线。控制处理器240和存储器250可以通过总线或者其他方式连接,图8中以通过总线连接为例。
图9是本发明第三实施例提供的一种定标设备200的工作流程示意图,定标设备200依据工作流程进行工作,完成待测传感器阵列的定标。
图10是本发明第三实施例提供的一种定标设备得到的力学响应曲线示意图,根据反馈信号,在图中构建出传感器的第一定标曲线,增加直观性。
图11是本发明第三实施例提供的一种定标设备得到的形变响应曲线示意图,根据反馈信号,在图中构建出传感器的第二定标曲线,增加直观性。
存储器250作为一种非暂态计算机可读存储介质,可用于存储非暂态软件程序、非暂态性计算机可执行程序以及模块,如本发明实施例中的压力传感器阵列定标方法对应的程序指令/模块,例如,图7所示的定位获取模块110、驱动处理模块120、传感器获取模块130和曲线生成模块140。控制处理器240通过运行存储在存储器250中的非暂态软件程序、指令以及模块,实现上述方法实施例的压力传感器阵列定标方法。
存储器250可以包括存储程序区和存储数据区,其中,存储程序区可存储操作方法、至少一个功能所需要的应用程序;存储数据区可存储使用所创建的数据等。此外,存储器250可以包括高速随机存取存储器,还可以包括非暂态存储器,例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非暂态固态存储器件。在一些实施方式中,存储器250可选包括相对于控制处理器240远程设置的存储器,这些远程存储器可以通过网络连接至该定标设备200。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。
一个或者多个模块存储在存储器250中,当被一个或者多个控制处理器240执行时,执行上述方法实施例中的压力传感器阵列定标方法,例如,执行以上描述的图1中的方法步骤S100至S400,图2中的方法步骤S210至S230,图3中的方法步骤S410至S430,图4中的方法步骤S411至S413,图5中的方法步骤S421至S424,图6中的方法步骤S431至S432。
本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质,计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令,该计算机可执行指令被一个或多个控制处理器240执行,例如,被图8中的一个控制处理器240执行,可使得上述一个或多个控制处理器240执行上述方法实施例中的压力传感器阵列定标方法,例如,执行以上描述的图1中的方法步骤S100至S400,图2中的方法步骤S210至S230,图3中的方法步骤S410至S430,图4中的方法步骤S411至S413,图5中的方法步骤S421至S424,图6中的方法步骤S431至S432。
以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
通过以上的实施方式的描述,本领域技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加通用硬件平台的方式来实现。本领域技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成,所述的程序可存储于一计算机可读取存储介质中,该程序在执行时,可包括如上述方法的实施例的流程。其中,所述的存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体(ReadOnly Memory,ROM)或随机存储记忆体(Random AcceSS Memory,RAM)等。
以上是对本发明的较佳实施进行了具体说明,但本发明并不局限于上述实施方式,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出种种的等同变形或替换,这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (8)

1.一种压力传感器阵列定标方法,应用于定标设备,其特征在于,所述定标设备用于定标待测传感器阵列,所述定标设备包括三轴驱动模块、压力传感器和控制处理器,所述三轴驱动模块包括两轴运动平台和施压杆,所述两轴运动平台、所述施压杆和所述压力传感器分别与所述控制处理器电性连接,所述方法包括以下步骤:
获取待测传感器阵列的位置信息;
根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;
获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;
根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线;
其中,所述根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线,包括:
根据所述驱动信号和所述压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量;
根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线;
根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线;
所述根据所述驱动信号和所述压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,利用传感器形变量公式,得到压力传感器的形变量;
根据所述驱动信号,得到Z轴位移量;
所述Z轴位移量和所述压力传感器的形变量作差,得到待测传感器阵列的形变量;
其中,所述传感器形变量公式为:
Figure FDA0003552064340000021
其中,y是所述压力传感器的形变量,x是所述压力传感器的电阻变化率,A1、t1和y0均为常数。
2.如权利要求1所述的一种压力传感器阵列定标方法,其特征在于,所述根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块,包括:
根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到第一维度脉冲信号和第二维度脉冲信号,以驱动两轴运动平台;
获取两轴运动平台的反馈信号;
根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到Z轴脉冲信号,以使施压杆朝两轴运动平台的方向移动。
3.如权利要求1所述的一种压力传感器阵列定标方法,其特征在于,所述根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;
根据所述待测传感器阵列的反馈信号,得到待测传感器阵列的电阻变化率;
根据所述压力传感器的电阻变化率,利用传感器应力公式,得到压力传感器的应力;
根据所述压力传感器的电阻变化率、所述待测传感器阵列的电阻变化率和所述压力传感器的应力,得到力学响应曲线。
4.如权利要求3所述的一种压力传感器阵列定标方法,其特征在于,所述传感器应力公式,具体为:
F=A*(expB*γ-1),
其中,A和B均为常数,
Figure FDA0003552064340000022
ΔR为压力传感器的电阻变化,R0为压力传感器的初始电阻。
5.如权利要求1所述的一种压力传感器阵列定标方法,其特征在于,所述根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,得到压力传感器的电阻变化率;
根据所述压力传感器的电阻变化率和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线。
6.一种定标装置,其特征在于,包括:
定位获取模块,用于获取待测传感器阵列的位置信息;
驱动处理模块,用于根据所述待测传感器阵列的位置信息,得到驱动信号,以驱动三轴驱动模块;
传感器获取模块,用于获取压力传感器的反馈信号和待测传感器阵列的反馈信号;
曲线生成模块,用于根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线;
其中,所述根据所述驱动信号、所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线和形变响应曲线,包括:
根据所述驱动信号和所述压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量;
根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的反馈信号,得到力学响应曲线;
根据所述压力传感器的反馈信号和所述待测传感器阵列的形变量,得到形变响应曲线;
所述根据所述驱动信号和所述压力传感器的反馈信号,得到待测传感器阵列的形变量,包括:
根据所述压力传感器的反馈信号,利用传感器形变量公式,得到压力传感器的形变量;
根据所述驱动信号,得到Z轴位移量;
所述Z轴位移量和所述压力传感器的形变量作差,得到待测传感器阵列的形变量;
其中,所述传感器形变量公式为:
Figure FDA0003552064340000041
其中,y是压力传感器的形变量,x是压力传感器的电阻变化率,A1、t1和y0均为常数。
7.一种定标设备,其特征在于,包括:
三轴驱动模块,包括用于放置待测传感器阵列的两轴运动平台和设置在所述两轴运动平台上的施压杆;
压力传感器,设置在所述施压杆朝向所述两轴运动平台的一端;
光学定位器,设置在所述施压杆上;
一个或多个控制处理器;以及,
存储器,用于存储可执行指令;
所述两轴运动平台、所述施压杆、所述压力传感器和所述光学定位器分别与所述控制处理器电性连接;所述控制处理器,用于执行所述存储器中存储的可执行指令时,实现权利要求1至5任一项所述的方法。
8.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令,所述计算机可执行指令用于使计算机执行如权利要求1至5任一项所述的方法。
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