CN112151407A - 基板处理装置及基板处理方法 - Google Patents

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玄宰一
朴奇洪
朱宰成
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Abstract

单一的基板处理装置可包括用于清洗一个第一板或多个第二板的清洗腔、用于干燥所述一个第一板或所述多个第二板的干燥腔、用于向所述一个第一板或所述多个第二板上涂布药液的涂布腔、用于对被涂布药液的所述一个第一板或被涂布药液的所述多个第二板曝光的曝光腔、用于对被涂布药液的所述一个第一板或被涂布药液的所述多个第二板显影的显影腔、以及用于整齐排列所述一个第一板或所述多个第二板的整齐排列装置。

Description

基板处理装置及基板处理方法
本申请享有2019年6月27日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2019-0076776号的优先权。
技术领域
本发明的例示性实施例涉及基板处理装置及基板处理方法。更具体来讲，本发明的例示性实施例涉及能够处理具有多种大小的基板的单一的基板处理装置及能够利用这种单一的基板处理装置对具有多种大小的基板执行的包括涂布工程、曝光工程及显影工程的基板处理方法。
背景技术
在制造有机发光显示装置之类的显示装置时大致可执行在基板上涂布药液、曝光、显影的工程。该情况下，可根据所述显示装置的类型对具有多种大小的多种基板执行涂布工程、曝光工程及显影工程。
然而，存在对具有多种大小的基板执行所述涂布工程、所述曝光工程及所述显影工程而需要对具有多种大小的基板分别利用另外的制造装置的问题。
发明内容
技术问题
本发明的一个目的是提供能够处理具有多种大小的基板的单一的基板处理装置。
本发明的另一目的是提供能够使用所述单一的基板处理装置对具有多种大小的基板执行的包括涂布工程、曝光工程及显影工程的基板处理方法。
技术方案
根据本发明的一个方面，提供一种单一的基板处理装置。所述单一的基板处理装置可包括用于清洗一个第一板或从所述一个第一板分割得到的多个第二板的清洗腔；用于干燥所述一个第一板或所述多个第二板的干燥腔；用于向所述一个第一板或所述多个第二板上涂布药液的涂布腔；用于对被涂布所述药液的一个第一板或被涂布所述药液的多个第二板曝光的曝光腔；用于对被涂布所述药液的一个第一板或被涂布所述药液的多个第二板显影的显影腔；以及用于整齐排列所述一个第一板或所述多个第二板的整齐排列装置。
在例示性实施例中，所述涂布腔可具有用于保持所述一个第一板或所述多个第二板的侧部的夹钳，所述一个第一板或所述多个第二板在所述涂布腔内通过所述夹钳浮在涂布工作台的上部，被移送的同时所述药液可涂布到所述一个第一板或所述多个第二板上。该情况下，用于保持所述多个第二板的侧部的夹钳的数量可以比用于保持所述一个第一板的侧部的夹钳的数量大两倍以上。
在例示性实施例中，所述干燥腔可包括用于配置所述一个第一板或所述多个第二板的真空干燥工作台；用于支撑所述一个第一板的背面的第一支撑销；以及用于支撑所述多个第二板的第二支撑销。所述第一支撑销可排列成相隔预设距离的多个列，邻接的第一支撑销可以以第一间隔可彼此相隔。所述第二支撑销可排列成邻接于所述第一支撑销的列，或位于所述第一支撑销的列之间的多个列，邻接的第二支撑销可以以第二间隔相隔。
在部分例示性实施例中，所述干燥腔还可以包括用于配置所述一个第一板或所述多个第二板的烘干工作台；用于支撑所述一个第一板的背面的第三支撑销；以及用于支撑所述多个第二板的第四支撑销。所述第三支撑销可排列成以第一距离相隔的多个列，所述第四支撑销可排列成邻接于所述第三支撑销的列，或位于所述第三支撑销的列之间的多个列。
在例示性实施例中，所述整齐排列装置可包括用于配置所述一个第一板的整齐排列工作台；以及用于将所述一个第一板整齐排列在所述整齐排列工作台上的所需位置的第一推动部件及第二推动部件。所述第一推动部件及第二推动部件可配置在所述整齐排列工作台的对应的角部分上，所述第一推动部件及第二推动部件可推动向所述一个第一板的对角线方向对应的角部分以将所述一个第一板整齐排列在所述整齐排列工作台上的所述所需位置。
在部分例示性实施例中，所述整齐排列装置可包括用于配置所述多个第二板的整齐排列工作台；用于将所述多个第二板整齐排列在所述整齐排列工作台上的所需位置的第一推动部件及第二推动部件；以及用于保持所述多个第二板的整齐排列的整齐排列保持部件。所述第一推动部件及第二推动部件可配置在所述整齐排列工作台的对应的角部分上，所述整齐排列保持部件可配置在所述整齐排列工作台的中央部上，所述第一推动部件及第二推动部件可向所述整齐排列保持部件推动向所述多个第二板的对角线方向对应的角部分使得所述多个第二板整齐排列于所述整齐排列工作台上的所述所需位置。
根据本发明的另一方面，提供一种利用包括清洗腔、干燥腔、涂布腔、曝光腔及显影腔的单一的基板处理装置的基板处理方法。在所述基板处理方法中，在一个第一板被移送到所述涂布腔内时可对所述一个第一板执行涂布工程，从所述第一板分割得到的多个第二板被移送到所述涂布腔时可将所述多个第二板挨个投入到所述涂布腔内，并对所述多个第二板连续地执行所述涂布工程。所述一个第一板被移送到所述曝光腔内时可对所述一个第一板执行曝光工程，所述多个第二板被移送到所述曝光腔时可对所述多个第二板同时执行所述曝光工程。一个第一板被移送到所述显影腔内时可对所述一个第一板执行显影工程，所述多个第二板被移送到所述显影腔时可将所述多个第二板挨个投入到所述显影腔内，并对所述多个第二板连续执行所述显影工程。
在例示性实施例中，可以通过用于保持所述一个第一板或所述多个第二板的侧部的夹钳将所述一个第一板或所述多个第二板浮在涂布工作台的上部，并在移送的同时对所述一个第一板或所述多个第二板执行所述涂布工程。
在例示性实施例中，执行所述曝光工程的步骤之前还可以执行在所述干燥腔内执行干燥工程以从涂布到所述一个第一板或所述多个第二板上的药液去除溶剂的步骤。所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时可对所述一个第一板执行所述干燥工程，所述多个第二板被移送到所述干燥腔时可对所述多个第二板同时执行所述干燥工程。
在例示性实施例中，所述干燥工程可具有对所述一个第一板或所述多个第二板依次执行的真空干燥工程及烘干工程。
在例示性实施例中，执行所述涂布工程的步骤之前还可以在所述清洗腔内对所述一个第一板或所述多个第二板执行清洗工程。所述一个第一板被移送到所述清洗腔内时可对所述一个第一板执行所述清洗工程，所述多个第二板被移送到所述清洗腔时可以将所述多个第二板挨个投入到所述清洗腔内，并对所述多个第二板连续执行所述清洗工程。
在例示性实施例中，执行所述显影工程的步骤之后可以在所述干燥腔内对所述一个第一板或所述多个第二板执行干燥工程。所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时可对所述一个第一板执行所述干燥工程，所述多个第二板被移送到所述干燥腔时可对所述多个第二板同时执行所述干燥工程。
在部分例示性实施例中，所述单一的基板处理装置还可以包括整齐排列装置，所述基板处理方法还可以包括利用所述整齐排列装置在所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程及所述干燥工程之间对所述一个第一板或所述多个第二板执行整齐排列工程的步骤。
根据本发明的又一方面，提供一种利用包括清洗腔、干燥腔、涂布腔、曝光腔及显影腔的单一的基板处理装置的基板处理方法。在所述基板处理方法中，一个第一板被移送到所述清洗腔内时可对所述一个第一板执行所述清洗工程，两个第二板被移送到所述清洗腔时可以将所述两个第二板挨个投入到所述清洗腔内，并对所述两个第二板连续执行所述清洗工程。一个第一板被移送到所述涂布腔内时可执行向所述一个第一板上涂布药液的涂布工程，从所述第一板分割得到的两个第二板被移送到所述涂布腔时可以将所述两个第二板挨个投入到所述涂布腔内，并连续执行向所述两个第二板上涂布药液的所述涂布工程。被涂布药液的所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时可对被涂布药液的所述一个第一板执行所述干燥工程，所述多个第二板被移送到所述干燥腔时可对所述多个第二板同时执行所述干燥工程。被涂布药液的所述一个第一板被移送到所述曝光腔内时可对所述一个第一板执行曝光工程，被涂布药液的所述两个第二板被移送到所述曝光腔时可对所述两个第二板同时执行所述曝光工程。一个第一板被移送到所述显影腔内时可对所述一个第一板执行显影工程，所述两个第二板被移送到所述显影腔时可以将所述多个第二板挨个投入到所述显影腔内，并对所述两个第二板连续执行所述显影工程。所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时可对所述一个第一板执行干燥工程，所述两个第二板被移送到所述干燥腔时可对所述两个第二板同时执行所述干燥工程。在所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程及所述干燥工程之间可对所述一个第一板或所述两个第二板执行整齐排列工程。
技术效果
根据本发明的例示性实施例，能够使用单一的基板处理装置对具有多种大小的基板执行包括涂布工程、曝光工程及显影工程的基板处理方法。因此能够节省制造显示装置所需的时间及费用，能够提高所述显示装置的可靠性及收率。
但本发明的效果不限于上述效果，可在不超出本发明的思想及领域的范围内进行多种扩张。
附图说明
图1是用于说明本发明的例示性实施例的基板处理方法的流程图；
图2为用于说明利用本发明的例示性实施例的单一的基板处理装置涂布药液的工程的简要平面图；
图3至图5为用于说明利用本发明的例示性实施例的单一的基板处理装置干燥药液的工程的简要平面图；
图6及图7为用于说明利用本发明的例示性实施例的单一的基板处理装置整齐排列基板的工程的简要平面图。
具体实施方式
以下说明本发明的例示性实施例，但本发明可实施多种变更，可以具有多种形态，本说明书对实施例进行详细说明。但这并非旨在将本发明限定于特定的公开形态，应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素使用类似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得受限于所述术语。所述术语只是用于区分一个构成要素与其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例，目的并非限定本发明。单数的表现形式在文中无其他明确说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本申请中所述的“包括”或“构成”等术语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，而不应理解为预先排除一个或多个其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在或附加可能性。
若无另行定义，包括技术或科学术语在内的此处使用的所有术语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思，本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。
以下参见附图详细说明本发明的优选实施例。
图1是用于说明本发明的例示性实施例的基板处理方法的流程图。
为了执行图1例示的基板处理方法，虽未示出，但例示性实施例的单一的基板处理装置可包括搬入腔、清洗腔、干燥腔、涂布腔、曝光腔、使药液显影的显影腔、搬出腔、检查腔等。在例示性实施例的基板处理方法中，被处理的基板可通过所述搬入腔被搬入，所述基板可在所述清洗腔内被清洗，被清洗的所述基板可在所述干燥腔内被干燥。并且，药液在所述涂布腔内可涂布到所述基板上，涂布的所述药液可在所述曝光腔内被曝光。尤其，被曝光的所述药液可在所述显影腔内被显影，被处理的所述基板可通过所述搬出腔被搬出。
在例示性实施例中，被执行涂布工程、曝光工程及显影工程的被处理的所述基板可包括也可被称作母基板的具有最初的大小的第一板或从所述第一板分割得到的多个第二板。该情况下，各所述多个第二板可具有实质上相同的大小。例如，被处理的所述基板可包括所述第一板、从所述第一板分割得到的两个第二板或从所述第一板分割得到的三个第二板。在此，各第二板可具有所述第一板的大小的约1/2的大小，或具有所述第一板的大小的约1/3的大小。
不仅是被处理的所述基板包括所述第一板的情况，被处理的所述基板包括所述多个第二板的情况下也可以利用具有上述构成的单一的基板处理装置对所述第一板或所述多个第二板执行所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程、所述清洗工程、干燥工程及检查工程。
以下说明能够对包括所述第一板或从所述第一板分割得到的两个第二板的被处理的所述基板执行的所述基板处理方法进行说明。该情况下，所述基板处理方法可包括所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程、所述清洗工程、所述干燥工程、所述检查工程等。
参见图1，可通过所述单一的基板处理装置的搬入腔向所述基板处理装置内搬入所述第一板或所述两个第二板(步骤S11)。该情况下，所述两个第二板可通过所述搬入腔同时被搬入所述单一的基板处理装置内。在例示性实施例中，为了装载所述第一板或所述两个第二板，所述搬入腔可包括辊。在另一例示性实施例中，所述第一板或所述两个第二板可利用包括传送带的移送装置被搬入所述单一的基板处理装置内。
所述第一板或所述两个第二板利用所述搬入腔被装载到所述单一的基板处理装置内后，所述第一板或所述两个第二板可被移送到可对所述第一板或所述两个第二板执行所述清洗工程的所述清洗腔内(步骤S13)。向所述清洗腔内移送一个第一板的情况下可以仅对所述第一板执行所述清洗工程。所述两个第二板被移送到所述清洗腔的情况下所述两个第二板可挨个被投入到所述清洗腔内，之后可对所述第二板连续执行所述清洗工程。换而言之，所述清洗工程可在所述清洗腔内对所述一个第一板执行，或者在所述清洗腔内对所述第二板连续执行。
在所述清洗腔内对所述第一板或所述两个第二板执行所述清洗工程后，被清洗的所述一个第一板或被清洗的所述两个第二板可被移送到可对被清洗的所述第一板或被清洗的所述两个第二板执行所述干燥工程的所述干燥腔(步骤S15)。被清洗的所述一个第一板被投入所述干燥腔内时，可在所述干燥腔内对被清洗的所述一个第一板执行所述干燥工程。被清洗的所述两个第二板同时被投入所述干燥腔内时，可在所述干燥腔内对被清洗的所述两个第二板均执行所述干燥工程。该情况下，被清洗的所述两个第二板从所述清洗腔被搬出后，被清洗的所述两个第二板可同时被投入所述干燥腔内，可对被清洗的所述两个第二板均执行所述干燥工程。
利用所述干燥腔干燥被清洗的所述一个第一板或被清洗的所述两个第二板后，可以将被干燥的所述一个第一板或被干燥的所述两个第二板移送到可对被干燥的所述一个第一板或被干燥的所述两个第二板执行所述涂布工程的所述涂布腔(步骤S17)。该情况下，被干燥的所述第一板或被干燥的所述两个第二板可利用可包括辊或传送带的移送装置被移送到所述涂布腔内。被干燥的所述一个第一板被移送到所述涂布腔内时，可对被干燥的所述一个第一板执行所述涂布工程。被干燥的所述两个第二板被移送到所述涂布腔时，被干燥的所述两个第二板可挨个被投入到所述涂布腔内，之后可对所述两个第二板连续执行所述涂布工程。即，所述涂布工程在所述涂布腔内可执行于被干燥的所述一个第一板，或在所述涂布腔内连续执行于被干燥的所述两个第二板。被干燥的所述两个第二板被移送到所述涂布腔的情况下也可以向所述涂布腔内挨个投入被干燥的所述两个第二板，之后可对被干燥的所述两个第二板连续执行所述涂布工程。
图2为用于说明利用本发明的例示性实施例的单一的基板处理装置涂布药液的工程的简要平面图。
参见图2，例示性实施例的涂布工程可在将所述一个第一板或所述两个第二板200浮于配置在所述涂布腔内的涂布工作台21上部的状态下对所述一个第一板或所述两个第二板200执行。所述一个第一板或所述两个第二板200可利用能够把持所述一个第一板或所述两个第二板200的两侧部的夹钳23浮于所述涂布工作台21上部。所述夹钳23可分别配置于所述涂布工作台21的侧部的上部。并且，所述夹钳23可在所述涂布工作台21上部移送所述一个第一板或所述两个第二板200。
在部分例示性实施例中，可利用能够保持所述一个第一板的侧部或所述两个第二板200的侧部的设于涂布工作台21的一侧上的夹钳23将所述一个第一板或所述两个第二板200浮于所述涂布工作台21上部的同时在所述涂布工作台21的上部移送所述一个第一板或所述两个第二板200。
对于所述单一的基板处理装置内执行的所述涂布工程，可以使用所述夹钳23在所述涂布工作台21上部移送从所述涂布工作台21浮起的所述一个第一板或所述两个第二板200的同时向所述一个第一板或所述两个第二板200上涂布药液。
在部分例示性实施例中，所述两个第二板200可具有所述一个第一板的约1/2的大小，因此支撑所述两个第二板200的侧部的夹钳23的数量可以比支撑所述一个第一板200的侧部的所述夹钳23的数量大两倍以上。因此如图2例示，所述一个第一板200的侧部被一对夹钳23分别保持，从而所述一个第一板200可浮在所述涂布工作台21上部。与之相比，所述两个第二板200的侧部被两对夹钳23分别保持，从而所述两个第二板200可浮在所述涂布工作台21上部。换而言之，所述一个第一板200的侧部可被四个夹钳23保持，而所述两个第二板200的侧部可被八个夹钳23保持。
虽未示出，但向所述一个第一板或所述两个第二板200上涂布所述药液的所述涂布工程可利用能够通过喷墨方式向所述一个第一板或所述两个第二板200上吐出所述药液的喷墨头实现。
再次参见图1，被涂布药液的所述一个第一板或被涂布药液的所述两个第二板可从所述涂布腔被移送到能够对被涂布药液的所述一个第一板或被涂布药液的所述两个第二板执行所述干燥工程的所述干燥腔内(步骤S19)。
在例示性实施例中，被涂布药液的所述一个第一板可被投入到所述干燥腔内，之后可对被涂布药液的所述一个第一板执行所述干燥工程。在部分例示性实施例中，被涂布药液的所述两个第二板可同时被投入所述干燥腔内，之后可对被涂布药液的所述两个第二板执行所述干燥工程。该情况下，被涂布药液的所述两个第二板均从所述涂布腔被搬出后，被涂布所述药液的所述两个第二板可装载到所述干燥腔内。
在例示性实施例的干燥工程中，可从涂布到所述一个第一板上的药液或涂布到所述两个第二板上的药液去除溶剂。为此，所述干燥工程可包括可依次执行的真空干燥工程及烘干工程。
图3至图5为用于说明利用本发明的例示性实施例的单一的基板处理装置干燥药液的工程的简要平面图。
参见图3，可对可配置于真空干燥工作台31上的被涂布药液的所述一个第一板或被涂布药液的所述两个第二板执行所述真空干燥工程。该情况下，对所述一个第一板的真空干燥工程及对所述两个第二板的真空干燥工程均可在所述真空干燥工作台31上执行。
在例示性实施例中，所述单一的基板处理装置可包括用于支撑所述一个第一板的多个第一支撑销33及用于支撑所述两个第二板的多个第二支撑销35。例如，所述第一支撑销33可支撑被涂布药液的所述一个第一板的背面，所述第二支撑销35可支撑被涂布药液的所述两个第二板的背面。该情况下，所述多个第一支撑销33及所述多个第二支撑销35可分别排列成不同的构成。
如图4例示，所述一个第一板100配置在所述真空干燥工作台31上的情况下，所述第一支撑销33可从所述真空干燥工作台31向上部凸出，因此能够支撑被涂布药液的所述一个第一板的背面。
并且如图5例示，所述两个第二板位于所述真空干燥工作台31上的情况下，由于所述第二支撑销35能够从所述真空干燥工作台31向上部凸出，因此能够支撑被涂布药液的所述两个第二板的背面。
根据例示性实施例，所述第一支撑销33可排列成以预设距离相隔的多个列的构成。并且，所述第二支撑销35可排列成邻接所述第一支撑销33的列，或位于所述第一支撑销33之间的多个列的构成。在此，邻接的第二支撑销35的列也可以以预设距离相隔。另外，邻接的第一支撑销33可以以第一间隔相隔，邻接的第二支撑销35可以以第二间隔相隔。例如，所述邻接的第一支撑销33之间的第一间隔可以与所述邻接的第二支撑销35之间的第二间隔实质上相同。
对被涂布药液的所述一个第一板或被涂布药液的所述两个第二板执行所述真空干燥工程后，可在烘干板(未图示)上对所述一个第一板或所述两个第二板执行所述烘干工程。在例示性实施例中，对所述一个第一板的烘干工程及对所述两个第二板的烘干工程均可在所述烘干工作台上执行。
所述单一的基板处理装置可包括用于支撑所述一个第一板的背面的多个第三支撑销及用于支撑所述两个第二板的背面的多个第四支撑销。该情况下，所述第三支撑销及所述第四支撑销可分别排列成与参见图3至图5说明的所述第一支撑销33及所述第二支撑销35实质上相同的构成。例如，所述第三支撑销可以排列成以预设的距离相隔的多个列的构成，所述第四支撑销可排列成邻接所述第三支撑销的列，或位于所述第三支撑销的列之间的多个列的构成。
再次参见图1，被干燥的所述一个第一板或被干燥的所述两个第二板可被移送到能够对被干燥的所述一个第一板或被干燥的所述两个第二板执行所述曝光工程的曝光腔内(步骤S21)。被干燥的所述一个第一板或被干燥的所述两个第二板可利用包括辊或传送带的移送装置被移送到所述曝光腔内。在部分例示性实施例中，可对被干燥的所述两个第二板都一次执行所述曝光工程。在所述曝光工程中，涂布在所述一个第一板上的所述药液或涂布在所述两个第二板上的所述药液可曝光于具有预设波长的光。
对所述一个第一板或所述两个第二板执行所述曝光工程后，被曝光的所述一个第一板或被曝光的所述两个第二板可被移送到能够对所述一个第一板或所述两个第二板执行所述显影工程的所述显影腔内(步骤S23)。被曝光的所述一个第一板被移送到所述显影腔内时，可在所述显影腔内对被曝光的所述一个第一板执行所述显影工程。被曝光的所述两个第二板被移送到所述显影腔时，被曝光的所述两个第二板可挨个被投入所述显影腔内，之后可对被曝光的所述两个第二板连续执行所述显影工程。所述显影工程可通过向被曝光的所述一个第一板或被曝光的所述两个第二板上提供显影溶液执行。
在例示性实施例中，可以将被曝光的所述一个第一板或被曝光的所述两个第二板挨个浮在曝光工作台上部，并在所述曝光工作台上部挨个移送被曝光的所述一个第一板或被曝光的所述两个第二板的同时对被曝光的所述一个第一板执行所述显影工程，或者对被曝光的所述两个第二板连续执行所述显影工程。在部分例示性实施例中，可利用辊或传送带挨个移送被曝光的所述一个第一板或被曝光的所述两个第二板的同时所述显影工程可执行于被曝光的所述一个第一板，或者连续执行于被曝光的所述两个第二板。
对所述一个第一板或所述两个第二板执行所述显影工程后，被显影的所述一个第一板或被显影的所述两个第二板可从所述显影腔被移送到能够对被显影的所述第一板或被显影的所述两个第二板执行所述干燥工程的所述干燥腔(步骤S25)。被显影的所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时，可对被显影的所述一个第一板执行所述干燥工程。被显影的所述两个第二板被移送到所述干燥腔时，被显影的所述两个第二板可同时被投入到所述干燥腔内，之后可对被显影的所述两个第二板均执行所述干燥工程。
虽未例示，但可以在所述步骤S25对所述一个第一板或所述两个第二板执行所述干燥工程后，对所述一个第一板或所述两个第二板执行用于检查所述一个第一板或所述两个第二板上的所述药液的状态的检查工程。该情况下，来自所述干燥腔的所述一个第一板可被移送到所述检查腔内，或者所述两个第二板可同时被移送到所述检查腔内。被干燥的所述一个第一板被移送到所述检查腔内时，可对被干燥的所述一个第一板执行所述检查工程。被干燥的所述两个第二板被移送到所述检查腔时，被干燥的所述两个第二板可同时被投入所述检查腔内，之后可对被干燥的所述两个第二板均执行所述检查工程。
对所述一个第一板或所述两个第二板执行所述检查工程后，可以将被检查的所述一个第一板或被检查的所述两个第二板移送到所述搬出腔(步骤S27)。该情况下，被检查的所述两个第二板可同时被移送到所述搬出腔。
如上所述，可使用所述单一的基板处理装置对所述第一板或所述第二板之类的具有多种大小的基板执行包括所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程及所述检查工程的所述基板处理方法。
图6及图7是用于说明利用本发明的例示性实施例的单一的基板处理装置整齐排列基板的工程的简要平面图。
参见图6及图7，例示性实施例的单一的基板处理装置可包括用于执行对一个第一板100的整齐排列及对两个第二板200的整齐排列的整齐排列装置。所述整齐排列装置可包括整齐排列工作台61、推动部件、整齐排列保持部件67等。在此，所述推动部件可包括第一推动部件63及第二推动部件65。在例示性实施例中，所述整齐排列装置能够将一个第一板100整齐排列在所需位置，而且能够将两个第二板200分别整齐排列在所需位置。
如图6例示，所述整齐排列装置为了将所述一个第一板100整齐排列在所述所需位置而可包括所述整齐排列工作台61、所述第一推动部件63及所述第二推动部件65。所述第一推动部件63及所述第二推动部件65可分别配置在所述整齐排列工作台61的对应的角部分。例如，所述第一推动部件63及所述第二推动部件65可向对角线方向配置在所述整齐排列工作台61的周边部上。该情况下，所述第一推动部件63及所述第二推动部件65可分别推动配置在所述整齐排列工作台61上的向所述一个第一板100的对角线方向对应的角部分，因此所述一个第一板100能够配置在所述整齐排列工作台61上的所述所需位置。
参见图7，所述整齐排列装置可以将所述两个第二板200同时整齐排列在所述所需位置。在部分例示性实施例中，所述整齐排列装置可包括所述整齐排列工作台61、所述整齐排列保持部件67、所述第一推动部件63及所述第二推动部件65。该情况下，所述第一推动部件63及所述第二推动部件65可分别向所述对角线方向配置在所述整齐排列工作台61的对应的角部分。并且，所述整齐排列保持部件67可配置在所述整齐排列工作台61的中央部上，所述两个第二板200可以以所述整齐排列保持部件67为中心配置在所述整齐排列工作台61上。所述第一推动部件63及第二推动部件65可向所述整齐排列保持部件67推动配置在所述整齐排列工作台61上的向所述两个第二板200的所述对角线方向对应的角部分。因此所述两个第二板200能够以所述整齐排列保持部件67为中心配置在所述整齐排列工作台61上的所述所需位置。
根据例示性实施例，在执行所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程及所述检查工程期间可根据需要执行所述一个第一板100的整齐排列及所述两个第二板200的整齐排列。因此可对所述具有多种大小的基板准确地执行可包括所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程、所述干燥工程及所述检查工程的所述基板处理方法。其结果，可大幅提高通过可利用所述单一的基板处理装置执行的上述基板处理方法制造的有机发光显示装置之类的显示装置的可靠性。
以上说明了本发明的例示性实施例，但本技术领域的普通技术人员应理解可以在不超出所附权利要求记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。

Claims (20)

1.一种单一的基板处理装置，其特征在于，包括：
清洗腔，其用于清洗一个第一板或从所述一个第一板分割得到的多个第二板；
干燥腔，其用于干燥所述一个第一板或所述多个第二板；
涂布腔，其用于向所述一个第一板或所述多个第二板上涂布药液；
曝光腔，其用于对被涂布所述药液的一个第一板或被涂布所述药液的多个第二板曝光；
显影腔，其用于对被涂布所述药液的一个第一板或被涂布所述药液的多个第二板显影；以及
整齐排列装置，其用于整齐排列所述一个第一板或所述多个第二板。
2.根据权利要求1所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
所述涂布腔具有用于保持所述一个第一板或所述多个第二板的侧部的夹钳，所述一个第一板或所述多个第二板在所述涂布腔内通过所述夹钳浮在涂布工作台的上部，被移送的同时所述药液涂布到所述一个第一板或所述多个第二板上。
3.根据权利要求2所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
用于保持所述多个第二板的侧部的夹钳的数量比用于保持所述一个第一板的侧部的夹钳的数量大两倍以上。
4.根据权利要求1所述的单一的基板处理装置，其特征在于，所述干燥腔包括：
真空干燥工作台，其用于配置所述一个第一板或所述多个第二板；
第一支撑销，其用于支撑所述一个第一板的里面；以及
第二支撑销，其用于支撑所述多个第二板。
5.根据权利要求4所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
所述第一支撑销排列成相隔预设距离的多个列，邻接的第一支撑销以第一间隔彼此相隔。
6.根据权利要求5所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
所述第二支撑销排列成邻接于所述第一支撑销的列，或位于所述第一支撑销的列之间的多个列，邻接的第二支撑销以第二间隔相隔。
7.根据权利要求4所述的单一的基板处理装置，其特征在于，所述干燥腔还包括：
烘干工作台，其用于配置所述一个第一板或所述多个第二板；
第三支撑销，其用于支撑所述一个第一板的背面；以及
第四支撑销，其用于支撑所述多个第二板。
8.根据权利要求7所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
所述第三支撑销排列成以第一距离相隔的多个列，所述第四支撑销排列成邻接于所述第三支撑销的列，或位于所述第三支撑销的列之间的多个列。
9.根据权利要求1所述的单一的基板处理装置，其特征在于，所述整齐排列装置包括：
整齐排列工作台，其用于配置所述一个第一板；以及
第一推动部件及第二推动部件，其用于将所述一个第一板整齐排列在所述整齐排列工作台上的所需位置。
10.根据权利要求9所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
所述第一推动部件及第二推动部件配置在所述整齐排列工作台的对应的角部分上，所述第一推动部件及第二推动部件推动向所述一个第一板的对角线方向对应的角部分以将所述一个第一板整齐排列在所述整齐排列工作台上的所述所需位置。
11.根据权利要求1所述的单一的基板处理装置，其特征在于，所述整齐排列装置包括：
整齐排列工作台，其用于配置所述多个第二板；
第一推动部件及第二推动部件，其用于将所述多个第二板整齐排列在所述整齐排列工作台上的所需位置；以及
整齐排列保持部件，其用于保持所述多个第二板的整齐排列。
12.根据权利要求11所述的单一的基板处理装置，其特征在于：
所述第一推动部件及第二推动部件配置在所述整齐排列工作台的对应的角部分上，所述整齐排列保持部件配置在所述整齐排列工作台的中央部上，所述第一推动部件及第二推动部件向所述整齐排列保持部件推动向所述多个第二板的对角线方向对应的角部分使得所述多个第二板整齐排列于所述整齐排列工作台上的所述所需位置。
13.一种基板处理方法，其利用包括清洗腔、干燥腔、涂布腔、曝光腔及显影腔的单一的基板处理装置，其特征在于，包括：
一个第一板被移送到所述涂布腔内时对所述一个第一板执行涂布工程，从所述第一板分割得到的多个第二板被移送到所述涂布腔时将所述多个第二板挨个投入到所述涂布腔内，并对所述多个第二板连续地执行所述涂布工程的步骤；
所述一个第一板被移送到所述曝光腔内时对所述一个第一板执行曝光工程，所述多个第二板被移送到所述曝光腔时对所述多个第二板同时执行所述曝光工程的步骤；以及
一个第一板被移送到所述显影腔内时对所述一个第一板执行显影工程，所述多个第二板被移送到所述显影腔时将所述多个第二板挨个投入到所述显影腔内，并对所述多个第二板连续执行所述显影工程的步骤。
14.根据权利要求13所述的基板处理方法，其特征在于：
通过用于保持所述一个第一板或所述多个第二板的侧部的夹钳将所述一个第一板或所述多个第二板浮在涂布工作台的上部，并在移送的同时对所述一个第一板或所述多个第二板执行所述涂布工程。
15.根据权利要求13所述的基板处理方法，其特征在于，执行所述曝光工程的步骤之前还包括：
在所述干燥腔内执行干燥工程以从涂布到所述一个第一板或所述多个第二板上的药液去除溶剂的步骤，
所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时对所述一个第一板执行所述干燥工程，所述多个第二板被移送到所述干燥腔时对所述多个第二板同时执行所述干燥工程。
16.根据权利要求15所述的基板处理方法，其特征在于：
所述干燥工程具有对所述一个第一板或所述多个第二板依次执行的真空干燥工程及烘干工程。
17.根据权利要求13所述的基板处理方法，其特征在于，执行所述涂布工程的步骤之前还包括：
在所述清洗腔内对所述一个第一板或所述多个第二板执行清洗工程的步骤，
所述一个第一板被移送到所述清洗腔内时对所述一个第一板执行所述清洗工程，所述多个第二板被移送到所述清洗腔时将所述多个第二板挨个投入到所述清洗腔内，并对所述多个第二板连续执行所述清洗工程。
18.根据权利要求13所述的基板处理方法，其特征在于，执行所述显影工程的步骤之后还包括：
在所述干燥腔内对所述一个第一板或所述多个第二板执行干燥工程的步骤，
所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时对所述一个第一板执行所述干燥工程，所述多个第二板被移送到所述干燥腔时对所述多个第二板同时执行所述干燥工程。
19.根据权利要求13至18中任一项所述的基板处理方法，其特征在于：
所述单一的基板处理装置还包括整齐排列装置，
所述基板处理方法还包括：
利用所述整齐排列装置在所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程及所述干燥工程之间对所述一个第一板或所述多个第二板执行整齐排列工程的步骤。
20.一种基板处理方法，其利用包括清洗腔、干燥腔、涂布腔、曝光腔及显影腔的单一的基板处理装置，其特征在于，包括：
一个第一板被移送到所述清洗腔内时对所述一个第一板执行所述清洗工程，两个第二板被移送到所述清洗腔时将所述两个第二板挨个投入到所述清洗腔内，并对所述两个第二板连续执行所述清洗工程的步骤；
一个第一板被移送到所述涂布腔内时执行向所述一个第一板上涂布药液的涂布工程，从所述第一板分割得到的两个第二板被移送到所述涂布腔时将所述两个第二板挨个投入到所述涂布腔内，并连续执行向所述两个第二板上涂布药液的所述涂布工程的步骤；
被涂布药液的所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时对被涂布药液的所述一个第一板执行所述干燥工程，所述多个第二板被移送到所述干燥腔时对所述多个第二板同时执行所述干燥工程的步骤；
被涂布药液的所述一个第一板被移送到所述曝光腔内时对所述一个第一板执行曝光工程，被涂布药液的所述两个第二板被移送到所述曝光腔时对所述两个第二板同时执行所述曝光工程的步骤；
一个第一板被移送到所述显影腔内时对所述一个第一板执行显影工程，所述两个第二板被移送到所述显影腔时将所述多个第二板挨个投入到所述显影腔内，并对所述两个第二板连续执行所述显影工程的步骤；
所述一个第一板被移送到所述干燥腔内时对所述一个第一板执行干燥工程，所述两个第二板被移送到所述干燥腔时对所述两个第二板同时执行所述干燥工程的步骤；以及
在所述清洗工程、所述干燥工程、所述涂布工程、所述曝光工程、所述显影工程及所述干燥工程之间对所述一个第一板或所述两个第二板执行整齐排列工程的步骤。
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