JP4406463B2 - カラーフィルタパネルの製造装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1態様によるカラーフィルタパネルの製造装置は、基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、前記複数のレジスト塗布機構と前記露光機構との間には前記基板上に塗布されたカラーレジストを焼成するプリベーク機構が接続され、前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構および前記プリベーク機構に対して並列的に配置されている。
本発明の第2態様によるカラーフィルタパネルの製造装置は、基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、前記複数のレジスト塗布機構の前段には前記基板を洗浄する洗浄機構及び洗浄された基板を乾燥させる乾燥機構が接続され、前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構、前記洗浄機構、および前記乾燥機構に対して並列的に配置されている。
本発明の第3の態様によるカラーフィルタパネルの製造装置は、基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、前記レジスト塗布機構はスリットダイであって、前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構に対して並列的に配置されている。
Claims (3)
- 基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
前記複数のレジスト塗布機構と前記露光機構との間には前記基板上に塗布されたカラーレジストを焼成するプリベーク機構が接続され、
前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、
前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、
前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、
各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構および前記プリベーク機構に対して並列的に配置されているカラーフィルタパネルの製造装置。 - 基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、
前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、
前記複数のレジスト塗布機構の前段には前記基板を洗浄する洗浄機構、および、洗浄された基板を乾燥させる乾燥機構が接続され、
前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、
各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構、前記洗浄機構、および前記乾燥機構に対して並列的に配置されているカラーフィルタパネルの製造装置。 - 基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
前記レジスト塗布機構はスリットダイであって、
前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、
前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、
前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、
各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構に対して並列的に配置されているカラーフィルタパネルの製造装置。
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JP2008195028A JP4406463B2 (ja) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | カラーフィルタパネルの製造装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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