CN112104186A - 具重力补偿之线性驱动装置的预载结构 - Google Patents
具重力补偿之线性驱动装置的预载结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112104186A CN112104186A CN201910527394.9A CN201910527394A CN112104186A CN 112104186 A CN112104186 A CN 112104186A CN 201910527394 A CN201910527394 A CN 201910527394A CN 112104186 A CN112104186 A CN 112104186A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- main body
- cavity
- air
- air passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
- F15B11/08—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/026—Pressure compensating valves
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
本发明公开了一种具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,包括一第一主体、一第二主体及一预载结构,其中预载结构包括一第一立柱、一连接板及一第二立柱,第一立柱设于第一主体,第二立柱设于第二主体,连接板与第一立柱及第二立柱相接,第二主体内部形成一第一腔室及一第二腔室,第二立柱于第二主体内部设一闭塞块,据此降低线性驱动装置设置空间需求,有利于应用设置在狭窄空间。
Description
技术领域
本发明涉及一种线性驱动装置;特别是指一种具重力补偿之线性驱动装置的预载结构之创新结构。
背景技术
直线马达是一种将电流转化为线性动能的线性驱动装置,直线马达具有高速、高加速度之特点,其运动方式为直接驱动,不需透过齿轮、齿条、滚珠螺杆、联轴器等间接传动机构。
直线马达在三维向度空间中的Z轴的驱动应用,例如,加工机具之垂直进给轴(Z轴)的驱动应用,直线马达自身的重量及被驱动物的重量造成直线马达输出推力的负担,且当直线马达驱动被驱动物在高速运动状态下停止运动时,重力加速度的影响,将产生被驱动物不易准确定位的问题,容易造成加工机具的损坏和加工对象的精度不良,遂衍生一种配置重力补偿机制的直线马达。
配置重力补偿机制的直线马达,主要是将直线马达与一气压补偿系统的气压缸连接,利用气压缸提供支持直线马达及被驱动物重量的力量,并根据进给轴的重量及加速度,适时改变气压缸的出力大小。
前述配置重力补偿机制的直线马达于实际应用经验中发现仍旧存在下述问题与缺弊:由于直线马达与外部的气压缸相接,造成整体的体积增加,直线马达应用设置于狭窄空间时,空间的限制使得气压缸设置困难。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种具重力补偿之线性驱动装置的预载结构。
为达到上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,包括:一第一主体、一第二主体及一预载结构,其中第二主体与第一主体侧向相邻,第一主体与第二主体之间设有一掣动单元,据使第一主体与第二主体相对线性运动;
预载结构包括至少一第一立柱、一连接板及一第二立柱,其中第一立柱立设于第一主体的顶端,第二立柱立设于第二主体,且连接板与第一立柱及第二立柱相接,第二立柱延伸于第二主体内部设一闭塞块,据使第二主体内部形成一第一腔室及一第二腔室,且闭塞块设于第一腔室及第二腔室之间,第一腔室与第二腔室彼此相对,且第一腔室及第二腔室分别与第一主体及第二主体相对线性运动的方向平行,第一腔室与一气压补偿系统连通,据使压缩空气流入或流出第一腔室,第二腔室与第二主体外部连通,据使空气流入或流出第二腔室。
本发明之主要效果与优点,能够降低设置空间需求,有利于直线马达设置在狭窄空间。
附图说明
图1是本发明实施例一之立体图。
图2是本发明实施例一之侧面剖视示意图。
图3是本发明实施例一作动状态之侧面剖视示意图。
图4是本发明实施例二之侧面剖视示意图。
图5是本发明实施例三之侧面剖视示意图。
图6是本发明实施例四之剖视示意图。
具体实施方式
各图所示系本发明具重力补偿之线性驱动装置的预载结构之实施例,惟此等实施例仅供说明之用,在专利申请上并不受此结构之限制。
如图1、2所示,实施例一包括一第一主体10、一第二主体20及一预载结构30,其中,第二主体20与第一主体10侧向相邻,且第一主体10与第二主体20之间设有一掣动单元(图中未示),掣动单元用于驱动第一主体10及第二主体20相对运动,且掣动单元的导引构造导引第一主体10及第二主体20相对运动的路径,据使第一主体10与第二主体20于直线路径上相对线性运动,掣动单元系本发明所属技术领域人士所熟悉的现有技术,恕不详述其具体构成。
预载结构30包括二第一立柱31、一连接板32及一第二立柱33,其中,各第一立柱31分别立设于第一主体10的顶端,第二立柱33立设于第二主体20,连接板32与各第一立柱31及第二立柱33的顶端相接,据使第二立柱33通过连接板32及第一立柱31与第一主体10连接;再者,第一立柱31的数量可视需要增减变化,但以至少一个第一立柱31为限,此等数量上的选择变化乃相关技术人士基于本发明技术手段所能轻易思及,本实施例所揭示第一立柱31的数量,不能作为解释本发明的限制。
第二立柱33延伸于第二主体20内部,第二立柱33并于第二主体20内部设一闭塞块34,据使第二主体20内部形成一第一腔室21及一第二腔室22,且闭塞块34设于第一腔室21及第二腔室22之间,并分隔第一腔室21及第二腔室22,第一腔室21与第二腔室22彼此相对,且第一腔室21及第二腔室22分别与第一主体10及第二主体20相对线性运动的方向平行,第一腔室21与一气压补偿系统(图中未示)连通,据使压缩空气流入或流出第一腔室21,第二腔室22与第二主体20外部连通,据使空气流入或流出第二腔室22,第一腔室21通过一第一气道23与气压补偿系统连通,据使压缩空气通过第一气道23流入或流出第一腔室21,第一气道23形成于第二主体20,且第一气道23与第一腔室21底端连通;气压补偿系统可通过一输气管(图中未示)与第一气道23连通;气压补偿系统系本发明技术领域人士所熟悉的现有技术,恕不详述其具体构成。
第二腔室22通过一流道24与第二主体20外部连通,且流道24形成于第二主体20。
气压补偿系统对第一腔室21提供压缩空气,压缩空气对闭塞块34及第一腔室21的底端形成作用力,而可对第一主体10及第二主体20在重力方向上的相对定位提供支持,使得第一主体10及第二主体20不会由于重力影响而在重力方向上任意地相对滑动。
第一主体10及第二主体20欲自图2所示定位相对位移至图3所示定位时,第二主体20相对于第一主体10向下位移,且气压补偿系统配合控制压缩气体适量地流入第一腔室21,第二腔室22内部的空气则通过流道24向外流出,第二主体20即可快速地向下位移,第二主体20位移至所需定位时,气压补偿系统适时地停止对第一腔室21输送压缩气体,通过第一腔室21内部气压与重力形成平衡作用,使得第二主体20能够快速地停止位移,且定位精准度得以提高。
实施例二是依据实施例一变化而得,实施例二相同于实施例一的构成,恕不重复说明,如图4所示,实施例二包括一第一主体10、一第二主体20及一预载结构30,其中实施例二与实施例一主要不同处在于,实施例二缺乏实施例一之第一气道23,而预载结构30之第二立柱33内部贯穿一第二气道35,第一腔室21通过第二气道35与一气压补偿系统(图中未示)连通,据使压缩空气通过第二气道35流入或流出第一腔室21。
实施例一与实施例二提供压缩气体流入或流出第一腔室21的路径不同,依据线性驱动装置的设置场合,对于第一主体10或第二主体20何者作为固定部、何者作为作动部的需要,选择采用实施例一或实施例二,藉此简化气压补偿系统连通第一腔室21的输气管路配置。
举例而言,设若第一主体10作为固定侧,而第二主体20作为活动侧,则实施例二在第二主体20位移作动时,气压补偿系统连通第一腔室21的输气管路与第二气道35连接,输气管路不需要随着第二主体20位移,设若第一主体10作为活动侧,而第二主体20作为固定侧,则实施例一在第一主体10与第二主体20相对位位移时,气压补偿系统连通第一腔室21的输气管路与第一气道23连接,输气管路不需要随着第一主体10位移;如此可降低输气管路为了配合线性驱动装置的作动而预留管路长度的需要,输气管路的配置复杂程度亦得以简化。
实施例三是结合实施例一及实施例二变化而得,实施例三相同于实施例一及实施例二的构成,恕不重复说明,如图5所示,实施例三包括一第一主体10、一第二主体20及一预载结构30,其中实施例三与实施例一及实施例二主要不同处在于,第二主体20形成一第一气道23,预载结构30之第二立柱33内部贯穿一第二气道35,第一腔室21通过第一气道23及第二气道35分别与一气压补偿系统(图中未示)连通,据此,压缩空气分别通过第一气道23及第二气道35流入或流出第一腔室21,而可快速改变第一腔室21内部的气压,提高第一主体10与第二主体20相对位移时的作动实时性,并可有利于第一主体10与第二主体20长距离相对位移。
进一步而言,实施例三应用设置于各种设备时,可视需要选择将第一气道23或第二气道35与气压补偿系统连通,而未与气压补偿系统连通的第一气道23或第二气道35则予以封阻,据此,实施例三可应用于第一主体10作为固定侧,而第二主体20作为活动侧的场合,亦可应用于第一主体10作为活动侧,而第二主体20作为固定侧的场合。
实施例四是依据实施例一变化而得,实施例四相同于实施例一的构成,恕不重复说明,如图6所示,实施例四包括一第一主体(图中未示)、一第二主体20及一预载结构30,其中实施例四与实施例一主要不同处在于,预载结构30进一步包括二第三腔室36及二压力控制阀37,各第三腔室36分别形成于第二主体20内部,第二主体20于各第三腔室36与一第一腔室21之间分别形成一第三气道25,各压力控制阀37分别设于各第三腔室36,藉此控制第一腔室21与各第三腔室36之间的气体流路通断状态,各第三腔室36分别通过一连通道38与外部连通。
第三腔室36的数量可视需要增减变化,但以至少一第三腔室36为限,压力控制阀37的数量并配合第三腔室36的数量增减变化。
实施例四通过各第三腔室36及各压力控制阀37的构成,当第一主体与第二主体20快速地相对位移,使得第一腔室21内部气压急剧上升并高于预设压力值时,第一腔室21内部空气即可通过各压力控制阀37流向各第三腔室36,如此可避免气压补偿系统(图中未示)未能配合第一主体与第二主体20的相对位移,及时控制适量的压缩空气流出第一腔室21,避免第一主体与第二主体20相对位移的动能与气压补偿系统形成冲突,提高作动速度与系统安全性。
通过上述结构组成型态与技术特征,本发明所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,并不需要在线性驱动装置外部连接设置气压缸,而是利用构成线性驱动装置的第一主体10及第二主体20设置预载结构30,整体的体积较现有直线马达得以明显下降,设置空间需求降低,有利于应用设置在狭窄空间,且若线性驱动装置水平设置时,可直接移除预载结构30,而不影响线性驱动装置的运作,单一的线性驱动装置通过是否设置预载结构30,即可满足不同方向的驱动需求,有利于制造组装上的效益。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明公开的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (7)
1.一种具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于包括:
一第一主体;
一第二主体,第二主体与第一主体侧向相邻,第一主体与第二主体之间设有一掣动单元,据使第一主体与第二主体相对线性运动;以及
一预载结构,预载结构包括至少一第一立柱、一连接板及一第二立柱,其中第一立柱立设于第一主体的顶端,第二立柱立设于第二主体,且连接板与第一立柱及第二立柱相接,第二立柱延伸于第二主体内部设一闭塞块,据使第二主体内部形成一第一腔室及一第二腔室,且闭塞块设于第一腔室及第二腔室之间,第一腔室与第二腔室彼此相对,且第一腔室及第二腔室分别与第一主体及第二主体相对线性运动的方向平行,第一腔室与一气压补偿系统连通,据使压缩空气流入或流出第一腔室,第二腔室与第二主体外部连通,据使空气流入或流出第二腔室。
2.根据权利要求1所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于第一腔室通过一第一气道与气压补偿系统连通,据使压缩空气通过第一气道流入或流出第一腔室。
3.根据权利要求2项所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于第一气道形成于第二主体,且第一气道与第一腔室底端连通。
4.根据权利要求1、2或3所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于第二立柱内部形成一第二气道,第一腔室通过第二气道与气压补偿系统连通,据使压缩空气通过第二气道流入或流出第一腔室。
5.根据权利要求1或2所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于预载结构进一步包括至少一第三腔室及至少一压力控制阀,第三腔室形成于第二主体内部,第二主体于第三腔室与第一腔室之间形成一第三气道,压力控制阀设于第三腔室,藉此控制第一腔室与第三腔室间的气体流路通断状态。
6.根据权利要求4所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于预载结构进一步包括至少一第三腔室及至少一压力控制阀,第三腔室形成于第二主体内部,第二主体于第三腔室与第一腔室之间形成一第三气道,压力控制阀设于第三腔室,藉此控制第一腔室与第三腔室之间的气体流路通断状态,第三腔室通过一连通道与外部连通。
7.根据权利要求6所述具重力补偿之线性驱动装置的预载结构,其特征在于第二腔室通过一流道与第二主体外部连通,流道形成于第二主体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910527394.9A CN112104186A (zh) | 2019-06-18 | 2019-06-18 | 具重力补偿之线性驱动装置的预载结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910527394.9A CN112104186A (zh) | 2019-06-18 | 2019-06-18 | 具重力补偿之线性驱动装置的预载结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112104186A true CN112104186A (zh) | 2020-12-18 |
Family
ID=73749374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910527394.9A Pending CN112104186A (zh) | 2019-06-18 | 2019-06-18 | 具重力补偿之线性驱动装置的预载结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112104186A (zh) |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09242713A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-16 | Nichirin Tekkosho:Kk | リニアガイドを使用したガイド付きエアシリンダ |
JPH1047311A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-17 | Koganei Corp | 流体圧シリンダ |
US20040195211A1 (en) * | 2002-08-12 | 2004-10-07 | Yung-Tsai Chuo | Double-axis double-speed linear motor mechanism |
CN101482159A (zh) * | 2009-01-19 | 2009-07-15 | 湖南大学 | 一种重力平衡装置 |
CN101823360A (zh) * | 2010-02-26 | 2010-09-08 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 电池片印刷机印刷压力控制装置 |
CN102486215A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 上海微电子装备有限公司 | 一种重力补偿装置 |
US20130180804A1 (en) * | 2011-06-02 | 2013-07-18 | Panasonic Corporation | Gravity compensation device and lift apparatus including the same |
CN103440794A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-12-11 | 燕山大学 | 一种六自由度混联重力补偿机构 |
CN205423393U (zh) * | 2015-09-29 | 2016-08-03 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种采用无摩擦汽缸的重力平衡装置 |
CN106416026A (zh) * | 2014-05-27 | 2017-02-15 | 株式会社国际电气通信基础技术研究所 | 致动器装置、仿人机器人以及动力辅助装置 |
CN106394094A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-02-15 | 百能数控设备(福建)有限公司 | 一种大版玻璃雕刻机 |
CN106763484A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种高速大行程重力补偿机构 |
US20170317561A1 (en) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | Honeywell International Inc. | Linear actuator with position indicator |
CN107322318A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-11-07 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种防卡死的z轴平衡装置 |
CN107491094A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-12-19 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种实时精密平衡z轴重量的方法 |
CN107584792A (zh) * | 2017-10-26 | 2018-01-16 | 西安电子科技大学 | 一种直线驱动高速压力机 |
US20180091030A1 (en) * | 2016-09-27 | 2018-03-29 | Nti Ag | Rotary lifting device |
-
2019
- 2019-06-18 CN CN201910527394.9A patent/CN112104186A/zh active Pending
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09242713A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-16 | Nichirin Tekkosho:Kk | リニアガイドを使用したガイド付きエアシリンダ |
JPH1047311A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-17 | Koganei Corp | 流体圧シリンダ |
US20040195211A1 (en) * | 2002-08-12 | 2004-10-07 | Yung-Tsai Chuo | Double-axis double-speed linear motor mechanism |
CN101482159A (zh) * | 2009-01-19 | 2009-07-15 | 湖南大学 | 一种重力平衡装置 |
CN101823360A (zh) * | 2010-02-26 | 2010-09-08 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 电池片印刷机印刷压力控制装置 |
CN102486215A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 上海微电子装备有限公司 | 一种重力补偿装置 |
US20130180804A1 (en) * | 2011-06-02 | 2013-07-18 | Panasonic Corporation | Gravity compensation device and lift apparatus including the same |
CN103440794A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-12-11 | 燕山大学 | 一种六自由度混联重力补偿机构 |
US20170198728A1 (en) * | 2014-05-27 | 2017-07-13 | Advanced Telecommunications Research Institute International | Actuator device, humanoid robot and power assist device |
CN106416026A (zh) * | 2014-05-27 | 2017-02-15 | 株式会社国际电气通信基础技术研究所 | 致动器装置、仿人机器人以及动力辅助装置 |
CN205423393U (zh) * | 2015-09-29 | 2016-08-03 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种采用无摩擦汽缸的重力平衡装置 |
US20170317561A1 (en) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | Honeywell International Inc. | Linear actuator with position indicator |
US20180091030A1 (en) * | 2016-09-27 | 2018-03-29 | Nti Ag | Rotary lifting device |
CN106394094A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-02-15 | 百能数控设备(福建)有限公司 | 一种大版玻璃雕刻机 |
CN106763484A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种高速大行程重力补偿机构 |
CN107322318A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-11-07 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种防卡死的z轴平衡装置 |
CN107491094A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-12-19 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种实时精密平衡z轴重量的方法 |
CN107584792A (zh) * | 2017-10-26 | 2018-01-16 | 西安电子科技大学 | 一种直线驱动高速压力机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5050238B2 (ja) | ダイクッション制御装置及びダイクッション制御方法 | |
US10072677B2 (en) | Actuator device and method for setting a position of a linearly movable element | |
US4779513A (en) | Pneumatic cylinder with rod braking and decelerating mechanism | |
CN103148047A (zh) | 一种内反馈数字伺服液压缸 | |
CN103362901A (zh) | 用于操控可流体运行的工作系统的方法以及工作系统 | |
US9109676B2 (en) | Adjusting drive | |
US20100059242A1 (en) | Percussion device | |
CN103615436A (zh) | 钢管校直机数控电液比例系统 | |
JP5673483B2 (ja) | 射出装置 | |
CN1238643C (zh) | 带有紧急情况操作器的导向控制电磁阀 | |
CN112104186A (zh) | 具重力补偿之线性驱动装置的预载结构 | |
CN110701370A (zh) | 电动驱动式流量控制阀 | |
CN106050760B (zh) | 四活塞气水增压缸 | |
CN109483928A (zh) | 一种多工位高速成型液压机 | |
CN104395018B (zh) | 注射装置 | |
CN102562702A (zh) | 一种电动液压阀 | |
CN103047209B (zh) | 行程比例控制阀和行程比例控制装置 | |
TWI702345B (zh) | 具重力補償之線性驅動裝置的預載結構 | |
CN110745044B (zh) | 一种调节阻尼力和高度的装置、座椅和车辆悬架系统 | |
US3479924A (en) | Piston type operator with power checking | |
CN103775411B (zh) | 一种基于速度差动压反馈液控先导级的伺服阀 | |
JP3223132U (ja) | 重力補償付きリニア駆動装置のプレローディング構造 | |
CN102734251A (zh) | 线性致动器 | |
CN100406750C (zh) | 一种压电陶瓷伺服阀 | |
CN209649526U (zh) | 一种多工位高速成型液压机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20201218 |