CN112080727B - 一种旋转靶材的绑定方法 - Google Patents
一种旋转靶材的绑定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112080727B CN112080727B CN202010952561.7A CN202010952561A CN112080727B CN 112080727 B CN112080727 B CN 112080727B CN 202010952561 A CN202010952561 A CN 202010952561A CN 112080727 B CN112080727 B CN 112080727B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- target
- indium
- binding
- target cylinder
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K31/00—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups
- B23K31/02—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups relating to soldering or welding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明是一种旋转靶材的绑定方法,所述绑定方法包括背管外表面金属化、靶筒内壁金属化、组装、灌铟绑定,所述靶筒是圆柱状,其内径与所述背管外径相配,与现有技术不同之处在于,间隙内包裹有胶片,同时胶片的底部有弹簧状的折叠,当进行铟的灌注时,将该胶片缓缓抽出,带出氧化物和气泡,以实现提高绑定率的作用,提高效率,节约绑定的能源消耗。
Description
技术领域
本发明涉及一种靶材的制造方法,尤其是一种旋转靶材的绑定方法。
背景技术
靶材的绑定,是将靶材固定在导电背板上的一道关键工艺,绑定后的靶材才能作为成品使用。背板既可以提高靶材的强度,也用于导电。对于平板靶材的绑定,技术已经比较成熟,将靶材和背板相对那一面,用铟进行金属化,再用铟将二者焊接,完成绑定。
平板靶材的绑定,因为其正对面开放,便于操作,也便于清理,因此绑定率较高,比较容易控制。而与之相对的,旋转靶材是圆柱状,套在背管外,两者之间的缝隙不大,在缝隙中灌注铟,比较困难,易造成空隙,绑定率不够稳定。
另一个方面,液态的铟在流动中,容易产生氧化物,这些氧化物夹在铟层中,会造成电阻升高,使用时,容易出现局部过热等问题。也会影响两者之间的结合以及绑定率。而在旋转靶材的绑定中,很难清理缝隙中的氧化物。
发明内容
本发明为了解决上述技术问题,提供一种旋转靶材的绑定方法,以达到较高的绑定率,解决氧化物残留的问题。
本发明的技术方案是:一种旋转靶材的绑定方法,所述绑定方法包括背管外表面金属化、靶筒内壁金属化、组装、灌铟绑定,所述靶筒是圆柱状,其内径与所述背管外径相配,所述背管外表面与靶筒内壁存有间隙。
其中,所述组装的具体步骤为:
(1)背管插入在底部保护套上,将背管外表面包裹耐高温胶片,所述胶片底部进行弹簧状折叠;
(2)将内壁已经金属化的若干节靶筒,逐节从背管上端套入背管,包裹的胶片衬在所述间隙中并能上下移动,所述若干节靶筒之间用耐高温胶片进行间隔;
其中,所述灌铟绑定的具体步骤为:
(1)将组装好的靶筒、背管和底部保护套,转移至绑定炉内,绑定炉加热到165-175℃,将熔化的铟灌入所述间隙内,震动;
(2)将背管外表面包裹的胶片向上拉出,同时补充液态铟,直至所述间隙内充满液态铟;
(3)降温,待铟凝固后,将产品移出绑定炉,去除外部附着物,清洁表面,得到最终产品。
优选的,所述间隙为1.0-1.2mm,所述耐高温胶片的厚度0.3-0.35mm。
优选的,所述组装步骤中第(2)步完成后,将靶筒外侧先用耐高温胶片包裹,再用耐高温泥涂布密封,用金属环锁紧。
优选的,所述若干节靶筒之间的间隔0.35-0.4mm。
优选的,所述背管外表面金属化的步骤是:
(1)将加热管穿入背管内,水平放置于操作台上,端部用耐高温胶带密封,将背管温度加热至100-120℃;
(2) 铟加热到165-175℃变成液体后,涂布在背管表面,用弧型超声波枪头在表面移动,进行超声波注入,铟层厚度为0.1-0.2mm。
优选的,所述靶筒内壁金属化的步骤是:
(1)在靶筒外表面及两侧端面贴透明高温胶带后,放入管式加热炉内,炉温度设定175-185℃;
(2) 铟加热到165-175℃变成液体后,涂布在靶筒内壁,用弧型超声波枪头在内壁移动,进行超声波注入,铟层厚度为0.1-0.2mm。
优选的,所述耐高温胶片和耐高温胶带是耐高温PET材质,耐温为大于230℃。
优选的,所述背管是钛或不锈钢。
优选的,所述旋转靶材是ITO、AZO、IZO、IGZO、Mo、MoNb、Si任何之一。
优选的,单节靶筒长度在200-1500mm范围,旋转靶材总长大于等于4m,绑定率为99%以上。
有益效果:胶片底部折叠成弹簧状,底部可以充满整个缝隙,折叠的目的,在抽出胶片时,可以起到轻微的搅动液态铟的作用,液态铟中一些气泡可以排出,同时,因为氧化铟的密度和表面张力和液态铟明显不同,氧化物更趋向于停留在界面上,而穿过铟层的折叠胶片上会吸附氧化物,从而可以把缝隙的氧化铟全部带出。排出气泡以及
带出氧化物,都对提高绑定率起到了作用,同时对提高绑定的均匀性也有较好的作用。同时胶片还可以起到调节各节筒靶之间的间隙的作用,结合高温泥还可以起到封闭缝隙,起到防止铟流出缝隙的作用。使用本发明的方法,可以在提高提高效率,节约绑定的能源消耗,同时该旋转靶材在实际使用时,也可以提高成品率,降低能源消耗,是应对当前节能环保领域的重要手段之一。
附图说明
图1是本发明方法实施例的示意图。
其中,1是靶筒,2是背管,3是间隙,4是底部保护套,5是耐高温胶片,6是耐高温泥,7是金属环。
具体实施方案
下面结合具体实施例对本发明的技术方案做进一步的说明。
一种旋转靶材的绑定方法,所述绑定方法包括背管外表面金属化、靶筒内壁金属化、组装、灌铟绑定,所述靶筒1是圆柱状,其内径与所述背管2外径相配,所述背管2外表面与靶筒1内壁存有间隙3。
所述背管外表面金属化的步骤是:
(1)将加热管穿入背管2内,水平放置于操作台上,端部用耐高温胶带密封,将背管2温度加热至100-120℃;
(2) 铟加热到165-175℃变成液体后,涂布在背管2表面,用弧型超声波枪头在表面移动,进行超声波注入,铟层厚度为0.1-0.2mm。
所述靶筒内壁金属化的步骤是:
(1)在靶筒1外表面及两侧端面贴透明高温胶带后,放入管式加热炉内,炉温度设定175-185℃;
(2) 铟加热到165-175℃变成液体后,涂布在靶筒1内壁,用弧型超声波枪头在内壁移动,进行超声波注入,铟层厚度为0.1-0.2mm。
所述组装的具体步骤为:
(1)背管2插入在底部保护套4上,将背管2外表面包裹耐高温胶片5,胶片底部进行弹簧状折叠;
(2)将内壁已经金属化的若干节靶筒1,逐节从背管2上端套入背管2,包裹的耐高温胶片5衬在所述间隙3中并能上下移动,所述若干节靶筒1之间用独立的耐高温胶片进行间隔,所述若干节靶筒1之间的间隔0.35-0.4mm。
(3)将靶筒1外侧先用耐高温胶片包裹,再用耐高温泥6涂布密封,用金属环7锁紧。
所述灌铟绑定的具体步骤为:
(1)将组装好的靶筒1、背管2和底部保护套4,转移至绑定炉内,绑定炉加热到165-175℃,将熔化的铟灌入所述间隙内,震动;
(2)将背管外表面包裹的胶片5向上拉出,同时补充液态铟,直至所述间隙3内充满液态铟;
(3)降温,待铟凝固后,将产品移出绑定炉,去除外部附着物,清洁表面,得到最终产品。
对靶筒内壁和背管外壁的进行金属化的操作时,弧型超声波枪头枪头是不一样的,背管外侧的顺着内弧的,而靶筒的是顺着外弧的,操作方法时,将熔化的铟加到表面,马上超声,边加边超声,但其操作的原理是一样的。
所述间隙为1.0-1.2mm,这样的间隙,结合超声波注入的铟层厚度为0.1-0.2mm,可以较好的保证结合力,同时也可以尽量的节省铟的使用。所述耐高温胶片的厚度0.3-0.35mm,胶片的厚度不宜太厚,其韧性不好,也不利于操作,因此选用上述厚度的胶片作为包裹物是合适的,但是为了更好的清除氧化物以及达到搅动排除气泡的作用,对其底部进行折叠。这样可以巧妙的达到技术效果,而不会增加太多的成本,也不需要十分复杂的机构。
胶片底部折叠成弹簧状,底部可以充满整个缝隙,折叠的目的,在抽出胶片时,可以起到轻微的搅动液态铟的作用,液态铟中一些气泡可以排出,同时,因为氧化铟的密度和表面张力和液态铟明显不同,氧化物更趋向于停留在界面上,而穿过铟层的折叠胶片上会吸附氧化物,从而可以把缝隙的氧化铟全部带出。排出气泡以及带出氧化物,都对提高绑定率起到了作用,同时对提高绑定的均匀性也有较好的作用。
每节靶筒之间有间隔,考虑到热胀冷缩,间隙在0.35-0.4mm比较合适。但是有了缝隙之后,在灌铟液体时,铟会从间隙中流出,在外表面包裹胶片,并涂布高温泥,以及锁紧固定,都是为了防止铟从间隙中流出。
其中,所述耐高温胶片和耐高温胶带是耐高温PET材质,耐温为大于230℃。具有较好的适用性。
所述背管是钛或不锈钢。所述旋转靶材是ITO、AZO、IZO、IGZO、Mo、MoNb、Si任何之一。
在应用时,单节靶筒长度在200-1500mm范围,旋转靶材总长大于等于4m,这样条件下,绑定率为99%以上,使用时没有过热现象。
对比例1
与前述实施例不同之处在于,不在间隙内包裹耐高温胶片,也没有将胶片缓缓拉出的步骤,其它一致。经过测定绑定率在95%左右。经过脱绑分析,间隙内残留空气、氧化物。空隙不导电,不导热,使用时影响传导,影响靶材的使用时的功率,局部放电过大,容易开裂。
对比例2
与前述实施例和对比例1不同之处在于,间隙内包裹高温胶片,但是底部不进行弹簧状折叠,操作时,将胶片缓缓拉出,其它一致。
经过测定绑定率在97%左右。搅动不充分,去除氧化物不充分,绑定率不高。
上述实施例是本发明的一种较佳的实施方式,对其进行等效替换仍然落入本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种旋转靶材的绑定方法,所述绑定方法包括背管外表面金属化、靶筒内壁金属化、组装、灌铟绑定,所述靶筒是圆柱状,其内径与所述背管外径相配,其特征在于,所述背管外表面与靶筒内壁存有间隙,其中,所述组装的具体步骤为:
(1)背管插入在底部保护套上,将背管外表面包裹耐高温胶片,胶片底部进行弹簧状折叠;
(2)将内壁已经金属化的若干节靶筒,逐节从背管上端套入背管,包裹的胶片衬在所述间隙中并能上下移动,所述若干节靶筒之间用耐高温胶片进行间隔;
其中,所述灌铟绑定的具体步骤为:
(1)将组装好的靶筒、背管和底部保护套,转移至绑定炉内,绑定炉加热到165-175℃,将熔化的铟灌入所述间隙内,震动;
(2)将背管外表面包裹的胶片向上拉出,同时补充液态铟,直至所述间隙内充满液态铟;
(3)降温,待铟凝固后,将产品移出绑定炉,去除外部附着物,清洁表面,得到最终产品。
2.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述间隙为1.0-1.2mm,所述耐高温胶片的厚度0.3-0.35mm。
3.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述组装步骤中第(2)步完成后,将靶筒外侧先用耐高温胶片包裹,再用耐高温泥涂布密封,用金属环锁紧。
4.根据权利要求1或3所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述若干节靶筒之间的间隔0.35-0.4mm。
5.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述背管外表面金属化的步骤是:
(1)将加热管穿入背管内,水平放置于操作台上,端部用耐高温胶带密封,将背管温度加热至100-120℃;
(2) 铟加热到165-175℃变成液体后,涂布在背管表面,用弧型超声波枪头在表面移动,进行超声波注入,铟层厚度为0.1-0.2mm。
6.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述靶筒内壁金属化的步骤是:
(1)在靶筒外表面及两侧端面贴透明高温胶带后,放入管式加热炉内,炉温度设定175-185℃;
(2) 铟加热到165-175℃变成液体后,涂布在靶筒内壁,用弧型超声波枪头在内壁移动,进行超声波注入,铟层厚度为0.1-0.2mm。
7.根据权利要求4所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述耐高温胶片和耐高温胶带是耐高温PET材质,耐温为大于230℃。
8.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述背管是钛或不锈钢。
9.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,所述旋转靶材是ITO、AZO、IZO、IGZO、Mo、MoNb、Si任何之一。
10.根据权利要求1所述旋转靶材的绑定方法,其特征在于,单节靶筒长度在200-1500mm范围,旋转靶材总长大于等于4m,绑定率为99%以上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010952561.7A CN112080727B (zh) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 一种旋转靶材的绑定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010952561.7A CN112080727B (zh) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 一种旋转靶材的绑定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112080727A CN112080727A (zh) | 2020-12-15 |
CN112080727B true CN112080727B (zh) | 2021-04-23 |
Family
ID=73737456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010952561.7A Active CN112080727B (zh) | 2020-09-11 | 2020-09-11 | 一种旋转靶材的绑定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112080727B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112831764B (zh) * | 2020-12-30 | 2023-04-28 | 湖南柯盛新材料有限公司 | 一种离心绑定ito旋转靶材的方法 |
CN112725753B (zh) * | 2020-12-30 | 2023-02-24 | 湖南柯盛新材料有限公司 | 一种一次离心绑定多节ito旋转靶材的方法 |
CN113352215A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-09-07 | 芜湖映日科技股份有限公司 | 一种ito旋转靶材的处理方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105228803A (zh) * | 2013-05-20 | 2016-01-06 | 株式会社普利司通 | 轮胎成型用模具的制造方法及轮胎成型用模具 |
JP2019019375A (ja) * | 2017-07-18 | 2019-02-07 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲットの製造方法 |
CN109518147A (zh) * | 2018-12-08 | 2019-03-26 | 东曹(上海)电子材料有限公司 | 一种旋转靶的生产方法 |
CN110747438A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-02-04 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110089030A1 (en) * | 2009-10-20 | 2011-04-21 | Miasole | CIG sputtering target and methods of making and using thereof |
-
2020
- 2020-09-11 CN CN202010952561.7A patent/CN112080727B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105228803A (zh) * | 2013-05-20 | 2016-01-06 | 株式会社普利司通 | 轮胎成型用模具的制造方法及轮胎成型用模具 |
JP2019019375A (ja) * | 2017-07-18 | 2019-02-07 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲットの製造方法 |
CN109518147A (zh) * | 2018-12-08 | 2019-03-26 | 东曹(上海)电子材料有限公司 | 一种旋转靶的生产方法 |
CN110747438A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-02-04 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112080727A (zh) | 2020-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN112080727B (zh) | 一种旋转靶材的绑定方法 | |
TWI262957B (en) | Non-bonded rotatable targets for sputtering | |
CN108570652A (zh) | 一种可承受高功率溅射的旋转靶材及其制备方法 | |
WO2010051738A1 (zh) | 电磁加热陶瓷容器 | |
CN110218983A (zh) | 磁控溅射旋转靶材的绑定方法 | |
CN110747438B (zh) | 一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法 | |
CN112725753B (zh) | 一种一次离心绑定多节ito旋转靶材的方法 | |
CN107877874A (zh) | 一种散热型陶瓷蜂窝面板加热熔接装置 | |
JP5672066B2 (ja) | 円筒形ターゲットの製造方法 | |
CN201614405U (zh) | 一种旋转溅射靶 | |
US4577664A (en) | Conduit tube of an electrode device for electrically heating underground hydrocarbon resources | |
TW201204856A (en) | Non-continuous bonding of sputtering target to backing material | |
CN107390409A (zh) | 提高液晶屏热效率的方法及结构 | |
CN107525259A (zh) | 一种用于汽车水箱的厚膜加热装置 | |
CN214881800U (zh) | 具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置 | |
CN215668189U (zh) | 一种真空镀膜设备用预热机构 | |
CN210965736U (zh) | 模型制作用涂胶设备 | |
CN110684955B (zh) | 一种旋转靶材的垂直绑定结构以及绑定方法 | |
CN209443078U (zh) | 一种硅集成电路的铟层镀膜机构 | |
CN108130513B (zh) | 蒸镀装置及蒸镀方法 | |
CN110139413A (zh) | 内热式电磁换能器 | |
CN206746940U (zh) | 一种热熔胶喷枪 | |
CN113174579B (zh) | 除氧化物的旋转靶材绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置 | |
CN219072816U (zh) | 一种用于热熔胶生产的加热装置 | |
CN221086200U (zh) | 一种滚轮式胶水涂刷器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 241000 plant 1, south of Hengshan Road and west of Fengming Hubei Road, Wuhu area, China (Anhui) pilot Free Trade Zone, Wuhu City, Anhui Province Applicant after: Wuhu yingri Technology Co.,Ltd. Address before: 241000 south side of Hengshan Road, west side of Fengming Hubei Road, Wuhu Economic and Technological Development Zone, Anhui Province Applicant before: WUHU YINGRI TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
CB02 | Change of applicant information | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |