CN112038252A - 一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，涉及半导体技术领域，该信号模糊控制滤波器串接在晶圆检测装置的检测传感器和处理器之间获取原始传感器信号，同时旁路连接同步齿条采样时间同步信号，基于原始传感器信号和时间同步信号可以产生处理后信号，处理后信号从原始传感器信号的第一次有效信号沿开始输出单个标准宽度的第一次有效电平，然后输出与原始传感器信号同步的电平直至原始传感器信号的第二次有效信号沿时再次输出单个标准宽度的第二次有效电平，处理后信号相对于原始传感器信号进行了理想化有特征的归一滤波，可以有效滤除掉原始传感器信号中的杂波以及各种异常噪声，从而可以有效提高晶圆检测装置的检出性能。

Description

一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器。

背景技术

在半导体加工过程中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送之前需要先对晶圆盒内的各个槽的晶圆的放置状态进行检测，目前半导体加工领域通常使用晶圆位置检测装置来实现这一功能。

目前的晶圆检测装置主要包括检测传感器(Mapping传感器)、同步齿条以及处理器，其中检测传感器可以使用单对射式传感器、双对射式传感器、单点反射式传感器、多点成像式传感器等等，但晶圆检测装置的检测大致原理基本都是：同步齿条向处理器提供时间同步信号(Trig信号)，该时间同步信号表示槽齿空间与时间同步尺的对应，在检测开始时，检测传感器划过同步齿条并依次从晶圆盒的第一个槽运动至最后一个槽，同时在运动过程中向处理器发送/采集相应的传感器信号(Fs信号)。常见的晶圆盒的槽内的晶圆放置状态主要有空置无晶圆、槽内正常放置一片晶圆、槽内重叠放置多片晶圆以及晶圆在槽间交叉放置四类。如图1中晶圆盒的槽1展示了空置无晶圆的示意图、槽2展示了槽内正常放置一片晶圆的示意图、槽3展示了槽内重叠放置多片晶圆的示意图、晶圆在槽4和槽5间交叉放置的示意图。晶圆盒的槽内的晶圆放置状态不同时，获取到的信号也不同，以Trig信号为三齿情况为例，晶圆盒内的每一层的槽对应Trig信号和Fs信号的每一帧，获取到的Trig信号和Fs信号的示意图请参考图2，Trig信号高电平有效，Fs信号低电平有效，槽内正常放置一片晶圆时，对应帧的Fs信号是一个相对Trig信号居中的低电平方波，异常情况时则对应有空波、宽波、窄波、多脉冲杂波、超前、落后、跨帧等情况，基于预先确定好的时间同步信号来判定检测传感器输出的传感器信号(Fs信号)的归属于哪一类晶圆放置状态对应的特征。

晶圆检测装置若误识别则会带来后续撞片、碎片、漏检等后果，因此要求晶圆检测装置在各种情形下都要能快速准确识别。检测传感器提供的传感器信号是否准确会很大程度上影响晶圆检测装置的识别结果，因此现有的晶圆检测装置为了保证识别性能，对检测传感器的类别、型号和安装都有非常高的要求，即便如此，由于实际使用场景复杂又严苛，所以检测传感器采样到的传感器信号仍然会受到很多因素的影响，比如4/6/8/12不同尺寸料盒和晶圆规格各异会产生影响，晶圆标记Flat平边或Notch缺口在任意位置影响，料盒标准性、晶圆厚薄、材质、边沿倒角不同会产生影响，环境光干扰、装置振动、料盒及载台放置偏差、不同检测装置等会产生影响。各种情形下，检测传感器采样输出的传感器信号会有各种分布情形：变宽、变窄、多脉冲杂波、超前、落后、跨帧等等，给晶圆检测装置的调校以及快速准确识别带来了巨大的挑战，而且容易导致出现识别错误，影响生产效率。

发明内容

本发明人针对上述问题及技术需求，提出了一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，本发明的技术方案如下：

一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，晶圆检测装置包括检测传感器、同步齿条以及处理器，同步齿条连接处理器并提供时间同步信号，该信号模糊控制滤波器的输入端连接晶圆检测装置的检测传感器、输出端连接处理器，信号模糊控制滤波器还采样时间同步信号，信号模糊控制滤波器执行的方法包括：

实时获取检测传感器采集到的原始传感器信号并采样时间同步信号，时间同步信号和原始传感器信号分别包括若干帧，时间同步信号的每一帧分别对应晶圆盒的一个晶圆槽，每一帧的时间同步信号包括若干个波齿且相邻两帧时间同步信号之间包括帧间隔；

基于时间同步信号监测原始传感器信号在当前帧内的电平变化，并在监测到原始传感器信号的第一次有效信号沿时，控制输出给处理器的处理后信号切换至输出单个标准宽度的第一次有效电平；

在控制输出单个标准宽度的第一次有效电平的处理后信号后控制处理后信号输出与原始传感器信号同步的电平，并在监测到原始传感器信号的第二次有效信号沿时控制处理后信号切换至输出单个标准宽度的第二次有效电平，并在输出第二次有效电平后持续输出无效电平直至获取到下一帧原始传感器信号时再次执行基于时间同步信号监测原始传感器信号在当前帧内的电平变化的步骤。

其进一步的技术方案为，标准宽度基于时间同步信号确定，每一帧对应的标准宽度相同或不同。

其进一步的技术方案为，该方法还包括：

根据时间同步信号确定每一帧对应的基础宽度；

确定微调宽度，并对基础宽度增大或减小微调宽度得到每一帧对应的标准宽度。

其进一步的技术方案为，根据时间同步信号确定基础宽度，包括：

对于第一帧时间同步信号，根据第一帧的时间同步信号确定第一帧对应的基础宽度；

对于其他各帧时间同步信号，根据当前帧的最近前一帧的时间同步信号确定当前帧对应的基础宽度。

其进一步的技术方案为，根据第一帧的时间同步信号确定第一帧对应的基础宽度，包括：

确定第一帧的时间同步信号的第一个波齿的宽度采样时间值为基础宽度。

其进一步的技术方案为，该方法还包括：

若在控制处理后信号输出第二次有效电平且未达到标准宽度期间监测到当前帧的时间同步信号的最后一个波齿结束，则直接控制处理后信号切换至无效电平。

其进一步的技术方案为，该方法还包括：

若在控制处理后信号输出第一次有效电平且未达到标准宽度期间监测到当前帧的时间同步信号的最后一个波齿结束，则继续输出有效电平直至达到标准宽度后持续输出无效电平直至获取到下一帧原始传感器信号时再次执行基于时间同步信号监测原始传感器信号在当前帧内的电平变化的步骤，否则执行在控制输出单个标准宽度的第一次有效电平的处理后信号后控制处理后信号输出与原始传感器信号同步的电平的步骤。

其进一步的技术方案为，该方法还包括：

若监测到处理后信号的第一次有效电平的开始时刻对应相邻两帧时间同步信号之间的帧间隔，则控制处理后信号从当前时刻开始输出有效电平直至达到标准宽度后持续输出无效电平直至下一帧，否则执行在控制输出单个标准宽度的有效电平的处理后信号后控制处理后信号输出与原始传感器信号同步的电平的步骤。

本发明的有益技术效果是：

本申请公开了一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，该信号模糊控制滤波器串接在晶圆检测装置的检测传感器和处理器之间获取原始传感器信号，同时旁路连接同步齿条采样时间同步信号，基于原始传感器信号和时间同步信号可以产生处理后信号，处理后信号相对于原始传感器信号进行了理想化有特征的归一滤波，可以有效滤除掉原始传感器信号中的杂波以及各种异常噪声，使得输出给处理器进行晶圆状态检测的处理后信号模糊智能、抗噪、有宽容度，从而可以有效提高晶圆检测装置的检出性能。

附图说明

图1是晶圆盒内各种晶圆放置状态的示意图。

图2是晶圆位置检测装置在检测时所需要获取的Trig信号的Fs信号的示意波形。

图3是本申请的信号模糊控制滤波器与晶圆检测装置的连接示意图。

图4是本申请的信号模糊控制滤波器的一个实例中的滤波示意图。

图5是本申请的信号模糊控制滤波器的另一个实例中的滤波示意图。

图6是本申请的信号模糊控制滤波器的另一个实例中的滤波示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步说明。

本申请公开了一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其中晶圆检测装置包括检测传感器、同步齿条以及处理器，同步齿条连接处理器并提供时间同步信号，该信号模糊控制滤波器的输入端连接晶圆检测装置的检测传感器、输出端连接处理器，信号模糊控制滤波器还采样时间同步信号，如图3所示，也即该信号模糊控制滤波器串接在晶圆检测装置的检测传感器和处理器之间，同时旁路连接同步齿条。

该信号模糊控制滤波器实时获取检测传感器采集到的原始传感器信号Fsin并采样时间同步信号Trig，如图4所示，时间同步信号Trig包括若干帧，时间同步信号Trig的每一帧分别对应晶圆盒的一个晶圆槽，每一帧的时间同步信号Trig包括若干个波齿，波齿的数量与同步齿条对应的单个槽位所设的齿数量对应，如图4以每一帧包括三个波齿为例，相邻两帧时间同步信号之间包括帧间隔Gt，帧间隔对应晶圆盒的槽间距。原始传感器信号Fsin也包括若干帧，每一帧的原始传感器信号Fsin与每一帧的时间同步信号Trig对应，常规晶圆检测装置在工作时，原始传感器信号Fsin直接输出给处理器，处理器基于时间同步信号Trig即可以根据原始传感器信号Fsin确定晶圆盒内各个晶圆槽的晶圆放置状态。晶圆检测装置在工作时要求至少要识别空置无晶圆、槽内正常放置一片晶圆、槽内重叠放置多片晶圆以及晶圆在槽间交叉放置四类晶圆放置状态，这就要求这四类晶圆放置状态对应的信号波形有较好的区分度，理想情况下，以原始传感器信号Fsin低电平有效为例，空置无晶圆对应的原始传感器信号Fsin为持续高电平、无低电平区间；槽内正常放置一片晶圆对应的原始传感器信号Fsin的低电平区间的宽度为预定宽度W0且低电平区间通常正对Trig信号当前帧的中间波齿；槽内重叠放置多片晶圆对应的原始传感器信号Fsin的低电平区间的宽度为两倍的预定宽度也即为2W0；晶圆在槽间交叉放置对应的原始传感器信号Fsin跨帧间隔、宽度不定。

但实际使用过程中，受检测环境以及各种误差的影响，原始传感器信号Fsin不会总出现上述理想波形，其低电平区间的宽度未必标准、也容易出现各类杂波，如图4所示，原始传感器信号Fsin实际由多个连续杂波构成准W0宽度的低电平区间，这种波形会导致处理器难以识别。因此本申请并不直接将原始传感器信号Fsin输出给处理器，然后先输入信号模糊控制滤波器，信号模糊控制滤波器基于原始传感器信号Fsin和时间同步信号Trig产生处理后信号Fsout，然后将处理后信号Fsout输出给处理器，由处理器基于时间同步信号Trig以及该处理后信号Fsout进行晶圆放置状态的判断。该信号模糊控制滤波器基于原始传感器信号Fsin和时间同步信号Trig产生处理后信号Fsout的方法为：

该信号模糊控制滤波器基于时间同步信号Trig监测原始传感器信号Fsin在当前帧内的电平变化，当原始传感器信号Fsin持续为无效电平时，控制处理后信号Fsout也持续输出无效电平。

当监测到原始传感器信号Fsin在当前帧内的第一次有效信号沿时，控制处理后信号Fsout从原始传感器信号Fsin的第一次有效信号沿开始切换至输出单个标准宽度W的第一次有效电平，在此期间信号模糊控制滤波器屏蔽原始传感器信号Fsin，也即无论监测到原始传感器信号Fsin是高电平还是低电平，始终控制处理后信号Fsout持续输出有效电平直至宽度达到标准宽度W。如图4所示，本申请中时间同步信号Trig高电平有效，原始传感器信号Fsin和处理后信号Fsout均为低电平有效，也即从原始传感器信号Fsin的第一个下降沿开始的W宽度内，处理后信号Fsout恒定输出低电平。这一过程中，即便实际采集到的原始传感器信号Fsin信号的低电平未达到标准W宽度，和/或原始传感器信号Fsin如图4所示杂波较多，经过该信号模糊控制滤波器的滤波以后也会统一输出标准宽度W的有效电平，实现归一抽象滤波。

考虑到不同尺寸、材质、工艺，晶圆WAFER物理厚度会不同，而边缘工艺边倒角、传感器类型、角度方法等，也使WAFER测出厚度会不同，因此本申请中的单个标准宽度W是个相对变值，本申请中的单个标准宽度W根据时间同步信号确定，因此实际每一帧对应的标准宽度W相同或不同。本申请的做法是：根据时间同步信号确定每一帧对应的基础宽度△T，确定微调宽度

并对基础宽度△T增大或减小微调宽度

得到每一帧对应的标准宽度

微调宽度

与不同工作参数的晶圆检测装置匹配，晶圆检测装置的工作参数包括实物参数不同、检测速度不同等，从而可以利用不同的标准宽度W适应不同速度、不同实物下的原始传感器信号，其中微调宽度

由用户配置，因此该信号模糊控制滤波器接收配置参数确定该微调宽度

由时间同步信号所确定的基础宽度△T是标准宽度W的基础，本申请确定基础宽度△T的机制为：对于第一帧时间同步信号，根据第一帧内的时间同步信号确定第一帧对应的基础宽度。对于其他各帧时间同步信号，根据当前帧的最近前一帧的时间同步信号确定当前帧对应的基础宽度。而在确定每一帧对应的基础宽度时，具体确定时间同步信号的第一个波齿的宽度采样时间值为基础宽度，也即对于第一帧时间同步信号，将第一帧的时间同步信号的第一个波齿的宽度采样时间值作为第一帧对应的基础宽度，对于其他各帧时间同步信号，将当前帧的最近前一帧的时间同步信号的第一个波齿的宽度采样时间值作为当前帧对应的基础宽度。

该信号模糊控制滤波器在控制处理后信号Fsout输出宽度为标准宽度W的第一次有效电平后有Delay_Up判断，当处理后信号Fsout的第一次单个标准宽度W的有效电平结束时，若信号模糊控制滤波器检测到原始传感器信号Fsin仍为有效电平，对应于实际的情况，可能是存在叠片情况，也可能是一片厚度超过W的超厚晶圆，则该信号模糊控制滤波器保有其特征、不篡改，也即控制处理后信号Fsout继续输出有效电平直至原始传感器信号Fsin变为无效电平时、控制处理后信号Fsout也切换至无效电平，也即控制Fsout输出与Fsin同步的电平。这一Delay_Up措施可以保有Fsin特征，帮助识别Fsin稳定叠片，这种情况下，处理后信号Fsout输出的第一次有效电平的宽度大于标准宽度W。

当处理后信号Fsout的第一次有效电平结束时，继续监测原始传感器信号Fsin，处理后信号Fsout的第一次有效电平结束包含两种情况：(1)第一种情况是在处理后信号Fsout的第一次单个标准宽度W的有效电平结束时，信号模糊控制滤波器检测到原始传感器信号Fsin变为无效电平时，这时候处理后信号Fsout也切换为无效电平，此时处理后信号Fsout的第一次有效电平结束且第一次有效电平的宽度为标准宽度W。(2)第二种情况是上述Delay_Up机制中，处理后信号Fsout的第一次单个标准宽度W的有效电平结束时检测到原始传感器信号Fsin仍为有效电平、处理后信号Fsout持续输出有效电平直至Fsin变为无效电平时，此时理后信号Fsout变为无效电平、至此处理后信号Fsout的第一次有效电平结束且第一次有效电平的宽度大于标准宽度W。

不管是上述哪一种情况，当处理后信号Fsout的第一次有效电平结束时，若信号模糊控制滤波器监测到原始传感器信号Fsin的第二次有效信号沿时控制处理后信号Fsout切换至再次输出单个标准宽度W的有效电平，且同样的在此期间信号模糊控制滤波器继续屏蔽原始传感器信号Fsin，当处理后信号Fsout的第二次有效电平结束后，信号模糊控制滤波器不再对当前帧的原始传感器信号Fsin做处理、控制处理后信号Fsout持续输出无效电平，也即控制处理后信号Fsout每一帧最多输出两次固定宽度为标准宽度W的有效电平，然后等待下一帧原始传感器信号Fsin的到来继续执行上述重复过程。请参考图5所示的实例波形示意图，宽度为W的第一次有效电平结束时，原始传感器信号Fsin为高电平，此时处理后信号Fsout也变为高电平，继续检测到原始传感器信号Fsin的第二次下降沿时处理后信号Fsout再次输出宽度为W的第二次有效电平。

在上述信号处理的基础上，该信号模糊控制滤波器在产生处理后信号Fsout时会同步监测时间同步信号Trig的时点，并提供一些特殊机制：

信号模糊控制滤波器在控制处理后信号Fsout输出第二次有效电平期间有Double_Cut判断：如上所述，信号模糊控制滤波器在处理后信号Fsout的第一次有效电平结束后，若监测到原始传感器信号Fsin的第二次有效信号沿，则会控制处理后信号Fsout输出第二次有效电平，若在输出第二次有效电平未达到标准宽度W时监测到当前帧的时间同步信号Trig的最后一个波齿结束，则直接控制处理后信号Fsout切换至无效电平停止输出第二次有效电平，也即此时处理后信号Fsout的第二次有效电平未达到标准宽度W，这一机制可以防止出现第二次有效电平在当前帧的时间同步信号Trig的最后一个波齿结束还没输出完的情况，避免误处理为跨帧波形而与槽间交叉放置的波形混淆。

信号模糊控制滤波器在控制处理后信号Fsout输出第一次有效电平期间也有相应的处理机制：

(1)若在输出第一次有效电平未达到标准宽度W时监测到当前帧的时间同步信号Trig的最后一个波齿结束，这实际对应于晶圆跨设在当前帧和后一帧对应的晶圆槽之间的情况，此时继续输出有效电平直至达到标准宽度W后切换至持续输出无效电平直至原始传感器信号Fsin的下一帧到来，也即后续不再进行Delay_Up判断也不再进行第二次有效电平的输出，请参考如图6所示的示意图，这是因为此时的波形已经有明显的区分度，也即处理器基于时间同步信号Trig根据处理后信号Fsout的第一次有效电平已经可以检测出是晶圆在槽间交叉放置的状态，因此后续波形不再重要，可以不再处理。

(2)若监测到处理后信号Fsout的第一次有效电平的开始时刻对应相邻两帧时间同步信号Trig之间的帧间隔，这实际对应于晶圆跨设在当前帧和前一帧对应的晶圆槽之间的情况，则控制处理后信号Fsout从当前时刻开始输出宽度为标准宽度W的有效电平后切换至持续输出无效电平直至原始传感器信号Fsin的下一帧到来，也即后续不再进行Delay_Up判断也不再进行第二次有效电平的输出，与图6所示的滤波示意图类似本申请不再单独示意。同样的，这时的波形也已经有明显的区分度，也即处理器基于时间同步信号Trig根据处理后信号Fsout的第一次有效电平已经可以检测出是晶圆在槽间交叉放置的状态，因此后续波形不再重要，可以不再处理。

经过上述机制，信号模糊控制滤波器可以对原始传感器信号Fsin进行滤波处理产生处理后信号Fsout，由此处理后信号Fsout可以将原始传感器信号Fsin中的杂波影响滤除，同时具有模糊控制功能，也即可以将宽度参差不齐的原始传感器信号Fsin都归一到单个标准宽度或两个标准宽度的波形里，且产生的处理后信号Fsout对应不同的槽间交叉放置状态具有较好的区分度，便于处理器的处理识别。

本申请中的信号模糊控制滤波器基于单片机MA84G564实现，设计有7个中断，T2EX双沿中断触发监测Trig：T2计时采样ΔT、状态机-0-1-2-3-4-5-0；T3EX双沿中断触发：监测FSin始末沿；T3计时中断，输出FSout；T1：蜂鸣器；串口中断：UART0_RT，UART1_RT；另外还有看门狗。

以上所述的仅是本申请的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，所述晶圆检测装置包括检测传感器、同步齿条以及处理器，所述同步齿条连接所述处理器并提供时间同步信号，其特征在于，所述信号模糊控制滤波器的输入端连接所述晶圆检测装置的检测传感器、输出端连接所述处理器，所述信号模糊控制滤波器还采样所述时间同步信号，所述信号模糊控制滤波器执行的方法包括：

实时获取所述检测传感器采集到的原始传感器信号并采样所述时间同步信号，所述时间同步信号和原始传感器信号分别包括若干帧，时间同步信号的每一帧分别对应晶圆盒的一个晶圆槽，每一帧的时间同步信号包括若干个波齿且相邻两帧时间同步信号之间包括帧间隔；

基于所述时间同步信号监测所述原始传感器信号在当前帧内的电平变化，并在监测到所述原始传感器信号的第一次有效信号沿时，控制输出给所述处理器的处理后信号切换至输出单个标准宽度的第一次有效电平；

在控制输出单个标准宽度的第一次有效电平的处理后信号后控制所述处理后信号输出与所述原始传感器信号同步的电平，并在监测到所述原始传感器信号的第二次有效信号沿时控制所述处理后信号切换至输出单个标准宽度的第二次有效电平，并在输出第二次有效电平后持续输出无效电平直至获取到下一帧原始传感器信号时再次执行所述基于所述时间同步信号监测所述原始传感器信号在当前帧内的电平变化的步骤。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述标准宽度基于所述时间同步信号确定，每一帧对应的所述标准宽度相同或不同。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述方法还包括：

根据所述时间同步信号确定每一帧对应的基础宽度；

确定微调宽度，并对所述基础宽度增大或减小所述微调宽度得到每一帧对应的所述标准宽度。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述根据所述时间同步信号确定基础宽度，包括：

对于第一帧时间同步信号，根据第一帧的所述时间同步信号确定第一帧对应的基础宽度；

对于其他各帧时间同步信号，根据当前帧的最近前一帧的所述时间同步信号确定当前帧对应的基础宽度。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述根据第一帧的所述时间同步信号确定第一帧对应的基础宽度，包括：

确定第一帧的所述时间同步信号的第一个波齿的宽度采样时间值为所述基础宽度。

6.根据权利要求1-5任一所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述方法还包括：

若在控制所述处理后信号输出第二次有效电平且未达到所述标准宽度期间监测到当前帧的所述时间同步信号的最后一个波齿结束，则直接控制所述处理后信号切换至无效电平。

7.根据权利要求1-5任一所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述方法还包括：

若在控制所述处理后信号输出第一次有效电平且未达到所述标准宽度期间监测到当前帧的所述时间同步信号的最后一个波齿结束，则继续输出有效电平直至达到所述标准宽度后持续输出无效电平直至获取到下一帧原始传感器信号时再次执行所述基于所述时间同步信号监测所述原始传感器信号在当前帧内的电平变化的步骤，否则执行所述在控制输出单个标准宽度的第一次有效电平的处理后信号后控制所述处理后信号输出与所述原始传感器信号同步的电平的步骤。

8.根据权利要求1-5任一所述的晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于，所述方法还包括：

若监测到所述处理后信号的第一次有效电平的开始时刻对应相邻两帧时间同步信号之间的帧间隔，则控制所述处理后信号从当前时刻开始输出有效电平直至达到所述标准宽度后持续输出无效电平直至下一帧，否则执行所述在控制输出单个标准宽度的有效电平的处理后信号后控制所述处理后信号输出与所述原始传感器信号同步的电平的步骤。

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