CN112024500A - 清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种清洗装置，其包括基座和边缘清洗机构，其中，基座可旋转并用于承载待清洗件，且基座的外径小于待清洗件的直径，以使待清洗件的边缘部分能够自基座的外周面伸出；边缘清洗机构设置在基座的一侧，且包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，清洗结构包括一清洗腔，待清洗件的边缘部分容置于清洗腔中；边缘喷嘴结构包括喷嘴，喷嘴容置于清洗腔中，用以朝向待清洗件的边缘部分喷淋清洗液。本发明实施例提供的清洗装置，其不仅可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，而且可以防止清洗液溅射至待清洗件除边缘部分之外的其他部分，从而可以避免二次污染，提高产品良率。

Description

清洗装置

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体地，涉及一种清洗装置。

背景技术

在半导体器件的制造工艺中，薄膜沉积工艺很容易在待清洗件(例如晶圆)边缘产生缺陷，这是因为受到待清洗件边缘的接触角较大的影响，待清洗件边缘沉积的薄膜厚度往往会大于待清洗件中心沉积的薄膜厚度，而且随着沉积次数的逐渐增加，待清洗件边缘沉积的薄膜会越来越厚，过厚的薄膜在外力的作用下容易剥落，尤其是对于一些黏附性较差的薄膜，存在工艺过程中迁移到待清洗件表面的风险，为此，通过对待清洗件边缘进行清洗来提高芯片良率是未来集成电路制造中不可减少的重要环节。

目前还没有专门用于清洗待清洗件边缘的清洗装置，当需要清洗待清洗件边缘时，通常利用清洗待清洗件表面的清洗装置，将其喷淋摆臂摆动至待清洗件边缘的上方，并调整喷嘴的角度，以将清洗液喷淋至待清洗件的边缘，从而实现待清洗件边缘的清洗。

但是，目前的清洗装置因喷淋角度的限制对待清洗件边缘的清洗效果十分有限，无法彻底清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，而且由于待清洗件边缘具有一定的曲率，在待清洗件高速旋转的过程中，喷淋至待清洗件边缘的清洗液很容易产生飞溅，飞溅出的液体一旦落在待清洗件的其他区域，就会造成二次污染。

发明内容

本发明实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种清洗装置，其不仅可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，而且可以防止清洗液溅射至待清洗件除边缘部分之外的其他部分，从而可以避免二次污染，提高产品良率。

为实现上述目的，本发明实施例提供了一种清洗装置，用于对待清洗件进行清洗，包括基座和边缘清洗机构，其中，所述基座可旋转并用于承载待清洗件，且所述基座的外径小于所述待清洗件的直径，以使所述待清洗件的边缘部分能够自所述基座的外周面伸出；

所述边缘清洗机构设置在所述基座的一侧，且包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，所述清洗结构包括一清洗腔，所述待清洗件的所述边缘部分容置于所述清洗腔中；所述边缘喷嘴结构包括喷嘴，所述喷嘴容置于所述清洗腔中，用以朝向所述待清洗件的所述边缘部分喷淋清洗液。

可选的，所述喷嘴为雾化喷嘴，所述雾化喷嘴包括喷嘴本体和设置在所述喷嘴本体中的多个雾化喷孔，各个所述雾化喷孔的输入端均与用于供应所述清洗液的液体管路和用于供应增压气体的气体管路连接，各个所述雾化喷孔的输出端用于将包含微液滴的气体喷出，所述微液滴由流入所述雾化喷孔中的所述清洗液和所述增压气体相互作用而成。

可选的，所述喷嘴本体包括出口端面，多个所述雾化喷孔的输出端均匀分布在所述出口端面上。

可选的，所述边缘喷嘴结构还包括角度调节机构，所述角度调节机构与所述喷嘴连接，用以调节所述喷嘴的喷液角度。

可选的，所述清洗结构包括第一防溅壁和位于所述第一防溅壁下方的第二防溅壁，其中，所述第一防溅壁包括用于与所述待清洗件的所述边缘部分的上表面相接触的第一接触面；所述第二防溅壁包括用于与所述待清洗件的边缘部分的下表面相接触的第二接触面；

在所述第一接触面和第二接触面分别与所述待清洗件的所述边缘部分的上表面和下表面相接触时，所述第一防溅壁和第二防溅壁对接形成封闭的所述清洗腔。

可选的，所述第一防溅壁的内表面为朝远离所述待清洗件的上表面的方向凹进的圆弧凹面，且在所述第一防溅壁的内表面上形成有防水层，所述防水层用于防止溅射至所述第一防溅壁的内表面上的清洗液附着在所述第一防溅壁的内表面上。

可选的，在所述第二防溅壁的内表面上形成有用于回收所述清洗液的回收槽，且在所述第二防溅壁中设置有排液通道，用以排出所述清洗液。

可选的，在所述第一接触面和第二接触面上均设置有能够浸透液体的柔性衬垫，用以分别接触所述待清洗件的边缘部分的上表面和下表面。

可选的，所述边缘清洗机构还包括竖直设置的第一喷嘴摆臂和第一旋转驱动机构，其中，所述第一喷嘴摆臂分别与所述清洗结构和所述第一旋转驱动机构连接；

所述第一旋转驱动机构用于驱动所述第一喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动，以带动所述清洗结构摆动至使所述清洗腔能够容置所述待清洗件的边缘部分的位置处，或者带动所述清洗结构摆动至与所述待清洗件完全分离的位置处。

可选的，所述清洗装置还包括上喷嘴结构、气体喷嘴结构、竖直设置在所述基座的一侧的第二喷嘴摆臂、第三喷嘴摆臂、第二旋转驱动机构和第三旋转驱动机构，其中，

所述上喷嘴结构用于朝向所述待清洗件的上表面喷淋纯水；

所述气体喷嘴结构用于朝向所述待清洗件的上表面喷淋干燥气体；

所述第二喷嘴摆臂分别与所述上喷嘴结构和所述第二旋转驱动机构连接；

所述第三喷嘴摆臂分别与所述气体喷嘴结构和所述第三旋转驱动机构连接；

所述第二旋转驱动机构用于驱动所述第二喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动，以带动所述上喷嘴结构摆动至所述待清洗件的上方，或者带动所述上喷嘴结构摆动至所述待清洗件的外侧；

所述第三旋转驱动机构用于驱动所述第三喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动，以带动所述气体喷嘴结构摆动至所述待清洗件的上方，或者带动所述气体喷嘴结构摆动至所述待清洗件的外侧。

本发明实施例的有益效果：

本发明实施例提供的清洗装置，其边缘清洗机构包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，该边缘喷嘴结构能够自基座的一侧朝向待清洗件的边缘部分喷淋清洗液，不会受到喷淋角度的限制，从而可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，改善了待清洗件边缘的清洗效果。同时，通过借助清洗结构，其清洗腔用于容置边缘喷嘴结构的喷嘴和待清洗件的边缘部分，可以阻挡飞溅出来的清洗液溅射至待清洗件除边缘部分之外的其他部分，从而可以避免二次污染，提高产品良率。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的清洗装置的结构图；

图2为本发明第一实施例采用的雾化喷孔的分布图；

图3为本发明第二实施例提供的清洗装置的结构图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例提供的清洗装置进行详细描述。

第一实施例

请参阅图1，本实施例提供一种清洗装置，其包括基座1和边缘清洗机构，其中，基座1可旋转并用于承载待清洗件2，且该基座1的外径小于待清洗件2的直径，以使待清洗件2的边缘部分2a能够自基座1的外周面伸出，以便于能够对该边缘部分2a进行清洗。上述待清洗件2例如为晶圆。

在本实施例中，清洗装置还包括旋转电机3，其用于驱动基座1旋转。并且，基座1中还可以设置真空吸附装置(图中未示出)，用于采用真空吸附的方式将置于其上的待清洗件2固定在基座1上。具体来说，真空吸附装置包括设置在基座1中的多个通孔，该通孔的一端位于基座1的承载面上，另一端与真空泵连接，真空泵通过各个通孔对待清洗件2与基座1之间的间隙进行抽真空，从而将待清洗件吸附固定在基座1的承载面上。当然，在实际应用中，还可以采用其他任意方式将待清洗件2固定在基座1上，例如采用机械结构对待清洗件2进行夹持固定。

边缘清洗机构设置在基座1的一侧，即，位于基座1的外周壁的外侧，且包括清洗结构5和边缘喷嘴结构，其中，清洗结构5包括一清洗腔53，待清洗件2的边缘部分2a容置于该清洗腔53中；边缘喷嘴结构包括喷嘴4，该喷嘴4容置于该清洗腔53中，用以朝向待清洗件2的边缘部分2a喷淋清洗液。具体来说，如图1所示，清洗结构5位于基座1的左侧，喷嘴4自左向右朝向待清洗件2的边缘部分2a喷淋清洗液。这与现有的自上而下的喷淋方式相比，不会受到喷淋角度的限制，尤其对于边缘部分2a的侧面和下表面，均在喷嘴4的喷淋范围内，从而可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，改善了待清洗件边缘的清洗效果。而且，借助上述清洗腔53，可以防止清洗液溅射至待清洗件2除边缘部分2a之外的其他部分，例如待清洗件2的上表面或者下表面。这样，可以避免二次污染，提高产品良率。

为了进一步改善清洗效果，以达到彻底清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物的目的，喷嘴4采用雾化喷嘴，该雾化喷嘴用于将清洗液进行雾化后喷淋至待清洗件2的边缘部分2a。雾化喷嘴的工作原理是通过增压气体(即，高压气体)，将清洗液挤入喷嘴4中，形成包含微液滴的高压气流，这种高压气流会使预先在待清洗件表面上形成的液体薄膜形成快速传播的冲击波，冲击波作用在待清洗件2的边缘部分2a，可以使其表面上附着的颗粒等的污染物脱离，脱离后的污染物会随着清洗液的流动离开待清洗件2，从而可以实现彻底清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物。

雾化喷嘴的具体结构有很多种，例如，如图2所示，雾化喷嘴可以包括喷嘴本体和设置在该喷嘴本体中的多个雾化喷孔43，而且为了增大喷淋面积，提高喷淋均匀性，可以使多个雾化喷孔43的输出端均匀分布在喷嘴本体的出口端面4a上。例如，如图1所示，各个雾化喷孔43的输入端均与用于供应清洗液的液体管路42和用于与供应增压气体的气体管路41连接，各个雾化喷孔43的输出端用于将包含微液滴的气体喷出，这样，清洗液和增压气体会同时挤入各个雾化喷孔43，并通过相互作用使清洗液转换为微液滴，微液滴又会随高压气流自各个雾化喷孔43高速喷出。为了提高气流压力，保证雾化效果，各个雾化喷孔43的直径应小于预设值，以形成微孔。

在一些实施例中，边缘喷嘴结构还包括角度调节机构(图中未示出)，该角度调节机构与上述喷嘴4连接，用以调节喷嘴4的喷液角度。例如，角度调节机构可以对喷嘴4在竖直面内的各个方向进行调节，和/或在水平面内的内的各个方向进行调节。并且，角度调节机构的结构可以有多种，例如为万向接头、万向连接器等，或者还可以利用旋转电机配合传动件来实现雾化喷嘴的喷淋角度的调节。

清洗结构5的结构可以有多种，例如，在本实施例中，如图1所示，清洗结构5包括第一防溅壁51和位于该第一防溅壁51下方的第二防溅壁52，其中，第一防溅壁51包括用于与待清洗件2的边缘部分2a的上表面相接触的第一接触面；第二防溅壁52包括用于与待清洗件2的边缘部分2a的下表面相接触的第二接触面；并且，在上述第一接触面和第二接触面分别与待清洗件2的边缘部分2a的上表面和下表面相接触时，第一防溅壁51和第二防溅壁52对接形成封闭的清洗腔53。也就是说，第一防溅壁51和第二防溅壁52将待清洗件2的边缘部分2a夹持在二者之间，且第一防溅壁51和第二防溅壁52相互对接形成封闭的清洗腔53，该清洗腔53将喷嘴4容置在其中，而待清洗件2的边缘部分2a因被夹持而被清洗腔53容置。并且，喷嘴4贯穿第一防溅壁51或者第二防溅壁52，或者在第一防溅壁51和第二防溅壁52的对接处同时贯穿二者，并延伸至清洗腔53中。

由于清洗腔53是封闭的，这可以全方位地阻挡自喷嘴4的出口喷出的清洗液飞溅出去，从而可以有效防止清洗液溅射至待清洗件2除边缘部分2a之外的其他部分，进而避免二次污染，提高产品良率。

在一些实施例中，为了达到使溅射在第一防溅壁51的内表面上的清洗液聚拢的效果，第一防溅壁51的内表面为朝远离待清洗件2的上表面的方向凹进的圆弧凹面51a。并且，在第一防溅壁51的内表面上形成有防水层(图中未示出)，该防水层用于防止溅射至第一防溅壁51的内表面上的清洗液附着在第一防溅壁51的内表面上，从而可以避免附着在第一防溅壁51的内表面上的清洗液滴落在待清洗件上产生二次污染，进而可以进一步增强防护效果。

在一些实施例中，在第二防溅壁52的内表面上形成有用于回收清洗液的回收槽，且在第二防溅壁52中设置有排液通道55，用以排出回收槽中的清洗液。排液通道55例如由排液管路构成。

进一步的，为了提高排液效率，同时达到清洗液的聚拢效果，上述回收槽52的内表面也可以为圆弧凹面52a，并且，可以将上述排液通道55的端口设置在圆弧凹面52a的最低位置处，以避免部分液体残留在回收槽中。

在本实施例中，在上述第一防溅壁51的第一接触面和第二防溅壁52的第二接触面上均设置有能够浸透液体的柔性衬垫54，用以分别接触待清洗件2的边缘部分2a的上表面和下表面。上述柔性衬垫54既可以起到封闭清洗腔53的作用，又可以保证待清洗件2能够顺利旋转。而且，由于柔性衬垫54采用柔性材料，这可以防止柔性衬垫54刮伤待清洗件表面，同时还可以减少与待清洗件2之间产生的摩擦力。此外，由于柔性衬垫54能够浸透清洗液，其在与旋转中的待清洗件2接触时可以起到清洗边缘部分2a的上表面和下表面的作用，从而可以进一步提高清洗效果。

在实际应用中，上述柔性衬垫54例如为海绵等的柔性多孔材料。并且，可以采用耐腐蚀性、耐高温的树脂作为粘合剂(例如酚醛树脂、环氧树脂等)，将各个柔性衬垫54分别粘接在上述第一防溅壁51的第一接触面和第二防溅壁52的第二接触面上。

在本实施例中，边缘清洗机构还包括竖直设置在基座1一侧的第一喷嘴摆臂6和第一旋转驱动机构(图中未示出)，其中，第一喷嘴摆臂6分别与清洗结构5和第一旋转驱动机构连接，具体的，第一喷嘴摆臂6分别与第一防溅壁51和第二防溅壁52固定连接。第一旋转驱动机构用于驱动第一喷嘴摆臂6围绕自身轴线摆动，以带动清洗结构5摆动至使清洗腔53能够容置待清洗件2的边缘部分2a的位置处，或者带动清洗结构5摆动至与待清洗件2完全分离的位置处。

当需要进行取放片操作时，在第一旋转驱动机构的驱动下，第一喷嘴摆臂6带动清洗结构5摆动至与待清洗件2完全分离的位置处，以保证待清洗件2能够顺利取放，而不会产生阻挡。当准备进行清洗时，在第一旋转驱动机构的驱动下，第一喷嘴摆臂6带动清洗结构5摆动至使清洗腔53能够容置待清洗件2的边缘部分2a的位置处，具体地，第一喷嘴摆臂6带动清洗结构5摆动至上述第一防溅壁51的第一接触面和第二防溅壁52的第二接触面分别与待清洗件2的边缘部分2a的上表面和下表面相接触的位置处，以将该边缘部分2a夹持在第一防溅壁51和第二防溅壁52之间。

需要说明的是，上述第一防溅壁51和第二防溅壁52在分别移入至待清洗件2的边缘部分2a的上方和下方时，二者之间的间隔的结构和尺寸应保证上述第一防溅壁51和第二防溅壁52不会与待清洗件产生碰撞。

第二实施例

如图3所示，本实施例提供的清洗装置，其是在上述第一实施例的基础上所作的改进，具体的，在上述第一实施例的基础上，清洗装置还包括上喷嘴结构7、竖直设置在基座1的一侧的第二喷嘴摆臂71和第二旋转驱动机构(图中未示出)，其中，上喷嘴结构7用于朝向待清洗件2的上表面喷淋纯水(DIW)，用于在清洗待清洗件边缘之前，对待清洗件2进行浸润，以在待清洗件2的上表面和边缘部分2a形成液体薄膜，该液体薄膜可以在喷嘴4喷出的流体作用下形成快速传播的冲击波，冲击波作用在待清洗件2的边缘部分2a，可以使其表面上附着的颗粒等的污染物脱离，脱离后的污染物会随着清洗液的流动离开待清洗件，从而可以实现彻底清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物。

第二喷嘴摆臂71例如可以设置在第一喷嘴摆臂6的对侧，且分别与上喷嘴结构7和第二旋转驱动机构连接；第二旋转驱动机构用于驱动第二喷嘴摆臂71围绕自身轴线摆动，以带动上喷嘴结构7摆动至待清洗件2的上方，以喷淋纯水，或者带动上喷嘴结构71摆动至待清洗件2的外侧，以避免在对待清洗件2进行取放操作时产生阻挡。

在本实施例中，清洗装置还包括气体喷嘴结构8、竖直设置在基座1的一侧的第三喷嘴摆臂81和第三旋转驱动机构(图中未示出)，其中，气体喷嘴结构8用于朝向待清洗件2的上表面喷淋干燥气体，例如氮气，以对待清洗件进行吹扫和干燥处理。

第三喷嘴摆臂81分别与气体喷嘴结构8和第三旋转驱动机构连接，并且，第三喷嘴摆臂81例如可以位于上述第二喷嘴摆臂71的同侧，且位于基座1与第二喷嘴摆臂71之间，并且使气体喷嘴结构8在待清洗件上方的位置相对于上喷嘴结构7更靠近待清洗件的边缘部分，以保证待清洗件边缘的吹扫和干燥效果。

第三旋转驱动机构用于驱动第三喷嘴摆臂81围绕自身轴线摆动，以带动气体喷嘴结构8摆动至待清洗件2的上方以进行吹扫和干燥处理，或者带动气体喷嘴结构8摆动至待清洗件2的外侧，以避免在对待清洗件2进行取放操作时产生阻挡。

在进行清洗工艺之前，基座1可以采用例如真空吸附的方式对待清洗件2进行固定，然后，通过旋转电机3驱动基座1旋转，以带动待清洗件2旋转。

在进行清洗工艺时，首先，在第二旋转驱动机构的驱动下，第二喷嘴摆臂71带动上喷嘴结构7摆动至待清洗件2的上方，以喷淋纯水，从而在清洗待清洗件边缘之前，对待清洗件2进行浸润，以在待清洗件2的上表面和边缘部分2a形成液体薄膜。此步骤中待清洗件转速例如为400r/min，纯水的流量例如为1.2L/min。

然后，在第一旋转驱动机构的驱动下，第一喷嘴摆臂6带动清洗结构5摆动至使清洗腔53能够容置喷嘴4的出口和待清洗件2的边缘部分2a的位置处，具体地，第一喷嘴摆臂6带动清洗结构5摆动至上述第一防溅壁51的第一接触面和第二防溅壁52的第二接触面(或者，柔性衬垫54)分别与待清洗件2的边缘部分2a的上表面和下表面相接触的位置处，以将该边缘部分2a夹持在第一防溅壁51和第二防溅壁52之间，此时清洗腔53是封闭的。

之后，开启喷嘴4，以朝向待清洗件2的边缘部分2a喷淋清洗液或雾化后的清洗液，此步骤中待清洗件转速例如为300r/min，对于雾化喷嘴，增压气体例如为氮气，且增压气体的流量例如为10L/min，清洗液的流量例如为100ml/min。

清洗结束后，在第三旋转驱动机构的驱动下，第三喷嘴摆臂81带动气体喷嘴结构8摆动至待清洗件2的上方，以进行吹扫和干燥处理，此步骤中待清洗件转速为1900r/min，干燥气体例如为氮气，且干燥气体的流量例如为10L/min。

综上所述，本发明上述各个实施例提供的清洗装置，其边缘清洗机构包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，该边缘喷嘴结构能够自基座的一侧朝向待清洗件的边缘部分喷淋清洗液，不会受到喷淋角度的限制，从而可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，改善了待清洗件边缘的清洗效果。同时，通过借助清洗结构，其清洗腔用于容置边缘喷嘴结构的喷嘴和待清洗件的边缘部分，可以阻挡飞溅出来的清洗液溅射至待清洗件除边缘部分之外的其他部分，从而可以避免二次污染，提高产品良率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种清洗装置，用于对待清洗件进行清洗，其特征在于，包括基座和边缘清洗机构，其中，所述基座可旋转并用于承载待清洗件，且所述基座的外径小于所述待清洗件的直径，以使所述待清洗件的边缘部分能够自所述基座的外周面伸出；

所述边缘清洗机构设置在所述基座的一侧，且包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，所述清洗结构包括一清洗腔，所述待清洗件的所述边缘部分容置于所述清洗腔中；所述边缘喷嘴结构包括喷嘴，所述喷嘴容置于所述清洗腔中，用以朝向所述待清洗件的所述边缘部分喷淋清洗液。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴为雾化喷嘴，所述雾化喷嘴包括喷嘴本体和设置在所述喷嘴本体中的多个雾化喷孔，各个所述雾化喷孔的输入端均与用于供应所述清洗液的液体管路和用于供应增压气体的气体管路连接，各个所述雾化喷孔的输出端用于将包含微液滴的气体喷出，所述微液滴由流入所述雾化喷孔中的所述清洗液和所述增压气体相互作用而成。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴本体包括出口端面，多个所述雾化喷孔的输出端均匀分布在所述出口端面上。

4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述边缘喷嘴结构还包括角度调节机构，所述角度调节机构与所述喷嘴连接，用以调节所述喷嘴的喷液角度。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗结构包括第一防溅壁和位于所述第一防溅壁下方的第二防溅壁，其中，所述第一防溅壁包括用于与所述待清洗件的所述边缘部分的上表面相接触的第一接触面；所述第二防溅壁包括用于与所述待清洗件的边缘部分的下表面相接触的第二接触面；

在所述第一接触面和第二接触面分别与所述待清洗件的所述边缘部分的上表面和下表面相接触时，所述第一防溅壁和第二防溅壁对接形成封闭的所述清洗腔。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述第一防溅壁的内表面为朝远离所述待清洗件的上表面的方向凹进的圆弧凹面，且在所述第一防溅壁的内表面上形成有防水层，所述防水层用于防止溅射至所述第一防溅壁的内表面上的清洗液附着在所述第一防溅壁的内表面上。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，在所述第二防溅壁的内表面上形成有用于回收所述清洗液的回收槽，且在所述第二防溅壁中设置有排液通道，用以排出所述清洗液。

8.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，在所述第一接触面和第二接触面上均设置有能够浸透液体的柔性衬垫，用以分别接触所述待清洗件的边缘部分的上表面和下表面。

9.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述边缘清洗机构还包括竖直设置的第一喷嘴摆臂和第一旋转驱动机构，其中，所述第一喷嘴摆臂分别与所述清洗结构和所述第一旋转驱动机构连接；

所述第一旋转驱动机构用于驱动所述第一喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动，以带动所述清洗结构摆动至使所述清洗腔能够容置所述待清洗件的边缘部分的位置处，或者带动所述清洗结构摆动至与所述待清洗件完全分离的位置处。

10.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括上喷嘴结构、气体喷嘴结构、竖直设置在所述基座的一侧的第二喷嘴摆臂、第三喷嘴摆臂、第二旋转驱动机构和第三旋转驱动机构，其中，

所述上喷嘴结构用于朝向所述待清洗件的上表面喷淋纯水；

所述气体喷嘴结构用于朝向所述待清洗件的上表面喷淋干燥气体；

所述第二喷嘴摆臂分别与所述上喷嘴结构和所述第二旋转驱动机构连接；

所述第三喷嘴摆臂分别与所述气体喷嘴结构和所述第三旋转驱动机构连接；

所述第二旋转驱动机构用于驱动所述第二喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动，以带动所述上喷嘴结构摆动至所述待清洗件的上方，或者带动所述上喷嘴结构摆动至所述待清洗件的外侧；

所述第三旋转驱动机构用于驱动所述第三喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动，以带动所述气体喷嘴结构摆动至所述待清洗件的上方，或者带动所述气体喷嘴结构摆动至所述待清洗件的外侧。

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