CN112693228B - 一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于激光加工技术领域，涉及一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置，包括腔体、中空旋转平台、旋转轴、摆臂、喷嘴装置和管路组件，腔体围合形成有容腔，中空旋转平台安装于腔体上并位于腔体的外围，旋转轴的输入端与中空旋转平台插接，输出端伸至容腔内，旋转轴沿轴向开设有至少1个输送通孔，驱动装置设置于中空旋转平台上；于容腔内，摆臂连接于旋转轴的输出端，喷嘴装置设置于摆臂上；在驱动装置的驱动下，旋转轴旋转以带动摆臂摆动，整个摆动过程，因喷射液是从外部管路顺着旋转轴依次传送到腔体内的管路组件和喷嘴装置中，管路组件并没有与腔体接触，故可避免发生摩擦破损，利于减少维护和清理工作，以及提高整个的稳定性。

Description

一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种旋转式液体喷射装置及激光加工装置。

背景技术

在高速电子元器件制备时，已逐渐采用低介电常数膜及铜质材料作为晶圆材料，但是这些晶圆难以使用普通的金刚石刀片进行切割加工。通常采用冷加工的激光开槽技术进行切割，具体地，将短脉冲激光聚焦到晶圆表面后进行照射，激光脉冲被低介质常数膜连续吸收，但吸收到一定程度的热能后，低介电常数膜会瞬间汽化，由于相互作用的原理，被汽化的物质会消耗掉晶片的热能，以此实现微热影响的冷加工。为提高生产效率，有效地防止因崩缺、表层脱落等不良因素造成的加工质量问题，更进一步地，通常采用短脉冲激光先在切割道内刻蚀，形成凹槽；然后再使用金刚石刀片在凹槽中间区域实施全切割加工，从而将晶圆切割成若干个小的晶粒。

目前，晶圆激光开槽工艺一般包含晶圆涂胶(如给晶圆涂覆保护液，后续可简称为胶水)、晶圆激光开槽(利用激光刻蚀，形成凹槽)和晶圆清洗(利用纯水将保护液和激光开槽产生的杂质清洗掉)这三个工序。其中涂胶或清洗工序需使用喷嘴摆臂机构来完成，且在运行过程中摆臂机构会进行0°～100°的旋转。然而，在现有的涂胶装置或清洗装置中，涂胶液或清洗液等的输送管道均需走腔体的内壁开设的走线孔，因摆臂机构的旋转较频繁，这些输送管道在与腔体内壁的频繁摩擦中必然容易发生破损，故此，不利于进行涂胶或清洗，同时，也需操作人员经常对这些输送管道进行维护以及及时地清理(输送管路破损后，胶水流出，一段时间内会固化，摆臂机构、涂胶腔和清洗腔的内部残留有胶块，清理时费时费力)。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种旋转式液体喷射装置，用于解决现有的涂胶装置或清洗装置的输送管道容易破损，不利于进行涂胶或清洗，以及需经常维护和及时清理的技术问题。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供一种旋转式液体喷射装置，采用了如下所述的技术方案：

该旋转式液体喷射装置包括支架、腔体、摆臂组件、喷嘴装置和管路组件；

所述腔体设置于所述支架上，并围合形成有用于容置工件的容腔；

所述摆臂组件包括安装框架、中空旋转平台、旋转轴、摆臂和驱动装置，所述安装框架设置于所述腔体上并位于所述腔体的外围；

所述中空旋转平台安装于所述安装框架上，所述中空旋转平台沿其轴线方向开设有安装通孔；

所述旋转轴的输入端通过插接于所述安装通孔以安装于所述中空旋转平台上，输出端伸至所述容腔内；所述旋转轴沿轴向开设有至少1个输送通孔，于靠近所述旋转轴的输入端的一端，所述输送通孔能通过连接头与外部管路连通；

所述摆臂具有连接端和自由端，于所述容腔内，所述摆臂的连接端连接于所述旋转轴的输出端上；

所述驱动装置设置于所述中空旋转平台上，用于驱动所述旋转轴旋转以带动所述摆臂在预定范围内摆动；

所述喷嘴装置在所述容腔内设置于所述摆臂的自由端上；

于靠近所述旋转轴的输出端的一侧，所述管路组件的一端连通所述旋转轴的所述输送通孔，另一端连通所述喷嘴装置。

在一些实施例中，所述中空旋转平台包括旋转定子、旋转动子和安装座，所述旋转定子沿其中心轴线开设有第一通孔，所述旋转动子沿其中心轴线开设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相通，并共同形成所述安装通孔；

所述旋转定子设置于所述安装框架上，所述旋转动子以其轴线为转动中心转动设置于所述旋转定子的顶面上，所述安装座设置于所述旋转定子的底面上并位于所述第一通孔的外围；

所述驱动装置安装于所述安装座上，用于驱动所述旋转动子带动所述旋转轴旋转。

在一些实施例中，所述安装框架包括安装板、固定板和两个相对设置的立板，所述安装板和所述固定板水平设置，各所述立板的顶端和底端分别连接于所述安装板和所述固定板的同一侧上；所述安装框架形成有安装腔；

所述中空旋转平台的旋转定子和旋转动子容置于所述安装腔内；所述旋转轴的输入端伸出所述安装板，输出端伸出所述固定板。

在一些实施例中，所述旋转式液体喷射装置包括感应装置，所述感应装置包括固定座和感应器，所述固定座设置于所述中空旋转平台上并设置有一个所述感应器；所述安装板上还设置有所述感应器。

在一些实施例中，所述喷嘴装置包括第一喷嘴组件，所述第一喷嘴组件包括设置于所述摆臂一侧上的涂胶喷嘴和第一管接头，所述管路组件包括第一管路和第二管路，所述旋转轴的输出端上连接有所述第一管路的一端，所述第一管接头的一端连接有所述第一管路的另一端；所述第一管接头的另一端连接有所述第二管路的一端，所述涂胶喷嘴的靠近第一管接头的一端连接有所述第二管路的另一端。

在一些实施例中，所述第一喷嘴组件还包括设置于所述摆臂上的第一转接块，所述第一转接块与所述涂胶喷嘴位于所述摆臂的同一侧上；所述第一转接块上设置有至少两个所述第一管接头，用于不同管径的所述第一管接头的转换。

在一些实施例中，所述输送通孔设置有多个，所述旋转轴的输出端上设置有多个第三管接头，各所述第三管接头与对应的所述输送通孔连通；所述第一管路的一端连接于对应的所述第三管接头上，并与所述输送通孔相通。

在一些实施例中，所述喷嘴装置还包括第二喷嘴组件，所述第二喷嘴组件包括设置于所述摆臂另一侧上的清洗喷嘴和第二管接头，所述管路组件还包括第三管路和第四管路，所述旋转轴的输出端上连接有所述第三管路的一端，所述第二管接头的一端连接有所述第三管路的另一端；所述第二管接头的另一端连接有所述第四管路的一端，所述清洗喷嘴的靠近所述第二管接头的一端连接有所述第四管路的另一端。

在一些实施例中，所述旋转式液体喷射装置还包括载台和移动组件，所述腔体的底部开设有与所述容腔相通的开口；所述载台设置于所述移动组件上，所述移动组件与所述腔体相互独立设置，所述移动组件能穿过所述开口伸至所述容腔内，用于带动所述载台在所述容腔内进行升降及旋转运动。

为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种激光加工装置，采用如下所述的技术方案：所述激光加工装置包括上述的旋转式液体喷射装置。

与现有技术相比，本发明实施例提供的旋转式液体喷射装置及激光加工装置主要有以下有益效果：

该旋转式液体喷射装置通过将中空旋转平台设置在腔体上并位于腔体的外围，并将旋转轴的输入端插接于中空旋转平台的安装通孔，输出端伸至容腔内，以此在驱动装置的驱动下，旋转轴发生旋转以带动与之连接并设置有喷嘴装置的摆臂在预定范围内摆动，在喷嘴装置摆动工作的过程中，因喷射液是从外部管路顺着位于腔体外的旋转轴的输入端通过旋转轴的输送通孔依次传送到腔体内的管路组件和喷嘴装置中，显然可见，管路组件并没有跟腔体接触，也即，摆臂在整个摆动过程中均不存在管路组件与腔体发生摩擦的情况，故此，可以避免使用过程中，管路组件发生摩擦破损，利于减少摆臂组件的维护和清理工作，以及提高整个旋转式液体喷射装置的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本发明一个实施例中旋转式液体喷射装置的立体结构示意图；

图2是图1中旋转式液体喷射装置另一角度上的立体结构示意图；

图3是本发明一个实施例中旋转式液体喷射装置的喷嘴摆臂装置的立体结构示意图；

图4是图3中喷嘴摆臂装置另一角度上的立体结构示意图；

图5是图3中喷嘴摆臂装置的中空旋转平台的立体结构示意图；

图6是图5中中空旋转平台另一角度上的立体结构示意图；

图7是图3中喷嘴摆臂装置的旋转轴的立体结构示意图；

图8是图7中旋转轴另一角度上的立体结构示意图。

附图中的标号如下：

10、旋转式液体喷射装置；

1、支架；2、腔体；21、容腔；22、开口；

3、摆臂组件；31、安装框架；311、安装板；3111、避让孔；312、固定板；313、立板；314、安装腔；

32、中空旋转平台；321、旋转定子；3211、第一通孔；322、旋转动子；3221、第二通孔；323、安装座；324、安装通孔；33、旋转轴；331、输送通孔；332、第三管接头；333、连接头；334、第一防护罩；335、第二防护罩；34、摆臂；35、驱动装置；

4、喷嘴装置；41、第一喷嘴组件；411、涂胶喷嘴；412、第一管接头；413、第一转接块；

42、第二喷嘴组件；421、清洗喷嘴；422、第二管接头；423、第二转接块；

5、感应装置；51、固定座；52、感应器；

6、载台；7、移动组件；71、升降结构；72；旋转结构；8、抽雾组件；9、门帘组件。

具体实施方式

除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本发明技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本发明的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。

此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

需说明的是，该旋转式液体喷射装置10可用于对旋转的工件供给保护液、涂胶液等喷射液来进行涂覆或涂胶，还可用在其它合适的工序中，还可以用在采用该液体喷射装置的激光切割设备、激光开槽机等各种加工装置中。另外，本发明中的加工工件可以为半导体晶圆、LED晶圆等工件。换句话说，该旋转式液体喷射装置10可以为晶圆自动喷胶装置，可以为晶圆自动清洗装置，可以为晶圆自动喷胶清洗装置。本发明具体主要涉及到晶圆的激光加工领域，当然，实际上，还可涉及到其他合适工件的激光加工。

本发明实施例提供一种旋转式液体喷射装置10，如图1和图2所示，该旋转式液体喷射装置10包括支架1、腔体2、摆臂组件3、喷嘴装置4和管路组件(图未示)。其中，腔体2设置于支架1上，且腔体2围合形成有容腔21。其中，工件容置在容腔21内。如图3和图4所示，摆臂组件3包括安装框架31、中空旋转平台32、旋转轴33、摆臂34和驱动装置35，安装框架31设置于腔体2上并位于腔体2的外围。具体地，为使结构更加紧凑，安装框架31通过其下述的固定板312设置在腔体2的底部上。中空旋转平台32安装于安装框架31上，也即，中空旋转平台32通过安装框架31安装于腔体2的底部上，中空旋转平台32沿中心轴线开设有安装通孔324。

在本实施例中，如图3和图4所示，旋转轴33的输入端(具体为位于腔体2底部的一端)通过插接于安装通孔324以安装于中空旋转平台32上，旋转轴33的输出端(具体为位于腔体2内部的一端)伸至容腔21内。旋转轴33沿轴向开设有至少1个输送通孔331，于靠近旋转轴33的输入端的一端，输送通孔331能通过连接头333与外部管路连通。可以理解地，在腔体2的底部，旋转轴33的输入端上设置有连接头333以连通输送通孔331和外部管路，这样，即可无需在腔体2的腔壁或腔底上开设走线孔以方便输送管道走线，进而彻底避免在使用过程中，管路组件的输送管道与腔体2发生摩擦破损。需说明的是，该连接头333可以为常规的气管接头，也可以为旋转接头，具体在本实施例中，优选为旋转接头。

在本实施例中，如图3和图4所示，摆臂34具有连接端和自由端，于容腔21内，摆臂34的连接端连接于旋转轴33的输出端上，摆臂34的自由端上设置有喷嘴装置4，换句话说，喷嘴装置4在容腔21内设置于摆臂34的自由端上。再如图3和图4所示，在腔体2的底部，驱动装置35设置于中空旋转平台32上，主要用于驱动旋转轴33旋转以带动摆臂34在预定范围内摆动。为实现喷射液的输送，于靠近旋转轴33的输出端的一侧，管路组件(图未示)的一端连通旋转轴33的输送通孔331，另一端连通喷嘴装置4。可以理解地，喷射液可以从外部管路中通过连接头333进入到旋转轴33的输送通孔331，也即喷射液直接通过旋转轴33的输送通孔331从腔体2的外部输送到腔体2内，然后再从输送通孔331进入到管路组件中，最终通过喷嘴装置4喷出。

需说明的是，具体在本实施例中，驱动装置35可以为伺服电机，也可以为步进电机。喷射液可以为纯水、CDA和胶水中的任意一种或多种，还可以为其它合适的液体。以该旋转式液体喷射装置10实现对晶圆的清洗功能为例，在涂覆胶水前，可以使用纯水和CDA混合的二流体对晶圆表面进行清洗，还可以直接使用纯水对晶圆表面进行清洗。还需说明的是，如旋转式液体喷射装置10需要使用的液体介质的数量较多，可以通过直接增加旋转轴33的接口，对应地增大旋转轴33的尺寸来调整实现。

还需说明的是，如图1、图3和图4所示，该旋转式液体喷射装置10还设置有第一防护罩334和第二防护罩335，其中，于靠近旋转轴33的输出端的一侧，第一防护罩334套设于旋转轴33上，并位于容腔21内，这样，即可确保容腔21内的气雾不易窜到腔体2外而致死驱动装置35和中空旋转平台32受到影响。另外，再如图1和图4所示，旋转轴33和摆臂34之间的连接处套设有第二防护罩335，且第二防护罩335还罩设于第一防护罩334的顶端上，这样，即可确保容腔21内的气雾不易影响到旋转轴33的输出端的管接头等。总体上，通过设置第一防护罩334和第二防护罩335，可以有效地确保整体的安全防护性能。

综上，相比现有技术，该旋转式液体喷射装置10至少具有以下有益效果：该旋转式液体喷射装置10通过将中空旋转平台32设置在腔体2上并位于腔体2的外围，并将旋转轴33的输入端插接于中空旋转平台32的安装通孔324，输出端伸至容腔21内，以此在驱动装置35的驱动下，旋转轴33发生旋转以带动与之连接并设置有喷嘴装置4的摆臂34在预定范围内摆动，在喷嘴装置4摆动的过程中，因喷射液是从外部管路顺着位于腔体2外的旋转轴33的输入端通过旋转轴33的输送通孔331依次传送到腔体2内的管路组件和喷嘴装置4中，显然可见，管路组件并没有跟腔体2接触，也即，摆臂34在整个摆动过程中均不存在管路组件与腔体2发生摩擦的情况，故此，可以避免使用过程中，管路组件发生摩擦破损，利于减少摆臂组件3的维护和清理工作，以及提高整个旋转式液体喷射装置10的稳定性。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合附图1至图8，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在一些实施例中，如图5和图6所示，为实现中空旋转平台32可以确保在驱动装置35的带动下旋转轴33可以转动，中空旋转平台32包括旋转定子321、旋转动子322和安装座323，其中，旋转定子321沿其轴线方向开设有第一通孔3211，旋转动子322沿其轴线方向开设有第二通孔3221。旋转定子321设置于安装框架31上，旋转动子322以其轴线为转动中心转动设置于旋转定子321的顶面上；旋转动子322安装于旋转定子321上后，第一通孔3211与第二通孔3221相通，并共同形成中空旋转平台32的安装通孔324。再如图5所示，安装座323设置于旋转定子321的底面上并位于第一通孔3211的外围。如图4和图6所示，驱动装置35安装于安装座323上，用于驱动旋转动子322带动旋转轴33旋转。

需说明的是，在本实施例中，为简化整体结构，以及确保摆动的稳定性等，第一通孔3211和第二通孔3221均沿着中空旋转平台32的中心轴线开设。另外，中空旋转平台32实际类似于一个偏轴的减速器。当然，实际上，中空旋转平台32的结构还可以采用其它的类似结构，只要能确保旋转轴33插接通过即可。

在一些实施例中，如图3和图4所示，安装框架31包括安装板311、固定板312和两个相对设置的立板313，其中，安装板311和固定板312水平设置，各立板313的顶端和底端分别连接于安装板311和固定板312的同一侧上。具体地，其中一个立板313的顶端和底端分别连接于安装板311的左侧端和固定板312的左侧端，另一个立板313的顶端和底端分别连接于安装板311的右侧端和固定板312的右侧端。当然实际上，安装框架31还可以为其他合适的结构。

在本实施例中，如图3和图4所示，为方便安装中空旋转平台32，确保结构的简单紧凑性，安装框架31形成有安装腔314，中空旋转平台32的旋转定子321和旋转动子322容置于安装腔314内。再如图3和图4所示，旋转轴33的输入端伸出安装板311，输出端伸出固定板312。具体地，安装板311上开设有避让孔3111，这样，旋转轴33的输入端插接于安装通孔324后并能从避让孔3111伸出安装板311，以此方便与外部管路连接。

在一些实施例中，如图3所示，为确保摆臂34在预定范围内摆动，旋转式液体喷射装置10包括感应装置5，其中，感应装置5包括固定座51和感应器52，固定座51设置于中空旋转平台32上并设置有一个感应器52，以此确保整个旋转式液体喷射装置10处于初始位置。另外，安装板311上还设置有感应器52，具体地，安装板311上设置有两个感应器52，以此通过该两个感应器52确保摆臂34在预定范围内摆动。需说明的是，因感应器52具体的结构及具体的设置结构并不是本发明的重要改进点，故此，不再赘述。

在一些具体实施例中，如图4所示，为确保该旋转式液体喷射装置10具有涂胶功能，喷嘴装置4包括第一喷嘴组件41，第一喷嘴组件41包括涂胶喷嘴411和第一管接头412，管路组件包括第一管路(图未示)和第二管路(图未示)，其中，涂胶喷嘴411和第一管接头412设置于摆臂34一侧上，旋转轴33的输出端上连接有第一管路的一端，第一管接头412的一端连接有第一管路的另一端；第一管接头412的另一端连接有第二管路的一端，涂胶喷嘴411的靠近第一管接头412的一端连接有第二管路的另一端。可以理解地，外部管路输送来的喷射液经过连接头333，先后沿旋转轴33的输送通孔331、第一管路、第一管接头412和第二管路，被输送至涂胶喷嘴411。

进一步地，在一些具体的实施例中，如图4所示，第一喷嘴组件41还包括设置于摆臂34上的第一转接块413，第一转接块413与涂胶喷嘴411位于摆臂34的同一侧上。再如图4所示，第一转接块413上设置有至少两个第一管接头412，其中，第一转接块413主要用于不同管径的第一管接头412的转换。

进一步地，在一些具体的实施例中，如图7和图8所示，旋转轴33的输送通孔331设置有多个，对应地，如图3所示，旋转轴33的输出端上设置有多个第三管接头332，其中，各第三管接头332与对应的输送通孔331连通。需说明的是，通常，各输送通孔331间隔设置，每一个输送通孔331可以输送一种喷射液。第一管路的一端连接于对应的第三管接头332上，并与输送通孔331相通。可以理解地，外部管路可以通过旋转轴33中的多个输送通孔331向管路组件输送不同的喷射液，并能通过对应的输送管路送到对应的喷嘴上。

进一步地，在一些实施例中，如图3所示，为确保该旋转式液体喷射装置10还具有清洗功能，喷嘴装置4还包括第二喷嘴组件42，第二喷嘴组件42包括清洗喷嘴421和第二管接头422，管路组件还包括第三管路(图未示)和第四管路(图未示)，其中，清洗喷嘴421和第二管接头422设置于摆臂34另一侧上，具体地，第二喷嘴组件42与第一喷嘴组件41位于摆臂34的两侧上。再如图3所示，旋转轴33的输出端上连接有第三管路的一端，第二管接头422的一端连接有第三管路的另一端；第二管接头422的另一端连接有第四管路的一端，清洗喷嘴421的靠近第二管接头422的一端连接有第四管路的另一端。可以理解地，外部管路输送来的喷射液经过连接头333，先后沿旋转轴33的输送通孔331、第三管路、第二管接头422和第四管路，被输送至清洗喷嘴421。

需说明的是，第三管路实际上是通过第三管接头332连接于旋转轴33的输出端上。同理，上述的第一喷嘴组件41中的第一管路实际上也是通过第三管接头332连接于旋转轴33的输出端上。

还需说明的是，第一喷嘴组件41和第二喷嘴组件42通常设置于涂胶腔或清洗腔内，但不局限于用在涂胶腔或清洗腔中。另外，从涂胶喷嘴411中喷射出的喷射液通常为胶液，从清洗喷嘴421中喷射出的为纯水、或纯水和CDA混合而成的二流体，当然这些喷射液还可以为其他合适的液体。在本实施例中，第一喷嘴组件41主要用于对晶圆等产品进行涂覆胶液；第二喷嘴组件42主要用于对涂胶后的晶圆等产品的表面进行清洗，以清洗掉晶圆表面上的浮尘等。

进一步地，在一些具体的实施例中，如图3所示，第二喷嘴组件42还包括设置于摆臂34上的第二转接块423，第二转接块423与清洗喷嘴421位于摆臂34的同一侧上。再如图3所示，第二转接块423上设置有至少两个第二管接头422，其中，第二转接块423主要用于不同管径的第二管接头422的转换。

另外，在一些实施例中，喷嘴装置4还可以包括第三喷嘴组件(图未示)，第三喷嘴组件包括铁环清洗喷嘴421(图未示)和第五管路(图未示)，其中，第五管路的一端连接于旋转轴33的输出端上的第三管接头332，第五管路的另一端连接于铁环清洗喷嘴421。需说明的是，第三喷嘴组件主要用于清洗晶圆铁环等部位上的胶液等污物。当然实际上，还可以用于清洗其他产品的其他部位上的污物。还需说明的是，在喷嘴装置4中，第三喷嘴组件可以取消，直接使用第二喷嘴组件42进行清洗。

需说明的是，在一些实施例中，如图1和图2所示，因在涂胶或清洗等工艺过程中，容腔21内会产生一些浮动物质，旋转式液体喷射装置10还包括设置于腔体2上的抽雾组件8和门帘组件9，其中，抽雾组件8主要用于抽取容腔21内的气雾，门帘组件9主要用于使容腔21内的气雾在门帘组件9上转为液体，总体上，设置抽雾组件8和门帘组件9，均主要为了尽量减少清洗等工艺过程中产生的气雾对腔体2内外的各种器件造成的不良影响。

在一些实施例中，如图1和图2所示，旋转式液体喷射装置10还包括载台6和移动组件7，其中，载台6主要用于承载工件如晶圆等，移动组件7与腔体2相互独立设置，主要用于带动载台6在容腔21内进行升降及旋转运动。再如图1和图2所示，腔体2的底部开设有与容腔21相通的开口22，载台6设置于移动组件7上，移动组件7能穿过开口22伸至容腔21内，以确保载台6位于容腔21内，并能在容腔21内进行升降及旋转运动。

具体在本实施例中，旋转式液体喷射装置10可以通过机架(图未示)设置于外部，其中，上述的支架1设置于机架上，腔体2设置于支架1上，移动组件7也设置于机架上。可以理解地，腔体2可通过一架体进行支撑，而移动组件7通过另一个架体进行支撑，两者之间没有连接关系，简言之，移动组件7和腔体2之间为相互独立关系，这样，即可有效地避免移动组件7带动载台6在升降或旋转过程中引起腔体2震动，并将该震动传递到腔体2上，从而有效地避免因震动而影响到安装在腔体2上的一些精密器件的精度，也利于降低整个机台的震动。

需说明的是，为实现移动组件7的升降及旋转功能，如图2所示，移动组件7包括升降结构71和旋转结构72，于靠近开口22的一侧，旋转结构72设置于升降结构71的输出端上，载台6设置于旋转结构72的输出端上。其中，升降结构71主要用于带动旋转结构72沿载台6的中心线方向升降，旋转结构72主要用于带动载台6在容腔21内旋转。

总体上，该旋转式液体喷射装置10的结构简单紧凑，在使用过程中，能彻底地避免管路组件与腔体2发生摩擦破损，利于减少后期维护和清理，以及提高整体的稳定性，减震效果好。

基于上述的旋转式液体喷射装置10，本发明实施例还提供一种激光加工装置，其中，该激光加工装置包括上述的旋转式液体喷射装置10。其中，该激光加工装置可以为激光切割装置，可以为晶圆激光开槽机，还可以为其他合适的设备。

综上，相比现有技术，该激光加工装置至少具有以下有益效果：该激光加工装置通过采用上述的旋转式液体喷射装置10，在使用过程中，能彻底地避免管路组件与腔体2发生摩擦破损，利于减少后期维护和清理，以及提高整体的稳定性。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明。对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种旋转式液体喷射装置，其特征在于，包括支架、腔体、摆臂组件、喷嘴装置和管路组件；

所述腔体设置于所述支架上，并围合形成有用于容置工件的容腔；

所述摆臂组件包括安装框架、中空旋转平台、旋转轴、摆臂和驱动装置，所述安装框架设置于所述腔体上并位于所述腔体的外围；

所述中空旋转平台安装于所述安装框架上，所述中空旋转平台沿其轴线方向开设有安装通孔；

所述旋转轴的输入端通过插接于所述安装通孔以安装于所述中空旋转平台上，输出端伸至所述容腔内；所述旋转轴沿轴向开设有至少1个输送通孔，于靠近所述旋转轴的输入端的一端，所述输送通孔能通过连接头与外部管路连通；

所述摆臂具有连接端和自由端，于所述容腔内，所述摆臂的连接端连接于所述旋转轴的输出端上；

所述驱动装置设置于所述中空旋转平台上，用于驱动所述旋转轴旋转以带动所述摆臂在预定范围内摆动；

所述喷嘴装置在所述容腔内设置于所述摆臂的自由端上；

于靠近所述旋转轴的输出端的一侧，所述管路组件的一端连通所述旋转轴的所述输送通孔，另一端连通所述喷嘴装置，

所述旋转轴的输出端上设有第一防护罩，且所述防护罩位于所述容腔内；

所述旋转轴与所述摆臂的连接处设有第二防护罩，且所述第二防护罩设于所述第一防护罩的顶端。

2.根据权利要求1所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述中空旋转平台包括旋转定子、旋转动子和安装座，所述旋转定子沿其中心轴线开设有第一通孔，所述旋转动子沿其中心轴线开设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相通，并共同形成所述安装通孔；

所述旋转定子设置于所述安装框架上，所述旋转动子以其轴线为转动中心转动设置于所述旋转定子的顶面上，所述安装座设置于所述旋转定子的底面上并位于所述第一通孔的外围；

所述驱动装置安装于所述安装座上，用于驱动所述旋转动子带动所述旋转轴旋转。

3.根据权利要求2所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述安装框架包括安装板、固定板和两个相对设置的立板，所述安装板和所述固定板水平设置，各所述立板的顶端和底端分别连接于所述安装板和所述固定板的同一侧上；所述安装框架形成有安装腔；

所述中空旋转平台的旋转定子和旋转动子容置于所述安装腔内；所述旋转轴的输入端伸出所述安装板，输出端伸出所述固定板。

4.根据权利要求3所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述旋转式液体喷射装置包括感应装置，所述感应装置包括固定座和感应器，所述固定座设置于所述中空旋转平台上并设置有一个所述感应器；所述安装板上还设置有所述感应器。

5.根据权利要求1所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述喷嘴装置包括第一喷嘴组件，所述第一喷嘴组件包括设置于所述摆臂一侧上的涂胶喷嘴和第一管接头，所述管路组件包括第一管路和第二管路，所述旋转轴的输出端上连接有所述第一管路的一端，所述第一管接头的一端连接有所述第一管路的另一端；所述第一管接头的另一端连接有所述第二管路的一端，所述涂胶喷嘴的靠近第一管接头的一端连接有所述第二管路的另一端。

6.根据权利要求5所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述第一喷嘴组件还包括设置于所述摆臂上的第一转接块，所述第一转接块与所述涂胶喷嘴位于所述摆臂的同一侧上；所述第一转接块上设置有至少两个所述第一管接头，用于不同管径的所述第一管接头的转换。

7.根据权利要求5所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述输送通孔设置有多个，所述旋转轴的输出端上设置有多个第三管接头，各所述第三管接头与对应的所述输送通孔连通；所述第一管路的一端连接于对应的所述第三管接头上，并与所述输送通孔相通。

8.根据权利要求7所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述喷嘴装置还包括第二喷嘴组件，所述第二喷嘴组件包括设置于所述摆臂另一侧上的清洗喷嘴和第二管接头，所述管路组件还包括第三管路和第四管路，所述旋转轴的输出端上连接有所述第三管路的一端，所述第二管接头的一端连接有所述第三管路的另一端；所述第二管接头的另一端连接有所述第四管路的一端，所述清洗喷嘴的靠近所述第二管接头的一端连接有所述第四管路的另一端。

9.根据权利要求1所述的旋转式液体喷射装置，其特征在于，所述旋转式液体喷射装置还包括载台和移动组件，所述腔体的底部开设有与所述容腔相通的开口；所述载台设置于所述移动组件上，所述移动组件与所述腔体相互独立设置，所述移动组件能穿过所述开口伸至所述容腔内，用于带动所述载台在所述容腔内进行升降及旋转运动。

10.一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置包括权利要求1至9任一项所述的旋转式液体喷射装置。

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