CN111987025A - 立式热处理设备及其石英舟 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供了一种立式热处理设备及其石英舟。石英舟用于承载晶圆，所述石英舟包括多个子石英舟，多个所述子石英舟同轴叠置设置，任意两个相邻的子石英舟相互连接。本申请实施例通过将多个子石英舟层叠设置构成石英舟，能有效减小石英舟在高温工艺中的热形变，从而延长了石英舟的使用寿命，进而大幅延长了立式热处理设备的维护周期，同时还提高了立式热处理设备的可靠性。另外当石英舟发生热形变后，可以仅替换发生热形变的子石英舟，从而有效提高了可维护性及可替换性，大幅降低了立式热处理设备维护成本，并且大幅降低厂商在高温工艺中因石英舟替换所产生的经济成本。
Description
技术领域
本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种立式热处理设备及其石英舟。
背景技术
目前，在半导体工艺中立式热处理设备经常涉及到高温工艺，尤其是功率芯片的相关工艺。高温工艺中常涉及到的工艺温度为1050摄氏度以上，因此通常选择耐高温的碳化硅结构件来承载晶圆，但是碳化硅结构件存在加工周期长、结构强度低及成本较高等问题。因此在接近于1050摄氏度的相关工艺中，优先选择成本低廉及加工周期短的石英结构件来承载晶圆。
但是，由于石英材质的物理性能及热性能，在执行多次工艺后石英结构件会发生无法复原的热形变，严重的热形变甚至会直接导致石英结构件报废。虽然石英结构件相对于碳化硅结构件成本较低，但仍属于高成本部件，因此对于石英结构件的维护与消耗会让厂商承担巨大的经济负担；另一方面，由于石英结构件发生热形变，因此需要缩短维护周期对石英结构件形变进行及时监测，而缩短维护周期则意味着需要对立式热处理设备进行多次停工断电等操作，从而消耗大量时间，由此对生产线的产能造成严重影响。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点，提出一种立式热处理设备及其石英舟，用以解决现有技术存在的石英结构件热形变而导致维护成本较高的问题，以及维护周期较短导致的产能较低的技术问题。
第一个方面，本申请实施例提供了一种立式热处理设备的石英舟，用于承载晶圆，所述石英舟包括多个子石英舟，多个所述子石英舟同轴叠置设置，任意两个相邻的子石英舟相互连接。
于本申请的一实施例中，所述子石英舟包括顶板、底板以及多个立柱，所述顶板和所述底板上均设置有连接孔，所述连接孔内穿设有紧固件，任意两个相邻的所述子石英舟通过所述紧固件相互连接，所述紧固件穿过位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板，将位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板连接。
于本申请的一实施例中，所述连接孔沿周向排布于所述底板及所述顶板上。
于本申请的一实施例中，所述底板为环状，所述底板上设置有第一凸部，所述第一凸部位于所述底板下表面，呈环状，并与所述底板同轴设置；位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第一凸部顶抵所述顶板，以减小接触面积。
于本申请的一实施例中，所述顶板为环状，所述顶板上设置有第二凸部，所述第二凸部位于所述顶板上表面，呈环状，并与所述顶板同轴设置；位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第二凸部顶抵所述底板，以减小接触面积。
于本申请的一实施例中，所述底板上设置有第一凸部且所述顶板上设置有第二凸部时，所述第一凸部与所述第二凸部配合设置，位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第一凸部套设于所述第二凸部内，或者所述第二凸部套设于所述第一凸部内。
于本申请的一实施例中，所述第一凸部或所述第二凸部的高度为1至3毫米。
于本申请的一实施例中，所述子石英舟的多个所述立柱设置于所述顶板和所述底板之间，且沿所述顶板和所述底板周向设置，其中至少两个所述立柱之间的距离大于晶圆直径。
于本申请的一实施例中，所述第一凸部与所述底板采用分体式结构，并且与所述底板采用热熔焊方式连接；或所述第二凸部与所述顶板采用分体式结构，并且与所述顶板采用热熔焊方式连接。
第二个方面，本申请实施例提供了一种立式热处理设备，包括工艺腔室、升降机构以及如第一个方面提供的石英舟，所述升降机构用于带动所述石英舟移入或移出所述工艺腔室内。
本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
本申请实施例通过将多个子石英舟层叠设置构成石英舟，能有效减小石英舟在高温工艺中的热形变，从而延长了石英舟的使用寿命，进而大幅延长了立式热处理设备的维护周期，同时还提高了立式热处理设备的可靠性。另外当石英舟发生热形变后，可以仅替换发生热形变的子石英舟，从而有效提高了可维护性及可替换性，大幅降低了立式热处理设备维护成本，并且大幅降低厂商在高温工艺中因石英舟替换所产生的经济成本。
本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1A为本申请实施例提供的一种石英舟的立体示意图；
图1B为本申请实施例提供的一种石英舟分解状态的立体示意图；
图2A为本申请实施例提供的一种子石英舟的立体示意图；
图2B为本申请实施例提供的一种石英舟局部放大的剖视示意图；
图3为本申请实施例提供的一种石英舟的剖视示意图；
图4A为现有技术中的石英舟热形变状态对比示意图；
图4B为本申请实施例提供的一种石英舟热形变状态示意图；
图5为本申请实施例提供的一种立式热处理设备的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
本申请实施例提供了一种立式热处理设备的石英舟，用于承载晶圆，该石英舟的结构示意图如图1A及图1B所示，石英舟包括多个子石英舟1，多个子石英舟1同轴叠置设置，任意两个相邻的子石英舟1相互连接。
如图1A及图1B所示，石英舟整体均可以采用石英材质制成，石英舟用于层叠承载多个晶圆(图中未示出)。石英舟具体包括三个子石英舟1，三个子石英舟1沿竖直方向层叠设置，即任意两个相邻的子石英舟1首尾相连。每个子石英舟1的容置腔11用于承载多个层叠设置的晶圆，并且子石英舟1的一侧有用于传输晶圆的传片位置12。
在实际应用时，首先将多个子石英舟1层叠设置，并且将任意两个相邻的子石英舟1相互连接以构成石英舟。结合参照如图5所示，立式热处理设备100的传输机构104可以分别通过各传片位置12向各子石英舟1内传输晶圆，待各子石英舟1的容置腔11装满后，再由升降机构102带动石英舟103进入立式热处理设备100的工艺腔室101中，以对各晶圆执行热处理工艺。
本申请实施例通过将多个子石英舟层叠设置构成石英舟，能有效减小石英舟在高温工艺中的热形变，从而延长了石英舟的使用寿命，进而大幅延长了立式热处理设备的维护周期。同时，有效减小石英舟的热变形，还避免了由于石英舟变形而导致晶圆在石英舟上无法呈现水平同心放置，从而使晶圆在由机械手传递至石英舟过程中无法准确放置在石英舟上而导致晶圆掉落的现象，提高了立式热处理设备的可靠性。另外当石英舟发生热形变后，可以仅替换发生热形变的子石英舟，从而有效提高了可维护性及可替换性，大幅降低了立式热处理设备维护成本，并且大幅降低厂商在高温工艺中因石英舟替换所产生的经济成本。
需要说明的是，本申请实施例并不限定石英舟具体包括子石英舟1的数量，例如子石英舟1可以三个以上或者三个以下，其可以根据立式热处理设备的规格对应设置。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况调整设置。
于本申请的一实施例中，如图1A至图2B所示，子石英舟1包括顶板13、底板14以及多个立柱15，顶板13和底板14上均设置有连接孔16，连接孔16内穿设有紧固件2，任意两个相邻的子石英舟通过紧固件2相互连接，紧固件2穿过位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1的顶板13，将位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1的顶板13连接。可选地，连接孔16沿周向排布于顶板13及底板14上。
如图1A至图2B所示，顶板13上贯穿有沿周向排布的两个连接孔16，该连接孔16均可以是螺纹孔，并且其中一个连接孔16位于传片位置12所在的位置，但是本申请实施例并不以此为限。底板14上对应的设置有两个连接孔16，该连接孔16均可以是螺纹孔。当两个子石英舟1层叠设置时，紧固件2穿过位于上方的子石英舟1底板14的连接孔16后，与位于下方的子石英舟1顶板13上的连接孔16螺接，以使得任意两个相邻的子石英舟1相互连接。紧固件2具体为采用石英材质制成的螺栓，但是本申请实施例并不以此为限。由于顶板13及底板14上均设置有沿周向排布的连接孔16，相较于单个连接孔16来说能有效提高石英舟的稳定性，并且保障了各子石英舟1之间的均为同轴设置。四个立柱15用于支撑子石英舟1以及作为晶圆载体，位于底部的子石英舟1用于负载石英舟自身重力。
需要说明的是，本申请实施并不限定紧固件2的具体类型及数量，例如紧固件2也可以采用卡接方式，并且紧固件2的数量可以与连接孔16的数量对应设置，连接孔16的具体数量为两个以上并且沿周向设置于顶板13及底板14上。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况调整设置。
于本申请的一个实施例中，如图1A至图2B所示，底板14为环状，底板14上设置有第一凸部3，第一凸部3位于底板14下表面，呈环状，并与底板14同轴设置；位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1的顶板13通过紧固件2连接时，第一凸部3顶抵顶板13，以减小接触面积。
如图1A至图2B所示，底板14可以为采用石英材质制成的环状结构，由于石英舟外径由晶圆的直径决定，则目前市场主要晶圆直径一般为200mm(毫米)至300mm之间，因此底板14的直径大于晶圆直径即可。底板14设计为环状结构，即底板14采用类似法兰的结构，从而有效降低子石英舟1的重量，进而还能大幅降低石英舟的自身重量。底板14内缘及外缘之间具有一定的空间，以满足连接孔16及紧固件2的安装空间需求。底板14的下表面设置有第一凸部3，第一凸部3同样采用石英材质制成的环状结构，第一凸部3与底板14同轴设置。进一步的，位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1通过紧固件2连接时，第一凸部3顶抵顶板13的上表面。底板14上设置有第一凸部3能有效减小各子石英舟1之间接触面积，接触面积的减小有利于降低各子石英舟1之间的摩擦，从而减少了摩擦所产生的颗粒，进而保障了工艺效果。
于本申请的一个实施例中，如图1A至图2B所示，顶板13为环状，顶板13上设置有第二凸部4，第二凸部4位于顶板13上表面，呈环状，并与顶板13同轴设置；位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1的顶板13通过紧固件2连接时，第二凸部4顶抵底板14，以减小接触面积。
如图1A至图2B所示，顶板13为采用石英材质制成的环状结构，并且顶板13直径大于晶圆的直径。顶板13可以设计为环状结构，即顶板13采用类似法兰的结构，从而有效降低子石英舟1的重量，进而还能大幅降低石英舟的自身重量。顶板13内缘及外缘之间预留一定的空间，以满足连接孔16及紧固件2的安装空间需求。顶板13的上表面设置有第二凸部4，第二凸部4同样采用石英材质制成的环状结构，第二凸部4与顶板13同轴设置。进一步的，位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1通过紧固件2连接时，第二凸部4顶抵底板14的下表面。顶板13上设置有第二凸部4能有效减小各子石英舟1之间接触面积，接触面积的减小有利于降低各子石英舟1之间的摩擦，从而减少了摩擦所产生的颗粒，进而保障了工艺效果。
于本申请的一个实施例中，如图1A至图2B所示，底板14上设置有第一凸部3且顶板13上设置有第二凸部4时，第一凸部3与第二凸部4配合设置，位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1的顶板13通过紧固件2连接时，第一凸部3套设于第二凸部4上，或者第二凸部4套设于第一凸部3上。
如图1A至图2B所示，多个子石英舟1的底板14上设置有第一凸部3，并且顶板13上设置有第二凸部4。在实际应用时，位于上方的子石英舟1的底板14与位于下方的子石英舟1顶板13通过紧固件2连接时，第一凸部3套设于第二凸部4的外周，即第一凸部3的内径略大于第二凸部4的外径；或者第二凸部4套设于第一凸部3的外周，即第二凸部4的内径略大于第一凸部3的外径。采用上述设计，通过底板14上的第一凸部3与顶板13上的第二凸部4相互嵌套配合，不仅可以稳定支撑位于上部的子石英舟，而且还减小了各子石英舟1之间接触面积，接触面积的减小有利于降低各子石英舟1之间的摩擦，从而减少了摩擦所产生的颗粒，保障了工艺效果。可选地，多个连接孔16均位于底板14的第一凸部3，即多个连接孔16在底板14上的位置与第一凸部3所在的位置重合，能有效减小底板14的内缘与外缘之间的宽度，从而进一步减少子石英舟1的重量。同时保证了底板的稳定支撑。
于本申请的一实施例中，如图2A至图2B所示，第一凸部3或第二凸部4的高度为1至3毫米。可选地，第一凸部3与底板14采用分体式结构，并且与底板14采用热熔焊方式连接；或第二凸部4与顶板13采用分体式结构，并且与顶板13采用热熔焊方式连接。
如图2A及图2B所示，第一凸部3及第二凸部4的高度尺寸具体可以设置为1毫米、2毫米或3毫米。例如第一凸部3及第二凸部4的高度均设置为1毫米，该高度为石英材质可加工的最小尺寸，采用该设计能保障第一凸部3及第二凸部4的高度最小，从而有效减少石英舟1的整体高度。可选地，第一凸部3的高度可以大于第二凸部4的高度，以便于在第一凸部3套设于第二凸部4的外周时，使得第二凸部4与底板13的下表面不接触，即第二凸部4仅起到限位作用，由此不仅使得各子石英舟1之间稳定性好，而且还进一步减小了各子石英舟1之间接触面积。可选地，第一凸部3与底板14之间可以采用分体式结构，并且第一凸部3可以采用热熔焊方式与底板14连接，以使得本申请实施便于加工制造，从而降低应用及维护成本。第二凸部4与顶板13之间可以采用分体式结构，并且第二凸部4可以采用热熔焊方式与顶板13连接，从而进一步的降低应用及维护成本。
于本申请的一实施例中，如图1A至图2B所示，子石英舟1的多个立柱15设置于顶板13和底板14之间，且沿顶板13和底板14周向设置，其中至少两个立柱15之间的距离大于晶圆直径。
如图1A至图2B所示，子石英舟1具体可以包括四个立柱15，四个立柱15均设置于子石英舟1的顶板13和底板14之间。立柱15采用直径为19mm石英棒加工而成，其中至少两个立柱15之间的距离可以大于晶圆直径以形成传片位置12，机械手(图中未示出)将晶圆从传片位置12传入子石英舟1。四个立柱15围绕形成容置晶圆的容置腔11。立柱15上分布有多个等间距的限位槽151，任意两个相邻的限位槽151的间距可以为5.2mm，各限位槽151的槽宽度为3.2mm，限位槽151位于立柱15面向容置腔11的一侧，并且沿立柱15的轴向线性阵列分布，限位槽151的具体数量由立式热处理设备的工艺腔室的恒温区高度决定，因此本申请实施例对于限位槽151的具体数量并不限定。
进一步的，各立柱15与顶板13及底板14之间均采用热熔焊方式连接，但是本申请实施例并不以为限，例如立柱15的两端还可以采用螺接方式分别与顶板13及底板14连接。采用上述设计，由于缩短了立柱15的长度，并且在立柱15两端通过设置顶板13及底板14以增强了石英舟的结构强度。另外，子石英舟1整体结构均采用石英材质能有效提高耐高温性能，并且还能有效降低应用成本。
需要说明的是，本申请实施并不限定各部件的具体尺寸，即顶板13及底板14的尺寸可以与晶圆尺寸对应设置，而各立柱15上的限位槽151的数量与工艺腔室的恒温区对应设置。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况调整设置。
于本申请的一实施例中，各子石英舟1具体可以设计为相同尺寸，如图3所示，各子石英舟1的高度均相同，附图中示出各子石英舟1的高度，即H1＝H2＝H3。另外，各子石英舟1的外径D及内径d同样设置为相同尺寸，即各子石英舟1的顶板13及底板14均采用相同尺寸。采用上述设计，能有效提高各子石英舟1之间的相互可替换性，不仅能降低维护及应用成本，而且能有效提效维护效率。
为了进一步说明本申请实施例的有益效果，以下将对现有技术中的石英舟以及本申请实施例的石英舟进行仿真测试，并且针对测试结果说明本申请实施例相对于现有技术的有益效果。具体来说，将石英舟的高度设定为980mm，材质密度设定为2.203g/cm3(克/立方厘米)，以及热膨胀系数恒定值设定为5.4*10-7/℃(摄氏度)，并且石英舟应用于200mm的立式热处理设备。如图4A及图4B所示，根据仿真测试结果显示，现有技术中的石英舟在执行1050℃的单次热处理工艺后，该石英舟的各立柱在轴向最大热形变量的绝对值为0.18415mm，并且最大热形变位置位于该石英舟中部位置，具体可参考如图4A中Max指示的位置。本申请实施例的石英舟采用相同规格，并且在相同工艺条件下，根据仿真测试结果显示，该石英舟的各立柱在轴向上最大热形变量的绝对值为0.080586mm，并且最大热形变位置位于石英舟的底部位置，具体参考如图4B中Max指示的位置。由上述对比可知，相较于现有技术中的石英舟，本申请实施例的石英舟热形变量减小了约56％，由此说明本申请实施例的石英舟在高温环境下结构强度更高。由于减小了单次热处理工艺最大热形变量的绝对值，使得本申请实施例的石英舟使用寿命较长，从而延长了立式热处理设备的维护周期。同时，相较于现有技术中的石英舟在维护时需整体报废更新，而本申请实施例的石英舟在维护时，可以只更换发生热形变的子石英舟1，从而大幅降低了石英舟的应用成本。
如图1A及图4B所示，由于最底部的子石英舟1在承受热应力的同时，还需要承载上方两个子石英舟1的重量，因此最底部的子石英舟1热形变量往往大于其它的子石英舟1。当石英舟经过长期使用后需要对各子石英舟1进行检测，当子石英舟1的热形变量超过预设的安全值后，需要对该子石英舟1进行拆卸更换，而最大热形变量处于安全值内的子石英舟1仍可继续使用，即位于中部及顶部的子石英舟1热形变量较小，因此可以仅更换位于底部的子石英舟1，从而节约了子石英舟1的备件数量，进而大幅降低了石英舟的报废及替换成本。
基于同一发明构思，本申请实施例提供了一种立式热处理设备，该立式热处理设备100的结构示意图如图5所示，包括工艺腔室101、升降机构102以及如上述各实施例提供的石英舟103，升降机构102用于带动石英舟103移入或移出工艺腔室101内。可选地，立式热处理设备还包括传输机构104，传输机构104具体为机械手，用于向石英舟101内传输晶圆。
应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：
本申请实施例通过将多个子石英舟层叠设置构成石英舟，能有效减小石英舟在高温工艺中的热形变，从而延长了石英舟的使用寿命，进而大幅延长了立式热处理设备的维护周期，同时还提高了立式热处理设备的可靠性。另外当石英舟发生热形变后，可以仅替换发生热形变的子石英舟，从而有效提高了可维护性及可替换性，大幅降低了立式热处理设备维护成本，并且大幅降低厂商在高温工艺中因石英舟替换所产生的经济成本。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (10)
1.一种立式热处理设备的石英舟，用于承载晶圆，其特征在于，所述石英舟包括多个子石英舟，多个所述子石英舟同轴叠置设置，任意两个相邻的子石英舟相互连接。
2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述子石英舟包括顶板、底板以及多个立柱，所述顶板和所述底板上均设置有连接孔，所述连接孔内穿设有紧固件，任意两个相邻的所述子石英舟通过所述紧固件相互连接，所述紧固件穿过位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板，将位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板连接。
3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述连接孔沿周向排布于所述底板及所述顶板上。
4.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述底板为环状，所述底板上设置有第一凸部，所述第一凸部位于所述底板下表面，呈环状，并与所述底板同轴设置；
位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第一凸部顶抵所述顶板，以减小接触面积。
5.如权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述顶板为环状，所述顶板上设置有第二凸部，所述第二凸部位于所述顶板上表面，呈环状，并与所述顶板同轴设置；
位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第二凸部顶抵所述底板，以减小接触面积。
6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述底板上设置有第一凸部且所述顶板上设置有第二凸部时，所述第一凸部与所述第二凸部配合设置，位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第一凸部套设于所述第二凸部内，或者所述第二凸部套设于所述第一凸部内。
7.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述第一凸部或所述第二凸部的高度为1至3毫米。
8.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述子石英舟的多个所述立柱设置于所述顶板和所述底板之间，且沿所述顶板和所述底板周向设置，其中至少两个所述立柱之间的距离大于晶圆直径。
9.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述第一凸部与所述底板采用分体式结构，并且与所述底板采用热熔焊方式连接；
或所述第二凸部与所述顶板采用分体式结构，并且与所述顶板采用热熔焊方式连接。
10.一种立式热处理设备，其特征在于，包括工艺腔室、升降机构以及如权利要求1至9的任一所述立式热处理设备的石英舟，所述升降机构用于带动所述石英舟移入或移出所述工艺腔室内。
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