CN201556614U - 立式石英舟 - Google Patents

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张忠恕
杨继盛
陈强
边占宁
孙云涛
韦冬寒
卢爱国
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Abstract

本实用新型涉及“立式石英舟”，属于石英制品领域，其包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，其特征在于，所述下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定。本实用新型分别从支座、开槽石英棒的分布、底盘各方面优化结构，提高了立式石英舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。

Description

立式石英舟
技术领域
本实用新型涉及石英制品领域，特别是涉及一种立式石英舟。
背景技术
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。立式石英舟是集成电路芯片生产线采用的晶片载体，一般用于离子注入、低压CVD、多晶硅生长等重要工序，精度要求很高，完全实现机械手操作，所以对立式石英舟的稳定度要求非常高。现有的立式石英舟一般采用三根立式棒，两端固定有底盘，下端的底盘采用三个或四个支腿的形式来支撑整个立式石英舟，由于立式石英舟仅靠支腿支撑，因此造成稍有振动立式石英舟的位置就发生了变化，机械手操作的稳定可靠性就发生了变化。
发明内容
针对上述领域中的不足，本实用新型提供一种立式石英舟，其稳定性非常好，特别适用于大型的立式石英舟结构。
立式石英舟，包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，其特征在于，所述下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定。
所述开槽石英棒为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。
所述四根开槽石英棒之间在水平方向固定有若干连接棒。
所述连接棒为弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒上，其弧形的中心与梯形中心为同心。
所述上、下底盘为圆环。
所述上、下底盘为缺口圆环，所述缺口圆环的缺口为圆环被平行于梯形水平线的直线切割后形成的缺口。
为解决立式石英舟位置的稳定性问题，本实用新型将立式石英舟下表面设计成与生产线相卡扣的凸台结构。生产线的水平面上可以设置相应的凹槽，将凸台卡在凹槽内，立式石英舟载物将相当平稳。开槽石英棒垂直固定于两端底盘上，槽内装载相应规格尺寸的硅片。
本实用新型采用四根开槽石英棒，由于内部要放置硅片，四根石英棒必须在同一圆周上，为保证硅片的稳定性，四根立式石英棒呈梯形分布，则硅片可以从梯形长边的一侧放入或取出。
为更好的保证立式石英舟的稳定性，如石英舟高度很高，且放置的硅片很多，可以在开槽石英棒之间固定连接棒以增加稳定性。优选将连接棒置于梯形的斜边侧。
底盘可以设置成圆环形，使硅片组在立式石英舟内处于上、下通透的状态。
在不失稳的情况下，可以尽量减少底盘的占地面积，不易与其它物件相撞，因此可以设计成缺口圆环，圆环两侧被直线切掉两小缺口，切割的直线与梯形水平线平行，这样能保证石英舟的稳定性。
本实用新型从支座、开槽石英棒的分布、底盘各方面优化结构，提高了立式石英舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。
附图说明
图1本实用新型主视图，
图2本实用新型俯视图，
图3本实用新型仰视图，
图4本实用新型侧视图，
图5图4中A-A向剖视图，
图中各标号列示如下：
1-开槽石英棒，2-上底盘，3-下底盘，4-凸台，5-连接棒。
具体实施方式
如图1、4所示，本实用新型立式石英舟，包括开槽石英棒1，和固定于开槽石英棒1两端的相互平行的上底盘2和下底盘3，下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台4，可与生产线的水平面上相应设置的凹槽相卡扣，使立式石英舟载物将相当平稳。开槽石英棒1垂直固定，槽内装载相应规格尺寸的硅片。
本实用新型采用四根开槽石英棒1，呈梯形分布，且位于同一圆周上，保证硅片的稳定性，且硅片可以从梯形长边的一侧放入或取出。
如石英舟高度很高，且放置的硅片很多，可以在开槽石英棒1之间固定连接棒5以增加稳定性。优选将连接棒5置于梯形的斜边侧，连接棒5设计成弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒1上，其弧形的中心与梯形中心为同心，提高整个立式石英舟的稳定性。
所述上、下底盘2、3可以为圆环，使硅片组在立式石英舟内处于上、下通透的状态。
所述上、下底盘2、3为缺口圆环，所述缺口圆环的缺口为圆环被平行于梯形水平线的直线切割后形成的缺口如图2、3、5中所示。在不失稳的情况下，可以尽量减少底盘的占地面积，不易与其它物件相碰，这样能保证石英舟的稳定性。
本实用新型从支座、开槽石英棒的分布、底盘各方面优化结构，提高了立式石英舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。

Claims (6)

1.立式石英舟，包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，其特征在于，所述下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定。
2.根据权利要求1所述的立式石英舟，其特征在于：所述开槽石英棒为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。
3.根据权利要求2所述的立式石英舟，其特征在于：所述四根开槽石英棒之间在水平方向固定有连接棒。
4.根据权利要求3所述的立式石英舟，其特征在于：所述连接棒为弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒上，其弧形的中心与梯形中心为同心。
5.根据权利要求1-4任一所述的立式石英舟，其特征在于：所述上、下底盘为圆环。
6.根据权利要求2-4任一所述的立式石英舟，其特征在于：所述上、下底盘为缺口圆环，所述缺口圆环的缺口为圆环被平行于梯形水平线的直线切割后形成的缺口。
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Cited By (6)

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CN102412175A (zh) * 2011-12-05 2012-04-11 湖州奥博石英科技有限公司 一种石英舟
CN106435740A (zh) * 2016-11-11 2017-02-22 桂林电子科技大学 一种立式太阳能硅片扩散炉
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CN109887873A (zh) * 2019-02-14 2019-06-14 扬州美和光电科技有限公司 一种高品质石英舟的生产加工方法
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102231406A (zh) * 2011-06-24 2011-11-02 苏州凯西石英电子有限公司 一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟
CN102412175A (zh) * 2011-12-05 2012-04-11 湖州奥博石英科技有限公司 一种石英舟
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CN106435740A (zh) * 2016-11-11 2017-02-22 桂林电子科技大学 一种立式太阳能硅片扩散炉
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