CN205789901U - 一种叠合式多层石英承载舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及石英舟技术领域，公开了一种叠合式多层石英承载舟，包括若干依次叠合的石英单舟，石英单舟包括矩形的舟体底板、设在舟体底板上侧面边缘处的挡板，舟体底板的下侧面两端设有相互平行的支撑板，支撑板的形状呈倒梯形，舟体底板的四个角上均设有限位板，限位板上设有倾斜的支撑板限位面，舟体底板上至少设有两个定位孔，定位孔内设有石英定位销，石英单舟叠合后通过石英定位销定位，相邻两个石英单舟之间存在进气间隙。本实用新型具有能提高粉末物料气固反应的均匀性，提升单次物料气固反应处理量的有益效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英舟技术领域，尤其涉及一种叠合式多层石英承载舟。
背景技术
半导体材料、传感器材料、催化材料、合金材料等粉末材料的生产过程中的高温氧化、还原、钝化、碳化以及LPCVD系统中需经过SIPOS沉积的等工序，在将粉末材料或者片状材料平铺于石英舟中，在高温状态下降碳化、氧化、还原等气体以一定的流速通入炉体当中进行反应，在反应过程中，反应均匀性受到气体组分比例，气体扩散均匀性，以及气体在粉末材料内部的扩散速度和反应后气体的排出效率有关。特别是对于高附加值的催化材料等特种材料，其反应的均匀性要求更高。
目前已有的陶瓷、石英承载舟缺点如下：其一，载量小，每个3-5CM长度的舟体，平均只能放置0.5到几克的原料，而高温炉体普通长度在1-1.2米，恒温区基本在30CM左右，每次制备量非常少，制备效率低；其二，粉末堆置，导致扩散问题严重，放置少量及增量过程中，反应受到很大影响，导致制备得到的材料均匀性问题严重。阻碍了产品产量和产品品质。
实用新型内容
本实用新型为了克服现有技术中的石英舟存在上述不足，提供了一种能提高粉末物料气固反应的均匀性，提升单次物料气固反应处理量的叠合式多层石英承载舟。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种叠合式多层石英承载舟，包括若干依次叠合的石英单舟，所述的石英单舟包括矩形的舟体底板、设在舟体底板上侧面边缘处的挡板，所述舟体底板的下侧面两端设有相互平行的支撑板，所述支撑板的形状呈倒梯形，舟体底板的四个角上均设有限位板，所述的限位板上设有倾斜的支撑板限位面，所述舟体底板上至少设有两个定位孔，定位孔内设有石英定位销，石英单舟叠合后通过石英定位销定位，相邻两个石英单舟之间存在进气间隙。粉末物料铺在舟体底板上，上一个石英单舟叠合在下一个石英单舟上，上面的石英单舟底部的支撑板的两端正好与下一个石英单舟上的限位板接触限位，再把石英定位销插入所有石英单舟的定位孔内，防止石英单舟倾斜、侧翻，然后整体装入高温炉内，还原性气体从进气间隙处吹入与粉末进行气固反应，该种石英承载舟极大的增强了粉末铺设表面积，而且可以根据需要选择石英单舟的数量，使用范围广，通用性强。
作为优选，所述的舟体底板上设有若干气流导向板，相邻两块气流导向板之间形成导流槽。导流槽用于气流导向，使得还原性气体从粉末物料的表面经过。
作为优选，气流导向板的进气端与舟体底板一端的挡板连接，其中最外面两块气流导向板的进气端宽度小于出气端宽度。气体从进气端进入后到出气端时向外扩散，提高反应均匀性。
作为优选，所述气流导向板的高度大于挡板的高度，所述挡板的高度为8mm-12mm，所述气流导向板的高度为13mm-15mm。
作为优选，所述的定位孔内设有石英衬套，所述石英衬套的上端高出舟体底板上表面5mm-8mm。石英衬套能防止粉末物料进入定位孔内。
因此，本实用新型具有能提高粉末物料气固反应的均匀性，提升单次物料气固反应处理量的有益效果。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图。
图2为石英单舟的结构示意图。
图3为图2的俯视图。
图4为图2的左视图。
图5为图4中A处放大示意图。
图中：石英单舟1、舟体底板2、挡板3、支撑板4、限位板5、支撑板限位面50、定位孔6、石英衬套7、石英定位销8、气流导向板9、导流槽10。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：
如图1、图2和图3所示的一种叠合式多层石英承载舟，包括若干依次叠合的石英单舟1，本实施例中的石英单舟有六个，石英单舟1包括矩形的舟体底板2、设在舟体底板上侧面边缘处的挡板3，舟体底板2的下侧面两端设有相互平行的支撑板4，支撑板的形状呈倒梯形，舟体底板2的四个角上均设有限位板5，限位板上设有倾斜的支撑板限位面50，舟体底板的四个角上各设有一个定位孔6，如图5所示，定位孔6内设有石英衬套7，石英衬套的上端高出舟体底板上表面5mm-8mm，石英定位销8穿过石英衬套，石英单舟叠合后通过石英定位销定位，相邻两个石英单舟之间存在进气间隙；
如图3和图4所示，舟体底板2上设有若干气流导向板9，相邻两块气流导向板之间形成导流槽10，气流导向板9的进气端（图3中右端）与舟体底板一端的挡板连接，气流导向板9的出气端与另一侧的挡板不接触，其中最外面两块气流导向板的进气端之间的宽度小于出气端之间的宽度；气流导向板的高度大于挡板的高度，挡板的高度为8mm-12mm，气流导向板的高度为13mm-15mm。
结合附图，本实用新型的使用方法如下：粉末物料铺在舟体底板上，上一个石英单舟叠合在下一个石英单舟上，上面的石英单舟底部的支撑板的两端正好与下一个石英单舟上的限位板接触限位，再把石英定位销插入所有石英单舟的定位孔内，防止石英单舟倾斜、侧翻，然后整体装入高温炉内，还原性气体进入进气间隙后经过导流槽导入粉末物料表面，该种石英承载舟极大的增强了粉末铺设表面积，而且可以根据需要选择石英单舟的数量。因此，本实用新型具有能提高粉末物料气固反应的均匀性，提升单次物料气固反应处理量的有益效果。
Claims (5)
1.一种叠合式多层石英承载舟，其特征是，包括若干依次叠合的石英单舟，所述的石英单舟包括矩形的舟体底板、设在舟体底板上侧面边缘处的挡板，所述舟体底板的下侧面两端设有相互平行的支撑板，所述支撑板的形状呈倒梯形，舟体底板的四个角上均设有限位板，所述的限位板上设有倾斜的支撑板限位面，所述舟体底板上至少设有两个定位孔，定位孔内设有石英定位销，石英单舟叠合后通过石英定位销定位，相邻两个石英单舟之间存在进气间隙。
2.根据权利要求1所述的一种叠合式多层石英承载舟，其特征是，所述的舟体底板上设有若干气流导向板，相邻两块气流导向板之间形成导流槽。
3.根据权利要求2所述的一种叠合式多层石英承载舟，其特征是，气流导向板的进气端与舟体底板一端的挡板连接，其中最外面两块气流导向板的进气端之间宽度小于出气端之间的宽度。
4.根据权利要求2或3所述的一种叠合式多层石英承载舟，其特征是，所述气流导向板的高度大于挡板的高度，所述挡板的高度为8mm-12mm，所述气流导向板的高度为13mm-15mm。
5.根据权利要求1所述的一种叠合式多层石英承载舟，其特征是，所述的定位孔内设有石英衬套，所述石英衬套的上端高出舟体底板上表面5mm-8mm。
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|---|---|---|---|---|
| CN111987025A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-11-24 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 立式热处理设备及其石英舟 |
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2016
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