CN111921287B - 一种半导体生产用空气净化装置 - Google Patents

Abstract

本发明公布了一种半导体生产用空气净化装置，其包括，净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，当通风壳体二处于打开状态时，进风管内气体经进风管的另一端部排出，从而除去杂质气体，挡块一、挡块二与连接板相抵时，能够减缓连接板的移动速度，从而减缓通风壳体一、通风壳体二的启闭速度，因此能够将杂质气体经进气管排尽。

Description

一种半导体生产用空气净化装置

技术领域

本发明涉及空气净化技术领域，具体涉及一种半导体生产用空气净化装置。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。半导体组件加工时，微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果。为此，所有半导体制程设备，都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，为此，需要一种半导体生产的空气净化装置。

发明内容

为解决现有技术的不足，本发明的目的提供一种半导体生产用空气净化装置。

为实现上述技术目的，本发明所采用的技术方案如下。

一种半导体生产用空气净化装置，其包括：

净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，连通管靠近连接壳体，净化器安装于净化壳体内并且靠近净化壳体的顶部，连通管的顶端与净化器接通，所述的排风管的一端与净化器接通、另一端伸入至半导体生产室内，所述的进风管上连通有通风壳体二，排风管上连通有通风壳体一，传动进风机构设置于连接壳体的一侧，净化壳体内设置有安装板，所述的传动进风机构包括电机、带轮一、扇叶、带轮二、转轴、伸缩杆、配重球，电机安装于安装板上，电机的输出轴呈水平布置，带轮一套设于电机的输出轴端，电机的输出轴上还套设有扇叶，扇叶处于连接壳体内，所述的转轴水平连接于安装板上，带轮二同轴固定套设于转轴的一端部，带轮一与带轮二之间通过皮带传动，转轴的另一端部水平延伸并且处于通风壳体一、通风壳体二之间，通风壳体一、通风壳体二之间设置有用于控制通风壳体一、通风壳体二之间启闭的启闭组件，启闭组件与转轴连接。

作为本技术方案的进一步改进，所述的净化壳体内竖直设置有导杆，导杆设置有两个并且呈平行布置，导杆的底部设置有限位板，所述的切换进风机构包括挡板一、挡板二，挡板一呈竖直布置，挡板一插接于通风壳体一内，挡板二呈竖直布置，挡板二插接于通风壳体二内，挡板一、挡板二上开设有通风孔，挡板一的底部水平设置有连接板，挡板一通过连接板套设于两导杆上，导杆上套设有弹簧一，弹簧一的一端与连接板相抵、另一端与净化壳体的顶部相抵，挡板二与连接板连接，连接板的底部设置有导板，转轴的端部连接有伸缩杆，伸缩杆的端部设置有配重球，导板的底面呈圆弧形，配重球与导板接触。

作为本技术方案的进一步改进，净化壳体内设置有限位组件，限位组件包括支撑板、导柱一、导柱二、挡块一、挡块二，支撑板水平连接于净化壳体内，导柱一、导柱二连接于支撑板上，导柱一、导柱二的一端部分别设置有挡块一、挡块二，挡块一、挡块二处于连接板的上方并且与连接板接触，挡块一、挡块二的上下两端面均呈倾斜布置，导柱一、导柱二的另一端部设置有挡板，导柱一、导柱二穿过连接板的板面，导柱一、导柱二上套设有弹簧二，弹簧二的一端与支撑板相抵、另一端与挡块一、挡块二相抵。

作为本技术方案的进一步改进，净化器的底部开设有排料口，净化器的底部设置有用于对杂质进行排料的排料机构，排料机构包括拨轮、转轮、连接杆、连杆、排料壳体、漏料槽，连通管上接通有安装壳体，拨轮活动安装于安装壳体内，转轮处于净化器的底部，转轮与净化器的底部之间通过连接轴相连，拨轮的中心轴与转轮之间通过皮带传动，连接杆设置于转轮上，连接杆靠近转轮的边沿，排料壳体设置于净化器的底部，排料壳体与净化器的底部滑动配合，漏料槽开设于排料壳体上，连杆的一端与连接杆铰接、另一端与排料壳体铰接。

作为本技术方案的进一步改进，净化壳体内设置有导料槽，导料槽呈倾斜布置，导料槽的一端处于排料壳体的下方、另一端伸出至净化壳体外。

本发明与现有技术相比，本发明的有益效果在于：本发明使用过程中，当通风壳体二处于打开状态时，进风管内气体经进风管的另一端部排出，从而除去杂质气体，挡块一、挡块二与连接板相抵时，能够减缓连接板的移动速度，从而减缓通风壳体一、通风壳体二的启闭速度，因此能够将杂质气体经进气管排尽，排料壳体的漏料槽与净化器的底部的排料口重合，净化器内的杂质能够经漏料槽排出，当漏料槽与净化器的底部的排料口分离时，排料壳体能够对净化器的底部的排料口进行封堵，从而避免净化壳体内的气体进入至净化器内。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的整体结构示意图。

图2为本发明的净化壳体内部结构示意图。

图3为本发明的传动进风机构示意图。

图4为本发明的传动进风机构与切换进风机构配合示意图。

图5为本发明的挡板一与伸缩杆配合示意图。

图6为本发明的限位组件示意图。

图7为本发明的排料机构安装示意图。

图8为本发明的排料机构示意图。

图中标示为：

10、净化壳体；110、进风管；120、连通管；130、净化器；140、排风管；150、连接壳体；160、安装壳体；170、导料槽；180、导杆；

20、传动进风机构；210、电机；220、带轮一；230、扇叶；240、带轮二；250、转轴；260、伸缩杆；270、配重球；

30、切换进风机构；310、通风壳体一；320、通风壳体二；330、挡板一；331、连接板；332、导板；340、挡板二；350、限位组件；351、支撑板；352、导柱一；353、导柱二；354、挡块一；355、挡块二；

40、排料机构；410、拨轮；420、转轮；430、连接杆；440、连杆；450、排料壳体；460、漏料槽。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1-8所示，一种半导体生产用空气净化装置，其包括：

净化壳体10、传动进风机构20、切换进风机构30，所述的净化壳体10为长方体结构，传动进风机构20、切换进风机构30安装于净化壳体10内，净化壳体10内设置有进风管110、净化器130、排风管140，进风管110呈水平布置，进风管110的两端与外界连通，进风管110上接通有连接壳体150，连接壳体150靠近净化壳体10的一侧，连接壳体150上接通有连通管120，连通管120靠近连接壳体150，净化器130安装于净化壳体10内并且靠近净化壳体10的顶部，连通管120的顶端与净化器130接通，所述的排风管140的一端与净化器130接通、另一端伸入至半导体生产室内，所述的进风管110上连通有通风壳体二320，排风管140上连通有通风壳体一310，传动进风机构20设置于连接壳体150的一侧，净化壳体10内设置有安装板，所述的传动进风机构20包括电机210、带轮一220、扇叶230、带轮二240、转轴250、伸缩杆260、配重球270，电机210安装于安装板上，电机210的输出轴呈水平布置，带轮一220套设于电机210的输出轴端，电机210的输出轴上还套设有扇叶230，扇叶230处于连接壳体150内，所述的转轴250水平连接于安装板上，带轮二240同轴固定套设于转轴250的一端部，带轮一220与带轮二240之间通过皮带传动，转轴250的另一端部水平延伸并且处于通风壳体一310、通风壳体二320之间，通风壳体一310、通风壳体二320之间设置有用于控制通风壳体一310、通风壳体二320之间启闭的启闭组件，启闭组件与转轴250连接，电机210的输出轴转动带动扇叶230转动，从而使进风管110吸风；

初始状态时，通风壳体二320处于打开状态，通风壳体一310处于关闭状态，当电机210工作时，转轴250转动，通风壳体二320逐渐切换至关闭状态，通风壳体一310逐渐切换至打开状态，当通风壳体二320处于打开状态时，进风管110内气体经进风管110的另一端部排出，从而除去杂质气体，当通风壳体二320处于关闭状态，通风壳体一310处于打开状态时，空气经进风管110进入连通管120，接着进入净化器130内，净化器130对空气进行净化后，空气经排风管140进入半导体生产室内。

如图3-5所示，所述的净化壳体10内竖直设置有导杆180，导杆180设置有两个并且呈平行布置，导杆180的底部设置有限位板，所述的切换进风机构30包括挡板一330、挡板二340，挡板一330呈竖直布置，挡板一330插接于通风壳体一310内，挡板二340呈竖直布置，挡板二340插接于通风壳体二320内，挡板一330、挡板二340上开设有通风孔，挡板一330的底部水平设置有连接板331，挡板一330通过连接板331套设于两导杆180上，导杆180上套设有弹簧一，弹簧一的一端与连接板331相抵、另一端与净化壳体10的顶部相抵，挡板二340与连接板331连接，连接板331的底部设置有导板332，转轴250的端部连接有伸缩杆260，伸缩杆260的端部设置有配重球270，导板332的底面呈圆弧形，配重球270与导板332接触，转轴250转动时，伸缩杆260在离心力的作用下伸展，配重球270推动导板332上移，挡板一330的通风孔与通风壳体一310接通，通风壳体一310处于接通状态，挡板二340上移，挡板二340上的通风孔与通风壳体二320分离，通风壳体二320处于关闭状态。

如图5-6所示，净化壳体10内设置有限位组件350，限位组件350包括支撑板351、导柱一352、导柱二353、挡块一354、挡块二355，支撑板351水平连接于净化壳体10内，导柱一352、导柱二353连接于支撑板351上，导柱一352、导柱二353的一端部分别设置有挡块一354、挡块二355，挡块一354、挡块二355处于连接板331的上方并且与连接板331接触，挡块一354、挡块二355的上下两端面均呈倾斜布置，导柱一352、导柱二353的另一端部设置有挡板，导柱一352、导柱二353穿过连接板331的板面，导柱一352、导柱二353上套设有弹簧二，弹簧二的一端与支撑板351相抵、另一端与挡块一354、挡块二355相抵，挡块一354、挡块二355与连接板331相抵时，能够减缓连接板331的移动速度，从而减缓通风壳体一310、通风壳体二320的启闭速度，因此能够将杂质气体经进风管110排出。

更为具体的，净化器130对空气进行净化后需要将杂质除去，净化器130的底部开设有排料口，净化器130的底部设置有用于对杂质进行排料的排料机构40，排料机构40包括拨轮410、转轮420、连接杆430、连杆440、排料壳体450、漏料槽460，连通管120上接通有安装壳体160，拨轮410活动安装于安装壳体160内，转轮420处于净化器130的底部，转轮420与净化器130的底部之间通过连接轴相连，拨轮410的中心轴与转轮420之间通过皮带传动，连接杆430设置于转轮420上，连接杆430靠近转轮420的边沿，排料壳体450设置于净化器130的底部，排料壳体450与净化器130的底部滑动配合，漏料槽460开设于排料壳体450上，连杆440的一端与连接杆430铰接、另一端与排料壳体450铰接，当连通管120内通风时，拨轮410转动带动转轮420转动，从而带动连杆440拉动排料壳体450移动，从而使排料壳体450的漏料槽460与净化器130的底部的排料口重合，净化器130内的杂质能够经漏料槽460排出，当漏料槽460与净化器130的底部的排料口分离时，排料壳体450能够对净化器130的底部的排料口进行封堵，从而避免净化壳体10内的气体进入至净化器130内。

更为具体的，净化壳体10内设置有导料槽170，导料槽170呈倾斜布置，导料槽170的一端处于排料壳体450的下方、另一端伸出至净化壳体10外，导料槽170能够对杂质进行集中排出至净化壳体10外。

工作原理：

本发明在使用过程中，初始状态时，通风壳体二320处于打开状态，通风壳体一310处于关闭状态，当电机210工作时，转轴250转动，通风壳体二320逐渐切换至关闭状态，通风壳体一310逐渐切换至打开状态，当通风壳体二320处于打开状态时，进风管110内气体经进风管110的另一端部排出，从而除去杂质气体，当通风壳体二320处于关闭状态，通风壳体一310处于打开状态时，空气经进风管110进入连通管120，接着进入净化器130内，净化器130对空气进行净化后，空气经排风管140进入半导体生产室内，挡块一354、挡块二355与连接板331相抵时，能够减缓连接板331的移动速度，从而减缓通风壳体一310、通风壳体二320的启闭速度，因此能够将杂质气体经进风管110排出，当连通管120内通风时，拨轮410转动带动转轮420转动，从而带动连杆440拉动排料壳体450移动，从而使排料壳体450的漏料槽460与净化器130的底部的排料口重合，净化器130内的杂质能够经漏料槽460排出，当漏料槽460与净化器130的底部的排料口分离时，排料壳体450能够对净化器130的底部的排料口进行封堵，从而避免净化壳体10内的气体进入至净化器130内。

需要声明的是，上述具体实施方式仅仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员应该明白，还可以对本发明做各种修改、等同替换、变化等等。但是，这些变换只要未背离本发明的精神，都应在本发明的保护范围之内。另外，本申请说明书和权利要求书所使用的一些术语并不是限制，仅仅是为了便于描述。

Claims (4)

1.一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，其包括：

净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，连通管靠近连接壳体，净化器安装于净化壳体内并且靠近净化壳体的顶部，连通管的顶端与净化器接通，所述的排风管的一端与净化器接通、另一端伸入至半导体生产室内，所述的进风管上连通有通风壳体二，排风管上连通有通风壳体一，传动进风机构设置于连接壳体的一侧，净化壳体内设置有安装板，所述的传动进风机构包括电机、带轮一、扇叶、带轮二、转轴、伸缩杆、配重球，电机安装于安装板上，电机的输出轴呈水平布置，带轮一套设于电机的输出轴端，电机的输出轴上还套设有扇叶，扇叶处于连接壳体内，所述的转轴水平连接于安装板上，带轮二同轴固定套设于转轴的一端部，带轮一与带轮二之间通过皮带传动，转轴的另一端部水平延伸并且处于通风壳体一、通风壳体二之间，通风壳体一、通风壳体二之间设置有用于控制通风壳体一、通风壳体二之间启闭的启闭组件，启闭组件与转轴连接；

所述的净化壳体内竖直设置有导杆，导杆设置有两个并且呈平行布置，导杆的底部设置有限位板，所述的切换进风机构包括挡板一、挡板二，挡板一呈竖直布置，挡板一插接于通风壳体一内，挡板二呈竖直布置，挡板二插接于通风壳体二内，挡板一、挡板二上开设有通风孔，挡板一的底部水平设置有连接板，挡板一通过连接板套设于两导杆上，导杆上套设有弹簧一，弹簧一的一端与连接板相抵、另一端与净化壳体的顶部相抵，挡板二与连接板连接，连接板的底部设置有导板，转轴的端部连接有伸缩杆，伸缩杆的端部设置有配重球，导板的底面呈圆弧形，配重球与导板接触。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，净化壳体内设置有限位组件，限位组件包括支撑板、导柱一、导柱二、挡块一、挡块二，支撑板水平连接于净化壳体内，导柱一、导柱二连接于支撑板上，导柱一、导柱二的一端部分别设置有挡块一、挡块二，挡块一、挡块二处于连接板的上方并且与连接板接触，挡块一、挡块二的上下两端面均呈倾斜布置，导柱一、导柱二的另一端部设置有挡板，导柱一、导柱二穿过连接板的板面，导柱一、导柱二上套设有弹簧二，弹簧二的一端与支撑板相抵、另一端与挡块一、挡块二相抵。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，净化器的底部开设有排料口，净化器的底部设置有用于对杂质进行排料的排料机构，排料机构包括拨轮、转轮、连接杆、连杆、排料壳体、漏料槽，连通管上接通有安装壳体，拨轮活动安装于安装壳体内，转轮处于净化器的底部，转轮与净化器的底部之间通过连接轴相连，拨轮的中心轴与转轮之间通过皮带传动，连接杆设置于转轮上，连接杆靠近转轮的边沿，排料壳体设置于净化器的底部，排料壳体与净化器的底部滑动配合，漏料槽开设于排料壳体上，连杆的一端与连接杆铰接、另一端与排料壳体铰接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，净化壳体内设置有导料槽，导料槽呈倾斜布置，导料槽的一端处于排料壳体的下方、另一端伸出至净化壳体外。

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