CN111903197A - 柔性基板 - Google Patents

Abstract

一个实施方式的柔性基板具有挠性的绝缘基材、和设于所述绝缘基材的多个布线。而且，所述绝缘基材包括第1开口、具有与所述第1开口不同的形状的第2开口、和第1线部。在所述第1开口与所述第2开口之间配置有所述第1线部。

Description

柔性基板

技术领域

本发明的实施方式涉及柔性基板。

背景技术

近年来，在各种领域中研究了具有挠性以及伸缩性的柔性基板的应用。举一例来说，考虑有将呈矩阵状排列有电气元件的柔性基板贴附于电子设备的框体或人体等的曲面的利用方式。作为电气元件，例如能够应用触摸传感器、温度传感器等的各种传感器或显示元件。

就柔性基板而言，需要研究对策以使布线不会因基于弯曲或伸缩的应力而受到损伤。作为这种对策，例如提出了在支承布线的基材设置蜂窝形状的开口、或者形成为使布线蛇行布线的形状(波形形状)(例如参照专利文献1～3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2015-198101号公报

专利文献2：JP特开2015-198102号公报

专利文献3：JP特开2017-118109号公报

发明内容

就柔性基板而言，除了挠性和伸缩性以外，还追求布线的窄间距化和电气元件的高密度化。

本公开的目的之一在于提供一种能够实现布线的窄间距化和电气元件的高密度化的柔性基板。

一个实施方式的柔性基板具有挠性的绝缘基材、和设在所述绝缘基材的多个布线。而且，所述绝缘基材包括第1开口、具有与所述第1开口不同的形状的第2开口、和第1线部。在所述第1开口与所述第2开口之间配置有所述第1线部。

附图说明

图1是第1实施方式的柔性基板100的概略性俯视图。

图2是放大了柔性基板100的一部分的概略性俯视图。

图3是图2中F3A-F3B示出的柔性基板100的一部分的概略性剖视图。

图4是图2中F4A-F4B示出的柔性基板100的一部分的概略性剖视图。

图5是示出柔性基板100的制造工序的概略性剖视图。

图6是示出接在图5之后的制造工序的概略性剖视图。

图7是示出接在图6之后的制造工序的概略性剖视图。

图8是示出接在图7之后的制造工序的概略性剖视图。

图9是示出接在图8之后的制造工序的概略性剖视图。

图10是第2实施方式的柔性基板200的概略性俯视图。

图11是放大了柔性基板200的概略性俯视图。

图12是第3实施方式的柔性基板300的概略性俯视图。

图13是概略性示出柔性基板300中的扫描线以及信号线和电气元件的连接形态的剖视图。

图14是图12的角部C9附近的柔性基板300的概略性剖视图。

图15是图12的角部C7附近的柔性基板300的概略性剖视图。

图16是图12的角部C8附近的柔性基板300的概略性剖视图。

图17是图12的角部C10附近的柔性基板300的概略性剖视图。

具体实施方式

参照附图说明几个实施方式。

此外，本公开只不过为一例，对于本领域技术人员来说，针对保持发明的主旨容易想到的适当变更当然包含在本发明的范围内。另外，为了使说明更明确，有时与实际的形态相比示意性地示出附图，但只不过为一例，不限定对本发明的解释。在各图中，有时省略对连续配置的相同或类似的要素标注附图标记。另外，在本说明书和各图中，有时对发挥与针对已经出现的图进行了说明的构成要素相同或者类似的功能的构成要素标注同一附图标记，并省略重复的详细说明。

[第1实施方式]

图1是第1实施方式的柔性基板100的概略性俯视图。在本实施方式中，如图所示，定义第1方向D1、第2方向D2、第3方向D3以及第4方向D4。各方向D1～D4均与柔性基板100的主面平行，为彼此相交的方向。第1方向D1和第2方向D2在本实施方式中垂直相交，但也可以以垂直以外的角度相交。另外，第3方向D3和第4方向D4在本实施方式中垂直相交，但也可以以垂直以外的角度相交。。

柔性基板100具有多个扫描线1、多个信号线2、和多个电气元件3。扫描线1以及信号线2为柔性基板100所具有的布线的一例。扫描线1以及信号线2能够由例如金属材料、透明导电材料来形成，可以为单层构造，也可以为层叠构造。柔性基板100除了扫描线1以及信号线2以外，还可以具有向电气元件3供电的电源线等其他种类的布线。

多个扫描线1整体上沿第1方向D1延伸，沿第2方向D2排列。多个信号线2整体上沿第2方向D2延伸，沿第1方向D1排列。具体来说，扫描线1具有按顺序重复与第1方向D1平行的直线部分、与第3方向D3平行的直线部分、与第2方向D2平行的直线部分这样的波形的形状。同样地，信号线S具有按顺序重复与第2方向D2平行的直线部分、与第4方向D4平行的直线部分、与第1方向D1平行的直线部分这样的波形的形状。

由相邻的两根扫描线1和相邻的两根信号线2形成了多边形状的区域A。在图1的例子中，相同形状的区域A沿第1方向D1以及第2方向D2反复排列。

电气元件3与扫描线1以及信号线2电连接。在图示的例子中，在扫描线1以及信号线2的与第2方向D2平行的部分配置有电气元件3。但电气元件3的配置位置不限于此例子。

例如电气元件3为传感器、半导体元件、或执行器等。例如作为传感器，能够应用温度传感器、压力传感器或触摸传感器等。例如作为半导体元件，能够应用发光元件、受光元件、二极管或晶体管等。在电气元件3为发光元件的情况下，能够实现具有挠性以及伸缩性的柔性显示器。作为发光元件，例如能够应用发光二极管或有机电致发光元件。此外，电气元件3不限于在此例示的元件，除此之后，还能够应用具有各种功能的元件。电气元件3可以为电容器或电阻等。

扫描线1向电气元件3供给扫描信号。例如在电气元件3像传感器这种附带信号输出的情况下，向信号线2供给来自电气元件3的输出信号。另外，在例如电气元件3像发光元件或执行器这种根据输入来的信号进行工作的情况下，向信号线2供给驱动信号。包括扫描信号的供给源、驱动信号的供给源或对输出信号进行处理的处理器等在内的控制器可以设在柔性基板100，也可以设在与柔性基板100连接的设备。

图2是放大了柔性基板100的一部分的概略性俯视图。示出了在电气元件3附近，扫描线1以及信号线2靠近且平行延伸的状态，但实际上如后面使用图3进行说明的那样，扫描线1和信号线2在柔性基板100的厚度方向上层叠。

柔性基板100具有对扫描线1以及信号线2进行支承的挠性的绝缘基材4。绝缘基材4例如能够由聚乙烯形成，但不限于此例子。

绝缘基材4包括多个线部41、多个线部42(虚设线部)和多个岛状部43。线部41与扫描线1以及信号线2的至少一方重叠。线部42不与扫描线1以及信号线2的任一方重叠。线部41以及线部42均为直线状。岛状部43与电气元件3重叠，与线部41连接。线部42为第1线部的一例。线部41为第2线部的一例。

由线部41以及线部42形成与多边形状的第1开口AP1、和第1开口AP2不同的多边形状的第2开口AP2。在图2的例子中，第1开口AP1为具有八个角部C1～C8的星形的八边形。第2开口AP2为具有四个角部C7～C10的矩形。角部C1～C10为由两个以上的线部41、或线部41和线部42以彼此不同的角度连接的部分。第1开口AP1以及第2开口AP2的形状不限于此例子，可以采用各种形状。

在图2的例子中，与第1开口AP1和第2开口AP2之间的线部42连结地构成第1开口AP1的多个线部41、42(第一多数线部)的数量不同于与第1开口AP1和第2开口AP2之间的线部42连结地构成第2开口AP2的多个线部41、42(第二多数线部)的数量。但构成第1开口AP1的线部41、42的数量也可以与构成第2开口AP2的线部41、42的数量相同。

角部C1与角部C2之间的线部41、以及角部C7与角部C10之间的线部41与扫描线1重叠，与第1方向D1平行。角部C5与角部C6之间的线部41、以及角部C8与角部C9之间的线部41与信号线2重叠，与第1方向D1平行。

角部C3与角部C4之间的线部41、以及角部C9与角部C10之间的线部41与扫描线1以及信号线2重叠，与第2方向D2平行。角部C7与角部C8之间的线部42不与扫描线1以及信号线2的任一方重叠，与第2方向D2平行。

角部C2与角部C3之间的线部41、以及角部C6与角部C7之间的线部41与扫描线1重叠，与第3方向D3平行。角部C1与角部C8之间的线部41、以及角部C4与角部C5之间的线部41与信号线2重叠，与第4方向D4平行。

像这样，第1开口AP1以及第2开口AP2由沿四个方向的不同方向分别延伸的多个线部41、42构成。第1开口AP1以及第2开口AP2包含在一个区域A内。第1开口AP1以及第2开口AP2相当于利用线部42将区域A划分出的两个区域。从其他观点来看，线部42配置在第1开口AP1以及第2开口AP2的边界。也可以通过将两个以上的线部42设在区域A，而在区域A内形成三个以上的开口。

角部C1、C3、C5、C7的第1开口AP1的内角θ1比角部C2、C4、C6、C8的第1开口AP1的内角θ2小(θ1<θ2)。在图2的例子中，内角θ1为锐角(θ1<90°)，内角θ2为超过180°的角度(θ2>180°)。

第1开口AP1的形状为旋转90°也成相同形状的4次对称。但不限于此例子，第1开口AP1也可以具有5次对称或6次对称等的4次以上的旋转对称性。另外，第1开口AP1也可以具有3次以下的对称性。

岛状部43配置在与扫描线1以及信号线2重叠的线部41的中央附近。电气元件3配置在岛状部43的上方。岛状部43比电气元件3大，在图2中岛状部43从电气元件3的缘部突出。例如若着眼于角部C3、C4之间的线部41，则从该线部41的图中上侧的端部到岛状部43为止的长度L1、和从图中下侧的端部到岛状部43为止的长度L2彼此相等。但长度L1和长度L2也可以不同。

扫描线1具有用实线示出的第1部分11、和用虚线示出的第2部分12。第2部分12与电气元件3重叠。第1部分11和第2部分12配置在彼此不同的层，经由接触孔CH1、CH2电连接。

图3是示出图2中用F3A-F3B示出的柔性基板100的一部分的概略性剖视图。柔性基板100除了上述的要素以外，还具有第1有机绝缘层5、第2有机绝缘层6、涂层7、和支承膜8。第1有机绝缘层5以及第2有机绝缘层6均由有机材料形成。涂层7例如由派瑞林(聚对二甲苯)形成。

第1有机绝缘层5覆盖绝缘基材4的上表面。扫描线1(第1部分11)配置在第1有机绝缘层5之上。第2有机绝缘层6覆盖扫描线1以及第1有机绝缘层5。信号线2配置在第2有机绝缘层6之上。涂层7覆盖信号线2、绝缘基材4、第1有机绝缘层5以及第2有机绝缘层6。

支承膜8覆盖绝缘基材4的下表面。在没有绝缘基材4的区域中，涂层7和支承膜8相接。即，支承膜8在俯视时与多个线部41、42、第1开口AP1以及第2开口AP2重叠。支承膜8可以在绝缘基材4以及涂层7的下表面涂敷并形成树脂材料，也可以经由粘接层贴附。

此外，第1有机绝缘层5以及第2有机绝缘层6也可以设在没有绝缘基材4的区域(第1开口AP1以及第2开口AP2)。但从柔性基板100的挠性以及伸缩性的观点来看，优选图3示出的配置形态。

图4是图2中用F4A-F4B示出的柔性基板100的一部分的概略性剖视图。在电气元件3与岛状部43之间形成有无机绝缘层9(钝化层)。无机绝缘层9为在俯视时与电气元件3重叠的岛状。扫描线1的第1部分11配置在第1有机绝缘层5之上。扫描线1的第2部分12配置在无机绝缘层9之上(即第1有机绝缘层5之下)。第2部分12与电气元件3电连接。在图4的例子中，第2部分12的端部由第1有机绝缘层5覆盖。

上述的接触孔CH1、CH2在俯视时与岛状部43以及无机绝缘层9重叠的区域中，设在第1有机绝缘层5。扫描线1的第1部分11经由分别配置在接触孔CH1、CH2的连接部件CM1、CM2电连接。连接部件CM1、CM2可以为第1部分11的一部分，也可以与第1部分11分开设置。

图5～图9是按顺序示出柔性基板100的制造方法的一例的概略性剖视图。首先，在图5中，在玻璃基板GL之上形成有绝缘基材4。绝缘基材4具有与线部41、线部42以及岛状部43对应的凸部。在该阶段，在第1开口AP1以及第2开口AP2对应的区域也形成有绝缘基材4。在线部41、线部42以及岛状部43的上方形成有扫描线1、信号线2、电气元件3、第1有机绝缘层5、第2有机绝缘层6以及无机绝缘层9。作为一例，与第1开口AP1以及第2开口AP2对应的区域的绝缘基材4的厚度T1为1μm以上且2μm以下(1μm≤T1≤2μm)。与线部41、线部42以及岛状部43对应的区域的绝缘基材4的厚度T2为厚度T1以上且20μm以下(T1≤T2≤20μm)。

在图6中，形成有涂层7。涂层7填满与第1开口AP1以及第2开口AP2对应的区域，从线部41、线部42以及岛状部43的上方通过在柔性基板100的整体连续。

在图7中，在涂层7的上表面贴附有临时支承膜TF。作为该临时支承膜TF，例如能够使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜。在贴附有临时支承膜TF的状态下，从玻璃基板GL的下方照射激光LZ，使玻璃基板GL与绝缘基材4剥离。

在图8中，对绝缘基材4的下表面实施了例如利用氧气的干灰化。由此，除去与第1开口AP1以及第2开口AP2对应的区域的绝缘基材4。

在图9中，在绝缘基材4以及涂层7的下表面形成有支承膜8。支承膜8也可以通过在绝缘基材4以及涂层7的下表面涂敷树脂材料而形成，也可以由事先制成的支承膜8经由粘接层贴附。此后，通过剥离临时支承膜TF，得到图3以及图4示出的剖面形状的柔性基板100。

如上述说明的那样，在本实施方式的柔性基板100中，绝缘基材4具有第1开口AP1和第2开口AP2。像这样，通过设置不同的形状的第1开口AP1以及第2开口AP2，能够将向各种各样的方向的伸缩性以及挠性赋予柔性基板100。另外，构成第1开口AP1以及第2开口AP2的线部41以及线部42为成为通常的阵列设计的基本的直线状。因此，与使用波形形状等的曲线状的图案的情况相比，极易实现扫描线1以及信号线2的窄间距化和电气元件3的高密度化。

线部42不与扫描线1以及信号线2的任一方重叠。像这样，通过设置不支承布线的线部42，能够不取决于扫描线1以及信号线2的形状地实现适当的第1开口AP1以及第2开口AP2的形状。

第1开口AP1以及第2开口AP2包含在由相邻的两根扫描线1和相邻的两根信号线2划分出的区域A内。该区域A在柔性基板100的整体呈矩阵状排列，因此，第1开口AP1以及第2开口AP2也在柔性基板100的整体分散配置。由此，能够对柔性基板100的宽范围赋予良好的伸缩性以及挠性。

另外，在图2示出的例子中，第1开口AP1为4次对称的形状。由此，例如与第1开口AP1为2次对称的形状的情况相比，能够降低柔性基板100的伸缩性以及挠性的方向依赖性。

而且，在图2示出的例子中，第1开口AP1包括180°以上的内角θ2。若为包括这种大的内角在内的形状，与仅利用小于180°的内角形成第1开口AP1的情况相比，能够减小第1开口AP1的面积。由此，能够以高密度形成扫描线1、信号线2以及电气元件3。

如图4所示，在电气元件3与绝缘基材4之间配置有岛状的无机绝缘层9。由于通过该无机绝缘层9保护电气元件3、扫描线1的第2部分12，所以能够提高柔性基板100的可靠性。另一方面，无机膜与有机膜相比容易产生裂纹，因此，在无机膜之上形成有布线的情况下可能会产生伴随裂纹的断线。然而，在图4中在扫描线1的第1部分11或信号线2的下方没有设有无机绝缘层9。因此，不易产生扫描线1以及信号线2的断线。而且，在假设无机绝缘层9设在柔性基板100整体的情况下会阻碍柔性基板100的伸缩性以及挠性，但将无机绝缘层9形成为岛状则不会产生这种问题。

另外，通过利用接触孔CH1、CH2构成配置在不同的层的扫描线1的第1部分11和第2部分12，提高电气元件3附近的设计的自由度。这些接触孔CH1、CH2设于无机绝缘层9的上方，因此，也能够提高在第1部分11与第2部分12的连接位置的可靠性。

在电气元件3的下方配置有绝缘基材4的岛状部43。由此，能够良好地支承电气元件3。而且，绝缘基材4由支承膜8支承，该支承膜8不仅与线部41、线部42以及岛状部43重叠，也与第1开口AP1以及第2开口AP2重叠。通过设置这种支承膜8，使得柔性基板100的强度整体增加，并且能够防止来自下方的水分侵入等，从而也提高了可靠性。

如图2所示，电气元件3配置在线部41，而且位于与线部41彼此的连接点分离的位置。由此，即使在柔性基板100伸缩或弯曲的情况下，应力也不容易传达至电气元件3附近。因此，电气元件3的可靠性得到提高。如上所述，只要从线部41的两端部到岛状部43为止的长度L1、L2相等，则能够极好地减小对电气元件3施加的应力。

除上述以外，本实施方式也能够得到各种适当的效果。

[第2实施方式]

说明第2实施方式。没有特别言及的构成以及效果与第1实施方式相同。

图10是本实施方式的柔性基板200的概略性俯视图。在本实施方式中，除第1～第4方向D1～D4以外，如图示那样，还定义第5方向D5以及第6方向D6。各方向D1～D6均与柔性基板200的主面平行，为彼此相交的方向。

扫描线1具有按顺序反复与第1方向D1平行的直线部分、与第3方向D3平行的直线部分、与第1方向D1平行的直线部分、与第5方向D5平行的直线部分这样的波形的形状。信号线2具有按顺序反复与第2方向D2平行的直线部分、与第4方向D4平行的直线部分、与第2方向D2平行的直线部分、与第6方向D6平行的直线部分这样的波形的形状。

由相邻的两根扫描线1和相邻的两根信号线2形成有多边形状的第1区域A1以及第2区域A2。第1区域A1以及第2区域A2在相邻的两根扫描线1之间的行，沿第1方向D1交替反复配置。而且，在图中示出的行RW1和行RW2中，第1区域A1以及第2区域A2的形状相对于与第1方向D1平行的轴成线对称。

从其他观点来说，第1区域A1以及第2区域A2在相邻的两根信号线2之间的列，与第2方向D2交替反复配置。而且，在图中示出的列CL1和列CL2中，第1区域A1以及第2区域A2的形状相对于第2方向D2平行的轴成线对称。

扫描线1具有延伸部分13。延伸部分13从扫描线1弯曲的位置朝向电气元件3延伸出去。除了在该延伸部分13以外，扫描线1和信号线2没有并行。由此，能够抑制扫描线1和信号线2的电容耦合。而且，除了在延伸部分13以外，扫描线1和信号线2以钝角弯曲。由此，与以锐角弯曲的情况相比，能够抑制向弯曲部分的应力集中。

图11是放大了柔性基板200的行RW1的概略性俯视图。示出了在电气元件3附近，扫描线1的延伸部分13以及信号线2靠近且平行延伸的状态，但实际上延伸部分13和信号线2在柔性基板200的厚度方向上层叠。

扫描线1以及信号线2与线部41重叠。在第1区域A1配置有多个线部42。另一方面，在第2区域A2没有配置线部42。在第1区域A1中，通过线部41和线部42形成多边形状的第1开口AP1、和两个第2开口AP2。在第2区域A2中，通过线部41形成多边形状的第3开口AP3。

第1开口AP1为具有八个角部C11～C18的八边形。第2开口AP2为与图2示出的第2开口AP2相同的矩形。第3开口AP3为与图2示出的第1开口AP1相同的星形的八边形。

角部C11与角部C12之间的线部42、以及角部C15与角部C16之间的线部42与第1方向D1平行。角部C12与角部C13之间的线部42、以及角部C16与角部C17之间的线部42与第2方向D2平行。角部C13与角部C14之间的线部41、以及角部C17与角部C18之间的线部41与扫描线1重叠，与第5方向D5平行。角部C14与角部C15之间的线部41、以及角部C11与角部C18之间的线部41与信号线2重叠，与第4方向D4平行。

在图10示出的行RW2，第1区域A1也包括第1开口AP1和两个第2开口AP2，第2区域A2包括第3开口AP3。行RW2的这些开口AP1～AP3的形状为相对于与第1方向D1平行的轴与行RW1的开口AP1～AP3成线对称的形状。因此，行RW2的第1开口AP1包括与第3方向D3平行的线部41以及与第6方向D6平行的线部41。像这样，绝缘基材4的图案由沿6个方向的不同方向分别延伸的多个线部41、42构成。

角部C11、C13、C15、C17的第1开口AP1的内角θ3为锐角(θ3<90°)。角部C12、C16的第1开口AP1的内角θ4为180°以上的角度(θ4>180°)，在一例中为270°。角部C14、C18的第1开口AP1的内角θ5为180°以上且θ4以下的角度(180°<θ5<θ4)。第1开口AP1成为旋转180°也成为相同形状的2次对称。但不限于此例子，第1开口AP1也具有3次以上的旋转对称性。

扫描线1的延伸部分13与配置有电气元件3的线部41重叠。延伸部分13与第1部分11形成在同一层，经由接触孔CH与电气元件3的下方的第2部分12电连接。接触孔CH与第1实施方式的接触孔CH1、CH2同样地贯穿有机绝缘层5，俯视时与无机绝缘层9以及岛状部43重叠。

在本实施方式中，绝缘基材4具有彼此形状不同的三种开口AP1～AP3。由此，与第1实施方式相比能够将向更多方向的伸缩性以及挠性赋予柔性基板100。

第1开口AP1以及两个第2开口AP2包含在第1区域A1内，第3开口AP3包含在第2区域A2内。然而，这些第1区域A1以及第2区域A2在第1方向D1以及第2方向D2这两方上交替反复。由此，各开口AP1～AP3分散配置，能够在柔性基板200的宽范围赋予良好的伸缩性以及挠性。

而且，由于各开口AP1～AP3的形状针对每行或每列翻转，存在沿6个方向的不同方向分别延伸的多个线部41、42，所以能够极好地降低柔性基板100的伸缩性以及挠性的方向依赖性。

[第3实施方式]

说明第3实施方式。没有特别言及的构成以及效果与第1实施方式相同。

图12是本实施方式的柔性基板300的概略性俯视图。扫描线1、信号线2以及绝缘基材4的平面形状与图2相同，在图12中放大示出具有角部C7～C10的第2开口AP2和其附近的结构。

在本实施方式中，在角部C9与角部C10之间、以及角部C10与角部C7之间配置有扫描线1的第1部分11。与线部41重叠的扫描线1的其他部分为配置在与第1部分11不同的层的第2部分12。电气元件3在角部C9与角部C10之间的线部41附近，配置在第2开口AP2的内侧。岛状部43从该线部41向第2开口AP2的内侧突出。

信号线2具有用实线示出的第1部分21、和用虚线示出的第2部分22。第1部分21和第2部分22配置在彼此不同的层。在图12的例子中，在角部C8与角部C9之间、以及角部C9与角部C10之间配置有第1部分21。与线部41重叠的信号线2的其他部分为第2部分22。

扫描线1在电气元件3附近具有第1延伸部分14、和第2延伸部分15。这些延伸部分14、15经由接触孔CH11电连接。第1延伸部分14与第1部分11配置在同一层，第2延伸部分15与第2部分12配置在同一层。

信号线2在电气元件3附近具有第1延伸部分23、和第2延伸部分24。这些延伸部分23、24经由接触孔CH12电连接。第1延伸部分23与第1部分21配置在同一层，第2延伸部分24与第2部分22配置在同一层。

扫描线1的第2延伸部分15与电气元件3所具有的开关元件SW的栅极连接。信号线2的第2延伸部分24与开关元件SW的源极或漏极连接。

在角部C9，扫描线1的第1部分11和第2部分12经由接触孔CH13电连接。在角部C7，扫描线1的第1部分11和第2部分12经由接触孔CH14电连接。在角部C8，信号线2的第1部分21和第2部分22经由接触孔CH15电连接。在角部C10，信号线2的第1部分21和第2部分22经由接触孔CH16电连接。

图13是概略性示出扫描线1以及信号线2与电气元件3的连接形态的剖视图。在此，为了简化说明，在同一剖面示出扫描线1的延伸部分14、15以及接触孔CH11、信号线2的延伸部分23、24以及接触孔CH12。

接触孔CH11设于第1有机绝缘层5。接触孔CH12设于第2有机绝缘层6。接触孔CH11、CH12均与岛状部43以及无机绝缘层9在俯视时重叠。扫描线1的第1延伸部分14和第2延伸部分15经由配置在接触孔CH11的连接部件CM11电连接。信号线2的第1延伸部分23和第2延伸部分24经由配置在接触孔CH12的连接部件CM12电连接。连接部件CM11可以为第1延伸部分14的一部分，也可以与第1延伸部分14分开设置。同样地，连接部件CM12可以为第1延伸部分23的一部分，也可以与第1延伸部分23分开设置。

图14是沿角部C9附近的扫描线1的柔性基板300的概略性剖视图。扫描线1的第1部分11配置在第1有机绝缘层5之上。扫描线1的第2部分12配置在绝缘基材4(线部41)之上。接触孔CH13设在第1有机绝缘层5。第1部分11和第2部分12经由配置在接触孔CH13的连接部件CM13电连接。

图15是沿角部C7附近的扫描线1的柔性基板300的概略性剖视图。接触孔CH14设在第1有机绝缘层5。扫描线1的第1部分11和第2部分12经由配置在接触孔CH14的连接部件CM14电连接。

图16是沿角部C8附近的信号线2的柔性基板300的概略性剖视图。信号线2的第1部分21配置在第2有机绝缘层6之上。信号线2的第2部分22配置在绝缘基材4(线部41)之上。接触孔CH15设在第1有机绝缘层5以及第2有机绝缘层6。第1部分21和第2部分22经由配置在接触孔CH15的连接部件CM15电连接。

图17是沿角部C10附近的信号线2的柔性基板300的概略性剖视图。接触孔CH16设于第1有机绝缘层5以及第2有机绝缘层6。信号线2的第1部分21和第2部分22经由配置在接触孔CH16的连接部件CM16电连接。

此外，连接部件CM11、CM13、CM14可以为扫描线1的第1部分11的一部分，也可以与第1部分11分开设置。另外，连接部件CM12、CM15、CM16可以为信号线2的第1部分21的一部分，也可以与第1部分21分开设置。

在将柔性基板300伸长或弯曲的情况下，在将绝缘基材4的两个线部连接的位置、即在扫描线1以及信号线2的弯曲部分施加有大应力。如本实施方式那样，若采用将扫描线1分成第1部分11和第2部分12、且在弯曲部分通过接触孔连接的构造，则能够缓和在弯曲部分对扫描线1施加的应力。同样地，若采用将信号线2分成第1部分21和第2部分22、且在弯曲部分通过接触孔连接的构造，则能够缓和在弯曲部分对信号线2施加的应力。由此，能够抑制扫描线1以及信号线2的断线。

此外，绝缘基材4所具有的开口的形状、由扫描线1以及信号线2形成的区域的形状不限于第1～第3实施方式所公开的内容。例如，绝缘基材4也可以不具有与扫描线1以及信号线2的任一方均不重叠的线部42。另外，绝缘基材4在直线状的线部的基础上，还可以有至少一部分包括曲线状的线部。

本领域技术人员以作为本发明的实施方式进行说明的柔性基板为基础适当进行设计变更并实施的全部柔性基板只要包括本发明的主旨，就属于本发明的范围。

应理解为，在本发明的思想范畴中，本领域技术人员能够想到各种变形例，这些变形例也属于本发明的范围。例如，本领域技术人员相对于上述的各实施方式，适当进行构成要素的追加、削除或设计变更而得到的内容、或者适当进行工序的追加、省略或条件变更而得到的内容只要具有本发明的主旨，则均属于本发明的范围内。

另外，应理解为，针对由在各实施方式中说明的形态带来的其他作用效果，从本说明书的记载可明确得知的、或本领域技术人员容易想到的当然也是由本发明带来的。

附图标记说明

100,200,300…柔性基板、1…扫描线、2…信号线、3…电气元件、4…绝缘基材、41,42…线部、43…岛状部、5…第1有机绝缘层、6…第2有机绝缘层、7…涂层、8…支承膜、9…无机绝缘层、C1～C10…角部。

Claims (20)

1.一种柔性基板，其具有：

挠性的绝缘基材；以及

设于所述绝缘基材的多个布线，

所述绝缘基材包括第1开口、具有与所述第1开口不同的形状的第2开口、和第1线部，

在所述第1开口与所述第2开口之间配置有所述第1线部。

2.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

在俯视时，所述第1线部与所述多个布线不重叠。

3.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

所述多个布线包括：

多个扫描线，其沿第1方向延伸，且在与所述第1方向正交的第2方向上排列配置；以及

多个信号线，其沿所述第2方向延伸，且在所述第1方向上排列配置，

在由相邻的两个所述扫描线和相邻的两个所述信号线划分出的区域中包含所述第1开口和所述第2开口。

4.根据权利要求3所述的柔性基板，其中，

还具有电气元件，从所述扫描线向该电气元件供给扫描信号，

所述电气元件由位于所述第1开口与所述第2开口之间的所述绝缘基材的岛状部支承，

在所述电气元件与所述绝缘基材之间配置有无机绝缘层。

5.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

所述第1开口由所述第1线部、和与所述第1线部连结的所述绝缘基材的第一多数线部构成，

所述第2开口由所述第1线部、和与所述第1线部连结的所述绝缘基材的第二多数线部构成，

所述第一多数线部的数量与所述第二多数线部的数量不同。

6.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

所述第1开口的形状具有4次以上的旋转对称性。

7.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

所述第1开口由沿4个方向以上的不同方向分别延伸的多个线部构成。

8.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

所述第1开口包括180°以上的内角。

9.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

还具有在俯视时与所述绝缘基材重叠的有机绝缘层，

所述布线包括配置在所述有机绝缘层的上方的第1部分、和配置在所述有机绝缘层的下方的第2部分，

所述第1部分以及所述第2部分经由设在所述有机绝缘层的接触孔电连接。

10.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

还具有支承所述绝缘基材的支承膜，

所述支承膜在俯视时与所述第1开口以及所述第2开口重叠。

11.根据权利要求1所述的柔性基板，其中，

所述绝缘基材还包括具有与所述第1开口以及所述第2开口不同的形状的第3开口。

12.根据权利要求11所述的柔性基板，其中，

所述绝缘基材还包括配置在所述第1开口与所述第3开口之间的第2线部，

在俯视时，所述第2线部与所述多个布线的至少一个重叠。

13.一种柔性基板，其具有：

挠性的绝缘基材；以及

设在所述绝缘基材的多个布线，

所述绝缘基材包括多个第1开口、和具有与所述多个第1开口不同的形状的多个第2开口，

所述多个第1开口和所述多个第2开口分别交替配置，

在所述多个第1开口与所述多个第2开口之间配置有线状的所述绝缘基材。

14.根据权利要求13所述的柔性基板，其中，

所述多个布线包括：

多个扫描线，其沿第1方向延伸，在与所述第1方向正交的第2方向上排列配置；以及

多个信号线，其沿所述第2方向延伸，在所述第1方向上排列配置，

在由相邻的两个所述扫描线和相邻的两个所述信号线划分出的区域中，分别设有一个所述第1开口以及一个所述第2开口。

15.根据权利要求14所述的柔性基板，其中，

还具有电气元件，从所述扫描线向该电气元件供给扫描信号，

所述电气元件由位于所述第1开口与所述第2开口之间的所述绝缘基材的岛状部支承，

在所述电气元件与所述绝缘基材之间配置有无机绝缘层。

16.根据权利要求13所述的柔性基板，其中，

所述第1开口的形状具有4次以上的旋转对称性。

17.根据权利要求13所述的柔性基板，其中，

所述第1开口由沿4个方向以上的不同方向分别延伸的多个线部构成。

18.根据权利要求13所述的柔性基板，其中，

所述第1开口包括180°以上的内角。

19.根据权利要求13所述的柔性基板，其中，

还具有在俯视时与所述绝缘基材重叠的有机绝缘层，

所述布线包括配置在所述有机绝缘层的上方的第1部分、和配置在所述有机绝缘层的下方的第2部分，

所述第1部分以及所述第2部分经由设在所述有机绝缘层的接触孔电连接。

20.根据权利要求13所述的柔性基板，其中，

还具有支承所述绝缘基材的支承膜，

所述支承膜在俯视时与所述第1开口以及所述第2开口重叠。

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