CN1118874A - 温度传感器及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
一种温度传感器及其制造方法,该传感器可正确测得用于处理汽车废气的催化剂的温度,由耐热罩、该耐热罩内的、具有小的电阻值的经时变化率的热敏电阻元件及电连接于该元件、引出于耐热罩外的引线组成。该热敏电阻元件以下述式及组成范围所示物质为主成分,必要时再附加CaO、稀土类氧化物、ThO2及ZrO2,经混合、轻烧、粉碎、造粒及烧结而制成。
(Al1-x-yCrxFey)2O3
0.05≤x+y≤00.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
Description
本发明涉及一种用于检测如处理汽车的排放气体时所用的催化剂的温度的温度传感器。
近年来,由于对环境保护及汽车的燃油费用提高等的对策要求,用于处理汽车排放废气的催化剂被用于汽车的发动机系统。然而,要提高该催化剂的性能,就须正确测得催化剂的温度。为此,就必须减小温度传感器的电阻值的经时变化率,具体地说,变化率须限于土20%之内。
以往,作为用于检测300—700℃的温度、具有耐1000℃的耐热性能的温度传感器中所用的热敏电阻元件的材料,使用有Mg(Al,Cr)2O4系物质。
图1所示为一般常用的温度传感器的结构截面图,其前端部设有如图2中所示的热敏电阻元件1。在热敏电阻元件上插有铂管2a,2b,经烧结而得到可检测温度的热敏电阻。
该热敏电阻1,如图1所示,密封于作为检测催化剂温度用的传感器的耐热罩4内。此时,铂管2a,2b与二芯管3a、3b焊接,且在其中设有导线,引出于耐热罩4之外。
然而,具有这种结构的温度传感器,在高温下,构成耐热罩4的金属原子与耐热罩4内的氧结合,降低耐热罩4内的氧分压。因此,为保持氧分压的平衡,从热敏电阻元件1中放出氧。另外,从耐热罩4中发生氢或一氧化碳等的还原性气体,该气体与热敏电阻元件1中的氧结合,使热敏电阻元件1的结构发生变化。结果使热敏电阻元件1的电阻值的经时变化率超过±20%,无法正确地测得温度。
本发明的目的在于提供一种温度传感器及其制造方法,该温度传感器具有由可减小电阻值的经时变化率的物质组成的热敏电阻。
本发明系一种温度传感器,该温度传感器具有耐热罩、设于该耐热罩内的热敏电阻元件及电联接于该热敏电阻元件内、且引出于耐热罩外的引线;且该热敏电阻元件由以下化学式及组成范围所示的物质构成:
(Al1-x-yCrxFey)2O3
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
又,本发明的温度传感器中,构成热敏电阻元件的物质由下述化学式及组成范围所示的物质构成:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
又,本发明的温度传感器中,构成热敏电阻元件的物质由下述化学式及组成范围所示的物质构成:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)稀土类氧化物+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
又,本发明的温度传感器中,构成热敏电阻元件的物质由下述化学式及组成范围所示的物质构成:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ThO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
又,本发明的温度传感器中,构成热敏电阻元件的物质由下述化学式及组成范围所示的物质构成:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ZrO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤30,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
本发明又系一种温度传感器的制造方法:将具下述A—E所示的5组化学式及各成分的组成范围的物质中的任一种作均匀混合后,成型,设置电极,烧结得到热敏电阻元件,将该热敏电阻元件收纳于耐热性罩内,将连接于电极上的引线引出至耐热罩外,由此得到温度传感器。
A.(Al1-x-yCrxFey)2O3
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
B.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
C.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)稀土类氧化物+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
D.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ThO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
E.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ZrO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤30,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
下面,就本发明的作用作一简要说明。
根据上述本发明的结构,热敏电阻元件为在具有钢玉结构的高电阻的Al2O3中固溶了P型导电性的Cr2O3和N型导电性的Fe2O3。此时,P型导电性物质如失去氧则电阻增加,而N型导电物质则电阻减小。这样,由在同一结晶中共存P型物质和N型物质,可抑止电阻值的经时变化在小的限度内。既使在高温中,从热敏电阻元件上失去氧,由于上述作用,也可将热电阻的电阻值的经时变化抑止在极小,从而进行正确的温度测定。
图1所示为本发明的温度传感器的一个实施例结构的截面图。
图2所示为用于本发明的一个实施例中的热敏电阻结构的斜视图。
下面,参照附图及表,说明本发明的一个实施例。
从图1及图2所示的温度传感器及热敏电阻的结构来说,本发明和已往的结构一样,本发明的温度传感器与已往的不同点在于热敏电阻的构成材料上,以下说明其构成材料与特性之间的关系。实施例1
作为原料,按下述式(1)的组成,秤取一定量的Al2O3、Cr2O3及Fe2O3使x,y如表1所示的组分,掺合后作成试样1—27号。
(Al1-x-yCrxFey)2O3 (1)
首先,用球磨机混合试样1号16小时,在1200℃轻烧(Calcine)后,再用球磨粉碎、混合18小时。干燥后,以对整个试样的量为8%(重量)的量添加10%(重量)浓度的聚乙烯醇水溶液,造粒。最后,成型为具有如图2所示尺寸的形状,插入铂管2a、2b后,在1600℃烧结,得到热敏电阻元件1。对2—21号试样也作同样处理后,制得热敏电阻元件的样品。
表1
试样No. | 配合组成 | 电阻值(kΩ) | 变化率ΔR300 | |||
X | Y | R300 | R600 | R850 | ||
123456789101112131415161718192021222324252627 | 0.850.60.70.40.70.650.50.30.50.40.30.240.40.30.20.150.340.30.20.10.2850.20.150.150.20.0250.02 | 0.10.350.10.40.0.050.20.40.10.20.30.360.10.20.30.350.060.10.20.30.0150.10.150.050.10.0250.03 | 0.241.321.500.8738.1055.005.470.15316.701.100.100.075619.500.580.0220.017725.031.420.700.5510.00830.08.7073.50950.01300.0245.0 | 0.0380.2800.1500.1743.3302.3000.2470.0355.8700.1600.0280.0243.1000.1100.0090.0082.3202.9000.1300.1301.10033.2901.3807.39038.10041.40024.630 | 0.0140.1100.0420.0711.2000.6500.1000.0151.1500.0700.0110.0121.8000.0550.0060.0040.1001.0000.0530.0700.3205.5900.5002.0706.4006.1006.900 | +11-8+7-10+37+18-2-13+6-4-12-18+9-6-15-18+12+3-7-30+17-3-10+9-1-6-15 |
将上述所得的热敏电阻元件1,如图1所示,装进具有如同已往的结构的温度传感器的耐热罩4内,测得其在300℃、600℃、850℃时的电阻值,将该测量值在表1中表示为R300、R600、R850的数值。又,在900℃,进行1000小时的密闭耐久试验后,测定其在300℃时的阻值,求得从初始值开始的变化率,在表1中作为△R300的数值表示之。
另外,电阻值变化率(△R300)根据式
(密闭耐久试验后的电阻值—初始电阻值)/初始电阻值×100%算出。
如同表1中所示的20号试样,当Fe成分增加,y/(X+Y)值超过0.6时,电阻值变化率变大,达-30%,其理由是,Fe在高温下耐久性差,在还原气雾中被夺去氧,作为Fe3O4存在于热敏电阻成分中,因此,P型电导与N型电导之间不能保持平衡。另外,Fe成分增多也是产生裂缝的原因。
又,如试样5号那样,完全不含Fe成分时,则不存在N型电导,电阻值变化率增大为+37%。实施例2
以下就本发明的第二个实施例作一说明。
按下式(2)的组成,以一定量秤取Al2O3、Cr2O3、Fe2O3及Ca-CO3作为原料,使x、y、a如表2所示组成,掺合后作成28—39号试样。
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)CaO (2)
表2
试样No. | 配合组成 | 电阻值(kΩ) | 密度比1 | 密度比2 | 变化率ΔR300 | ||||
X | Y | a | R300 | R600 | R850 | ||||
282930313233343536373839 | 0.850.70.650.50.30.30.2850.20.160.0250.70.3 | 0.10.10.050.10.20.10.0150.10.240.0250.10.2 | 53520.521.00.51.00.10.056 | 0.221.45045.025.70.563.109.7091.0012.301180.01.480.38 | 0.0350.1441.9005.1700.1072.8501.06040.001.87038.700.140.098 | 0.0130.0380.3300.5900.0510.9800.3127.0700.7505.9500.0380.052 | 98.397.597.898.297.897.996.196.497.298.789.587.3 | 92.893.290.093.596.297.291.895.796.795.190.293.2 | +7+6+11+9-8-2+13-3-18-7+25-30 |
除了在试样的处理工序中,烧结温度定为1500℃之外,其它与实施例一样,制得热敏电阻元件的试样。然后,将该元件装入如图1所示的温度传感器的耐热罩4内,测得其在300℃、600℃、850C时的阻值,将该测定值在表2内表示为R300、R600、R850的数值。接着,在900℃,作1000小时的密闭耐久试验后,测得300℃时的电阻值,根据实施例1中所用的式子求出电阻值变化率。该计算值在表2中表示为△R300的数值。另外,CaO与热敏电阻的烧结体不固溶,而是单独存在于颗粒界。如表2中的39号试样,当CaO的添加量超过5%(原子)时,CaO在烧结中飞散,热敏电阻元件1成多孔状。为此,易被夺取氧,使阻值的经时变化率大于-20%。又,如38号试样,当CaO添加量不到1%(原子)时,则因其烧结温度比实施例1中的试样的烧结温度低100℃,无法达到烧结体的致密化,电阻值的经时变化率增大。将添加CaO时和未添加CaO时的理论密度比分别作为密度比1和密度比2,同时记录于表2。理论密度比的数值根据式(坯体密度)/(理论密度)×100%算出。在未添加CaO时的密度比2是针对实施例1中制得的试样求出的。如从表2可显见地,尽管降低烧结温度100℃,添加CaO即可获得具有致密结构的热敏电阻元件。
另外,添加CaO对含多量Cr的元件来说,其效果特别大。实施例3
下面,就本发明的第三个实施例作一说明。
作为原料,按下述式(3)组成,以一定量秤取Al2O3、Cr2O3、Fe2O3、CaCO3及稀土类氧化物(Y2O3,La2O3,CeO2,Pr6O11,Nd2O3,Sm2O3,Eu2O3,Gd2O3,Tb4O3,Dy2O3,Ho2O3,Er2O3,Tm2O3,Yb2O3,Lu2O3),以x、y、a、b如表3所示组成,掺合后,制成40—47号试样。
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)稀土类氧化物+b%(原子)CaO (3)
表3
试样No | 配合组成 | 电阻值(kΩ) | 变化率ΔR300 | ||||||
X | Y | a | RE | b | R300 | R600 | R900 | ||
4041424344454647484950515253545556575859606162636465666768697071727374757677 | 0.50.30.30.40.20.850.20.20.40.0250.30.160.70.20.20.30.20.650.2850.70.20.20.50.20.30.340.340.250.180.730.250.40.030.420.320.320.640.22 | 0.20.10.10.20.10.10.20.20.10.0250.30.240.10.30.30.10.10.050.0150.10.30.30.10.20.40.060.060.350.120.220.150.10.020.180.080.080.160.28 | 0.1515281030.0570.51482200.73.51.59460.030.57.52.510170.85.21.57.3492.570.020.210 | YYYLaLaCeCeCePrPrNdNdSmSmSmEuEuRuRuGdGdGdTbTbDyDyDyHoHoErErTmTmYbYbYbLuLu | 00.10.100300000020000503000000000200.5000010 | 5.1529.5025.701.10790.00.190.640.63543.21115.00.0880.521.360.0150.0113.072918.051.88.301.370.0180.018293.40.580.13518.04980.088485.00.857.30487.5850.03.80323.0320.01.250.17 | 0.273.102.850.17534.730.0380.1350.1286.02048.290.0270.1300.1570.0080.0062.8841.302.331.0450.1540.080.085.770.1170.03236.2430.500.02628.090.1551.0205.4037.370.4011.1010.950.1450.06 | 0.0530.890.680.066.140.0160.0560.0530.4958.3200.0140.0610.0500.0050.0030.7607.3900.4200.330.0450.0040.0040.650.0480.0152.301.750.0145.7800.060.340.440.660.1151.5201.470.0500.350 | -3+4+45-2-4+7-8-30+8-6-9-14+10-12-37+6-4+16+17+10-9-47+6-8-10+8+38-16-4+7+4+4-8+2+11+50+9-12 |
以与实施例1同样的处理试样的条件,制得热敏电阻元件样品。然后,将该热敏电阻元件样品装入图1所示的温度传感器的耐热罩4中,测得其在300℃、600℃、900℃时的电阻值,将该测定值在表3中表示为R300、R600、R900。接着,在1100℃,作1000小时的密闭耐久试验后,测得300℃时的电阻值,与实施例1同样求出电阻值变化率。该计算值在表3中表示为△R300的数值。
在本实施例中,添加稀土类氧化物和CaO,以求热敏电阻烧结体的致密化,防止吸附气体从烧结体夺取、扩散氧。又,稀土类氧化物在粒界上,作为钙钛矿结构的(RE)CrO3存在。这里,RE表示稀土类元素。CaO与热敏电阻烧结体的主成分不固溶,而单独存在于粒界。
如表3中的42、54、66号试样,当稀土类氧化物的添加量超过10%(原子)时,则(RE)CrO3的偏折量增加,热敏电阻烧结体的主成分Cr大量失去,半导特性失去平衡,电阻值的经时变化率超过±20%。又,如47、61、75号试样,不添加CaO,且稀土类氧化物的添加量不到0.1%(原子)时,电阻值的经时变化率大大超过±20%。
将密闭耐久试验中电阻值的变化率与实施例1、2的场合作比较也可明白,在添加了稀土类氧化物时,尽管实验温度比实施例1、2上升了200℃,但其电阻值变化率几乎未见有差别,其耐热性得以提高。实施例4
下面,就本发明的第四个实施例作一说明。
按下式(4)的组成,以一定量释取,Al2O3、Cr2O3、Fe2O3及Ca-CO3及ThO2作为原料,使x、y、a、b如表4所示组成,掺合后作成78—88号试样。
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ThO2+b%(原子)CaO (4)
表4
试样NO. | 配合组成 | 电阻值(kΩ) | 变化率ΔR300 | |||||
X | Y | a | b | R300 | R600 | R900 | ||
7879808182838485868788 | 0.60.40.50.40.40.40.20.20.2850.150.02 | 0.350.40.20.20.20.10.20.20.0150.050.03 | 230.010.5120.2100.005570.7 | 0.500002.500520.7 | 1.1500.7505.4001.0402.78059.500.520.707.8062.0238.0 | 0.2450.1520.2200.1480.1802.9700.1100.1302.126.20024.00 | 0.0980.0350.0950.0640.1001.6200.0470.0500.381.5006.450 | -11-8-3-6-25+4-13-36+12+10-12 |
试样的处理条件与实施例1同样,制得热敏电阻元件1的样品。
将该热敏电阻元件1的试样,如图1所示,装进温度传感器的耐热罩4内,测得其在300℃、600℃、900℃时的电阻值,将该测量值在表4中表示为R300、R600、R900的数值。又,在1100℃,进行1000小时的密闭耐久试验后,测定其在300℃时的阻值,与实施例1同样,求得该电阻值变化率,在表4中作为△R300的数值表示之。
ThO2、CaO与热敏电阻烧结体的主成分不固溶,而分别单独存在于粒界中。而且,ThO2对还原性气氛稳定,与使用稀土类氧化物的场合比较,则以十分之一的添加量也可得到与添加稀土类氧化物的场合的同样效果。
然而,如同表4的82号试样,当ThO2的添加量大于10%(原子)时,则烧结性能急剧恶化,烧结体中孔隙增加,电阻值的经时变化率超过-20%。又,如同85号试样,不添加CaO,且ThO2的添加量不到O.01%(原子)时,则电阻值的经时变化率同样超过-20%。
另外,在添加了ThO2的场合,也可与添加了稀土类氧化物的场合一样,改善其耐热性达200℃。实施例5
下面,就本发明的第五个实施例作一说明。
作为原料,按下述式(5)的组成,分别定量秤取Al2O3、Cr2O3、Fe2O3、CaCO3及ZrO2,使x、y、a、b如表5所示的组成,掺合后制成89—101号试样。
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ZrO2+b%(原子)CaO (5)
表5
试样No. | 配合组成 | 电阻值(kΩ) | 变化率ΔR300 | |||||
X | Y | a | b | R300 | R600 | R900 | ||
8990919293949596979899100101 | 0.600.30.30.30.30.30.30.30.30.30.30.020.475 | 0.350.40.40.40.20.20.20.20.10.10.10.030.025 | 25525404.512.725.437.27.51530.0100.1 | 45553.53.53.53.50.50.50.510 | 0.780.220.420.530.180.2550.320.4834.040.552.2324.022.7 | 0.0990.0470.0800.0950.0520.0630.0750.1203.103.393.9830.402.57 | 0.0310.0200.0320.0360.0210.0290.0350.0430.8300.8550.7558.180.555 | -9-15-11-29-12-7-5-30+3+4+6-10+12 |
试样的处理条件与实施例1中的一样,制得热敏电阻元件的样品。然后,将该热电阻元件样品装入如图1所示的温度传感器的耐热罩4内,测得其在300℃、600℃、900℃时的电阻值,将该测定值表示为表5中的R300、R600、R900的数值。接着,在1100℃,作1000小时的密闭耐久试验后,测其300℃时的电阻值,与实施例1同样,算出其电阻值变化率,在表5中表示为△R300的数值。
ZrO2、CaO皆与热敏电阻烧结体的主成分不固溶,而分别单独存在于粒界中。如从表5的试样92、96号的数据可显见地,ZrO2的添加量大于30%(原子),则热敏电阻的烧结性恶化,电阻值的经时变化率超过-20%。
又,添加ZrO2时,也可与添加ThO2或稀土类氧化物的场合一样,改善耐热性达200℃。
另外,在式(1)所示的热敏电阻烧结体主成分的组成为一定时,可由ZrO2添加量的调节大范围地控制电阻值。
从上述实施例1—5所载数据可显见,本发明用于温度传感器的热敏电阻材料,对使用该材料的环境变化适应性强,且,不限于图2所示形状,根据需要,也可改变其形状为盘形或封入玻璃形,可充分地用作温度传感器。
Claims (6)
1.一种温度传感器,其特征在于,该温度传感器具有耐热罩、设于该耐热罩内的热敏电阻元件及电联接于该热敏电阻元件内且引出于耐热罩外的引线;所述热敏电阻元件由以下化学式及组份范围所示的物质构成:
(Al1-x-yCrxFey)2O3
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
2.如权利要求1所述的温度传感器,其特征在于,其中,构成热敏电阻元件的物质为在所述化学式中再附加下述化学式及组份范围内的CaO:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
3.如权利要求1所述的温度传感器,其特征在于,其中,构成热敏电阻元件的物质为在所述的化学式中再附加了下述化学式及组份范围内的稀土类氧化物及CaO:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)稀土类氧化物+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
4.如权利要求1所述的温度传感器,其特征在于,其中,构成热敏电阻元件的物质为在所述的化学式中再附加了下述化学式及组份范围内的ThO2及CaO:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ThO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=l00%(原子)
5.如权利要求1所述的温度传感器,其特征在于,其中,构成热敏电阻元件的物质为在所述的化学式中再附加了下述化学式及组份范围内的ZrO2及CaO:
(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ZrO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤30,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
6.一种温度传感器的制造方法,其特征在于,将具下述A—E所示的5组化学式及各成分的组成范围的物质中的任一种作均匀混合后,成型,设置电极,烧结得到热敏电阻元件,将该热敏电阻元件收纳于耐热性罩内,将连接于上述电极上的引线引出至上述耐热罩外。
A.(Al1-x-yCrxFey)2O3
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
B.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=l00%(原子)
C.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)稀土类氧化物+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
D.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ThO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤10,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
E.(Al1-x-yCrxFey)2O3+a%(原子)ZrO2+b%(原子)CaO
0.05≤x+y≤0.95,0.05≤y/(x+y)≤0.6
0.1≤a≤30,0≤b≤5其中,设(Al1-x-yCrxFey)2O3=100%(原子)
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CN102417348A (zh) * | 2010-08-17 | 2012-04-18 | 日本特殊陶业株式会社 | 导电性氧化物烧结体、热敏电阻元件以及温度传感器 |
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- 1994-09-14 CN CN 94116135 patent/CN1051630C/zh not_active Expired - Fee Related
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CN102417348A (zh) * | 2010-08-17 | 2012-04-18 | 日本特殊陶业株式会社 | 导电性氧化物烧结体、热敏电阻元件以及温度传感器 |
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