CN111828308A - 转子及螺旋式帮浦 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种转子与螺旋式帮浦，转子用于螺旋式帮浦。转子包含中心轴、第一螺部以及第二螺部，第一螺部设置在中心轴上，第二螺部设置在中心轴上，其中第一螺部的导程与第二螺部的导程不同。本发明还公开了一种包含上述转子的螺旋式帮浦。
Description
技术领域
本发明是有涉及一种转子及帮浦，特别是有关一种用于螺旋式帮浦的转子及螺旋式帮浦。
背景技术
随着科技产业的发展，真空技术被广泛使用，举例来说，半导体工艺中的薄膜沉积、干蚀刻、离子植入或微影工艺，均需在真空环境下进行，连带带动了真空帮浦(又称真空泵)的发展。
在众多真空帮浦中，由于干式真空帮浦在进气、压缩、排气等行程中，转子运动所扫过的行程并不需要油脂来润滑或密封，可避免油气回流而可维持较高的洁净度，故被大量应用在科技产业。
干式真空帮浦依据其所使用转子型态的不同，可分为鲁氏帮浦、爪式帮浦、螺旋式帮浦等，其中螺旋式帮浦因抽速范围广，极限真空度高、低耗功、低噪音、低维护保养成本而引起广泛注意。螺旋式帮浦的工作原理，乃是借由两个互相咬合的螺旋转子以相反方向旋转，而将气体由帮浦本体的入口排放至帮浦本体的出口，以达到抽真空的效果。
然而，公知螺旋式帮浦的转子，包含螺纹部，螺纹部为单一导程。因此，公知单一导程的螺旋式帮浦的转子难以兼顾抽气量以及节省电力。
发明内容
本发明的目的是在提供一种转子及螺旋式帮浦，以解决上述问题。
依据本发明的一实施方式是提供一种转子，用于螺旋式帮浦，转子包含中心轴、第一螺部以及第二螺部，第一螺部设置在中心轴上，第二螺部设置在中心轴上，其中第一螺部的导程与第二螺部的导程不同。
依据前述的转子，第一螺部与第二螺部间可具有间隔空间。
依据前述的转子，第一螺部的导程可为定值，且第二螺部的导程可为定值。
依据前述的转子，第一螺部可包含第一螺纹以及与第一螺纹邻接的第二螺纹，第一螺纹的螺高可大于第二螺纹的螺高。第二螺部可包含第三螺纹以及与第三螺纹邻接的第四螺纹，第三螺纹的螺高可大于第四螺纹的螺高。
依据前述的转子，中心轴、第一螺部与第二螺部的材质可均为高碳钢。
依据前述的转子，中心轴、第一螺部与第二螺部可为一体加工而成。
依据前述的转子，可进一步包含第三螺部，第三螺部设置在第一螺部与第二螺部间，且第三螺部的导程、第一螺部的导程及第二螺部的导程彼此不同。第三螺部与第一螺部间可具有第一间隔空间，且第三螺部与第二螺部间可具有第二间隔空间。第三螺部可包含第五螺纹以及与第五螺纹邻接的第六螺纹，第五螺纹的螺高可大于第六螺纹的螺高。
依据本发明的另一实施方式是提供一种螺旋式帮浦，包含帮浦本体以及前述的转子。帮浦本体其内形成有帮浦腔室、入口及出口，入口与出口均与帮浦腔室连通，转子设置在帮浦腔室内，转子用以将气体由入口排放至出口。
依据前述的螺旋式帮浦，其中第一螺部的导程大于第二螺部的导程，且第一螺部较第二螺部邻近帮浦本体的入口。
本发明的转子，借由第一螺部的导程与第二螺部的导程不同，有利于兼顾抽气量以及节省电力。为使本发明的上述特征和优点更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图做详细说明如下。
附图说明
图1是依据本发明一实施方式的转子的立体示意图。
图2是图1中转子的前视示意图。
图3是图1中转子的后视示意图。
图4是图1中转子的右视示意图。
图5是图1中转子的左视示意图。
图6是图3中转子沿割面线A-A的剖视示意图。
图7是依据本发明另一实施方式的螺旋式帮浦的示意图。
其中，附图标记说明如下：
100：转子
110：中心轴
120：第一螺部
121：第一螺纹
122：第二螺纹
130：第二螺部
131：第三螺纹
132：第四螺纹
140：间隔空间
200：螺旋式帮浦
210：帮浦本体
220：帮浦腔室
230：入口
240：出口
D1、D2：导程
H1、H2、H3、H4：螺高
具体实施方式
请参照图1至图5，图1是依据本发明一实施方式的转子100的立体示意图，图2是图1中转子100的前视示意图，图3是图1中转子100的后视示意图，图4是图1中转子100的右视示意图，图5是图1中转子100的左视示意图。如图1至图5所示，转子100适用于螺旋式帮浦，转子100包含中心轴110、第一螺部120以及第二螺部130，第一螺部120设置在中心轴110上，第二螺部130设置在中心轴110上。
请并同参照图6，图6是图3中转子100沿割面线A-A的剖视示意图。如图6所示，第一螺部120具有导程D1，第二螺部130具有导程D2，第一螺部120的导程D1与第二螺部130的导程D2不同。借此，有利于兼顾抽气量以及节省电力。
如图1、图4、图5及图6所示，第一螺部120与第二螺部130间可具有间隔空间140。借此，间隔空间140可作为成型刀进刀及退刀的空间，有利于更换不同的成型刀，以一体加工的方式制作出具有不同导程(D1及D2)的第一螺部120及第二螺部130，进而可省略组装步骤以简化制造程序，并可提升转子100的精度。
如图1、图4、图5及图6所示，第一螺部120的导程D1可为定值，借此，第一螺部120可采用固定的参数进行加工，第二螺部130的导程D2可为定值，借此，第二螺部130可采用另一组固定的参数进行加工。因此，与具有渐变式导程配置的转子比较，本发明的转子100具有加工容易的优点。
如图6所示，第一螺部120可包含第一螺纹121以及与第一螺纹121邻接的第二螺纹122，第一螺纹121的螺高H1可大于第二螺纹122的螺高H2。第二螺部130可包含第三螺纹131以及与第三螺纹131邻接的第四螺纹132，第三螺纹131的螺高H3可大于第四螺纹132的螺高H4。
本发明中，中心轴110、第一螺部120与第二螺部130的材质可均为高碳钢，借以提供所需的结构强度。
本发明中，中心轴110、第一螺部120与第二螺部130可分别加工成型后，再进行组装。或者，中心轴110、第一螺部120与第二螺部130可一体加工而成，借此，可避免组装不同部件所造成的公差累积，而有利于提升转子100的精度。
在本实施方式中，转子100仅包含两个螺部，分别为第一螺部120与第二螺部130，然而，本发明不以此为限，在其他实施方式中，转子100可视实际需求设置其他螺部，例如，转子100可进一部包含第三螺部(附图未绘示)，第三螺部可设置在第一螺部120与第二螺部130间，且第三螺部的导程、第一螺部120的导程D1及第二螺部130的导程D2可彼此不同。第三螺部与第一螺部120间可具有第一间隔空间(附图未绘示)，且第三螺部与第二螺部130间可具有第二间隔空间(附图未绘示)，与第一螺部120及第二螺部130相似，第三螺部可包含两种螺纹(附图未绘示)，分别为第五螺纹以及与第五螺纹邻接的第六螺纹，且第五螺纹的螺高可大于第六螺纹的螺高。
本发明中，「导程」可指螺距(Pitch)的大小。详细来说，螺距可为两相邻相同螺纹对应点的轴向距离。以第一螺部120为例，螺距可为两相邻第一螺纹121对应点的轴向距离，或者，螺距可为两相邻第二螺纹122对应点的轴向距离。以第二螺部130为例，螺距可为两相邻第三螺纹131对应点的轴向距离，或者，螺距可为两相邻第四螺纹132对应点的轴向距离。
请参照图7，其是依据本发明另一实施方式的螺旋式帮浦200的示意图。螺旋式帮浦200包含帮浦本体210以及转子100。
帮浦本体210其内形成有帮浦腔室220、入口230及出口240，入口230与出口240均与帮浦腔室220连通。
转子100设置在帮浦腔室220内，转子100用以将气体由入口230排放至出口240，详细来说，转子100的数量为两个(仅绘示一个)，且两个转子100被配置为互相咬合(engage)且以相反方向旋转，转子100中，第一螺部120的导程D1大于第二螺部130的导程D2(如图6所示)，第一螺部120较第二螺部130邻近帮浦本体210的入口230。有关转子100的其他细节，请参照图1至图6的说明，在此不重复叙述，有关螺旋式帮浦200的操作原理为熟悉此技艺者所熟知，在此不另赘述。通过使用转子100，有利于兼顾螺旋式帮浦200的抽气量以及节省电力。
相较现有技术，本发明的转子100，通过第一螺部120的导程D1与第二螺部130的导程D2不同，有利于兼顾抽气量以及节省电力。当第一螺部120与第二螺部130间配置有间隔空间140，可有利于以一体加工的方式制作转子100，可提升转子100的精度。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (12)
1.一种转子，用于螺旋式帮浦，其特征在于，所述转子包含：
中心轴；
第一螺部，设置在所述中心轴上；以及
第二螺部，设置在所述中心轴上；
其中所述第一螺部的导程与所述第二螺部的导程不同。
2.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，所述第一螺部与所述第二螺部间具有间隔空间。
3.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，所述第一螺部的所述导程为定值，且所述第二螺部的所述导程为定值。
4.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，所述第一螺部包含第一螺纹以及与所述第一螺纹邻接的第二螺纹，所述第一螺纹的螺高大于所述第二螺纹的螺高。
5.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，所述第二螺部包含第三螺纹以及与所述第三螺纹邻接的第四螺纹，所述第三螺纹的螺高大于所述第四螺纹的螺高。
6.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，所述中心轴、所述第一螺部与所述第二螺部的材质均为高碳钢。
7.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，所述中心轴、所述第一螺部与所述第二螺部是一体加工而成。
8.根据权利要求1所述的转子，其特征在于，还包含：
第三螺部，设置在所述第一螺部与所述第二螺部间，且所述第三螺部的导程、所述第一螺部的所述导程及所述第二螺部的所述导程彼此不同。
9.根据权利要求8所述的转子，其特征在于，所述第三螺部与所述第一螺部间具有第一间隔空间，且所述第三螺部与所述第二螺部间具有第二间隔空间。
10.根据权利要求8所述的转子，其特征在于，所述第三螺部包含第五螺纹以及与所述第五螺纹邻接的第六螺纹，所述第五螺纹的螺高大于所述第六螺纹的螺高。
11.一种螺旋式帮浦，其特征在于，包含：
帮浦本体，其内形成有帮浦腔室、入口及出口，所述入口与所述出口均与所述帮浦腔室连通；以及
如权利要求1至10中任一项所述的转子，设置在所述帮浦腔室内，所述转子用以将气体由所述入口排放至所述出口。
12.根据权利要求11所述的螺旋式帮浦，其特征在于，所述第一螺部的所述导程大于所述第二螺部的所述导程，且所述第一螺部较所述第二螺部邻近所述帮浦本体的所述入口。
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