CN111770425B - 换能器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种换能器,包括:第一壳体、第二壳体、连接件、环形件、第一电容结构及第二电容结构,环形件与第一壳体及第二壳体围成内腔,第一壳体及第二壳体呈圆形,连接件将内腔分隔形成第一声腔与第二声腔,环形件包括形变臂及环形本体,对第一电容结构及第二电容结构通电致使形变臂变形以改变第一声腔和第二声腔的体积,产生声压,并从导声孔导出,或者当声压从导声孔进入第一声腔和第二声腔中,形变臂被推动变形从而导致第一电容结构、第二电容结构输出电信号的变化。本发明提供的换能器,环形件设置于内腔的外侧,具有较大空间以实现形变臂的变形控制,可有效提高形变臂的变形及环形本体旋转运动的线性度,从而有效提升环形件的控制效果。
Description
【技术领域】
本发明涉及声学技术领域,尤其涉及一种换能器。
【背景技术】
换能器,是指电信号和声信号相互转换的器件。例如,作为扬声器应用时,将电信号转换成声信号;作为麦克风应用时,将声信号转化成电信号。换能器的声腔设计是影响换能器工作的重点因素之一。
传统的换能器,包括具有内腔的壳体及设置于所述壳体内的变形件,变形件将内腔分隔成多个声腔,壳体上开设有与声腔连通的导声孔,变形件能变形振动,以改变声腔体积发声,或当声压进入声腔,变形件被推动变形,变形件与壳体的结构复杂,这样的结构会导致变形件变形控制困难,且一个发声腔体需要设计多个小腔体进行空气补充,加大了声学设计的难度。
因此,有必要提供一种新的换能器以解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种换能器,以解决目前换能器,变形件变形控制困难,加大了声学设计难度的技术问题。
本发明的技术方案如下:
提供了一种换能器,包括:第一壳体、与所述第一壳体相对设置的第二壳体、设置于所述第一壳体与所述第二壳体之间的连接件及环形件,所述环形件与所述第一壳体及所述第二壳体围成内腔,所述第一壳体及所述第二壳体呈圆形,所述连接件呈条状且与所述第一壳体及所述第二壳体连接将所述内腔分隔形成第一声腔与第二声腔,所述连接件设置于所述环形件内,所述环形件包括与所述连接件连接的形变臂及与所述形变臂连接且呈圆环形的环形本体,所述形变臂的一端与所述连接件的一端于所述环形本体的圆心处连接,所述换能器还包括位于所述第一声腔内的第一电容结构、以及位于所述第二声腔内的第二电容结构,所述第一电容结构包括与所述形变臂连接的圆弧形第一移动部,所述第二电容结构包括与所述形变臂连接的圆弧形第二移动部;
所述第一壳体与所述第二壳体分别开设有至少一导声孔,每个所述导声孔与所述第一声腔及所述第二声腔中的一者连通;
对所述第一电容结构及所述第二电容结构通电致使所述形变臂变形,以使所述环形本体旋转运动以改变所述第一声腔和所述第二声腔的体积,产生声压,并从所述导声孔导出;或者当声压从所述导声孔进入所述第一声腔和所述第二声腔中,所述形变臂被推动变形以使所述环形本体旋转运动,从而导致所述第一电容结构、所述第二电容结构输出电信号的变化。
作为一种改进,所述导声孔包括位于所述第一壳体上的第一导声孔及位于所述第二壳体上的第二导声孔,所述第一声腔与所述第一导声孔组成的结构与所述第二声腔与所述第二导声孔组成的结构中心对称。
作为一种改进,所述连接件包括与所述第一壳体固定的上表面、与所述第二壳体固定的下表面、与所述环形本体间隔设置的前表面及与所述前表面相对的后表面;
所述连接件的所述前表面与所述环形本体间隔设置形成第一缝隙,所述第一缝隙的尺寸为0.5um~100um。
作为一种改进,所述环形件包括与所述第一壳体相对设置的第二表面及与所述第二表面相对的第三表面,所述第二表面与所述第一壳体间隔设置形成第三缝隙,所述第三表面与所述第二壳体间隔设置形成第四缝隙;
所述第三缝隙及所述第四缝隙的尺寸为0.1um~10um。
作为一种改进,所述形变臂设置有多个,多个所述形变臂能将环形本体分隔形成多个扇形结构,多个所述扇形结构与所述第一壳体及所述第二壳体围成有多个所述内腔,所述连接件设置有多个,并与所述内腔一一对应设置。
作为一种改进,所述形变臂及所述连接件绕所述环形本体的轴线周向间隔设置。
作为一种改进,所述第一电容结构还包括第一固定部,所述第二电容结构还包括第二固定部,所述第一固定部、所述第二固定部与所述连接件连接;所述第一移动部及所述第二移动部为动电极,所述第一固定部与所述第二固定部为静电极,所述第一移动部、所述第二移动部、所述第一固定部及所述第二固定部为圆弧形的梳齿状结构,所述第一移动部与所述第一固定部相互交叉设置,并间隙配合,所述第二移动部与所述第二固定部相互交叉设置,并间隙配合。
作为一种改进,所述形变臂能复位周向旋转运动的所述环形本体。
作为一种改进,所述换能器为麦克风。
作为一种改进,所述换能器为扬声器,对所述第一电容结构及所述第二电容结构通电致使所述形变臂变形,以使所述环形本体周向旋转运动,以使所述第一声腔和所述第二声腔中的一者体积增大,另一者体积减小,以使所述第一声腔和所述第二声腔分别吸入空气和排出空气,产生声压,并从所述导声孔导出。
本发明提供的换能器的有益效果在于:环形件与第一壳体及第二壳体围成内腔,第一壳体及第二壳体呈圆形,连接件将内腔分隔形成第一声腔与第二声腔,环形件与第一壳体及第二壳体围成内腔,连接件将内腔分隔形成第一声腔与第二声腔,环形件包括与连接件连接的形变臂及与形变臂连接且呈圆环形的环形本体,形变臂的一端与连接件的一端于环形本体的圆心处连接,环形本体设置于内腔的外侧,具有较大空间以实现形变臂的变形及环形本体的运动控制,可有效提高形变臂变形及环形本体运动的线性度,从而有效提升环形件的控制效果。
【附图说明】
图1为本发明的一个实施例提供的换能器的结构示意图;
图2为图1所示的换能器的主视图;
图3为图2所示的换能器的A-A剖视图;
图4为图1所示的换能器的俯视图;
图5为图4所示的换能器的B-B剖视图;
图6为图5所示的换能器的C部放大示意图;
图7为图1所示的换能器的部分剖视图;
图8为图7所示的换能器的D部放大示意图;
图9为本发明的一个实施例提供的换能器的环形件和连接件示意图;
图10为本发明的另一个实施例提供的换能器的环形件和连接件示意图;
图11为本发明的另一个实施例提供的换能器的环形件和连接件示意图;
图12为本发明的另一个实施例提供的换能器的环形件和连接件示意图;
图13为本发明的一个实施例提供的换能器的导声孔示意图;
图14为本发明的另一个实施例提供的换能器的导声孔示意图;
图15为本发明的一个实施例提供的静电梳齿驱动原理示意图;
图16为本发明的一个实施例提供的静电梳齿对称驱动原理示意图。
【具体实施方式】
下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
请参阅图1至图4,本发明公开了一种换能器10,该换能器10主要用于将电信号和声信号相互转换,其具体结构包括:第一壳体100、与第一壳体100相对设置的第二壳体200、设置于第一壳体100与第二壳体200之间的连接件300及环形件400,环形件400与第一壳体100及第二壳体200围成内腔500,第一壳体100及第二壳体200呈圆形,连接件300呈条状且与第一壳体100及第二壳体200连接将内腔500分隔形成第一声腔510与第二声腔520,连接件300设置于环形件400内,环形件400包括与连接件300连接的形变臂410及与形变臂410连接且呈圆环形的环形本体450,形变臂410的一端与连接件300的一端于环形本体450的圆心处连接,换能器10还包括位于第一声腔510内的第一电容结构600、以及位于第二声腔520内的第二电容结构800,第一电容结构600包括与形变臂410连接的圆弧形第一移动部610,第二电容结构800包括与形变臂410连接的圆弧形第二移动部810;第一壳体100与第二壳体200分别开设有至少一导声孔110,每个导声孔110与第一声腔510及第二声腔520中的一者连通;对第一电容结构600及第二电容结构800通电致使形变臂410变形,以使所述环形本体450旋转运动以改变第一声腔510和第二声腔520的体积,产生声压,并从导声孔110导出;或者当声压从导声孔110进入第一声腔510和第二声腔520中,形变臂410被推动变形以使环形本体450旋转运动,从而导致第一电容结构600、第二电容结构800输出电信号的变化,环形件400围设成内腔500,具有较大空间以实现形变臂410的变形及环形本体450的旋转运动控制,可有效提高形变臂410变形及环形本体450运动的线性度,从而有效提升环形件400的控制效果,并可实现环形件400较高的变形能力及较大的运动行程,可以提高环形件400振动的振幅行程。
请参阅图1、图5及图7,导声孔110包括位于第一壳体100上的第一导声孔111及位于第二壳体200上的第二导声孔112,第一声腔510与第一导声孔111组成的结构与第二声腔520与第二导声孔112组成的结构中心对称,第一声腔510与第一导声孔111连通,第二声腔520与第二导声孔112连通,当第一声腔510与第二声腔520设置有多组,每个导声孔110分别与第一声腔510及第二声腔520一一对应设置,则,每个声腔可分别与一导声孔110连通,该导声孔110可以实现将声压导入声腔内,或将声腔内的声压输送至外界,导声孔110在第一壳体100及第二壳体200上错位设置,以满足声腔的设置要求,即,每组第一声腔510及第二声腔520中,设置有两个导声孔110,此两个导声孔110分别开设在第一壳体100及第二壳体200上。
在一实施例中,请参阅图2及图3,连接件300包括与第一壳体100固定的上表面320、与第二壳体200固定的下表面330、与环形本体450间隔设置的前表面340与所述前表面340相对的后表面350;连接件300的前表面340与环形本体450间隔设置形成第一缝隙360,第一缝隙360的尺寸为0.5um~100um,连接件300一端与所述环形件400的形变臂410连接,另一端与环形件400的环形本体450间隙配合,以利于环形本体450的周向旋转运动。当然,可以理解的是,在不同实施例中,连接件300也可一端与所述环形件400的形变臂410连接,另一端与环形件400的环形本体450弹性连接,但需满足环形本体450可旋转运动的设计要求。
在一实施例中,请参阅图9,连接件300与环形本体450间隔设置的一端设置有延伸部310,延伸部310包括朝向环形本体450的第一表面311,第一表面311与环形本体450间隔设置形成第二缝隙370,第二缝隙370与第一缝隙360连通且尺寸相同,可以提高连接件300与环形本体450之间缝隙的长度,以减少声压的泄露,并且延伸部310的体积与声腔相比较小,不会对声腔的性能产生影响。
在一实施例中,请参阅图10,环形本体450与连接件300相对的位置处设置有凹陷部440,连接件300的前表面340与凹陷部440间隔设置形成第一缝隙360,可以使连接件300与环形本体450件的缝隙尺寸更小,以减少声压的泄露,在满足MEMS工艺中,刻蚀深宽比极限的条件下,采用此结构,在环形本体450振动的过程中,未产生凹陷的环形件主体部分,与连接件300端部配合缝隙尺寸更小。
在一实施例中,请参阅图11,环形本体450与连接件300相对的位置处的一侧及背离连接件300的一侧分别设置有凹陷部440,连接件300的前表面340与靠近连接件300一侧的凹陷部440间隔设置形成第一缝隙360,靠近连接件300一侧的凹陷部440与连接件300间隙配合,可以使连接件300与环形本体450的缝隙尺寸更小,以减少声压的泄露,在满足MEMS工艺中,刻蚀深宽比极限的条件下,采用此结构,在环形本体450振动的过程中,未产生凹陷的环形件主体部分,与连接件300端部配合缝隙尺寸更小。
请参阅图5至图8,环形件400包括与第一壳体100相对设置的第二表面470及与第二表面470相对的第三表面480,第二表面470与第一壳体100间隔设置形成第三缝隙471,第三表面480与第二壳体200间隔设置形成第四缝隙481;第三缝隙471及第四缝隙481的尺寸为0.1um~10um,环形件400与第一壳体100及第二壳体200间隙配合,以利于环形本体450的旋转运动。
在一实施例中,形变臂410设置有多个,多个形变臂410能将环形本体450分隔形成多个扇形结构420,多个扇形结构420与第一壳体100及第二壳体200围成有多个内腔500,连接件300设置有多个,并与内腔500一一对应设置,例如图1所示,形变臂410将环形本体450分隔成了4个扇形结构420,每个内腔500都采用连接件300分隔分为第一声腔510和第二声腔520,以实现形变臂410变形导致的环形本体450运动,能至少同时实现两个声腔的体积变化,在声压分别进入两个声腔内,也可共同推动形变臂410弯曲变形,以及环形本体450旋转运动,此时,第一声腔510和第二声腔520分别设置有多个。当然,可以理解的是,在不同实施例中,该内腔500也可以围成有一个,以保证至少具有一第一声腔510和一第二声腔520。
具体的,当具有一形变臂410、一连接件300时,当对第一电容结构600及第二电容结构800通电,第一移动部610及第二移动部810会移动,并共同带动一形变臂410弯曲变形,进而致使环形本体450运动以改变第一声腔510和第二声腔520的体积,产生声压,并从导声孔110导出;当声压从导声孔110进入第一声腔510和第二声腔520中,一形变臂410会被推动变形,并带动第一移动部610及第二移动部810移动,从而导致第一电容结构600、第二电容结构800输出电信号的变化。
当具有形变臂410及连接件300分别设置有多个时,第一移动部610及第二移动部810分别与连接件300两侧的两个形变臂410连接,当对第一电容结构600及第二电容结构800通电,第一移动部610及第二移动部810会移动,并分别带动连接件300两侧的两个形变臂410弯曲变形,进而致使环形本体450旋转运动以改变第一声腔510和第二声腔520的体积,产生声压,并从导声孔110导出;当声压从导声孔110进入第一声腔510和第二声腔520中,连接件300两侧的两个形变臂410会被推动变形,并带动第一移动部610及第二移动部810移动,从而导致第一电容结构600、第二电容结构800输出电信号的变化。
在一实施例中,形变臂410及连接件300绕环形本体450的轴线周向间隔设置,以将环形本体450以其中心点分隔形成多个扇形框架,此时,形变臂410可将环形本体450分隔形成多个扇形结构420,连接件300可将扇形结构依次分隔形成两个扇形框架,此两个扇形框架可与第一壳体100及第二壳体200围城第一声腔510及第二声腔520。
在一实施例中,换能器10还包括连接柱380,所述连接柱380设置于环形本体450的中心位置处,并与第一壳体100及第二壳体200连接,所述形变臂410及所述连接件300的一端与所述连接柱380连接,并围绕该连接柱380周向设置,以实现环形本体450的内部分隔。
在一实施例中,请参阅图12,连接件300的形状与形变臂410的形状相配合,该连接件300及形变臂410可以为直线状、弯折状或其他形状,但需使连接件300的形状与形变臂410的结构近似,以满足声腔的设计要求。
在一实施例中,请参阅图13,该导声孔110可以为方形孔、长方形孔、圆形孔或三角形孔等,其形状能满足声压传播即可,请参阅图14,该导声孔110可以为方形孔、长方形孔、圆形孔或三角形孔中的一者或多者的阵列形态,在满足声压导通的情况下,可以采用尺寸较小的导声孔110阵列方案,以实现防尘保护。当然,可以理解的是,在不同实施例中,该导声孔110可以为一整个导通孔,但在该导声孔110出口位置,设置防尘结构,以实现防尘保护。
在一实施例中,第一电容结构600还包括第一固定部620,第二电容结构800还包括第二固定部820,第一固定部620、第二固定部820与连接件300连接,第一电容结构600及第二电容结构800可以控制形变臂410变形,以使环形本体450旋转运动,以改变声腔的体积,以振动发声,以作为扬声器使用,或在声压进入声腔内时,形变臂410被推动变形,第一电容结构600及第二电容结构800能采集形变臂410的变形量,并将该变形量转化成电信号,以作为麦克风使用。
具体的,第一移动部610及第二移动部810为动电极,第一固定部620与第二固定部820为静电极,第一移动部610、第二移动部810、第一固定部620及第二固定部820为圆弧形的梳齿状结构,第一移动部610与第一固定部620相互交叉设置,并间隙配合,第二移动部810与第二固定部820相互交叉设置,并间隙配合,能够较好的实现第一电容结构600及第二电容结构800的驱动控制或变形量采集,并且梳齿状的动电极和静电极,利于动电极和静电极的数量增减,以控制动电极和静电极的相对面积,利于第一电容结构600及第二电容结构800的控制及声腔的设计,此时,第一电容结构600及第二电容结构800可为静电梳齿驱动结构。
第一电容结构600能驱动第一移动部610相对第一固定部620远离或靠近,第二电容结构800能驱动第二移动部810相对第二固定部820远离或靠近,以控制形变臂410的弯曲变形,进而控制环形件400振动,以改变声腔的体积,实现振动发声,完成驱动发声功能,当声压进入声腔内,形变臂410能被推动变形从而导致第一电容结构600、第二电容结构800输出电信号的变化,并被采集,完成采集检测功能。
另外,第一固定部620及第二固定部820与连接件300连接,第一电容结构600及第二电容结构800设置于环形件400内部,会导致声腔体积减少,也会使整体换能器10体积减小,此时,该换能器10作为麦克风使用时,更能体现小型化的要求。在一实施例中,第一电容结构600及第二电容结构800可设置有一组或多组,可根据设置需求而分别布置与第一声腔510及第二声腔520对应的第一电容结构600及第二电容结构800,以进行声压检测或驱动振动发声,多个内腔500中可部分布置第一电容结构600及第二电容结构800,以满足声压检测或驱动振动发声的条件设计。
在一实施例中,形变臂410能复位周向旋转运动的环形本体450,形变臂410在被推动变形后,还能弹性复位,以使形变臂410及环形本体450回复原状,环形件400的振动频率可通过调节形变臂410的弹性性能来实现,例如,调节一阶谐振频率。形变臂410弹性变形及环形本体450运动的空气阻尼均是滑膜阻尼,将有很好的SNR性能。
另外,还可设置复位件,复位件为弹性件,形变臂410采用复位件与连接件300弹性连接,也可为环形件400提供弹性变形及运动后的复原力,此时,该复位件可以为弹簧结构,该弹簧结构可以为方波型、三角波型或直线型等。
可见,在一实施例中,环形件400上的第一电容结构600、第二电容结构800与实现弹性复位的形变臂410安装空间充裕,此时,环形件400弹性变形及运动的驱动结构及弹性结构为分开设计,利于第一电容结构600、第二电容结构800及形变臂410的独立设计,可以实现驱动结构及弹性结构的独立控制,可提升环形件400弹性变形及旋转运动的线性度,并可满足驱动力及声腔分割设计等设计需求。
在一实施例中,第一电容结构600、第二电容结构800及环形件400设置于第一壳体100与第二壳体200之间,可实现第一电容结构600、第二电容结构800及环形件400的防护。
在一实施例中,换能器10为麦克风,当在第一声腔510及第二声腔520上分别设置导声孔110时,此时,具有两个导声孔110,声压进入第一声腔510及第二声腔520,会推动中间的形变臂410弯曲变形,并使环形本体450周向旋转,旋转运动后环形本体450能被形变臂410驱动回复原位,被声压和形变臂410循环驱动,从而导致第一电容结构600、第二电容结构800输出电信号的变化,并被检测机构检测,静电梳齿驱动结构接收到两个信号,实现差分信号输出。
在一实施例中,换能器10为扬声器,对第一电容结构600及第二电容结构800通电致使形变臂410弯曲变形,并使环形本体450旋转运动,以使第一声腔510和第二声腔520中的一者体积增大,另一者体积减小,以使第一声腔510和第二声腔520分别吸入空气和排出空气,产生声压,并从导声孔110导出,该环形件400被驱动后,会循环变形及旋转运动、复原两种状态,进而实现第一声腔510和第二声腔520的体积变化,以循环振动发声。
静电梳齿驱动原理:请参阅图15:
其中:ε0真空介电常数;
z0梳齿高度(面外长度);
y0梳齿间的间隙;
x0梳齿间重叠的长度;
可见,驱动力与梳齿间重叠的长度无关,所以作为驱动器的时候,静梳齿720不动,不会随着动梳齿710(右边的梳齿、动电极)的运动而导致驱动力发生改变。驱动力只与驱动电压相关了,而驱动电压就是我们输入的电压信号(如:音频信号)。针对图15的驱动器设计,驱动力的大小是与驱动电压的平方成正比的。
请参阅图16:
其中:ε0真空介电常数;
z0梳齿高度(面外长度);
y0梳齿间的间隙;
Vdc施加的直流偏置电压;
Vac施加的交流电压;
可见,直流偏置电压不变,所以驱动力只与交流电压线性相关,两端静止的静梳齿720(静电极)上施加的交流电压大小相等,符号相反(相位差180度),驱动工作时,先通入直流电,再通入交流电。
需要说明的是,本发明中提到的“多个”指的是两个或两个以上;术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
以上的仅是本发明的实施方式,在此应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出改进,但这些均属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种换能器,其特征在于,包括:第一壳体、与所述第一壳体相对设置的第二壳体、设置于所述第一壳体与所述第二壳体之间的连接件及环形件,所述环形件与所述第一壳体及所述第二壳体围成内腔,所述第一壳体及所述第二壳体呈圆形,所述连接件呈条状且与所述第一壳体及所述第二壳体连接将所述内腔分隔形成第一声腔与第二声腔,所述连接件设置于所述环形件内,所述环形件包括与所述连接件连接的形变臂及与所述形变臂连接且呈圆环形的环形本体,所述形变臂的一端与所述连接件的一端于所述环形本体的圆心处连接,所述换能器还包括位于所述第一声腔内的第一电容结构、以及位于所述第二声腔内的第二电容结构,所述第一电容结构包括与所述形变臂连接的圆弧形第一移动部,所述第二电容结构包括与所述形变臂连接的圆弧形第二移动部;
所述第一壳体与所述第二壳体分别开设有至少一导声孔,每个所述导声孔与所述第一声腔及所述第二声腔中的一者连通;
对所述第一电容结构及所述第二电容结构通电致使所述形变臂变形,以使所述环形本体旋转运动以改变所述第一声腔和所述第二声腔的体积,产生声压,并从所述导声孔导出;或者当声压从所述导声孔进入所述第一声腔和所述第二声腔中,所述形变臂被推动变形以使所述环形本体旋转运动,从而导致所述第一电容结构、所述第二电容结构输出电信号的变化。
2.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述导声孔包括位于所述第一壳体上的第一导声孔及位于所述第二壳体上的第二导声孔,所述第一声腔与所述第一导声孔组成的结构与所述第二声腔与所述第二导声孔组成的结构中心对称。
3.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述连接件包括与所述第一壳体固定的上表面、与所述第二壳体固定的下表面、与所述环形本体间隔设置的前表面及与所述前表面相对的后表面;
所述连接件的所述前表面与所述环形本体间隔设置形成第一缝隙,所述第一缝隙的尺寸为0.5um~100um。
4.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述环形件包括与所述第一壳体相对设置的第二表面及与所述第二表面相对的第三表面,所述第二表面与所述第一壳体间隔设置形成第三缝隙,所述第三表面与所述第二壳体间隔设置形成第四缝隙;
所述第三缝隙及所述第四缝隙的尺寸为0.1um~10um。
5.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述形变臂设置有多个,多个所述形变臂能将环形本体分隔形成多个扇形结构,多个所述扇形结构与所述第一壳体及所述第二壳体围成有多个所述内腔,所述连接件设置有多个,并与所述内腔一一对应设置。
6.根据权利要求5所述的换能器,其特征在于:所述形变臂及所述连接件绕所述环形本体的轴线周向间隔设置。
7.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述第一电容结构还包括第一固定部,所述第二电容结构还包括第二固定部,所述第一固定部、所述第二固定部与所述连接件连接;
所述第一移动部及所述第二移动部为动电极,所述第一固定部与所述第二固定部为静电极,所述第一移动部、所述第二移动部、所述第一固定部及所述第二固定部为圆弧形的梳齿状结构,所述第一移动部与所述第一固定部相互交叉设置,并间隙配合,所述第二移动部与所述第二固定部相互交叉设置,并间隙配合。
8.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述形变臂能复位周向旋转运动的所述环形本体。
9.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述换能器为麦克风。
10.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于:所述换能器为扬声器,对所述第一电容结构及所述第二电容结构通电致使所述形变臂变形,以使所述环形本体周向旋转运动,以使所述第一声腔和所述第二声腔中的一者体积增大,另一者体积减小,以使所述第一声腔和所述第二声腔分别吸入空气和排出空气,产生声压,并从所述导声孔导出。
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