CN111727498B - 化学品过滤器固定装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供一种化学品过滤器固定装置，在自动更换化学品过滤器的情况下，坚固地固定过滤器组件的外壳和头部，进而可防止化学品泄漏。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器固定装置用于固定过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)由过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)构成，所述过滤器外壳(20)内部配置有滤芯(10)，所述过滤器头部(30)形成有多个连接部(31～34)，所述多个连接部(31～34)连接于所述过滤器外壳(20)的开放的一侧，以使化学品流进或者排放，所述化学品过滤器固定装置包括过滤器组件安装部(300、300‑1、300‑2)，安装所述过滤器组件(2)，以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)的相互接触部分紧贴。
Description
技术领域
本发明涉及化学品过滤器固定装置，更详细地说，涉及坚固地固定过滤器组件的外壳和头部可防止化学品泄漏的化学品过滤器固定装置。
背景技术
通常，在使用危险化学品的所有公司，诸如制造半导体、半导体设备、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等正在使用各种种类的化学品，而且安全供应这种化学品的方式也正在多样化。
这种化学品经过化学品过滤器进行供应，进而根据制造工艺的特性使用将杂质最少化的高纯度状态的化学品。
对于所述化学品过滤器，根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学品的种类及所需高纯度状态保持基准更换周期也各不相同。
以往，为了将来自于化学品的损害最小化，工作人员穿戴化学防护服及防毒面具等的安全装备仔细的手动更换化学品过滤器。
然而，在工作人员手动更换化学品过滤器的情况下，在化学品过滤器更换工作时，可向外部泄漏化学品及烟雾(FUME)，不仅对包括制造设备的周边环境造成污染和损坏、破损，而且包括工作人员在内的周围其他人员也可暴露在危险之中。
另外，在工作人员阀门操作失误的情况下，可发生过滤器内部的各种有毒化学品泄漏到外部的事故。
另外，由于是手动更换化学品过滤器，因此存在更换过滤器所需的工作工序数增加的问题。
作为在手动更换这种化学品过滤器的情况下用于固定化学品过滤器的装置，公开了韩国公开专利第10-2003-0043124号(2003.06.02.公开)。
发明内容
技术问题
本发明是为了解决上述各种问题而提出的，目的在于提供一种化学品过滤器固定装置，在自动更换化学品过滤器的情况下，坚固地固定过滤器组件的外壳和头部，进而可防止化学品泄漏。
技术方案
用于达到上述目的的本发明的化学品过滤器固定装置用于固定过滤器组件2，所述过滤器组件2由过滤器外壳20和过滤器头部30构成，所述过滤器外壳20内部配置有滤芯10，所述过滤器头部30形成有多个连接部31～34，所述多个连接部31～34连接于所述过滤器外壳20的开放的一侧，以使化学品流进或者排放，所述化学品过滤器固定装置包括过滤器组件安装部300、300-1、300-2，安装所述过滤器组件2，以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳20和过滤器头部30的相互接触部分紧贴。
所述过滤器组件安装部300可包括：过滤器头部安装架340，安装所述过滤器头部30，以使所述过滤器外壳20位于一侧，并且使所述过滤器头部30位于另一侧；头部夹具310、310-1，用于夹紧并结合所述过滤器头部30和过滤器外壳20。
头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1在彼此相向的面彼此面对的状态下安装在所述过滤器头部安装架340，所述头部凸缘36、36-1沿着所述过滤器头部30的一侧端部周围形成，所述外壳凸缘22、22-1沿着所述过滤器外壳20的一侧端部周围形成；所述头部夹具310、310-1可向所述头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1相向的面彼此紧贴的方向进行加压。
所述头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1分别形成为彼此相向的面的反面倾斜的楔形；所述头部夹具310、310-1可形成有具有倾斜的内侧面的结合槽311a、312b、311-1a、312-1b，以分别紧贴于所述头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1的倾斜的面。
所述头部夹具310、310-1包括第一夹具311、311-1和第二夹具312、312-1，所述第一夹具311、311-1和第二夹具312、312-1彼此相向地位于所述头部凸缘36、36-1和外壳凸缘22、22-1的周围；并且可具有夹具驱动部320、320-1，所述夹具驱动部320、320-1用于使所述第一夹具311、311-1和第二夹具312、312-1以彼此接近的方向或者彼此远离的方向移动。
所述第一夹具311和第二夹具312配置成以水平方向彼此相向进而以水平方向移动
所述化学品过滤器固定装置具有至少一个过滤器外壳拆装模块400，所述过滤器外壳拆装模块400从所述过滤器组件2分离所述过滤器外壳20，或者结合从所述过滤器组件2分离的所述过滤器外壳20以包围所述滤芯10；并且可具有夹具驱动部320，在通过所述过滤器外壳拆装模块400移动所述过滤器外壳20时，所述夹具驱动部320以与所述过滤器外壳20的移动方向垂直的方向移动所述第一夹具311和第二夹具312。
所述第一夹具311-1和第二夹具312-1配置成以上下方向相向，并且所述第一夹具311-1和第二夹具312-1中至少一个能够以上下方向移动。
所述化学品过滤器固定装置具有至少一个过滤器外壳拆装模块400，所述过滤器外壳拆装模块400从所述过滤器组件2分离所述过滤器外壳20，或者结合从所述过滤器组件2分离的所述过滤器外壳20以包围所述滤芯10；并且可具有夹具驱动部320-1，在通过所述过滤器外壳拆装模块400移动所述过滤器外壳20时，所述夹具驱动部320-1使所述第一夹具311-1和第二夹具312-1中位于所述过滤器外壳20侧的所述第二夹具312-1以与所述过滤器外壳20的移动方向相同的方向移动。
所述过滤器组件安装部300-2结合所述过滤器外壳20和过滤器头部30，而且利用所述驱动部旋转在所述过滤器头部30外侧面螺纹结合的过滤器螺母50，进而可分离及结合所述过滤器外壳20和过滤器头部30。
所述过滤器螺母50通过至少一个齿轮部件302-2、303-2旋转的同时能够以上下方向移动，所述齿轮部件302-2、303-2通过所述驱动部进行旋转。
在所述过滤器螺母50外侧面形成有至少一个凸出部53；所述齿轮部件302-2包括内侧插入所述过滤器螺母50的螺母插入部件302-2b；在所述螺母插入部件302-2b的内侧面可形成有引导槽302-2c，所述引导槽302-2c插入所述凸出部53引导所述过滤器螺母50的移动。
若驱动所述驱动部来旋转所述齿轮部件302-2、303-2，则所述过滤器螺母50被解除所述螺纹结合，进而能够从所述过滤器头部30分离所述过滤器外壳20。
所述齿轮部件302-2、303-2可由第一齿轮部件302-2和第二齿轮部件303-2构成，所述第一齿轮部件302-2以同心结构配置在所述过滤器螺母50的外侧，并且以所述过滤器外壳20为中心进行自转，所述第二齿轮部件303-2啮合于所述第一齿轮部件302-2外侧，并且通过所述驱动部320-2的驱动进行旋转。
所述化学品过滤器固定装置具有盖体380-2，所述盖体380-2在内部容纳所述齿轮部件302-2、303-2，并且在外侧固定并结合所述驱动部320-2；并且可具有盖体驱动部，所述盖体驱动部以与从所述过滤器头部30分离所述过滤器外壳20的方向相同的方向移动所述盖体380-2。
所述驱动部320-2结合于所述盖体380-2，可通过所述盖体驱动部与所述盖体380-2一体地一同移动。
所述化学品过滤器固定装置还可包括至少一个过滤器外壳拆装模块400，通过驱动部的驱动从所述过滤器组件2分离所述过滤器外壳20，或者结合从所述过滤器组件2分离的所述过滤器外壳20以包围所述滤芯10。
所述过滤器外壳拆装模块400可包括：外壳固定部410，固定所述过滤器外壳20；外壳运送部420，配置有所述驱动部，进而以上下方向移动所述外壳固定部410。
所述化学品过滤器固定装置具有连接排管，所述连接排管连接于所述过滤器外壳20的一侧端部，以排放所述过滤器外壳20内部的化学品或者气体，或者向所述过滤器外壳20内部流进气体；所述连接排管形成为线圈形状，进而在分离或者结合所述过滤器外壳20时可吸收所述连接排管的长度变化。
有益效果
通过本发明，利用机械装置自动更换化学品过滤器，进而可减少更换过滤器所需的工作工序数，并且用夹具坚固地固定过滤器组件的外壳和头部，进而可防止化学品泄漏。
另外，过滤器外壳保持结合于过滤器外壳拆装模块的状态，并且只回收已使用的滤芯，进而使得过滤器外壳和滤芯的分离工作变得简单，并且可缩短分离所需的时间。
附图说明
图1是配置有本发明的化学品过滤器固定装置的化学品过滤器自动更换装置的外观立体图；
图2是示出配置在图1的化学品过滤器自动更换装置内部的结构的立体图；
图3是示出化学品过滤器及与此连接的排管及阀门的图；
图4是示出本发明的另一实施例的化学品过滤器及与此连接的排管及阀门的图；
图5是示出在本发明的第一实施例的化学品过滤器固定装置夹紧过滤器组件的状态的立体图；
图6是示出在本发明的第一实施例的化学品过滤器固定装置夹紧过滤器组件的状态的剖面图；
图7是示出在本发明的第一实施例的化学品过滤器固定装置解除夹紧过滤器组件的状态的立体图；
图8是示出在本发明的第一实施例的化学品过滤器固定装置解除夹紧过滤器组件的状态的剖面图；
图9是示出过滤器外壳拆装模块的立体图；
图10是示出通过过滤器外壳拆装模块向上移动过滤器外壳的状态的立体图；
图11是示出滤芯运送模块的立体图；
图12是示出在更换化学品过滤器时的准备步骤的图；
图13是示出从过滤器组件分离过滤器外壳的状态的图；
图14是示出第一运送部的夹爪位于过滤器组件上部的状态的图；
图15是示出第一运送部从过滤器组件分离第二滤芯的状态的图；
图16是示出第一运送部将第二滤芯运送到第一运送部的原点位置的状态的图；
图17是示出在本发明的第二实施例的化学品过滤器固定装置夹紧过滤器组件的状态的立体图；
图18是示出在本发明的第二实施例的化学品过滤器固定装置夹紧过滤器组件的状态的剖面图；
图19是示出在本发明的第二实施例的化学品过滤器固定装置解除夹紧过滤器组件的状态的立体图；
图20是示出在本发明的第二实施例的化学品过滤器固定装置解除夹紧过滤器组件的状态的剖面图；
图21是示出在本发明的第三实施例的化学品过滤器固定装置中通过过滤器螺母结合过滤器外壳和过滤器头部的状态的立体图；
图22是示出在本发明的第三实施例化学品过滤器固定装置中通过过滤器螺母结合过滤器外壳和过滤器头部的状态的剖面图；
图23是本发明的第三实施例的化学品过滤器固定装置的部分结构的分解立体图；
图24是示出本发明的第三实施例的化学品过滤器固定装置的内部结构的立体图；
图25是示出在本发明的第三实施例的化学品过滤器固定装置中从过滤器外壳和过滤器头部分离过滤器螺母的状态的立体图；
图26是示出在本发明的第三实施例的化学品过滤器固定装置中从过滤器外壳和过滤器头部分离过滤器螺母的状态的立体图。
附图标记说明
1：化学品过滤器自动更换装置 2：过滤器组件
10：滤芯 10-1：第一滤芯
10-2：第二滤芯 20：过滤器外壳
22、22-1：外壳凸缘 22a、22-1a：倾斜面
23：第五连接部 30：过滤器头部
31～34：第一～第四连接部 36、36-1：头部凸缘
36a、36-1a：倾斜面 36-2：螺母结合部
37：滤芯插入部 50：过滤器螺母
100：主体盖 110：第一门
120：第二门 130：第三门
210：第一存放部 220：第二存放部
230：第三存放部
300、300-1、300-2：过滤器组件安装部
302-2：第一齿轮部件 303-2：第二齿轮部件
304-2、305-2、306-2、307-2：轴承 310、310-1：头部夹具
311、311-1：第一夹具 312、312-1：第二夹具
311a、311-1a、312a、312-1a：结合槽
311b、311-1b、312b、312-1b：倾斜面 320、320-1：夹具驱动部
320-2：驱动部 323-2：旋转轴
330、330-1：夹具运送部 340：过滤器头部安装架
341：头部支撑架 342：支撑部
350：液体载体 360-1：夹具连接部件
370-1：夹具运送部件 380-2：盖体
400：过滤器外壳拆装模块 410：外壳固定部
420：外壳运送部 500：滤芯运送模块
510：夹爪 520：第一运送部
530：第二运送部 V1～V5：第一～第五阀门
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的化学品过滤器固定装置。
参照图1，化学品过滤器自动更换装置1包括：主体盖100、配置在所述主体盖100前面的第一门110、第二门120及第三门130。
如图2所示，所述主体盖100构成为六面体形状，并且内部可配置第一存放部210、第二存放部220、第三存放部230、过滤器组件安装部300、滤芯更换工具400、500。
在所述第一门110内侧配置有所述第一存放部210，在所述第二门120内侧配置有所述第二存放部220，在所述第三门130内侧配置有所述第三存放部230。
在本实施例中，示例了单独配置所述第一存放部210和第二存放部220的情况，但是第一存放部210和第二存放部220的功能也可由一个存放部实现。
参照图2，在所述第一存放部210存放第一滤芯10-1，即待用于过滤化学品的新的滤芯。工作人员3打开第一门110，将所述第一滤芯10-1装载(loading)于所述第一存放部210内部。还可配置吹扫气体供应部(未示出)，用于将吹扫用气体供应于所述第一存放部210内部。在第一滤芯10-1安装在第一存放部210内部的状态下利用所述吹扫用气体吹扫第一滤芯10-1，进而可防止第一滤芯10-1的污染。在这一情况下，吹扫用气体为惰性气体，可使用氮气或者压缩空气。
所述第三存放部230运送安装在所述过滤器组件安装部300的第二滤芯10-2来装载于内部。在所述第三存放部230内部装载的第二滤芯10-2被洗涤水清洗，之后用干燥气体进行干燥。在所述第三存放部230进行清洗及干燥的第二滤芯10-2被滤芯更换工具500运送，进而装载于第二存放部220。
在所述第二存放部220存放第二滤芯10-2，即用于过滤化学品的废滤芯。所述第二滤芯10-2通过所述滤芯更换工具500装载于内部。工作人员3回收装载于第二存放部220的废滤芯。
在所述过滤器组件安装部300安装过滤器组件2。在安装所述过滤器组件2的状态下在所述过滤器组件2连接多个排管，所述多个排管用于将化学品供应于半导体等的工艺。通过所述排管流进过滤器组件2内部的化学品通过过滤器组件2内部的滤芯的同时过滤杂质，之后供应到需要化学品的工艺装置。
随着过滤所述化学品的进行到了滤芯更换周期而更换滤芯时，利用滤芯更换工具400、500从安装在所述过滤器组件安装部300的过滤器组件2只分离及运送滤芯(第二滤芯)来装载于所述第三存放部230，在所述第三存放部230完成清洗及干燥，完成之后装载于第二存放部220。
参照图3，说明过滤器组件2及与此连接的结构。
所述过滤器组件2包括：用于过滤化学品中的异物的滤芯10；内部容纳所述滤芯10的过滤器外壳20；结合于所述过滤器外壳20的开放的一侧的过滤器头部30。
在所述过滤器头部30形成有第一连接部31、第二连接部32、第三连接部33和第四连接部34，所述第一连接部31流进从化学品供应部(未示出)供应的化学品，所述第二连接部32排放通过所述滤芯10的化学品以供应到工艺装置，所述第三连接部33用于排放残留于所述滤芯10和过滤器外壳20内侧面之间的空间S2的化学品，所述第四连接部34用于排放残留于所述滤芯10内部空间S1的化学品。
另外，在所述过滤器头部30形成有滤芯插入部37和头部凸缘36，所述滤芯插入部37插入所述滤芯10的一侧端部，所述头部凸缘36从与所述滤芯插入部37构成同心结构的头部主体38以半径方向向外侧延伸。
所述过滤器外壳20由外壳主体21、外壳凸缘22及第五连接部23构成，所述外壳主体21形成有可在内部以长度方向容纳所述滤芯10的空间，所述外壳凸缘22在所述外壳主体21中形成在一侧端部以与所述头部凸缘36紧贴，所述第五连接部23形成在所述外壳主体21的另一侧端部以流进或者排放氮气。
所述头部凸缘36和外壳凸缘22分别在与彼此相向的面(接触的面)相反侧形成倾斜面36a、22a，进而形成楔形。
在所述头部凸缘36和外壳凸缘22的相向的面之间配置用于保持气密的O型环40。
在所述第一连接部31连接供应化学品的第一连接排管L1，在所述第一连接排管L1上配置第一阀门V1，用于控制流进所述过滤器组件2的化学品。
在所述第二连接部32连接第二连接排管L2，用于向需要化学品的工艺装置供应化学品；在所述第二连接排管L2上配置第二阀门V2，用于控制通过第二连接排管L2流动的化学品。
在所述第三连接部33和第四连接部34分别连接用于排放化学品的第三连接排管L3和第四连接排管L4，在所述第三连接排管L3和第四连接排管L4上配置有第三阀门V3和第四阀门V4，用于控制通过各个排管是否排放化学品。
在所述第五连接部23连接第五连接排管L5，用于流进氮气或者排放氮气，并且配置第五阀门V5，用于控制所述第五连接排管L5内部的流动。
在图3中示出了所述过滤器外壳20位于上部，及所述过滤器头部30位于下部的情况，但是也可相反设置。
即，如图4，也可设置成所述过滤器外壳20位于下部，而所述过滤器头部30位于上部。在这一情况下，通过第五连接排管L5排放化学品，通过第三、第四连接排管L3、L4流进氮气或者排放氮气。
参照图5至图8，说明本发明的第一实施例的化学品过滤器固定装置5。
所述化学品过滤器固定装置5包括过滤器组件安装部300。
所述过滤器组件安装部300包括：过滤器头部安装架340，安装所述过滤器头部30，以使过滤器外壳20位于上部，并且使过滤器头部30位于下部；头部夹具310，用于夹紧(clamping)以使所述过滤器头部30和过滤器外壳20相互接触的部分紧贴。
所述过滤器头部安装架340由头部支撑架341及一对支撑部342构成，所述头部支撑架341接触并支撑过滤器头部30的一侧面，所述一对支撑部342从所述头部支撑架341的两侧端部向下延伸进而被地面支撑。在所述头部支撑架341形成有孔343，以插入过滤器头部30的第三、第四连接部33、34。
所述头部夹具310包括第一夹具311和第二夹具312，所述第一夹具311和第二夹具312以水平方向彼此相向地设置在所述头部凸缘36和外壳凸缘22的周围。所述第一夹具311和第二夹具312相互间隔，并且在通过夹具驱动部320彼此面对的状态下进行移动，使得所述第一夹具311和第二夹具312相互接近或者相互远离。所述第一夹具311和第二夹具312的移动方向与过滤器外壳20通过过滤器外壳拆装模块400移动的方向垂直。
在所述第一夹具311和第二夹具312彼此面对的内侧形成有结合槽311a、312a，所述结合槽311a、312a具有倾斜面311b、312b，进而分别紧贴于所述头部凸缘36和外壳凸缘22的倾斜面36a、22a(图8)。
若所述第一夹具311和第二夹具312进行移动进而彼此接近处于如图5和图6的状态，则所述第一夹具311和第二夹具312的倾斜面311b、312b加压以分别接触于所述头部凸缘36和外壳凸缘22的倾斜面36a、22a，进而所述头部凸缘36和外壳凸缘22的彼此面对的面紧贴，并且通过O型环40保持气密。
如上所述，若头部凸缘36和外壳凸缘22、结合槽311a、312b的相互对应的部分构成为楔形，则可大幅度增加在结合槽311a、312b内部约束头部凸缘36和外壳凸缘22的力，因此即使在过滤器组件2内部由化学品产生的压力产生作用，也可提高保持气密的性能。
另一方面，在从过滤器组件2分离第二滤芯10-2的情况下，第一夹具311和第二夹具312通过夹具驱动部320以彼此远离的方向移动，进而处于如图7和图8的状态。在该状态下，通过滤芯更换工具400、500分离过滤器外壳20，并且向第三存放部230移动第二滤芯10-2。
所述过滤器组件安装部300在运送第二滤芯10-2的途径上可配置液体载体350作为所述过滤器组件2的侧部，进而在运送第二滤芯10-2时防止化学品掉落到地上。
在所述液体载体350中，在向一侧倾斜的底面下部形成排放孔351，以用于排放掉落到液体载体350的化学品，在所述排放孔351的下侧连接排放口352。
所述第一夹具311和第二夹具312的主体311c、312c一侧端部结合于夹具运送部330。举一示例，所述夹具运送部330由诸如LM导轨的零部件构成，并且分别分离用于结合并运送所述第一夹具311的结构和用于结合并运送所述第二夹具312的结构，可使所述第一夹具311和第二夹具312通过所述夹具驱动部320能够以相反的方向移动。
本发明的化学品过滤器固定装置5还可包括过滤器外壳拆装模块400，所述过滤器外壳拆装模块400构成滤芯更换工具。
参照图9和图10，对过滤器外壳拆装模块400进行说明。
所述过滤器外壳拆装模块400从过滤器组件2分离包围第二滤芯10-2的过滤器外壳20，或者结合从所述过滤器组件2分离的所述过滤器外壳20，以使第一滤芯10-1插入于内部。
为此，所述过滤器外壳拆装模块400由外壳固定部410和外壳运送部420构成，所述外壳固定部410固定所述过滤器外壳20，所述外壳运送部420以上下方向移动所述外壳固定部410。
所述外壳固定部410可在过滤器外壳20的上部和下部两处以包围过滤器外壳20的主体外侧的结构固定过滤器外壳20。
所述外壳固定部410一侧部结合于所述外壳运送部420，并且通过配置在所述外壳运送部420内部的驱动部(未示出)将过滤器外壳20从图9的状态上升至图10的状态，或者可与此相反地下降。
在所述过滤器外壳20的一侧端部连接有第五连接排管L5，用于排放所述过滤器外壳20内部的化学品或者气体，或者将气体流进所述过滤器外壳20内部。所述第五连接排管L5形成为线圈形状，进而在所述过滤器外壳20为了分离或者结合而上升或者下降时可吸收所述第五连接排管L5的长度变化。
如果，在第五连接排管L5未形成为线圈形状，而是由直线排管构成的情况下，在过滤器外壳20上升时无法吸收长度变化，因此存在需要解开紧固于过滤器外壳20的第五连接部23和紧固于第五连接排管L5的连接部的连接部件51的问题。然而，若如本发明用线圈形状构成第五连接排管L5，则不解开所述连接部件51，过滤器外壳20也可自由移动。
参照图11，对构成滤芯更换工具的滤芯运送模块500进行说明。
所述滤芯运送模块500是用于从所述第一存放部210卸载第一滤芯10-1来安装在所述过滤器组件安装部300，或者将安装在所述过滤器组件安装部300的第二滤芯10-2运送于第三存放部230或者第二存放部220。
在本实施例的情况下，所述滤芯运送模块500可由至少3个驱动部和至少3个运送部520、530、540构成，所述至少3个驱动部提供用于沿着三维空间上的3个轴(即，x、y、z轴)运送所述第一滤芯10-1或者第二滤芯10-2的动力，所述至少3个运送部520、530、540具有以所述三维空间上的3个轴方向的长度。
如上所述，3个运送部520、530、540可由一个模块构成，也可分为多个模块构成。
所述3个运送部520、530、540由第一运送部520、第二运送部530及第三运送部540构成，所述第一运送部520用于x轴方向(第一方向)运送，所述第二运送部530用于y轴方向(第二方向)运送，所述第三运送部540用于z轴方向(第三方向)运送。
所述第一运送部520以所述第一方向运送所述第一滤芯10-1或者第二滤芯10-2，所述第一方向是从安装所述过滤器组件2的所述过滤器组件安装部300接近或者远离所述第一存放部210或者第二存放部220的方向。
为此，所述第一运送部520可由夹爪510、第一下部运送部520-1、第一下部驱动部521-1、第一上部运送部520-2、第一上部驱动部521-2构成。
所述夹爪510可形成为手指(finger)形状，执行抓取第一滤芯10-1或者第二滤芯10-2的功能。
所述第一下部运送部520-1具有所述第一方向的长度，并且在下部结合所述夹爪510。所述第一下部驱动部521-1设置在所述第一下部运送部520-1的一侧端部，以提供驱动力，用于以所述第一方向运送所述夹爪510。若在所述夹爪510结合于第一下部运送部520-1下部的状态下驱动所述第一下部驱动部521-1，则可从所述第一下部运送部520-1的一侧端部到另一侧端部往返运送所述夹爪510。
所述第一上部运送部520-2具有所述第一方向的长度，并且在下部结合所述第一下部运送部520-1。所述第一上部驱动部521-2设置在所述第一上部运送部520-2的一侧端部，以提供驱动力，用于以所述第一方向运送所述第一下部运送部520-1。若在所述第一下部运送部520-1结合于所述第一上部运送部520-2下部的状态下驱动所述第一上部驱动部521-2，则可从所述第一上部运送部520-2的一侧端部到另一侧端部往返运送所述第一下部运送部520-1。
如上所述，若分两级配置第一下部运送部520-1和第一上部运送部520-2，则在将第一下部运送部520-1运送到第一上部运送部520-2的一侧端部的状态下将夹爪510进一步以相同的方向运送到第一下部运送部520-1的一侧端部，进而即使以第一方向从过滤器组件安装部300到第一至第三存放部210、220、230的距离再远也可进行运送。
所述第三运送部540具有第三方向的长度，进而以第三方向(即，上下方向)运送由夹爪510抓取的所述第一滤芯10-1或者第二滤芯10-2的第一运送部520。为此，可配置将驱动力提供于所述第三运送部540的驱动部。
所述第二运送部530具有第二方向的长度，进而将由夹爪510抓取所述第一滤芯10-1或者第二滤芯10-2的第一运送部520和第三运送部530一体地以第二方向运送，所述第二方向在水平面上与第一方向直交。为此，可配置将驱动力提供于所述第二运送部530的驱动部。
在所述第二运送部530的上部可配置化学品载体550，进而可容纳在运送第二滤芯10-2时从第二滤芯10-2掉落的化学品。所述化学品载体550结合于第三运送部540的下部，而且配置在第二滤芯10-2的下部，以与所述第三运送部540及第二滤芯10-2一体地以第二方向运送所述化学品载体550。
针对利用由如上所述的结构构成的化学品过滤器自动更换装置1的化学品过滤器自动更换方法进行说明。
首先，针对工作人员3将第一滤芯10-1装载于第一存放部210的过程进行说明。
工作人员3输入第一滤芯10-1(即，新滤芯)的条形码、QR码或者RFID等的信息输入介质来确认产品信息，并打开包装，之后装载于第一存放部210。
然后，将吹扫用气体供应于装载于第一存放部210内部的第一滤芯10-1来吹扫第一滤芯10-1。在这一情况下，第一存放部210内部通过供应吹扫用气体保持正压，因此外部空气中的污染源未流进第一存放部210内部，可防止第一滤芯10-1的污染。
然后，针对从过滤器组件安装部300分离第二滤芯10-2来运送于第三存放部230的过程进行说明。
图12是示出更换滤芯的准备步骤的图。在该步骤中，过滤器组件2处于安装在过滤器组件安装部300的状态，并且由第一夹具311和第二夹具312夹紧外壳凸缘22和头部凸缘36。另外，通过外壳运送部420外壳固定部410及过滤器外壳20处于下降的状态。另外，在滤芯运送模块500中，第一运送部520中心在x轴上位于第三运送部540的中心，第一运送部520和第三运送部540在第二运送部530上位于后方。这种状位置态称为滤芯运送模块500的原点状态。
另一方面，在将化学品供应于工艺装置的情况下，只开放第一阀门V1和第二阀门V2，而其余阀门V3、V4、V5处于关闭状态。在该状态下，用第一滤芯10-1更换第二滤芯10-2的情况下，锁定所述第一阀门V1和第二阀门V2，进而阻止化学品流进过滤器组件2内部。然后，开放第三至第五阀门V3、V4、V5通过第三连接排管L3及第四连接排管L4排放残留于过滤器组件2内部的化学品。在这一情况下，通过所述第五连接排管L5将氮气或者空气注入到过滤器组件2内部，可使化学品顺利排放。这种过程在已设定的时间期间进行，进而完成所述化学品的排放。
图13是示出从过滤器组件2分离过滤器外壳20的状态的图。首先，若通过夹具驱动部320的驱动第一夹具311和第二夹具312沿着夹具运送部330以彼此远离的方向移动，则解除外壳凸缘22和头部凸缘36的夹紧状态。然后，通过过滤器外壳拆装模块400的驱动部的驱动外壳固定部410和过滤器外壳20沿着外壳运送部420上升，进而从过滤器组件2分离过滤器外壳20。
在这一情况下，由于连接于所述过滤器外壳20的第五连接排管L5形成为线圈形状，因此即使所述过滤器外壳20上升也可吸收所述第五连接排管L5的长度变化。
图14是示出第一运送部520的夹爪510位于过滤器组件2上部的状态的图。通过第一上部驱动部521-2的驱动以过滤器组件2所处的方向沿着第一上部运送部520-2运送第一下部运送部520-1和夹爪510，并且通过第一下部驱动部521-1的驱动夹爪510以相同的方向被进一步运送到第一下部运送部520-1的一侧端部。在该状态下，夹爪510位于第二滤芯10-2的上部。
图15是示出第一运送部520从过滤器组件2分离第二滤芯10-2的状态的图。在图14的状态下，若第一运送部520通过第三运送部540的驱动部的驱动而下降，并且夹爪510抓取第二滤芯10-2的上端部，则通过第三运送部540的驱动第一运送部520重新上升，进而从过滤器组件2分离第二滤芯10-2。
图16是示出第一运送部520将第二滤芯10-2运送到第一运送部520的原点位置的状态的图。在图15的状态下，通过第一上部驱动部521-2和第一下部驱动部521-1的驱动沿着第一上部运送部520-2运送第一下部运送部520-1，并且沿着第一下部运送部520-1运送夹爪510，进而运送到原点位置。
然后，若驱动第一运送部520、第二运送部530和第三运送部540以上下/前后移动第二滤芯10-2来装载到第三存放部230内部，则在所述第三存放部230内部进行第二滤芯10-2的清洗及干燥。
另一方面，从第一存放部210卸载第一滤芯10-1，通过驱动第一运送部520、第二运送部530和第三运送部540运送第一滤芯10-1。所述第一滤芯10-1位于分离第二滤芯10-2的过滤器组件2上部。在该状态下，若通过第三运送部540的驱动部的驱动使第一运送部520下降，则第二滤芯10-2结合于过滤器组件2的过滤器头部30。然后，使外壳固定部410下降，将过滤器外壳20结合于过滤器组件2。然后，通过夹具驱动部320的驱动使第一夹具311和第二夹具312以彼此接近的方向移动，进而夹紧外壳凸缘22和头部凸缘36。
然后，从第三存放部230卸载第二滤芯10-2来运送于第二存放部220，进而装载于第二存放部220内部，之后工作人员3从第二存放部220取出第二滤芯10-2。
若利用如上所述的方法更换滤芯，则可防止化学品流到外部，并且可防止工作人员暴露在危险之中。而且，可缩短更换滤芯所需的时间。
参照图17至图20，针对本发明的第二实施例的化学品过滤器固定装置5进行说明。
所述化学品过滤器固定装置5包括过滤器组件安装部300-1。
与第一实施例相同，所述过滤器组件安装部300-1包括过滤器头部安装架340，所述过滤器头部安装架340安装所述过滤器头部30，以使过滤器外壳20位于上部，并且使过滤器头部30位于下部。另外，包括用于夹紧(clamping)的头部夹具310-1，以使所述过滤器头部30和过滤器外壳20的彼此接触的部分紧贴。
所述头部夹具310-1包括第一夹具311-1和第二夹具312-1，所述第一夹具311-1和第二夹具312-1以上下方向彼此相向地位于头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1的周围。所述第一夹具311-1和第二夹具312-1在以上下方向彼此面对的状态下通过夹具驱动部320-1使所述第一夹具311-1和第二夹具312-1中的至少一个以彼此接近或者远离的方向移动。
在所述第一夹具311-1和第二夹具312-1的彼此面对的内侧形成有结合槽311-1a、312-1a，所述结合槽311-1a、312-1a具有倾斜面311-1b、312-1b，以分别紧贴于所述头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1的倾斜面36-1a、22-1a。
若所述第一夹具311-1和第二夹具312-1移动而彼此接近处于如图17和图18的状态，则所述第一夹具311-1和第二夹具312-1的倾斜面311-1b、312-1b被加压，以分别紧贴于所述头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1的倾斜面36-1a、22-1a，进而所述头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1的彼此面对的面紧贴，并且通过O型环40保持气密。
所述头部凸缘36-1的倾斜面36-1a和所述第一夹具311-1的倾斜面311-1b处于彼此接触的状态，而且所述第一夹具311-1被第一夹具支撑架(未示出)支撑，所述过滤器头部30安装在过滤器头部安装架340。
如上所述，若将头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1、结合槽311-1a、312-1a的相互对应的部分形成为楔形，则可大幅度增加在结合槽311-1a、312-1a内部约束头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1的力，因此即使在过滤器组件2内部由化学品产生的压力产生作用，也可提高气密保持性能。在所述头部凸缘36-1和外壳凸缘22-1的彼此面对的面之间配置用于保持气密的O型环40-1。
另一方面，在从过滤器组件2分离第二滤芯10-2的情况下，若所述第一夹具311-1和过滤器头部30在不移动的固定状态下第二夹具312-1通过夹具驱动部320-1向上移动，则从第一夹具311-1间隔第二夹具312-1而处于如图19和图20的状态。在该状态下，通过过滤器外壳拆装模块400向上移动过滤器外壳20，进而从过滤器头部30分离过滤器外壳20并且利用滤芯运送模块500向第三存放部230移动第二滤芯10-2。
在所述第二夹具312-1连接有夹具连接部件360-1，所述夹具连接部件360-1结合于夹具运送部件370-1上。所述夹具运送部件370-1结合于夹具运送部330-1，进而所述夹具运送部件370-1可上下移动。举一示例，所述夹具运送部330-1由诸如LM导轨的零部件构成。据此，若驱动夹具驱动部320-1，则第二夹具312-1和夹具连接部件360-1、夹具运送部件370-1一体地进行上下移动。
参照图21至图26，对本发明的第三实施例的化学品过滤器固定装置5进行说明。
所述化学品过滤器固定装置5包括过滤器组件安装部300-2。
所述过滤器组件安装部300-2的结构如下：结合所述过滤器外壳20和过滤器头部30，而且旋转在所述过滤器头部30的外侧面螺纹结合的过滤器螺母50(图23)，进而执行所述过滤器外壳20和过滤器头部30的分离及结合。通过所述过滤器螺母50的旋转过滤器外壳20和过滤器头部30的相互接触的部分隔着O型环40-2(图26)紧贴。
参照图21，配置驱动部320-2及盖体380-2，所述驱动部320-2用于旋转所述过滤器螺母50，所述盖体380-2固定所述驱动部320-2，支撑驱动部320-2下部的同时在内部配置所述过滤器螺母50。
所述盖体380-2由上部板382-2、下部板381-2和侧板383-2构成，所述上部板382-2中心部被开口以使过滤器外壳20贯通，所述下部板381-2从所述上部板382-2向下侧间隔，所述侧板383-2包围所述上部板382-2和下部板381-2的外侧边缘周围。
所述驱动部320-2包括马达321-2和马达支架322-2，所述马达321-2提供驱动力，所述马达支架322-2支撑所述马达321-2下部，而且固定在所述盖体380-2的上部。
所述驱动部320-2配置成以垂直方向竖立在包围所述过滤器外壳20外侧的上部板382-2上，并且所述马达支架322-2固定在所述上部板382-2的上部。
所述驱动部320-2结合于所述盖体380-2，通过所述盖体驱动部(未示出)可与所述盖体380-2一体地一同以上下方向移动。
参照图22和图23，所述过滤器组件安装部300-2包括第一齿轮部件302-2和第二齿轮部件303-2，所述第一齿轮部件302-2配置成同心结构，以包围所述过滤器螺母50的外侧，所述第二齿轮部件303-2啮合于所述第一齿轮部件302-2的外侧。
所述第一齿轮部件302-2配置成能够以所述过滤器外壳20为中心进行旋转，所述第二齿轮部件303-2与旋转轴323-2结合成一体，以将所述马达321-2的驱动力传递于所述第一齿轮部件302-2。
所述马达321-2的驱动力以旋转轴323-2、第二齿轮部件303-2、第一齿轮部件302-2的顺序传递，进而所述过滤器螺母50进行旋转。所述过滤器螺母50在旋转的同时在第一齿轮部件302-2的内部能够以上下方向进行移动。
在所述上部板382-2形成有上部板第一孔382-2a和上部板第二孔382-2b，所述上部板第一孔382-2a由过滤器外壳20通过，所述上部板第二孔382-2b由所述旋转轴323-2通过。
在所述旋转轴323-2和上部板382-2之间、所述旋转轴323-2和下部板381-2之间介入一对轴承306-2、307-2。
在所述第一齿轮部件302-2和上部板382-2之间、所述第一齿轮部件302-2和下部板381-2之间介入一对轴承304-2、305-2。
在所述下部板381-2形成有下部板孔381-2a，以插入过滤器头部30的螺母结合部36-2及过滤器螺母50。
在所述过滤器螺母50的内侧面54(图23)形成有螺纹，在所述螺母结合部36-2的外侧面形成有螺纹，以螺纹结合于所述过滤器螺母50的内侧面。据此，所述过滤器螺母50进行旋转，进而与螺母结合部36-2螺纹结合或者解除螺纹结合，由此可从螺母结合部36-2分离所述过滤器螺母50。
参照图23，所述过滤器螺母50的主体51形成为圆形的环形状，在所述主体51的内侧上端部形成有沿着周围向内侧方向弯曲凸出的上端卡合部52。所述上端卡合部52配置成被过滤器外壳20的外壳凸缘22-2卡住，因此防止在通过所述过滤器螺母50结合过滤器外壳20和过滤器头部30的状态下以向上方向分离所述过滤器外壳20。
在所述过滤器螺母50的主体51外侧面形有成至少一个凸出部53。可形成多个所述凸出部53，沿着过滤器螺母50的周围间隔预定间距。
所述第一齿轮部件302-2由螺母插入部件302-2b和齿轮主体302-2a构成，所述螺母插入部件302-2b形成为环形状以在其内部空间302-2e插入过滤器螺母50，所述齿轮主体302-2a沿着所述螺母插入部件302-2b的外侧面周围形成。
在所述螺母插入部件302-2b的内侧面形成有引导槽302-2c，并且使所述引导槽302-2c与所述凸出部53相对应，进而在插入所述凸出部53以上下方向移动时引导所述凸出部53。
沿着所述齿轮主体302-2a的外侧面周围形成有齿轮齿形302-2d，以啮合于所述第二齿轮部件303-2。
在所述第一齿轮部件302-2的上部和下部配置有所述轴承304-2。
参照图24，在盖体380-2内部配置有第一齿轮部件302-2、第二齿轮部件303-2、轴承304-2，并且处于所述第一齿轮部件302-2和第二齿轮部件303-2啮合的状态。所述第一齿轮部件302-2和第二齿轮部件303-2可由斜齿轮构成。但是，并不限于此，而是可用正齿轮等的其他齿轮变形实施。
图21和图22示出了通过过滤器螺母50结合过滤器外壳20和过滤器头部30，并且未从过滤器头部30分离过滤器外壳20的状态；图25和图26示出了从过滤器外壳20和过滤器头部30分离过滤器螺母50进而可从过滤器头部30分离过滤器外壳20的状态。
在图21和图22的状态下，若单向旋转驱动马达321-2，则过滤器螺母50与第一齿轮部件302-2一体地一同进行旋转，并且通过所述过滤器螺母50的旋转解除过滤器螺母50和螺母结合部36-2的螺纹结合的同时过滤器螺母50将向上移动。在这一情况下，在凸出部53插入于第一齿轮部件302-2的引导槽302-2c的状态下过滤器螺母50向上移动，进而从过滤器外壳20和过滤器头部30分离过滤器螺母50。
若从过滤器头部30完全分离所述过滤器螺母50，则驱动盖体驱动部，将驱动部320-2和盖体380-2一体地以向上方向移动，与此同时驱动过滤器外壳拆装模块400的驱动部，将过滤器外壳20向上方向移动，进而从过滤器头部30分离过滤器外壳20。若从过滤器头部30分离所述过滤器外壳20，则利用滤芯运送模块500向第三存放部230运送第二滤芯10-2。
另一方面，若利用滤芯运送模块500将第一存放部210的第一滤芯10-1插入于滤芯插入部37-1，则将过滤器螺母50向下移动，进而结合过滤器外壳20和过滤器头部30。
即，驱动盖体驱动部，将驱动部320-2和盖体380-2一体地向下方向移动，并且驱动过滤器外壳拆装模块400的驱动部，将过滤器外壳20向下方向移动。然后，若以其他方向旋转驱动马达321-2，则过滤器螺母50旋转的同时螺纹结合于螺母结合部36-2。在这一情况下，若使过滤器螺母50的上端卡合部52紧贴于外壳凸缘22-2地进行螺纹结合，则坚固地结合过滤器外壳20和过滤器头部30。在这一情况下，在过滤器外壳20和过滤器头部30之间介入O型环(未示出)，可确实保持气密。
如上所述，举优选实施例详细说明了本发明，但是本发明不限于上述的实施例，而是在权利要求项的范围和发明的详细说明、附图的范围内可实施各种变形，而且这也属于本发明。
Claims (18)
1.一种化学品过滤器固定装置，用于固定过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)由过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)构成，所述过滤器外壳(20)内部配置有滤芯(10)，所述过滤器头部(30)形成有多个连接部(31～34)，所述多个连接部(31～34)连接于所述过滤器外壳(20)的开放的一侧，以使化学品流进或者排放，其特征在于，包括：
过滤器组件安装部(300、300-1、300-2)，安装所述过滤器组件(2)，以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)的相互接触部分紧贴；以及
至少一个过滤器外壳拆装模块(400)，通过驱动部的驱动从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，或者结合从所述过滤器组件(2)分离的所述过滤器外壳(20)以包围所述滤芯(10)。
2.根据权利要求1所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述过滤器组件安装部(300)包括：
过滤器头部安装架(340)，安装所述过滤器头部(30)，以使所述过滤器外壳(20)位于一侧，并且使所述过滤器头部(30)位于另一侧；
头部夹具(310、310-1)，用于夹紧并结合所述过滤器头部(30)和过滤器外壳(20)。
3.根据权利要求2所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)在彼此相向的面彼此面对的状态下安装在所述过滤器头部安装架(340)，所述头部凸缘(36、36-1)沿着所述过滤器头部(30)的一侧端部周围形成，所述外壳凸缘(22、22-1)沿着所述过滤器外壳(20)的一侧端部周围形成；
所述头部夹具(310、310-1)向所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)相向的面彼此紧贴的方向进行加压。
4.根据权利要求3所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)分别形成为彼此相向的面的反面倾斜的楔形；
所述头部夹具(310、310-1)形成有具有倾斜的内侧面的结合槽(311a、312b、311-1a、312-1b)，以分别紧贴于所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)的倾斜的面。
5.根据权利要求3所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述头部夹具(310、310-1)包括第一夹具(311、311-1)和第二夹具(312、312-1)，所述第一夹具(311、311-1)和第二夹具(312、312-1)彼此相向地位于所述头部凸缘(36、36-1)和外壳凸缘(22、22-1)的周围；
具有夹具驱动部(320、320-1)，所述夹具驱动部(320、320-1)用于使所述第一夹具(311、311-1)和第二夹具(312、312-1)以彼此接近的方向或者彼此远离的方向移动。
6.根据权利要求5所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述第一夹具(311)和第二夹具(312)配置成以水平方向彼此相向进而以水平方向移动。
7.根据权利要求6所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
在通过所述过滤器外壳拆装模块(400)移动所述过滤器外壳(20)时，所述夹具驱动部(320)以与所述过滤器外壳(20)的移动方向垂直的方向移动所述第一夹具(311)和第二夹具(312)。
8.根据权利要求5所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述第一夹具(311-1)和第二夹具(312-1)配置成以上下方向相向，并且所述第一夹具(311-1)和第二夹具(312-1)中至少一个以上下方向移动。
9.根据权利要求8所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
在通过所述过滤器外壳拆装模块(400)移动所述过滤器外壳(20)时，所述夹具驱动部(320-1)使所述第一夹具(311-1)和第二夹具(312-1)中位于所述过滤器外壳(20)侧的所述第二夹具(312-1)以与所述过滤器外壳(20)的移动方向相同的方向移动。
10.根据权利要求1所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述过滤器组件安装部(300-2)结合所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)，而且利用所述驱动部旋转在所述过滤器头部(30)外侧面螺纹结合的过滤器螺母(50)，进而分离及结合所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)。
11.根据权利要求10所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述过滤器螺母(50)通过至少一个齿轮部件(302-2、303-2)旋转的同时能够以上下方向移动，所述齿轮部件(302-2、303-2)通过所述驱动部进行旋转。
12.根据权利要求11所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
在所述过滤器螺母(50)外侧面形成有至少一个凸出部(53)；
所述齿轮部件(302-2)包括内侧插入所述过滤器螺母(50)的螺母插入部件(302-2b)；
在所述螺母插入部件(302-2b)的内侧面形成有引导槽(302-2c)，所述引导槽(302-2c)插入所述凸出部(53)引导所述过滤器螺母(50)的移动。
13.根据权利要求11所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
若驱动所述驱动部来旋转所述齿轮部件(302-2、303-2)，则所述过滤器螺母(50)被解除所述螺纹结合，进而能够从所述过滤器头部(30)分离所述过滤器外壳(20)。
14.根据权利要求11所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述齿轮部件(302-2、303-2)由第一齿轮部件(302-2)和第二齿轮部件(303-2)构成，所述第一齿轮部件(302-2)以同心结构配置在所述过滤器螺母(50)的外侧，并且以所述过滤器外壳(20)为中心进行自转，所述第二齿轮部件(303-2)啮合于所述第一齿轮部件(302-2)外侧，并且通过所述驱动部的驱动进行旋转。
15.根据权利要求11所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
具有盖体(380-2)，所述盖体(380-2)在内部容纳所述齿轮部件(302-2、303-2)，并且在外侧固定并结合所述驱动部(320-2)；
具有盖体驱动部，所述盖体驱动部以与从所述过滤器头部(30)分离所述过滤器外壳(20)的方向相同的方向移动所述盖体(380-2)。
16.根据权利要求15所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述驱动部(320-2)结合于所述盖体(380-2)，通过所述盖体驱动部与所述盖体(380-2)一体地一同移动。
17.根据权利要求1所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
所述过滤器外壳拆装模块(400)包括：外壳固定部(410)，固定所述过滤器外壳(20)；外壳运送部(420)，配置有所述驱动部，进而以上下方向移动所述外壳固定部(410)。
18.根据权利要求11所述的化学品过滤器固定装置，其特征在于，
具有连接排管，所述连接排管连接于所述过滤器外壳(20)的一侧端部，以排放所述过滤器外壳(20)内部的化学品或者气体，或者向所述过滤器外壳(20)内部流进气体；
所述连接排管形成为线圈形状，进而在分离或者结合所述过滤器外壳(20)时吸收所述连接排管的长度变化。
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