KR20160124464A - 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치 - Google Patents

슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20160124464A
KR20160124464A KR1020150055089A KR20150055089A KR20160124464A KR 20160124464 A KR20160124464 A KR 20160124464A KR 1020150055089 A KR1020150055089 A KR 1020150055089A KR 20150055089 A KR20150055089 A KR 20150055089A KR 20160124464 A KR20160124464 A KR 20160124464A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
housing
slurry
filter housing
slurry supply
Prior art date
Application number
KR1020150055089A
Other languages
English (en)
Inventor
최용석
박종필
송수용
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020150055089A priority Critical patent/KR20160124464A/ko
Publication of KR20160124464A publication Critical patent/KR20160124464A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)

Abstract

본 발명은 필터 하우징 및 슬러리 공급 장치에 관한 것으로, 유입구, 배출구 및 거치부 결합부를 포함하는 필터 거치부를 포함하고, 상기 거치부 결합부와 결합되는 보호부 결합부 및 필터 카트리지가 수납되는 하우징부를 포함하는 필터 보호부를 포함할 수 있다.

Description

슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치{FILTER HOUSING FOR SLURRY SUPPLY APPARATUS AND SLURRY SUPPLY APPARATUS HAVIG THE SAME}
본 발명은 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치에 관한 것이다.
MLCC(Multilayer Ceramic Capacitor) 등의 전자 부품의 고용량 및 소형화가 급격하게 진행됨에 따라 상기 전자 부품의 제조에 사용되는 성형시트 두께도 초박막화가 진행되고 있고 박막화 성형시트 구현을 위해서 미립파우더 사용량이 증가하고 있다.
이와 같이 박막화 성형시트 제조에 미립 파우더를 적용하기 위해서는 상기 미립 파우더를 필터링하여 미립 파우더의 크기를 제한할 필요가 있고 불순물에 의한 오염을 방지할 필요가 있다.
다시 말하면, 미립파우더를 적용하여 무결점 초박막 시트를 제조하기 위해 슬러리 제조 시 발생할 수 있는 조대입자, 응집체 및 불순물을 제거하기 위한 필터링 강화의 중요성이 대두되고 있다.
이러한 필터링 강화를 위해 필터에 존재하는 기공을 작게하거나 여러 층으로 필터를 제작하여 여과력을 증가시키는 기술이 있지만, 이 경우 미립 파우더에 존재하는 조대입자, 응집체 및 불순물에 의해 필터를 감싸고 있는 필터 카트리지 내부의 압력이 증가하여 필터 카트리지가 파손되는 문제가 발생할 수 있다.
아래의 한국 특허공개공보 제 1988-0034362호에는 슬러리 공급튜브내의 슬러리의 응집을 방지하는 기술을 제공하고 있다.
한국 특허공개공보 제 1998-0034362호
본 발명은 안정적인 필터링 공정이 가능한 필터 하우징을 제공함에 목적이 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징은, 유입구, 배출구 및 거치부 결합부를 포함하는 필터 거치부를 포함하고, 상기 거치부 결합부와 결합되는 보호부 결합부 및 필터 카트리지가 수납되는 하우징부를 포함하는 필터 보호부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 슬러리 공급 장치는, 필터 거치부, 상기 필터 거치부에 결합되고 내부에 필터 카트리지를 배치하는 필터 보호부를 포함하는 필터 하우징을 포함할 수 있다.
본 발명의 필터 하우징을 제공함으로써 안정적인 필터링 공정이 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징의 사시도이다.
도 2는 도 1을 AA’를 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1의 필터 하우징의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예를 따르는 필터 하우징의 사시도이다.
도 5는 체결부의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예를 따르는 필터 하우징의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예를 따르는 필터 하우징의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시 예를 따르는 슬러리 공급장치를 도시한 것이다.
이하, 구체적인 실시 예 및 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
필터 하우징
도 1은 본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)의 사시도이고, 도 2는 도 1을 AA’를 따라 절단한 단면도이고, 도 3은 도 1의 필터 하우징(100)의 분해 사시도이다.
일반적으로 MLCC(Multilayer Ceramic Capacitor) 등의 전자 부품의 제조에 사용되는 성형시트는 고분자 물질, 무기 필러 등을 포함하는 슬러리(slurry)를 소성하여 제조한다. 전자 부품의 소형화에 따른 성형시트의 박막화가 진행됨에 따라, 성형시트를 제조하는 데 사용되는 슬러리의 무결성이 요구된다.
상기 슬러리에는 다양한 고분자 물질 및 무기 필러 등이 포함되기 때문에 조대입자, 응집체 및 불순물을 포함할 가능성이 크다. 이러한 조대입자, 응집체 및 불순물 등을 포함하는 슬러리로 성형시트를 제조하는 경우, 전자 부품의 제조 시 크랙 또는 딜라미네이션 등의 불량이 발생할 수 있으며, 성형 시트의 절연성질 등이 불량해 지는 문제점이 발생할 수 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 슬러리가 필터를 거침으로써 조대입자, 응집체 및 불순물을 제거하는 필터링(filtering) 공정을 수행하게 된다.
슬러리에 포함되는 입자가 미세화됨에 따라 필터링 공정에 사용되는 필터의 기공도 미세화되어 필터 카트리지를 감싸고 있는 필터 하우징 내의 압력이 상승하게 된다. 특히, 미세한 입자를 포함하는 슬러리를 대량으로 공급하기 위해 필터의 크기를 크게 제작하는 경우, 이에 따라 필터 카트리지 및 필터 하우징의 크기도 커지게 되고, 상기 필터 카트리지 및 필터 하우징 내의 압력은 더욱 크게 된다.
이러한 압력이 큰 경우 필터 카트리지 및 필터 하우징이 물리적인 손상을 입을 수 있으며, 심한경우 필터 하우징이 폭발하여 필터 하우징이 배치되어 있는 슬러리 공급 장치의 파손을 유발할 수도 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)은, 필터 카트리지(10) 및 내부 하우징(20)을 수납하여 보호하는 필터 보호부(120)를 포함하기 때문에, 앞서 설명한 필터 카트리지(10) 및 필터 하우징(100)이 손상되는 문제가 발행하더라도 슬러리 공급 장치가 손상되지 않도록 할 수 있다. 또한, 필터 거치부(110)를 포함함으로써 필터 카트리지(10) 교체 등의 슬러리 공급장치의 운용을 용이하게 할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면 본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)은, 유입구(111), 배출구(112) 및 거치부 결합부(113)를 포함하는 필터 거치부(110)와, 상기 거치부 결합부(113)와 결합되는 보호부 결합부(121) 및 필터 카트리지(10)가 수납되는 하우징부(122)를 포함하는 필터 보호부(120)를 포함한다.
필터 거치부(110)는 필터 카트리지(10) 또는 필터 카트리지(10)를 내부에 포함하고 있는 내부 하우징(20)을 상부에 거치하는 역할을 한다. 따라서, 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)에 슬러리를 공급하는 유입구(111)를 포함한다. 상기 유입구(111)는 상기 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)의 슬러리 유입구와 대응되는 위치에 배치함으로써 슬러리가 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20) 내부로 안정적으로 유입될 수 있도록 할 수 있다.
상기 유입구(111)를 통해 들어온 슬러리는 필터 카트리지(10) 내의 필터를 거쳐 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)의 슬러리 배출구를 통해 배출된다. 상기 필터 거치부(110)에 포함되는 배출구(112)는 상기 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)의 슬러리 배출구와 대응되는 위치에 배치함으로써 슬러리가 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20) 외부로 안정적으로 배출될 수 있도록 할 수 있다.
상기 필터 거치부(110) 상부에는 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)을 수납하는 필터 보호부(120)가 배치된다. 상기 필터 보호부(120)는 상기 거치부 결합부(113)와 결합되는 보호부 결합부(121) 및 필터 카트리지(10)가 수납되는 하우징부(122)를 포함한다.
보호부 결합부(121)는 상기 필터 거치부(110)의 결합부와 대응되는 형상을 가짐으로써 필터 보호부(120)와 필터 거치부(110)가 안정적으로 결합할 수 있도록 할 수 있다.
하우징부(122)는 내부에 필터 카트리지(10) 또는 필터 카트리지(10)를 포함하는 내부 하우징(20)을 수납함으로써, 상기 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)이 파손되는 경우에도 슬러리 공급 장치가 손상을 입는 것을 방지할 수 있다. 상기 하우징부(122)는 내부의 압력에 의한 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)의 폭발에 견딜 수 있도록 충분한 강도를 가진 재료로 제조될 수 있다. 또한, 슬러리는 일반적으로 약 산성 또는 약 알카리성이므로, 내화학성을 가진 재료로 제조될 수 있다. 상기 하우징부(122)는 충분한 강도 및 내화학성을 갖기 위해 에폭시 등이 포함된 수지, 스테인레스 스틸, 알루미늄, 내화학성 코팅 처리된 강철 등으로 제조될 수 있으며, 본 발명이 여기에 한정하는 것은 아니다. 한편, 필터 거치부(110) 및 필터 보호부(120)는 안정적으로 결합되어야 하기 때문에 필터 거치부(110)는 상기 필터 보호부(120)와 동일한 재료로 제조될 수 있다.
상기 필터 거치부(110)의 하면에 배치되는 지지부(130)를 더 포함할 수 있다. 상기 필터 거치부(110)는 상부에 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)을 떠받침은 물론 필터 하우징(100) 내부로 공급된 슬러리도 떠받치게 된다. 상기 지지부(130)는 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20) 및 슬러리의 무게에 의해 상기 필터 거치부(110)의 하부에 배치될 수 있는 유입구(111) 및 배출구(112)가 손상되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.
지지부(130)는 필터 거치부(110)에 결합되는 지지대(131) 및 필터 하우징(100)이 흔들림 없이 안정적으로 거치될 수 있도록 하는 지지판(132)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 지지부(130)는 필터 하우징(100)을 슬러리 공급 장치 내에서 일정한 높이에 위치될 수 있도록 하는 역학을 할 수 있다. 필터 하우징(100)에 공급되는 슬러리는 슬러리 공급 탱크로부터 슬러리를 공급받아 일정한 필터링 한 후 일정한 유량으로 공급된다. 따라서, 필터 하우징(100)에서 배출되는 슬러리는 일정한 유량 및 압력을 갖도록 함으로써 별도의 유량계를 설치할 필요가 없다. 필터 하우징(100), 슬러리 공급 탱크의 공급부의 높이를 일정하게 유지함으로써 필터 하우징(100)에서 배출되는 슬러리의 유량 및 압력을 일정하게 유지할 수 잇다. 또한, 필터 하우징(100) 내의 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)을 교체하는 경우 작업 편의성을 위해 필터 하우징(100)을 일정한 높이에 위치하는 것이 필요한 경우가 있다.
상기 지지부(130)는 필터 거치부(110) 상의 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20) 및 슬러리의 무게를 지지할 수 있도록 충분한 강도를 가진 형상이어야 하며 재질로 제조되어야 한다. 또한, 슬러리는 일반적으로 약 산성 내지 약 알카리성이므로, 내화학성을 가진 재료로 제조될 수 있다. 상기 지지부(130)는 충분한 강도 및 내화학성을 갖기 위해 에폭시 등이 포함된 수지, 스테인레스 스틸, 알루미늄, 내화학성 코팅 처리된 강철 등으로 제조될 수 있으며, 본 발명이 여기에 한정하는 것은 아니다. 한편, 필터 거치부(110) 및 지지부(130)는 안정적으로 결합되어야 하기 때문에 지지부(130)는 상기 필터 거치부(110)와 동일한 재료로 제조될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)의 사시도이고, 도 5는 체결부(140)의 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면 본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)은, 보호부 결합부(121) 및 거치부 결합부(113)를 감싸도록 배치된 체결부(140)를 더 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 보호부 결합부(121) 및 상기 거치부 결합부(113)는 접합면을 넓히기 위해 외부 방향으로 구부러진 형상일 수 있다. 이와 같은 구조를 통해 보호부 결합부(121)와 거치부 결합부(113)의 결합이 보다 안정적일 수 있다. 이 때, 상기 보호부 결합부(121) 및 거치부 결합부(113)를 감싸도록 배치된 체결부(140)를 더 포함할 수 있다. 체결부(140)는 도 5에서 보는 바와 같이 일반적인 클램프 형태일 수 있으나, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)의 사시도이다.
도 6을 참조하면 본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)은, 필터 거치부(110)에 연결되어 배치되어 상기 필터 거치부(110)의 높이를 조절하는 높이 조절부(150)를 더 포함할 수 있다.
상기 높이 조절부(150)는 필터 하우징(100)을 슬러리 공급 장치 내에서 일정한 높이에 위치될 수 있도록 하는 역학을 할 수 있다. 필터 하우징(100)에 공급되는 슬러리는 슬러리 공급 탱크로부터 슬러리를 공급받아 일정한 필터링 한 후 일정한 유량으로 공급된다. 따라서, 필터 하우징(100)에서 배출되는 슬러리는 일정한 유량 및 압력을 갖도록 함으로써 별도의 유량계를 설치할 필요가 없다. 필터 하우징(100), 슬러리 공급 탱크의 공급부의 높이를 일정하게 유지함으로써 필터 하우징(100)에서 배출되는 슬러리의 유량 및 압력을 일정하게 유지할 수 잇다. 또한, 필터 하우징(100) 내의 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)을 교체하는 경우 작업 편의성을 위해 필터 하우징(100)의 높이를 조절할 필요가 있을 수 있다.
높이 조절부(150)는 필터 거치부(110)에 결합되는 연결부(151), 상기 연결부(151)에 결합되고 상하 방향으로 이동하는 이동부(153), 상기 이동부(153)의 위치를 고정하는 고정부(154), 상기 이동부(153)의 이동 방향을 특정하고 지지하는 역할을 하는 조절대(152)를 포함할 수 있다. 한편, 지지부(130)는 필터 거치부(110)의 높이가 변함에 따라 지지대(131)의 높이도 변경될 수 있도록 2단 또는 3단으로 구성될 수 있다. 도 6은 본 발명의 일 실시 예를 도시한 것으로, 본 발명이 여기에 한정하는 것은 아니다. 도 6을 참조하면, 이동부(153)는 조절대(152)를 감싸는 형상이며 조절대(152)를 축으로 하여 상하 운동을 할 수 있다. 고정부(154)는 숫나사 형상을 하여 상기 이동부(153)에 결합되어 있을 수 있고, 상기 조절대(152)를 조임으로써 이동부(153)를 고정시킬 수 있다. 연결부(151)는 상기 이동부(153)에 결합되어 상기 이동부(153)가 이동함에 따라 이동함으로써 거치대(110)의 높이를 조절할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)의 사시도이다.
도 7을 참조하면 본 발명의 실시 예를 따르는 필터 하우징(100)은, 상기 필터 지지부(130)에 배치되고 필터 하우징(100)을 이동할 수 있는 구동부(160)를 더 포함할 수 있다.
상기 구동부(160)는 바퀴를 포함하여 필터 하우징(100)을 용이하게 이동하는 역할을 할 수 있다. 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)을 교체하기 위해 원하는 위치로 필터 하우징(100)을 이동할 수 있다. 또한, 필터 하우징(100) 내부에 수납된 필터 카트리지(10) 또는 내부 하우징(20)이 판손된 경우 이를 교체하고 필터 하우징(100)을 정비하기 위해 필터 하우징(100)이 장착된 슬러리 공급 장치에서 필터 하우징(100)을 분리하여 이동할 수 있다.
슬러리 공급 장치
도 8은 본 발명의 실시 예를 따르는 슬러리 공급 장치(200)를 도시한 것이다.
도 8을 참조하면 본 발명의 실시 예를 따르는 슬러리 공급 장치(200)는, 필터 거치부(110), 상기 필터 거치부(110)에 결합되고 내부에 필터 카트리지(10)를 배치하는 필터 보호부(120)를 포함하는 필터 하우징(100)을 포함할 수 있다.
상기 슬러리 공급 장치(200)에 포함되는 필터 하우징(100)은 앞서 설명한 필터 하우징(100)과 동일하다. 따라서, 필터 하우징(100)은 지지부(130), 높이 조절부(150) 및 구동부(160)를 더 포함할 수 있다. 중복 설명을 피하기 위해 이하 구체적인 내용은 기재를 생략한다.
상기 슬러리 공급 장치(200)는 슬러리(30)를 공급하는 슬러리 공급 탱크(201)를 포함할 수 있다. 슬러리 공급 탱크(201)에서 공급 배관(202)을 통해 공급된 슬러리(30)는 필터 하우징(110)의 유입구(111)로 유입되어 상기 필터 하우징(110)의 내부에 위치한 필터 카트리지(10)를 통과하여 여과될 수 있다. 여과된 슬러리(30)는 필터 하우징(110)의 배출구(112)를 통해 배출될 수 있다. 배출구(112)를 통해 배출된 슬러리(30)는 슬러리 공급 배관(203)을 통해 공급될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구 범위에 기재된 본 발명의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
100: 필터 하우징
10: 필터 카트리지
20: 내부 하우징
110: 필터 거치부
111: 유입구
112: 배출구
113: 거치부 결합부
120: 필터 보호부
121: 보호부 결합부
122: 하우징부
130: 지지부
131: 지지대
132: 지지판
140: 체결부
150: 높이 조절부
151: 연결부
152: 조절대
153: 이동부
154: 고정부
160: 구동부
200: 슬러리 공급 장치
30: 슬러리
201: 슬러리 공급 탱크
202: 슬러리 공급 탱크의 공급 배관
203: 슬러리 공급 배관

Claims (7)

  1. 유입구, 배출구 및 거치부 결합부를 포함하는 필터 거치부;
    상기 거치부 결합부와 결합되는 보호부 결합부 및 필터 카트리지가 수납되는 하우징부를 포함하는 필터 보호부;를 포함하는 필터 하우징.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필터 거치부의 하면에 배치되는 지지부를 더 포함하는 필터 하우징.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필터 거치부에 연결되어 배치되어 상기 필터 거치부의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함하는 필터 하우징.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 보호부 결합부 및 상기 거치부 결합부는 접합면을 넓히기 위해 외부 방향으로 구부러진 형상인 필터 하우징.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 보호부 결합부 및 상기 거치부 결합부를 감싸도록 배치된 체결부를 더 포함하는 필터 하우징.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 필터 지지부는 하부에 필터 하우징을 이동할 수 있는 구동부를 더 포함하는 필터 하우징.
  7. 필터 거치부, 상기 필터 거치부에 결합되고 내부에 필터 카트리지를 배치하는 필터 보호부를 포함하는 필터 하우징을 포함하는 슬러리 공급 장치.
KR1020150055089A 2015-04-20 2015-04-20 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치 KR20160124464A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150055089A KR20160124464A (ko) 2015-04-20 2015-04-20 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150055089A KR20160124464A (ko) 2015-04-20 2015-04-20 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160124464A true KR20160124464A (ko) 2016-10-28

Family

ID=57244625

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150055089A KR20160124464A (ko) 2015-04-20 2015-04-20 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160124464A (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019160222A1 (ko) * 2018-02-19 2019-08-22 (주)에스티아이 케미컬 필터 고정장치
KR20200051470A (ko) * 2019-09-19 2020-05-13 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치
KR20200051469A (ko) * 2019-09-19 2020-05-13 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치
KR20200051471A (ko) * 2019-09-19 2020-05-13 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치
WO2020096136A1 (ko) * 2018-11-05 2020-05-14 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치 및 교체방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100572923B1 (ko) 1997-08-29 2007-08-31 가부시키가이샤 게츠토 가가쿠 겐큐쇼 시료를가열에의해기화시키는가열장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100572923B1 (ko) 1997-08-29 2007-08-31 가부시키가이샤 게츠토 가가쿠 겐큐쇼 시료를가열에의해기화시키는가열장치

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019160222A1 (ko) * 2018-02-19 2019-08-22 (주)에스티아이 케미컬 필터 고정장치
CN111727498A (zh) * 2018-02-19 2020-09-29 系统科技公司 化学品过滤器固定装置
CN111727498B (zh) * 2018-02-19 2024-03-19 系统科技公司 化学品过滤器固定装置
WO2020096136A1 (ko) * 2018-11-05 2020-05-14 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치 및 교체방법
CN112996583A (zh) * 2018-11-05 2021-06-18 系统科技公司 化学品过滤器更换装置及更换方法
KR20200051470A (ko) * 2019-09-19 2020-05-13 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치
KR20200051469A (ko) * 2019-09-19 2020-05-13 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치
KR20200051471A (ko) * 2019-09-19 2020-05-13 (주)에스티아이 케미컬 필터 교체장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160124464A (ko) 슬러리 공급 장치용 필터 하우징 및 이를 포함하는 슬러리 공급 장치
JP4578103B2 (ja) フォトレジストを供給するために用いられるシステム及びフォトレジストを供給する方法
WO2008053826A1 (en) Method of increasing purity of ultrapure water and apparatus therefor
JP2013502031A (ja) 機能システムのための冷却デバイス
WO2016057493A1 (en) Integrated smart fuel filtration system
TWI750274B (zh) 離子交換體填充匣及金屬去除管柱
US20110073551A1 (en) Filter modules for improved media utilization and use in generally cylindrical housing
JP6410619B2 (ja) 純水精製装置
CN107923884B (zh) 液相色谱用柱以及具备该液相色谱用柱的液相色谱装置
CA2366913A1 (en) Chromatography devices and flow distributor arrangements used in chromatography devices
KR200385792Y1 (ko) 필터
JP6427327B2 (ja) 膜ケーシング及び膜コンポーネント
US20220227617A1 (en) Liquid dispenser
WO2010111692A2 (en) Filter modules for improved media utilization and use generally cylindrical housing
CN107970651B (zh) 一种滤芯替换方法
JP4602134B2 (ja) 濾過装置
CN105538120B (zh) 一种用于对smt激光模板进行抛光的装置
US20080179234A1 (en) Adjustable Height Filter Cartridge
CN108798826A (zh) 一种汽车机油滤清器
CN108579158A (zh) 过滤器及喷码机
KR20200060242A (ko) 이온 교환 유닛
CN217376473U (zh) 一种粉体真空脱气装置
JPH02149370A (ja) 塗布剤の圧送システム
KR102091989B1 (ko) 증류수 탱크용 가스 흡착 필터링 장치
CN208049488U (zh) 料液热过滤设备

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application