CN111715630A - 槽体结构、清洗机器及清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种槽体结构和清洗机器以及清洗方法，槽体结构包括：多个槽体板，多个槽体板相连接围成了第一内腔；隔离板，隔离板设置在第一内腔内，与第一内腔的腔壁连接；其中，隔离板将内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体和第二腔体。通过本发明的技术方案，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体，由于第一腔体和第二腔体隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。
Description
技术领域
本发明涉及清洗设备技术领域，具体而言，涉及槽体结构、清洗机器及清洗方法。
背景技术
近些年来，半导体行业尤其国内产业蓬勃发展，芯片制程规格越来越精细，行业对晶圆清洗的洁净度要求也越来越高，相应地，对晶圆制作中使用的石英管的清洗要求同样重要，不容忽视。
相关技术中采用卧式清洗机器对石英管进行清洗，该清洗机器中的旋转机构一直浸泡于药液中，旋转结构旋转时，链条与链轮之间产生的磨损呈粉末状的颗粒，这样会影响清洗腔内的洁净度，从而影响石英管的清洗洁净度。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
为此，本发明的一个目的在于提供一种槽体结构。
本发明的另一个目的在于提供一种清洗机器。
为了实现上述目的，本发明的实施例提供了一种槽体结构，包括：多个槽体板，多个槽体板相连接围成了第一内腔；隔离板，隔离板设置在第一内腔内，与第一内腔的腔壁连接；其中，隔离板将第一内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体和第二腔体。
在该技术方案中，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体，由于第一腔体和第二腔体隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保了第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。
另外，本发明提供的上述实施例中的槽体结构还可以具有如下附加技术特征：
在上述技术方案中，所述槽体结构还包括多个槽体连接板，多个所述槽体连接板与多个所述槽体板围成了第二内腔，所述第二内腔与所述第一内腔相连通。
在该技术方案中，由于第一内腔和第二内腔相连通，这样第一内腔内的清洗液能够流到第二内腔内进行排除，从而增强了槽体结构的排水能力。
在上述任一技术方案中，所述第一内腔的腔壁上设置有溢流口，所述第一内腔通过所述溢流口与所述第二内腔连接。
在该技术方案中，当第一内腔内的清洗液上升到一定高度时，在溢流口的作用下，第一内腔内的清洗液溢流到第二内腔内，这样便于控制第一内腔内清洗液的量，从而确保槽体结构能存储足够的清洗液对待清洗件进行清洗，另外，溢流口能够将多余的清洗液排放到第二内腔内进行排放。
在上述任一技术方案中，优选地，所述第一内腔的底部设置有第一排液口。
在该技术方案中，第一排液口为主要排液口排放第一内腔内的清洗液，第一排液口能够将第一内腔内的清洗液快速的排出，从而确保清洗机器能够正常地工作。
在上述任一技术方案中，优选地，所述第二内腔的底部设置有第二排液口。
在该技术方案中，第二排液口为辅助排液口排放第二内腔内的清洗液。这样第一排液口和第二排液口相配合，提高了槽体结构的排液能力，从而确保清洗机器能够正常地工作。
本发明第二方面的技术方案提供了一种清洗机器，所述清洗机器包括上述任一技术方案所述的槽体结构，所述第一内腔的腔壁包括侧壁和与所述侧壁连接的底壁，所述清洗机器还包括：
喷淋管和进水管，所述喷淋管和所述进水管间隔设置在所述侧壁上；
托轮组件，所述托轮组件与所述隔离板可转动地设置，所述托轮组件位于所述喷淋管和所述进水管的下方。
在该技术方案中，进水管用于向第一内腔内注入清洗液，进水管在长度上分布密集出水小孔，确保整根进水管均匀出水。管上小孔根据所用主管截面积推算，做到小孔流通截面积之和小于主管流通截面积。这样实现了进水管的均匀喷水，且喷出的水具有一定出水力度。另外，喷淋管用于对待清洗件，比如石英管，进行冲洗和吹干，从而除去待清洗件外壁上的脏污及药液残留，在确保待清洗件清洗干净的同时，还能够确保石英管下料时人工搬运时的安全；托轮组件主要用支撑待清洗件，同时，托轮组件能够带动待清洗件转动，从而确保待清洗件的外壁面能够完全被清洗，进而确保清洗机器的清洗能力。
本发明第二方面的技术方案提供的清洗机器，因包括第一方面技术方案中任一项所述的槽体结构，因而具有上述任一技术方案所具有的一切有益效果，在此不再赘述。
在上述任一技术方案中，所述清洗机器还包括鼓泡管，所述鼓泡管与所述底壁连接。
在该技术方案中，鼓泡管上开有密集出气小孔，从孔处喷出氮气，产生密集小气泡，利于混合及清洗。与进水管类似，管上小孔根据所用主管截面积推算，做到小孔流通截面积之和小于主管流通截面积。这样实现了鼓泡管的均匀喷气，且喷出的气体具有一定出气力度。从而起到混合清洗液，实现辅助清洗的目的，进而增强清洗机器的清洗能力。
在上述任一技术方案中，所述隔离板设置有安装孔，所述清洗机器还包括：旋转轴，所述旋转轴的一端从所述安装孔穿出，所述旋转轴的一部分位于所述第一腔体内，所述旋转轴的另一部分位于所述第二腔体内；从动部件，所述从动部件设置在所述第二腔体内，且与所述旋转轴连接；支撑组件，设置在所述第一腔体内，且与所述底壁连接，用于支撑所述旋转轴。
在该技术方案中，从动部件能够带动旋转轴转动，由于旋转轴与托轮组件连接，从而使得托轮组件能够转动，进而带动待清洗件转动，以确保待清洗件的外壁面能够完全被清洗；支撑组件用于支撑旋转轴，防止转动轴在转动时发生偏斜而影响待清洗件的清洗工作，从而确保清洗机器能够正常的工作
在上述任一技术方案中，所述清洗机器还包括设置所述隔离板上的密封组件，所述密封组件用于密封所述安装孔。
在该技术方案中，密封组件通过密封住旋转轴与安装孔之间的环形间隙，从而防止第一腔体内的清洗液流入第二腔体内，从而确保清洗机器能够正常的工作。
在上述任一技术方案中，所述从动部件包括从动链轮和与所述从动链轮配合的链条。
在该技术方案中，清洗机器中的链轮和链条均设置在第二腔体，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。
本发明第三方面的技术方案提供了一种清洗方法，所述清洗方法利用上述任一技术方案所述的清洗机器进行清洗，所述清洗方法包括第一清洗过程和第二清洗过程。
在上述任一技术方案中，当所述清洗机器的第一腔体处于空槽状态时，采用所述第一清洗过程，所述第一清洗过程包括以下步骤：
S10：利用喷淋管冲洗待清洗件；
S20：利用进水管向所述第一腔体内注水，待清洗件在所述第一腔体内进行清洗；
S30：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S40：利用鼓泡管的氮气对待清洗件进行吹干；
S50：利用机械手将待清洗件搬运到料口。
在上述任一技术方案中，当所述清洗机器的第一腔体处于注水状态时，采用所述第二清洗过程，所述第二清洗过程包括以下清洗步骤：
S12：待清洗件在第一腔体内进行清洗；
S22：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S32：利用喷淋管冲洗待清洗件；
S42：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S52：利用进水管向所述第一腔体内注水，待清洗件在第一腔体内进行清洗；
S62：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S72：利用鼓泡管的氮气对待清洗件进行吹干；
S82：利用机械手将待清洗件搬运到料口。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1示出了根据本发明的一个实施例的槽体结构和清洗机器剖视图；
图2示出了图1中槽体结构和清洗机器A-A处的剖视图；
图3示出了图1中槽体结构和清洗机器的俯视图；
图4示出了图1中密封组件的局部放大图；
图5示出了图1中托轮组件的局部放大图；
图6示出了图1中清洗机器的清洗方法流程图。
其中，图1至图6中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
10、槽体板；12、第一内腔；122、第一腔体；124、第二腔体；126、底壁；128、侧壁；20、隔离板；30、槽体连接板；32、第二内腔；40、第一排液口；50、第二排液口；60、喷淋管；70、进水管；72、出水小孔；80、托轮组件；82、托轮轴套；84、托轮轮环；90、鼓泡管；92、出气小孔；100、旋转轴；110、从动部件；112、从动链轮；120、支撑组件；129、溢流口；130、密封组件；132、密封座；134、密封胶皮；136、密封套A；138、密封套B；139、密封套压紧螺母；140、维护窗；150、混流喷嘴；160、第三排液口。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
下面参照图1至图5描述根据本发明一些实施例的槽体结构。
如图1至图3所示，本发明及本发明的实施例，提供了一种槽体结构，槽体结构包括多个槽体板10和隔离板20。其中，多个槽体板10相连接围成了第一内腔12，隔离板20设置在第一内腔12内，与第一内腔12的腔壁连接；隔离板20将内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体122和第二腔体124。
上述设置中，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体124，由于第一腔体122和第二腔体124隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体122(清洗腔)，以确保了第一腔体122内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。
具体地，如图1至图3所示，本实施例中，槽体结构包括五个槽体板10和一个隔离板20，多个槽体板10围成了一个矩形腔(第一内腔12)，隔离板20设置在该矩形腔内，与矩形腔的腔壁相连接，以将矩形腔分隔成第一腔体122和第二腔体124。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，槽体结构还包括两个槽体连接板30，两个槽体连接板30与上述多个槽体板10围成了第二内腔32，第二内腔32与第一内腔12相连通。
上述设置中，由于第一内腔12和第二内腔32相连通，这样第一内腔12内的清洗液能够流到第二内腔32内进行排除，从而增强了槽体结构的排水能力。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，第一内腔12的腔壁上设置有溢流口129，第一内腔12通过溢流口129与第二内腔32连接。
在该技术方案中，当第一内腔12内的清洗液上升到一定高度时，在溢流口129的作用下，第一内腔12内的清洗液溢流到第二内腔32内，这样便于控制第一内腔12内清洗液的量，从而确保槽体结构能存储足够的清洗液对待清洗件进行清洗。另外，溢流口129能够将多余的清洗液排放到第二内腔32内进行排放。
具体地，如图1至图3，本发明的实施例中，第一内腔12的底部设置有第一排液口40。
在该技术方案中，第一排液口40作为主要排液口排放第一内腔12内的清洗液，第一排液口40能够将第一内腔12内的清洗液快速的排出，从而确保清洗机器能够正常地工作。
在上述任一技术方案中，优选地，第二内腔32的底部设置有第二排液口50。
在该技术方案中，第二排液口50作为辅助排液口排放第二内腔32内的清洗液。这样第一排液口40和第二排液口50相组合，提高了槽体结构的排液能力，从而确保清洗机器能够正常地工作。
如图1至图3所示，本发明第二方面的技术方案提供了一种清洗机器，清洗机器包括上述的槽体结构，第一内腔12的腔壁包括侧壁128和与侧壁128连接的底壁126，清洗机器还包括喷淋管60、进水管70和托轮组件80。其中，喷淋管60和进水管70间隔设置在侧壁128上，托轮组件80与隔离板20可转动地设置，托轮组件80位于喷淋管60和进水管70的下方。
上述设置中，进水管70用于向第一内腔12内注入清洗液，进水管70在长度上分布密集的出水小孔72，确保整根进水管70均匀出水。管上小孔根据所用主管截面积推算，做到小孔流通截面积之和小于主管流通截面积。这样实现了进水管70的均匀喷水，且喷出的水具有一定出水力度。另外，喷淋管60用于对待清洗件，比如石英管，进行冲洗和吹干，从而除去待清洗件外壁上的脏污及药液残留，在确保待清洗件清洗干净的同时，还能够确保石英管下料时人工搬运时的安全；托轮组件80主要用支撑待清洗件，同时，托轮组件80能够带动待清洗件转动，从而确保待清洗件的外壁面能够完全被清洗，进而确保清洗机器的清洗能力。
本发明第二方面的技术方案提供的清洗机器，因包括第一方面技术方案中任一项的槽体结构，因而具有上述任一技术方案所具有的一切有益效果，在此不再赘述。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，喷淋管60、进水管70通过固定件固定在侧壁128上，鼓泡管90固定在底壁126上。第一内腔12内的喷淋管60、进水管70、鼓泡管90均设置成两个，并沿槽体结构的长度方向的中心线对称布设。
上述设置中，鼓泡管90上开有密集的出气小孔92，从孔处喷出氮气，产生密集小气泡，利于混合及清洗。与进水管70类似，管上小孔根据所用主管截面积推算，做到小孔流通截面积之和小于主管流通截面积。这样实现了鼓泡管90的均匀喷气，且喷出的气体具有一定出气力度。从而起到混合清洗液，实现辅助清洗的目的，进而增强清洗机器的清洗能力。
需要说明的是，喷淋管60、进水管70、鼓泡管90通过固定件固定在侧壁128或者底壁126上。第一内腔12内的喷淋管60、进水管70、鼓泡管90分别至少设置一个，也可设置多个，可沿槽体结构的长度方向的中心线对称布设，也可依据需要任意布设，以实现更好的清洗效果。每个喷淋管60、进水管70、鼓泡管90的一端封闭，另一端开口，开口端连接相关设备的进液管路或进气管路。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，隔离板20设置有安装孔，清洗机器还包括旋转轴100、从动部件110和支撑组件120。其中，旋转轴100的一端从安装孔穿出，旋转轴100一部分位于第一腔体122内，旋转轴100的另一部分位于第二腔体124内；从动部件110设置在第二腔体124内，且与旋转轴100连接；支撑组件120设置在第一腔体122内，且与底壁126连接，用于支撑旋转轴100。
上述设置中，从动部件110能够带动旋转轴100转动，由于旋转轴100与托轮组件80连接，从而使得托轮组件80能够转动，进而带动待清洗件转动，以确保待清洗件的外壁面能够完全被清洗；支撑组件120用于支撑旋转轴100，防止转动轴在转动时发生偏斜或者受力弯曲变形而影响待清洗件的清洗工作，从而确保清洗机器能够正常的工作。
具体地，如图5所示，本发明的实施例中，托轮组件80包括托轮轴套82和设置在托轮轴套82外周的托轮轮环84。上述设置中，旋转轴100与托轮轴套82连接，托轮轴套82与旋转轴100一起转动，从而带动托轮轮环84转到，便于支撑在托轮轮环84上的待清洗件进行清洗。
具体地，如图所示，本发明的实施例中，清洗机器还包括设置隔离板20上的密封组件130，密封组件130用于密封安装孔。
上述设置中，密封组件130通过密封住旋转轴100与安装孔之间的环形间隙，从而防止第一腔体122内的清洗液流入第二腔体124内，从而确保清洗机器能够正常的工作。
具体地，如图4所示，本发明的实施例中，密封组件130包含密封座132，密封胶皮134，密封套A136、密封套B138和密封套压紧螺母139。密封套采用软性耐腐蚀且摩擦系数小的材料，如PTFE。密封套孔内设计凸起，凸起内径略小于槽内转轴，两件密封套确保第一腔体122内液体不能沿转轴流向第二腔体124。密封胶皮134确保密封座132与隔离板20之间的密封，防止主槽液体从密封座132处渗出。
具体地，如图4所示，本发明的实施例中，从动部件110包括从动链轮112和与从动链轮112配合的链条。上述设置中，清洗机器中的链轮和链条均设置在第二腔体124，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体122(清洗腔)，以确保第一腔体122内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。
需要说明的是，第二腔体124用于安装从动部件110，如从动链轮112、链条、惰轮等(链条、惰轮未画出)。第二腔体124还设置进水管70路，可往第二腔体124中注水，液位淹没过从动链轮112，此方式可使从动链轮112与链条接触摩擦的地方浸没在水中。由于，从动链轮112与链条摩擦生热，可能引起零件损坏变形，而让其浸没在隔离区的水中，可以大大降低此事件发生的可能。另外，第二腔体124还设置有单独的第三排液口160，可根据使用情况定期排出，更换第二腔体124内的水，亦可利用液位检测开关，检测液位高度，定点排空液体。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，第二腔体124上还设置有维护窗140，便于前期清洗机器的安装与以及清洗机器内部部件的后期维护，同时避免第二腔体124内的液体渗出槽体结构。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，隔离板20上还设置有混流喷嘴150，混流喷嘴150用于搅动主槽内的液体，使液体可小幅流动；当然也可采用循环泵等其他可促进液体流动的装置。
需要说明的是，本实施例是水槽，药液槽时可改用循环方式达到混流功能，例如安装循环泵等。
具体地，如图1至图3所示，本发明的实施例中，槽体结构由前槽体板、后槽体板、槽体内侧板、槽体底板、隔离板20和槽体连接板30拼板焊接而成；槽体被划分为：主槽区(第一内腔12)、两个副槽区(第二内腔32)、隔离腔(第二腔体124)后槽体板开有维护窗140，方便相关零件的安装、维护；隔离板20上开有溢流口129；槽体底板上开有第一排液口40，隔离腔也设置有第三排液口160；隔离板20上开有密封组件130安装孔。当然，在附图中未示出的替代实施例中，槽体结构也可以仅包括主槽区和隔离腔。
需要说明的是，设置副槽区，在水洗槽应用中，可集中排放溢流出的液体；在酸洗槽应用中，第二排液口50可接入泵的进口，与槽内形成外循环结构，增强了酸洗槽的流动性，亦能时一些反应漂浮物从主槽内流出。
需要说明的是，槽体结构内的清洗液可以为纯水、酸液或其他清洗液，可依据需要选择先通过进液管路注入清洗液后，再放置待清洗件清洗，或是先对放置在空槽的清洗件进行喷淋，然后通过进液管路向槽体结构内通入清洗液清洗。
如图6所示，清洗方法利用上述的清洗机器进行清洗，清洗方法包括第一清洗过程和第二清洗过程。
当清洗机器的第一腔体处于空槽状态时，采用第一清洗过程，第一清洗过程包括以下清洗步骤：
S10：利用喷淋管60冲洗待清洗件；
S20：利用进水管向第一腔体122内注水，待清洗件在第一腔体122内进行清洗；
S30：利用排水口排出第一腔体122内的注水；
S40：利用鼓泡管90的氮气对待清洗件进行吹干；
S50：利用机械手将待清洗件搬运到料口。
需要说明的是，步骤S10至S30可以循环设置，可根据实际情况，设置循环次数，这样提高了待清洗件的清洁度，从而达到待清洗件的清洁度要求。
当清洗机器的第一腔体处于注水状态时，采用第二清洗过程，第二清洗过程包括以下清洗步骤：
S12：待清洗件在第一腔体122内进行清洗；
S22：利用排水口排出第一腔体122内的注水；
S32：利用喷淋管60冲洗待清洗件；
S42：利用排水口排出第一腔体122内的注水；
S52：利用进水管70向第一腔体内注水，待清洗件在第一腔体122内进行清洗；
S62：利用排水口排出第一腔体122内的注水；
S72：利用鼓泡管90的氮气对待清洗件进行吹干；
S82：利用机械手将待清洗件搬运到料口。
需要说明的是，步骤S12至S52可以循环设置，可根据实际情况设置循环次数，这样提高了待清洗件的清洁度，从而达到待清洗件的清洁度要求。
从以上的描述中，可以看出，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体124，由于第一腔体122和第二腔体124隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体122(清洗腔)，以确保了第一腔体122内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。
在本发明中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本发明的限制。
在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (13)
1.一种槽体结构，其特征在于，所述槽体结构包括：
多个槽体板(10)，多个所述槽体板(10)相连接围成了第一内腔(12)；
隔离板(20)，所述隔离板(20)设置在所述第一内腔(12)内，与所述第一内腔(12)的腔壁连接；
其中，所述隔离板(20)将所述第一内腔(12)隔离开，以形成相互隔离的第一腔体(122)和第二腔体(124)。
2.根据权利要求1所述的槽体结构，其特征在于，所述槽体结构还包括多个槽体连接板(30)，多个所述槽体连接板(30)与多个所述槽体板(10)围成了第二内腔(32)，所述第二内腔(32)与所述第一内腔(12)相连通。
3.根据权利要求2所述的槽体结构，其特征在于，所述第一内腔(12)的腔壁上设置有溢流口(129)，所述第一内腔(12)通过所述溢流口(129)与所述第二内腔(32)连接。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的槽体结构，其特征在于，所述第一内腔(12)的底部设置有第一排液口(40)。
5.根据权利要求2所述的槽体结构，其特征在于，所述第二内腔(32)的底部设置有第二排液口(50)。
6.一种清洗机器，其特征在于，所述清洗机器包括如权利要求1至5中任一项所述的槽体结构，所述第一内腔(12)的腔壁包括侧壁(128)和与所述侧壁连接的底壁(126)，所述清洗机器还包括：
喷淋管(60)和进水管(70)，所述喷淋管(60)和所述进水管(70)间隔设置在所述侧壁(128)上；
托轮组件(80)，所述托轮组件(80)与所述隔离板(20)可转动地设置，所述托轮组件(80)位于所述喷淋管(60)和所述进水管(70)的下方。
7.根据权利要求6所述的清洗机器，其特征在于，所述清洗机器还包括鼓泡管(90)，所述鼓泡管(90)与所述底壁(126)连接。
8.根据权利要求7所述的清洗机器，其特征在于，所述隔离板(20)设置有安装孔，所述清洗机器还包括：
旋转轴(100)，所述旋转轴(100)的一端从所述安装孔穿出，所述旋转轴(100)的一部分位于所述第一腔体(122)内，所述旋转轴(100)的另一部分位于所述第二腔体(124)内；
从动部件(110)，所述从动部件(110)设置在所述第二腔体(124)内，且与所述旋转轴(100)连接；
支撑组件(120)，设置在所述第一腔体(122)内，且与所述底壁(126)连接，用于支撑所述旋转轴(100)。
9.根据权利要求8所述的清洗机器，其特征在于，所述清洗机器还包括设置所述隔离板(20)上的密封组件(130)，所述密封组件(130)用于密封所述安装孔。
10.根据权利要求8所述的清洗机器，其特征在于，所述从动部件(110)包括从动链轮(112)和与所述从动链轮(112)配合的链条。
11.一种清洗方法，其特征在于，所述清洗方法利用如权利要求6至10中任一项所述的清洗机器进行清洗，所述清洗方法包括第一清洗过程和第二清洗过程。
12.根据权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，当所述清洗机器的第一腔体处于空槽状态时，采用所述第一清洗过程，所述第一清洗过程包括以下步骤：
S10：利用喷淋管冲洗待清洗件；
S20：利用进水管向所述第一腔体内注水，待清洗件在所述第一腔体内进行清洗；
S30：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S40：利用鼓泡管的氮气对待清洗件进行吹干；
S50：利用机械手将待清洗件搬运到料口。
13.根据权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，当所述清洗机器的第一腔体处于注水状态时，采用所述第二清洗过程，所述第二清洗过程包括以下步骤：
S12：待清洗件在第一腔体内进行清洗；
S22：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S32：利用喷淋管冲洗待清洗件；
S42：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S52：利用进水管向所述第一腔体内注水，待清洗件在第一腔体内进行清洗；
S62：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；
S72：利用鼓泡管的氮气对待清洗件进行吹干；
S82：利用机械手将待清洗件搬运到料口。
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