CN111649807B - 一种检测管式pecvd的质量流量计是否正常的方法 - Google Patents

一种检测管式pecvd的质量流量计是否正常的方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及太阳能电池生产领域，一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值，记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值一一对应的管式PECVD的炉管压力，记录每个对应的管式PECVD的炉管压力与压力差值，记录压力算术平均值为；进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应多个值，如果偏差超出正常范围，需要更换新的质量流量计。

Description

一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产领域，特别涉及管式PECVD镀膜领域。
背景技术
光伏太阳能PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺是借助射频使硅烷，氨气和笑气气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应在硅片上沉积出氮氧化硅和氮化硅膜薄膜。因此，硅烷，氨气和笑气质量流量计的准确性非常的重要。如果硅烷，氨气和笑气质量流量计出现异常，如质量流量计设定的流量从工控机显示正常，但质量流量计设定值与实际值出现偏差，会影响镀膜的质量，出现膜色异常的问题，从而影响电池片的效率和外观。并且判断质量流量计是否正常，一般需要很长时间，会影响车间的正常生产。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：如何准确检测管式PECVD的质量流量计是否正常。
本发明所采用的技术方案是：一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，按照如下的步骤进行
步骤一、管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值PS0，记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值M1至Mn一一对应的管式PECVD的炉管压力PS1至PSn，记录PS1至PSn每个对应的管式PECVD的炉管压力与PS0的压力差值PSS10至PSSn0，记录PSS10至PSSn0的压力算术平均值为PS；
步骤二、将待检测的质量流量计安装在管式PECVD上；
步骤三、进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值Pc1，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应的多个不同流量值M1至Mn一一对应的管式PECVD的炉管压力Pc1至Pcn，记录Pc1至Pcn每个对应的管式PECVD的炉管压力与Pc0的压力差值Pcc10至Pccn0，记录Pcc10至Pccn0的压力算术平均值为Pc，n为大于等于3的自然数；
步骤四、如果（|Pc-PS|/ PS）*100%小于10%，说明待检测的质量流量计正常，返回步骤三，当（|Pc-PS|/ PS）*100%大于等于10%时，需要更换新的质量流量计，然后返回步骤二。
压力值PS0与压力值Pc1相等。
M1至Mn指M1、M2、…、Mi、…、Mn-1、Mn，i为大于等于2小于等于n-1的自然数，PS1至PSn、PSS10至PSSn0、Pc1至Pcn、Pcc10至Pccn0含义与之类似。
这里所述的PECVD的质量流量计是否正常是指质量流量计设定值与实际值的偏差是否在预设范围内，由于PECVD的质量流量计在使用过程中，会在质量流量计内部会出现沉积，随着沉积厚度原来越厚，导致质量流量计设定值与实际值的偏差越来越大。所以在质量流量计设定值与实际值的偏差超出预设范围后，需要及时发现进行更换。
本发明的有益效果是：在进行PECVD工艺时，能够及时发现质量流量计处于不正常状态，避免镀膜过程发生影响镀膜的质量的问题。
具体实施方式
管式PECVD的硅烷、氨气和笑气的进口都安装有质量流量计，管式PECVD的炉管内部安装有压力传感器，而这些质量流量计和压力传感器都连接PLC控制器，本发明通过PLC控制器实时获得的质量流量计和压力传感器数据直接判断出质量流量计的设定值与实际值偏差是否超过了预测范围，发现超过预测范围的不正常质量流量计时及时报警，提醒工作人员更换质量流量计。具体方案如下
步骤一、管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，通过PLC记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值PS0，通过PLC记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值M1至Mn一一对应的管式PECVD的炉管压力PS1至PSn，记录PS1至PSn每个对应的管式PECVD的炉管压力与PS0的压力差值PSS10至PSSn0，记录PSS10至PSSn0的压力算术平均值为PS；本实施例中以硅烷质量流量计进行说明，其它氨气和笑气质量流量计与之类似；本实施例中，PS0=25mTorr，M1至Mn，取n=5，M1=200 SCCM，M2=300 SCCM，M3=400 SCCM，M4=500 SCCM，M5=600 SCCM，PS1至PSn取五个值，为PS1，PS2，PS3，PS4和PS5；
步骤二、将待检测的质量流量计安装在管式PECVD上；
步骤三、进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值Pc1，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应的多个不同流量值M1至Mn一一对应的管式PECVD的炉管压力Pc1至Pcn，记录Pc1至Pcn每个对应的管式PECVD的炉管压力与Pc0的压力差值Pcc10至Pccn0，记录Pcc10至Pccn0的压力算术平均值为Pc，n为大于等于3的自然数；本实施例中，Pc1= PS0=25mTorr，Pc1至Pcn取五个值，为Pc1，Pc2，Pc3，Pc4和Pc5；
步骤四、如果PLC检测到（|Pc-PS|/ PS）*100%小于5%，说明待检测的质量流量计正常，返回步骤三，当（|Pc-PS|/ PS）*100%大于等于5%时，报警提醒工作人员，需要更换新的质量流量计，工作人员更换后，返回步骤二。
本实施例可以简单准确的判断出异常的硅烷，氨气和笑气质量流量计并进行更换，缩短了异常处理的时间，保证了硅片镀膜颜色的正常，确保了车间的正常生产。

Claims (3)

1.一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，其特征在于：按照如下的步骤进行
步骤一、管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值PS0，记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值M1至Mn一一对应的管式PECVD的炉管压力PS1至PSn，记录PS1至PSn每个对应的管式PECVD的炉管压力与PS0的压力差值PSS10至PSSn0，记录PSS10至PSSn0的压力算术平均值为PS；
步骤二、将待检测的质量流量计安装在管式PECVD上；
步骤三、进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值Pc1，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应的多个不同流量值M1至Mn一一对应的管式PECVD的炉管压力Pc1至Pcn，记录Pc1至Pcn每个对应的管式PECVD的炉管压力与Pc0的压力差值Pcc10至Pccn0，记录Pcc10至Pccn0的压力算术平均值为Pc，n为大于等于3的自然数；
步骤四、如果（|Pc-PS|/ PS）*100%小于10%，说明待检测的质量流量计正常，返回步骤三，当（|Pc-PS|/ PS）*100%大于等于10%时，需要更换新的质量流量计，然后返回步骤二。
2.根据权利要求1所述的一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，其特征在于：压力值PS0与压力值Pc1相等。
3.根据权利要求1所述的一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，其特征在于：M1至Mn指M1、M2、…、Mi、…、Mn-1、Mn，i为大于等于2小于等于n-1的自然数，PS1至PSn、PSS10至PSSn0、Pc1至Pcn、Pcc10至Pccn0含义与之类似。
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