CN111644738A - 一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法 - Google Patents

一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件。本发明提供的焊接方法，通过对焊接前背板的热处理和酸洗，结合后续的焊接工艺，使得背板的硬度为100‑130HV，电导率为25‑28MS/m，解决了铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。

Description

一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法
技术领域
本发明涉及靶材领域，具体涉及一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法。
背景技术
高纯铝靶材(≥3N)是半导体芯片制造常用的导线制造材料，而其在使用是通常需要与背板进行焊接。
CN104588810A公开了提供一种铝靶材组件的焊接方法，包括：提供铝靶材、铝背板；在铝靶材的待焊接面上形成钎料浸润层或者在铝背板的待焊接面上形成钎料浸润层；将铝背板、形成有钎料浸润层的铝靶材置于真空包套内，铝背板的待焊接面与钎料浸润层接触，或者，将铝靶材、形成有钎料浸润层的铝背板置于真空包套内，铝靶材的待焊接面与钎料浸润层接触；利用热等静压工艺将铝靶材、钎料浸润层、铝背板焊接在一起以形成铝靶材组件；焊接完成后，对真空包套进行冷却，去除真空包套以获得铝靶材组件。该焊接方法，可以实现铝靶材与铝背板之间的焊接，并且焊接效率较高，形成的铝靶材组件的焊接强度较高、变形量小，能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。
CN107984075A公开了一种铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，包括以下步骤：步骤1：对铝靶材和铝背板的待焊接面进行机械打磨及清洗处理；步骤2：将步骤1处理后的铝靶材和铝背板通过夹具固定使两者的待焊接面相对布置，通过驱动夹具使铝靶材和铝背板的待焊接面相互靠拢，并且在靠拢过程中至少一个进行旋转，在铝背板和铝靶材接触后，增加压强至0.5MPa-2.0MPa保持5s-25s后完成初步摩擦焊接；步骤3；将步骤2完成初步摩擦焊接的铝靶材组件置于轴向加压扩散焊炉内，抽真空，加热并轴向加压直至完成焊接；步骤4：冷却步骤3处理后的铝靶材组件；其解决了铝靶材组件直接扩散焊对环境条件要求高、焊缝易出现缺陷的问题。
然而现有技术中焊接后的铝靶材组件在使用过程中背板会存在变形的问题。
发明内容
鉴于现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，通过本发明的焊接方法，使得背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m，以解决铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板。
本发明提供的焊接方法，通过对焊接前背板的热处理和酸洗，结合后续的焊接工艺，使得背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m，解决了铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。
作为本发明优选的技术方案，所述热处理的温度为470-500℃，例如可以是470℃、475℃、480℃、485℃、490℃、495℃或500℃等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述热处理的保温时间为50-70min，例如可以是50min、52min、54min、56min、58min、60min、62min、64min、66min、68min或70min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述热处理后经空冷至室温。
作为本发明优选的技术方案，所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液。
优选地，所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)，例如可以是0.5:2.5:3.5、1:2.5:3.5、1.5:2.5:3.5、0.5:2.5:3.5、0.5:3:3.5、0.5:3.5:3.5、1:2.5:3.5、0.5:2.5:4、0.5:2.5:4.5、1.5:3:4或1:2.5:4等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述酸洗的时间为0.5-1.5min，例如可以是0.5min、0.6min、0.7min、0.8min、0.9min、1min、1.1min、1.2min、1.3min、1.4min或1.5min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述抽真空的终点为真空度小于0.001Pa，例如可以是0.0009Pa、0.0008Pa、0.0007Pa、0.0006Pa、0.0005Pa、0.0004Pa、0.0003Pa、0.0002Pa或0.0001Pa等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述脱气的温度为150-250℃，例如可以是150℃、160℃、170℃、180℃、190℃、200℃、210℃、220℃、230℃、240℃或250℃等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述脱气的压强为0.001-0.002Pa，例如可以是0.001Pa、0.0011Pa、0.0012Pa、0.0013Pa、0.0014Pa、0.0015Pa、0.0016Pa、0.0017Pa、0.0018Pa、0.0019Pa或0.002Pa等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述脱气的时间为4.5-5.5h，例如可以是4.5h、4.6h、4.7h、4.8h、4.9h、5h、5.1h、5.2h、5.3h、5.4h或5.5h等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述热等静压处理的温度为250-270℃，例如可以是250℃、252℃、254℃、256℃、258℃、260℃、262℃、264℃、266℃、268℃或270℃等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述热等静压处理的压强≥100MPa，例如可以是100MPa、120MPa、130MPa、140MPa、150MPa、160MPa、170MPa、180MPa、190MPa或200MPa等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述热等静压处理的时间为4.5-5h，例如可以是4.5h、4.55h、4.6h、4.65h、4.7h、4.75h、4.8h、4.85h、4.9h、4.95h或5h等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述焊接方法包括：
提供铝靶材和铝背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
其中，所述热处理的温度为470-500℃；所述热处理的保温时间为50-70min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)；所述酸洗的时间为0.5-1.5min；所述抽真空的终点为真空度小于0.001Pa；所述脱气的温度为150-250℃；所述脱气的压强为0.001-0.002Pa；所述脱气的时间为4.5-5.5h；所述热等静压处理的温度为250-270℃；所述热等静压处理的压强≥100MPa；所述热等静压处理的时间为4.5-5h。
第二方面，本发明提供如第一方面所述焊接方法得到的铝靶材组件，所述铝靶材组件中背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m。
本发明中所述硝酸和氢氟酸为分析纯。
与现有技术方案相比，本发明至少具有以下有益效果：
通过本发明的焊接方法，使得得到铝靶材组件中背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m，以解决铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。
具体实施方式
为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，本发明的典型但非限制性的实施例如下：
实施例1
本实施例提供一种降低铝靶材组件中背板变形的的焊接方法，所述焊接方法包括：
提供铝靶材和铝背板；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
其中，所述热处理的温度为480℃；所述热处理的保温时间为60min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为1:2.5:4；所述酸洗的时间为1min；所述抽真空的终点为真空度为0.0008Pa；所述脱气的温度为170℃；所述脱气的压强为0.0018Pa；所述脱气的时间为5h；所述热等静压处理的温度为255℃；所述热等静压处理的压强为100MPa；所述热等静压处理的时间为5h。
所得铝靶材组件中背板的硬度为120HV，电导率为26MS/m，使用过程中靶材组件中的背板未变形。
实施例2
本实施例提供一种降低铝靶材组件中背板变形的的焊接方法，所述焊接方法包括：
提供铝靶材和铝背板；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
其中，所述热处理的温度为500℃；所述热处理的保温时间为50min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为1:3:3.5；所述酸洗的时间为0.7min；所述抽真空的终点为真空度为0.0005Pa；所述脱气的温度为220℃；所述脱气的压强为0.0012Pa；所述脱气的时间为4.7h；所述热等静压处理的温度为270℃；所述热等静压处理的压强为200MPa；所述热等静压处理的时间为4.5h。
所得铝靶材组件中背板的硬度为127HV，电导率为25MS/m，使用过程中靶材组件中的背板未变形。
实施例3
本实施例提供一种降低铝靶材组件中背板变形的的焊接方法，所述焊接方法包括：
提供铝靶材和铝背板；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
其中，所述热处理的温度为470℃；所述热处理的保温时间为70min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为1.2:2.7:4.1；所述酸洗的时间为1.5min；所述抽真空的终点为真空度为0.0011Pa；所述脱气的温度为185℃；所述脱气的压强为0.0015Pa；所述脱气的时间为4.5h；所述热等静压处理的温度为260℃；所述热等静压处理的压强为150MPa；所述热等静压处理的时间为4.7h。
所得铝靶材组件中背板的硬度为110HV，电导率为28MS/m，使用过程中靶材组件中的背板未变形。
实施例4
本实施例提供一种降低铝靶材组件中背板变形的的焊接方法，所述焊接方法包括：
提供铝靶材和铝背板；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
其中，所述热处理的温度为477℃；所述热处理的保温时间为56min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为0.8:2.8:3.9；所述酸洗的时间为0.8min；所述抽真空的终点为真空度为0.0002Pa；所述脱气的温度为175℃；所述脱气的压强为0.0013Pa；所述脱气的时间为5.2h；所述热等静压处理的温度为265℃；所述热等静压处理的压强为250MPa；所述热等静压处理的时间为4.8h。
所得铝靶材组件中背板的硬度为127HV，电导率为26MS/m，使用过程中靶材组件中的背板未变形。
对比例1
与实施例1的区别仅在于不进行热处理；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例2
与实施例1的区别仅在于不进行酸洗；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例3
与实施例1的区别仅在于所述酸洗的酸洗液替换为等量的水；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例6
与实施例1的区别仅在于所述酸洗的酸洗液替换为硫酸；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例7
与实施例1的区别仅在于所述酸洗的酸洗液替换为硝酸；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例8
与实施例1的区别仅在于所述酸洗的酸洗液替换为氢氟酸；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例9
与实施例1的区别仅在于所述酸洗的时间为0.1min；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
对比例10
与实施例1的区别仅在于所述酸洗的时间为3min；所得铝靶材组件使用过程中靶材组件中的背板显著变形。
通过上述实施例和对比例的结果可知，本发明提供的焊接方法，通过对焊接前背板的热处理和酸洗，结合后续的焊接工艺，使得背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m，解决了铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (10)

1.一种降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板。
2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述热处理的温度为470-500℃；
优选地，所述热处理的保温时间为50-70min。
3.如权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，所述热处理后经空冷至室温。
4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；
优选地，所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)。
5.如权利要求1-4任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述酸洗的时间为0.5-1.5min。
6.如权利要求1-5任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述抽真空的终点为真空度小于0.001Pa。
7.如权利要求1-6任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述脱气的温度为150-250℃；
优选地，所述脱气的压强为0.001-0.002Pa；
优选地，所述脱气的时间为4.5-5.5h。
8.如权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述热等静压处理的温度为250-270℃；
优选地，所述热等静压处理的压强≥100MPa；
优选地，所述热等静压处理的时间为4.5-5h。
9.如权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
其中，所述热处理的温度为470-500℃；所述热处理的保温时间为50-70min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)；所述酸洗的时间为0.5-1.5min；所述抽真空的终点为真空度小于0.001Pa；所述脱气的温度为150-250℃；所述脱气的压强为0.001-0.002Pa；所述脱气的时间为4.5-5.5h；所述热等静压处理的温度为250-270℃；所述热等静压处理的压强≥100MPa；所述热等静压处理的时间为4.5-5h。
10.一种如权利要求1-9任一项所述焊接方法得到的铝靶材组件，其特征在于，所述铝靶材组件中背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112122764A (zh) * 2020-09-16 2020-12-25 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种钨靶材与铜锌合金背板的扩散焊接方法
CN112475802A (zh) * 2020-11-19 2021-03-12 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝靶材与铝合金背板的装配方法
CN113695732A (zh) * 2021-09-10 2021-11-26 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝靶材组件的焊接方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6579431B1 (en) * 1998-01-14 2003-06-17 Tosoh Smd, Inc. Diffusion bonding of high purity metals and metal alloys to aluminum backing plates using nickel or nickel alloy interlayers
JP2007245211A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Mitsubishi Materials Corp バッキングプレート付きターゲットの製造方法
CN101564793A (zh) * 2009-04-17 2009-10-28 宁波江丰电子材料有限公司 铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法
CN102534518A (zh) * 2011-12-29 2012-07-04 宁波江丰电子材料有限公司 背板的制作方法
CN104588810A (zh) * 2013-10-30 2015-05-06 宁波江丰电子材料股份有限公司 铝靶材组件的焊接方法
CN104668897A (zh) * 2013-12-03 2015-06-03 宁波江丰电子材料股份有限公司 背板的形成方法
CN105624622A (zh) * 2014-11-26 2016-06-01 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材组件的制造方法
CN111155059A (zh) * 2018-11-07 2020-05-15 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材组件及其制造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6579431B1 (en) * 1998-01-14 2003-06-17 Tosoh Smd, Inc. Diffusion bonding of high purity metals and metal alloys to aluminum backing plates using nickel or nickel alloy interlayers
JP2007245211A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Mitsubishi Materials Corp バッキングプレート付きターゲットの製造方法
CN101564793A (zh) * 2009-04-17 2009-10-28 宁波江丰电子材料有限公司 铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法
CN102534518A (zh) * 2011-12-29 2012-07-04 宁波江丰电子材料有限公司 背板的制作方法
CN104588810A (zh) * 2013-10-30 2015-05-06 宁波江丰电子材料股份有限公司 铝靶材组件的焊接方法
CN104668897A (zh) * 2013-12-03 2015-06-03 宁波江丰电子材料股份有限公司 背板的形成方法
CN105624622A (zh) * 2014-11-26 2016-06-01 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材组件的制造方法
CN111155059A (zh) * 2018-11-07 2020-05-15 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材组件及其制造方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《摩托车技术词典》: "《摩托车技术词典》", 30 June 2000, 福建科学技术出版社 *
李云凯等: "《金属材料学》", 30 November 2013, 北京理工大学出版社 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112122764A (zh) * 2020-09-16 2020-12-25 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种钨靶材与铜锌合金背板的扩散焊接方法
CN112475802A (zh) * 2020-11-19 2021-03-12 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝靶材与铝合金背板的装配方法
CN113695732A (zh) * 2021-09-10 2021-11-26 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝靶材组件的焊接方法

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