CN111634687B - 一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构，包括：工作台，第一传输组件，第二传输组件，感应组件；晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽，定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置，所述感应组件包括倾斜滑动块，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿，所述导向齿在上升时，能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中，此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中，感应齿的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。通过上述设置，能够在进行供料前对晶圆篮内的晶圆进行一次识别。

Description

一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法

技术领域

本申请属于清洗设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法。

背景技术

晶圆的清洗通常是先将晶圆放置晶圆篮内，再由输送机构将晶圆篮输送到各类清洗设备内进行清洗，晶圆篮清洗设备进料机构就是用于将晶圆篮输送到清洗工位上。

现有的晶圆篮清洗设备进料机构无法很好的感应晶圆篮内的晶圆情况。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够在清洗前对晶圆篮内的晶圆数量进行检测的晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆篮清洗设备进料机构，包括：

工作台，所述工作台设置有用于固定晶圆篮的第一固定座，第二固定座和第三固定座，其中第一固定座，第二固定座和第三固定座成“L”形布置，且第一固定座与第二固定座、第二固定座与第三固定座之间的所述工作台上成型有让位槽；

第一传输组件，位于所述工作台下方，用于将晶圆篮从第一固定座运输到第二固定座上；

第二传输组件，位于所述工作台下方，用于将晶圆篮从第二固定座运输到第三固定座上；

感应组件，设置在所述工作台下方，位于第三固定座处，用于感应晶圆篮中的晶圆数量；

所述晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽，定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置，所述感应组件包括倾斜滑动块，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿，所述导向齿在上升时，能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中，此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中，感应齿的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，第一固定座，第二固定座和第三固定座均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块为呈L形的挡块。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，所述挡块的内壁为斜面。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，所述让位槽包括两条平行的横向槽和与两条平行的横向槽连通的一条纵向槽，其中两个第一固定座分别位于横向槽的一端，第二固定座位于横向槽与纵向槽的连接处，第三固定座位于纵向槽末端。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，第一传输组件和第二传输组件均包括滑轨、滑块、直线运动驱动件、升降驱动件、顶块，滑轨沿着让位槽的横向槽或者纵向槽布置，滑轨上设置有滑块，直线运动驱动件驱动滑块在滑轨运动，所述滑块上设置有顶块，所述升降驱动件驱动顶块升降以将第一固定座，第二固定座和第三固定座上的晶圆篮顶起或者放下。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，所述晶圆篮的两侧边具有若干平行的固定槽，晶圆被固定于固定槽中。

本发明还提供一种晶圆篮清洗设备进料方法，使用上述的晶圆篮清洗设备进料机构，包括以下步骤：

S1：将晶圆篮放置于第一固定座上；

S2：第一传输组件动作，将晶圆篮从第一固定座运输到第二固定座上；

S3：第二传输组件动作，将晶圆篮从第二固定座运输到第三固定座上；

S4：感应组件的倾斜滑动块运动到最高端，对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料方法，在S4以后，感应组件的倾斜滑动块复位后，对第三固定座上的晶圆篮进行180°旋转，而后再次通过对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料方法，所述感应器与工控机连接，并具有报警器，如果对同一个晶圆篮中晶圆的两次感应识别的数量和位置不同时，则发生警报。

本发明与现有技术相比，具有以下优点：

1.晶圆篮在工作台上运动，运动的传输组件在工作台下方运动。

2.在进料机构传输末端设置感应组件，通过感应组件来对晶圆篮内的晶圆进行识别，实现对晶圆数量的感应。

3.通过导向齿和晶圆篮底部定位槽的配合使每个晶圆能够准确位于相邻的两个感应齿之间，便于对晶圆数量的感应。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的晶圆篮清洗设备进料机构的一个方向的结构示意图；

图2是本申请实施例的晶圆篮清洗设备进料机构的另一个方向的结构示意图；

图3是本申请实施例的感应组件的结构示意图；

图4是本申请实施例中晶圆篮位于固定座上的状态图；

图5是本申请实施例中晶圆篮的结构示意图；

图6是本申请实施例中感应齿和导向齿的结构示意图。

图中的附图标记为：

1 工作台；

2 第一传输组件；

3 第二传输组件；

4 感应组件；

9 晶圆篮；

11 第一固定座；

12 第二固定座；

13 第三固定座；

14 让位槽；

40 倾斜滑动块；

41 感应齿；

42 导向齿；

44 调整块；

51 挡块；

52 斜面；

91 固定槽；

92 晶圆；

93 定位槽。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例1

本实施例提供一种晶圆篮清洗设备进料机构，如图1所示，包括：

工作台1，所述工作台1设置有用于固定晶圆篮9的第一固定座11，第二固定座12和第三固定座13，其中第一固定座11，第二固定座12和第三固定座13成“L”形布置，且第一固定座11与第二固定座12、第二固定座12与第三固定座13之间的所述工作台1上成型有让位槽14，让位槽14也为“L”形布置；

第一传输组件2，位于所述工作台1下方，用于将晶圆篮9从第一固定座11运输到第二固定座12上；

第二传输组件3，位于所述工作台1下方，用于将晶圆篮9从第二固定座12运输到第三固定座13上；

感应组件4，如图5所示，设置在所述工作台1下方，位于第三固定座13处，用于感应晶圆篮9中的晶圆92数量。

第三固定座13为出料位置，第二固定座12为暂存位置，第一固定座11为入料位置，晶圆篮9由人工搬运到第一固定座11上，第一传输组件2将晶圆篮9从第一固定座11运输到第二固定座12上，第二传输组件3，将晶圆篮9从第二固定座12运输到第三固定座13上，在第三固定座13处晶圆篮9被移动走。

进一步地，如图3所示，第一固定座11，第二固定座12和第三固定座13均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块包括呈L形挡块51。

进一步优选地，所述挡块51的内壁为斜面52。通过斜面52可以方便使晶圆篮9滑入4个固定块形成的空间内。

晶圆篮9的两侧边具有若干平行的固定槽91，晶圆92被固定于固定槽91中。

进一步地，让位槽14包括两条平行的横向槽和与两条平行的横向槽连通的一条纵向槽，其中两个第一固定座11分别位于横向槽的一端，第二固定座12位于横向槽与纵向槽的连接处，第三固定座13位于纵向槽末端。

第一传输组件2和第二传输组件3均包括滑轨、滑块、直线运动驱动件、升降驱动件、顶块，滑轨沿着让位槽14的横向槽或者纵向槽布置，滑轨上设置有滑块，直线运动驱动件驱动滑块在滑轨运动，所述滑块上设置有顶块，所述升降驱动件驱动顶块升降并穿过让位槽14以将第一固定座11，第二固定座12和第三固定座13上的晶圆篮9顶起或者放下。

所述晶圆篮9底部镂空、内壁底部成型有定位槽93，定位槽93与固定晶圆的固定槽91一一对应设置，所述感应组件4包括倾斜滑动块40，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿41和导向齿42，所述感应齿41，所述导向齿42在上升时，能够伸入到位于第三固定座13上的晶圆篮9的定位槽93中，此时放置于固定槽91内的晶圆会进入相邻两个感应齿41的间隙中，感应齿41的侧壁上设置有光电传感器，能够感应是否存在晶圆，并根据感应齿41的位置识别出晶圆的位置。

倾斜滑动块40运动到最底端时，能够形成对第二传输组件3的让位，防止对第二传输组件3运动件的运动造成影响，当需要对第三固定座13上的晶圆篮9进行定位时，倾斜滑动块40运动到最高端时，能够先通过导向齿42进行定位，再有感应齿41感应晶圆的存在。

所述导向齿42前端的侧面为圆弧形尖端，以便于使导向齿42准确对准滑入定位槽93中。

感应齿41和导向齿42均设置在倾斜滑动块40的顶端的调整块44上(如图3所示)，且调整块44能够在一定距离内自由滑动，自由滑动的距离一般为相邻两个定位槽93距离的四分之一，自由滑动的调整块44能够在一定范围容忍晶圆盒的位置误差，便于导向齿42伸入到定位槽93内。

实施例2

本实施例提供一种晶圆篮清洗设备进料方法，采用实施例1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，包括以下步骤：

S1：将晶圆篮放置于第一固定座11上；

S2：第一传输组件2动作，将晶圆篮从第一固定座11运输到第二固定座12上；

S3：第二传输组件3动作，将晶圆篮从第二固定座12运输到第三固定座13上；

S4：感应组件4的倾斜滑动块40运动到最高端，对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。

进一步地，在S4以后，感应组件4的倾斜滑动块40复位后，对第三固定座13上的晶圆篮进行180°旋转，而后再次通过对晶圆篮内的晶圆进行感应识别，如果对同一个晶圆篮中晶圆的两次感应识别的数量和位置不同时，则发生警报。警报由警报器发出，警报器可以发出声光电等形式的警报。

感应齿41上传感器与工控机相连接，工控机能够接收传感器的数据，并根据传感器的位置编号来对应识别出晶圆的位置和数量，晶圆篮中晶圆的两次感应识别的数量和位置是否相同的判断也由工控机来确定，这里需要说明的是，晶圆篮在旋转前后，感应相同的晶圆时传感器的位置编号发生了顺序变化，因此，工控机针对这一点进行相应配置。

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (8)

1.一种晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，包括：

工作台(1)，所述工作台(1)设置有用于固定晶圆篮(9)的第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)，其中第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)呈“L”形布置，且第一固定座(11)与第二固定座(12)、第二固定座(12)与第三固定座(13)之间的所述工作台(1)上成型有让位槽(14)；

第一传输组件(2)，位于所述工作台(1)下方，用于将晶圆篮(9)从第一固定座(11)运输到第二固定座(12)上；第二传输组件(3)，位于所述工作台(1)下方，用于将晶圆篮(9)从第二固定座(12)运输到第三固定座(13)上；

感应组件(4)，设置在所述工作台(1)下方，位于第三固定座(13)处，用于感应晶圆篮(9)中的晶圆(92)数量；

所述晶圆篮(9)底部镂空、内壁底部成型有定位槽(93)，定位槽(93)与固定晶圆的固定槽(91)一一对应设置，所述感应组件(4)包括倾斜滑动块(40)，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿(41)和导向齿(42)，所述导向齿(42)在上升时，能够伸入到位于第三固定座(13)上的晶圆篮(9)的定位槽(93)中，此时放置于固定槽(91)内的晶圆会进入相邻两个感应齿(41)的间隙中，感应齿(41)的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿(41)间隙内是否存在晶圆；感应齿（41）和导向齿（42）均设置在倾斜滑动块（40）的顶端的调整块（44）上，且调整块(44)能够在一定距离内自由滑动，自由滑动的距离为相邻两个定位槽(93)距离的四分之一。

2.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块为呈L形的挡块(51)。

3.根据权利要求2所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，所述挡块(51)的内壁为斜面(52)。

4.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，所述让位槽(14)包括两条平行的横向槽和与两条平行的横向槽连通的一条纵向槽，其中两个第一固定座(11)分别位于横向槽的一端，第二固定座(12)位于横向槽与纵向槽的连接处，第三固定座(13)位于纵向槽末端。

5.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，第一传输组件(2)和第二传输组件(3)均包括滑轨、滑块、直线运动驱动件、升降驱动件、顶块，滑轨沿着让位槽(14)的横向槽或者纵向槽布置，滑轨上设置有滑块，直线运动驱动件驱动滑块在滑轨运动，所述滑块上设置有顶块，所述升降驱动件驱动顶块升降以将第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)上的晶圆篮(9)顶起或者放下。

6.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，所述晶圆篮(9)的两侧边具有若干平行的固定槽(91)，晶圆(92)被固定于固定槽(91)中。

7.一种晶圆篮清洗设备进料方法，其特征在于，使用权利要求1-6任一项所述的晶圆篮清洗设备进料机构，包括以下步骤：

S1：将晶圆篮放置于第一固定座(11)上；

S2：第一传输组件(2)动作，将晶圆篮从第一固定座(11)运输到第二固定座(12)上；

S3：第二传输组件(3)动作，将晶圆篮从第二固定座(12)运输到第三固定座(13)上；

S4：感应组件(4)的倾斜滑动块(40)运动到最高端，对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。

8.根据权利要求7所述的晶圆篮清洗设备进料方法，其特征在于，在S4以后，感应组件(4)的倾斜滑动块(40)复位后，对第三固定座(13)上的晶圆篮进行180°旋转，而后再次通过对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。

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