CN111633167A - 一种专用于掩膜板支架420j1的锻造工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗将清洗后的不锈钢420J1截取30‑60厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为980‑1100度，保温12‑20分钟，进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的12％‑36％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时，锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入950‑1000度的加热炉，固溶处理1.5小时。本发明通过掩膜板支架420J1的使用，经过对锻件表面进行切边，截断、打磨、抛光、电镀处理，使得掩膜板支架在进行对微电子或电器元件进行组装和使用时，都比较方便灵活，锻造过程比较简单，缩短掩膜板支架的加工周期，降低生产成本，锻造后的产品力学性能比铸造产品近提高一倍。

Description

一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺
技术领域
本发明涉及掩膜板支架技术领域，具体为一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺。
背景技术
在微电子等需要使用光刻图形工艺的领域中，掩膜板是不可缺少的工具。在整个的产品加工过程中需要使用至少一块掩膜板，很多情况下全部流程中需要使用多块掩膜板。而且不同的产品所使用的掩膜板基本不同，因此需要随着产品的变换而更换掩膜板。
掩膜板用的支架在对掩膜板的使用过程中起到很重要的作用，掩膜板支架的硬度和抗腐蚀性能还不能够满足现在人们的需求，掩膜板硬度低易脆，对掩膜板支架的锻造困难加大，使得生产困难加大。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，具备硬度高，耐蚀性好，有磁性等优点，解决了掩膜板支架硬度低耐蚀性差和生产困难的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，包括以下步骤：
1)选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗；
2)将清洗后的不锈钢420J1截取30-60厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为980-1100度，保温12-20分钟；
3)进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的12％-36％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时；
4)锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入950-1000度的加热炉，固溶处理1.5小时；
5)将锻造模具预热，温度为830-900度；
6)然后将胚料在室温中下降至560-600度时，将胚料放入1100吨液压压力机下的锻造模具中，锻打一次成型，形成锻件；
7)对所得锻件表面进行处理；
8)将锻件放入淬火料框内，然后将淬火料框放入淬火炉中，温度为980-1050度，保温时间为2.5-6小时；
9)然后将淬火料框放入油箱中进行快速冷却，直至锻件冷却至室温后取出；
10)淬火后的锻件连同淬火料框放入时效炉，加热温度为870-900度，保持时间3-5小时，保温结束，将淬火料框取出并进行730-780度空冷至室温。
优选的，所述胚料表面件切边，截断处理。
优选的，所述对锻件进行打磨、抛光、电镀处理。
优选的，所述淬火中常用的淬火剂有：水、油、碱水、盐类溶液等。
优选的，所述丙酮分子式为C3H6O，又名二甲基酮，为最简单的饱和酮，对不锈钢420J1胚料进行清洗。
优选的，所述淬火料框为普通的A3钢。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，具备以下有益效果：
1、该专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，通过不锈钢420J1材料经过丙酮清洗，在进行加工配合电弧炉进行锻造，420J1不锈钢淬火后硬度高，耐蚀性好有磁性，进行在油中淬火，使得420J1不锈钢的硬度提高，使用1000度加热淬火得到较好的组织和硬度，降低生产难度，加快掩膜板支架420J1的锻造速度，使掩膜板支架的质量得到较大的提高。
2、该专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，通过掩膜板支架420J1的使用，经过对锻件表面进行切边，截断、打磨、抛光、电镀处理，使得掩膜板支架在进行对微电子或电器元件进行组装和使用时，都比较方便灵活，锻造过程比较简单，缩短掩膜板支架的加工周期，降低生产成本，锻造后的产品力学性能比铸造产品近提高一倍。
具体实施方式
下面将结合本发明的实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，包括以下步骤：
1)选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗，除去不锈钢420J1胚料外面的杂质；
2)将清洗后的不锈钢420J1截取30厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为980度，保温12分钟，配合电弧炉进行加热处理不锈钢420J1；
3)进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的12％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时，重复3-5次对不锈钢420J1拔长操作，进行高温锻造；
4)锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入950度的加热炉，固溶处理1.5小时，对锻造好的不锈钢420J1进行空冷，降温定形修整边角和多余材料；
5)将锻造模具预热，温度为830度，预热锻造模具，为后续的锻造做好准备；
6)然后将胚料在室温中下降至560度时，将胚料放入1100吨液压压力机下的锻造模具中，锻打一次成型，形成锻件，将胚料降温后，进行对胚料锻造成型，使得掩膜板支架锻造成型；
7)对所得锻件表面进行处理，经过切边，截断以及打磨、抛光、电镀对锻件进行处理；
8)将锻件放入淬火料框内，然后将淬火料框放入淬火炉中，温度为980度，保温时间为2.5小时，将锻件放到淬火料框内，通过吊具将淬火料框放入淬火炉中进行淬火；
9)然后将淬火料框放入油箱中进行快速冷却，直至锻件冷却至室温后取出，将淬火料框从淬火炉中吊出，放入油箱中进行冷却；
10)淬火后的锻件连同淬火料框放入时效炉，加热温度为870度，保持时间3小时，保温结束，将淬火料框取出并进行730度空冷至室温，对锻件进行加热然后进行空冷，完成锻造操作。
实施例二：
一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，包括以下步骤：
1)选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗，除去不锈钢420J1胚料外面的杂质；
2)将清洗后的不锈钢420J1截取45厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为1040度，保温16分钟，配合电弧炉进行加热处理不锈钢420J1；
3)进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的24％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时，重复3-5次对不锈钢420J1拔长操作，进行高温锻造；
4)锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入975度的加热炉，固溶处理1.5小时，对锻造好的不锈钢420J1进行空冷，降温定形修整边角和多余材料；
5)将锻造模具预热，温度为865度，预热锻造模具，为后续的锻造做好准备；
6)然后将胚料在室温中下降至580度时，将胚料放入1100吨液压压力机下的锻造模具中，锻打一次成型，形成锻件，将胚料降温后，进行对胚料锻造成型，使得掩膜板支架锻造成型；
7)对所得锻件表面进行处理，将胚料降温后，进行对胚料锻造成型，使得掩膜板支架锻造成型；
8)将锻件放入淬火料框内，然后将淬火料框放入淬火炉中，温度为1015度，保温时间为4.2小时，将锻件放到淬火料框内，通过吊具将淬火料框放入淬火炉中进行淬火；
9)然后将淬火料框放入油箱中进行快速冷却，直至锻件冷却至室温后取出，将淬火料框从淬火炉中吊出，放入油箱中进行冷却；
10)淬火后的锻件连同淬火料框放入时效炉，加热温度为885度，保持时间4小时，保温结束，将淬火料框取出并进行755度空冷至室温，对锻件进行加热然后进行空冷，完成锻造操作。
实施例三：
一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，包括以下步骤：
1)选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗，除去不锈钢420J1胚料外面的杂质；
2)将清洗后的不锈钢420J1截取60厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为1100度，保温20分钟，配合电弧炉进行加热处理不锈钢420J1；
3)进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的36％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时，重复3-5次对不锈钢420J1拔长操作，进行高温锻造；
4)锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入1000度的加热炉，固溶处理1.5小时，对锻造好的不锈钢420J1进行空冷，降温定形修整边角和多余材料；
5)将锻造模具预热，温度为900度，预热锻造模具，为后续的锻造做好准备；
6)然后将胚料在室温中下降至600度时，将胚料放入1100吨液压压力机下的锻造模具中，锻打一次成型，形成锻件，将胚料降温后，进行对胚料锻造成型，使得掩膜板支架锻造成型；
7)对所得锻件表面进行处理，经过切边，截断以及打磨、抛光、电镀对锻件进行处理；
8)将锻件放入淬火料框内，然后将淬火料框放入淬火炉中，温度为1050度，保温时间为6小时，将锻件放到淬火料框内，通过吊具将淬火料框放入淬火炉中进行淬火；
9)然后将淬火料框放入油箱中进行快速冷却，直至锻件冷却至室温后取出，将淬火料框从淬火炉中吊出，放入油箱中进行冷却；
10)淬火后的锻件连同淬火料框放入时效炉，加热温度为900度，保持时间5小时，保温结束，将淬火料框取出并进行780度空冷至室温，对锻件进行加热然后进行空冷，完成锻造操作。
综上所述：在对掩膜板支架420J1进行锻造时，选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗，除去不锈钢420J1胚料外面的杂质，将清洗后的不锈钢420J1截取45厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为1040度，保温16分钟，配合电弧炉进行加热处理不锈钢420J1，进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的24％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时，重复3-5次对不锈钢420J1拔长操作，进行高温锻造，锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入975度的加热炉，固溶处理1.5小时，对锻造好的不锈钢420J1进行空冷，降温定形修整边角和多余材料，将锻造模具预热，温度为865度，预热锻造模具，为后续的锻造做好准备，然后将胚料在室温中下降至580度时，将胚料放入1100吨液压压力机下的锻造模具中，锻打一次成型，形成锻件，将胚料降温后，进行对胚料锻造成型，使得掩膜板支架锻造成型，对所得锻件表面进行处理，将胚料降温后，进行对胚料锻造成型，使得掩膜板支架锻造成型，将锻件放入淬火料框内，然后将淬火料框放入淬火炉中，温度为1015度，保温时间为4.2小时，将锻件放到淬火料框内，通过吊具将淬火料框放入淬火炉中进行淬火，然后将淬火料框放入油箱中进行快速冷却，直至锻件冷却至室温后取出，将淬火料框从淬火炉中吊出，放入油箱中进行冷却，淬火后的锻件连同淬火料框放入时效炉，加热温度为885度，保持时间4小时，保温结束，将淬火料框取出并进行755度空冷至室温，对锻件进行加热然后进行空冷，完成锻造操作，对掩膜板支架420J1的锻造质量和性能比较好。
本发明的有益效果是：通过不锈钢420J1材料经过丙酮清洗，在进行加工配合电弧炉进行锻造，420J1不锈钢淬火后硬度高，耐蚀性好有磁性，进行在油中淬火，使得420J1不锈钢的硬度提高，使用1000度加热淬火得到较好的组织和硬度，降低生产难度，加快掩膜板支架420J1的锻造速度，使掩膜板支架的质量得到较大的提高，通过掩膜板支架420J1的使用，经过对锻件表面进行切边，截断、打磨、抛光、电镀处理，使得掩膜板支架在进行对微电子或电器元件进行组装和使用时，都比较方便灵活，锻造过程比较简单，缩短掩膜板支架的加工周期，降低生产成本，锻造后的产品力学性能比铸造产品近提高一倍。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，其特征在于，包括以下步骤：
1)选用不锈钢420J1胚料，用丙酮清洗；
2)将清洗后的不锈钢420J1截取30-60厘米，放入电弧炉中进行加热，电弧炉内的温度为980-1100度，保温12-20分钟；
3)进行对截取不锈钢420J1开坯锻造，拔长形变量控制在原胚料的12％-36％，送入1000度的加热炉固溶处理1小时；
4)锻造好的胚料进行空冷，修整后，送入950-1000度的加热炉，固溶处理1.5小时；
5)将锻造模具预热，温度为830-900度；
6)然后将胚料在室温中下降至560-600度时，将胚料放入1100吨液压压力机下的锻造模具中，锻打一次成型，形成锻件；
7)对所得锻件表面进行处理；
8)将锻件放入淬火料框内，然后将淬火料框放入淬火炉中，温度为980-1050度，保温时间为2.5-6小时；
9)然后将淬火料框放入油箱中进行快速冷却，直至锻件冷却至室温后取出；
10)淬火后的锻件连同淬火料框放入时效炉，加热温度为870-900度，保持时间3-5小时，保温结束，将淬火料框取出并进行730-780度空冷至室温。
2.根据权利要求1所述的一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，其特征在于，所述胚料表面件切边，截断处理。
3.根据权利要求1所述的一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，其特征在于，所述对锻件进行打磨、抛光、电镀处理。
4.根据权利要求1所述的一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，其特征在于，所述淬火中常用的淬火剂有：水、油、碱水、盐类溶液等。
5.根据权利要求1所述的一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，其特征在于，所述丙酮分子式为C3H6O，又名二甲基酮，为最简单的饱和酮，对不锈钢420J1胚料进行清洗。
6.根据权利要求1所述的一种专用于掩膜板支架420J1的锻造工艺，其特征在于，所述淬火料框为普通的A3钢。
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