CN111627811A - 一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，属于半导体技术领域，具体涉及钽酸锂晶体微图形化，以解决各层材料间应力较大使图案易被破坏的问题，包括：在光刻胶表面依次镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜；用剥离法在钽酸锂基底表面制备出金属掩膜图案；采用氟基等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底进行反应离子刻蚀；采用氩等离子体对钽酸锂基底进行30s‑2min物理轰击，以去除在样品表面形成的氟化锂和氟化钽酸盐等高沸点难挥发性物质；重复上述刻蚀步骤，直至完成钽酸锂基底的微图形化。在钽酸锂基底上制作微米级深度的图形，同时达到图形的侧壁倾角大，沟槽表面光滑的目的，得到较高的金属掩膜的选择比，刻蚀深度较深。

Description

一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法
技术领域
一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，本发明属于半导体技术领域，具体涉及钽酸锂晶体微图形化的方法。
背景技术
钽酸锂(Lithium tantalate，LiTaO3)是一种重要的铁电材料，钽酸锂晶体以其优异的各项性能，如压电，光电，热释电性能等，已经在通信，军事，电力，天文，传感器等领域中发挥着重要作用，逐渐成为国内外的研究人员争相研究的内容，而在利用这种晶体制造各种光电，热释电器件的过程中，需要对其进行微图形化以形成各种不同形状的表面图形，因此钽酸锂的微图形化技术显得尤为重要。
微图形化的工艺中，反应离子刻蚀是最关键的一步，传统刻蚀方法有湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀对材料的刻蚀方向没有选择性，是一种方向不可控的各向同性的刻蚀方法，无法完成器件所需要的钽酸锂的微图形化。干法刻蚀有很多种，如常用的激光微加工，离子束刻蚀，反应离子刻蚀等。目前在刻蚀钽酸锂的过程中由于各层材料间应力较大使得图案容易被破坏，因此无法在钽酸锂基底制作微米级深度的图形，此外，现有的氟基等离子刻蚀钽酸锂时表面会再沉积氟化锂和氟化钽酸盐等难挥发性物质使得刻蚀速度很慢。
发明内容
本发明的目的在于：提供一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，以解决上述各层材料间应力较大使得图案容易被破坏的问题。
本发明采用的技术方案如下：
一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，包括如下步骤：
(1)清洗钽酸锂基底；
(2)在钽酸锂基底上涂光刻胶，曝光和显影，得到图形化的光刻胶；
(3)在光刻胶表面依次镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜；
(4)用剥离法在钽酸锂基底表面制备出金属掩膜图案；
(5)采用氟基等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底进行1-5min反应离子刻蚀，以刻蚀钽酸锂；
(6)采用氩等离子体对钽酸锂基底进行30s-2min物理轰击，以去除在样品表面形成的氟化锂和氟化钽酸盐等高沸点难挥发性物质；
(7)重复步骤(5)和(6)，重复次数为1-4次，直至刻蚀结束；
(8)用硝酸铈铵清洗，去除掉基底表面上残存的Cr金属，得微图形化完成的基底，硝酸铈铵的浓度为1.4g/ml。
本申请的技术方案中，光刻工艺流程简单，容易制作，采用了镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜两层金属镀膜，Ti金属掩膜的粘附性好，更容易实现磁控溅射镀膜工艺，同时也使得Cr金属掩膜的Cr金属更好更容易的附着在Ti金属掩膜上，还可以增加金属掩膜层总体厚度从而提高金属掩膜层的掩蔽能力从而在刻蚀中提高钽酸锂基底的最大刻蚀深度，能够根据后期的需求灵活的选取刻蚀深度、实现在钽酸锂晶体表面制作更多种类图形，Ti金属掩膜还可以减少Cr金属掩膜与钽酸锂基底之间的表面应力，防止因为镀膜和刻蚀过程中的因为不同材料的热膨胀系数不一样从而导致的热胀冷缩而导致的金属掩膜图案变形和表面脱落或者出现裂纹的问题，此外，Cr金属在刻蚀中表现出了很好的掩蔽性，不容易被反应离子刻蚀，有很好的惰性，从容达到掩蔽钽酸锂的目的，在刻蚀过程中Cr金属的刻蚀速度很低，通过刻蚀金属和刻蚀钽酸锂的速率差，能够起到深度刻蚀钽酸锂的效果，从而形成较好的钽酸锂晶体表面图形，同时，Ti层金属在刻蚀结束后的残留部分也很容易通过酸性液体去除，最后可以得到干净的钽酸锂图形表面，用剥离法在钽酸锂基底表面制备出金属掩膜图案，之后采用氟基等离子体反应离子刻蚀后加氩等离子体物理轰击结合的方法，氟基气体可以实现较好的对钽酸锂表面的刻蚀，氩离子轰击可以较好的实现对上一步中表面形成的难融物质的去除，解决了氟基等离子体刻蚀过程中刻蚀停止的问题，使得钽酸锂刻蚀速度更快，实现了微米级深度图形的刻蚀，使图案侧壁倾角大，底部表面光滑。
优选的，用磁控溅射方法、电阻式蒸发方法或电子束蒸发方法镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜。
优选的，Ti金属掩膜的厚度为20-200nm。
更为优选的，Ti金属掩膜的厚度为100nm。
优选的，Cr金属掩膜的厚度为50-500nm。
更为优选的，Cr金属掩膜的厚度为300nm。
优选的，步骤(4)中采用剥离法将步骤(3)的样品置于丙酮溶液中去除光刻胶和多余金属部分，得到有图案的金属掩膜。
优选的，步骤(5)中氟基等离子体的刻蚀的流量为50sccm。
优选的，步骤(5)中采用氟基等离子体与Ar等离子体的混合气体刻蚀，氟基等离子体与Ar等离子体的流量比为50sccm：50sccm。
优选的，氟基等离子体包括CHF3，CF4或SF6。
优选的，步骤(5)中采用氟基等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底进行3min反应离子刻蚀。
优选的，采用氩等离子体对钽酸锂基底进行1min物理轰击。
本申请的技术方案中，刻蚀过程中的工艺参数为，ICP功率：1500w；DRIE功率：150w；腔室压力：10mtorr。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
1、本发明中，采用了镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜两层金属镀膜，Ti金属掩膜的粘附性好，更容易实现磁控溅射镀膜工艺，同时也使得Cr金属掩膜的Cr金属更好更容易的附着在Ti金属掩膜上，还可以增加金属掩膜层总体厚度从而提高金属掩膜层的掩蔽能力从而在刻蚀中提高钽酸锂基底的最大刻蚀深度，能够根据后期的需求灵活的选取刻蚀深度、实现在钽酸锂晶体表面制作更多种类图形，Ti金属掩膜还可以减少Cr金属掩膜与钽酸锂基底之间的表面应力，防止因为镀膜和刻蚀过程中的因为不同材料的热膨胀系数不一样从而导致的热胀冷缩而导致的金属掩膜图案变形和表面脱落或者出现裂纹的问题，此外，Cr金属在刻蚀中表现出了很好的掩蔽性，不容易被反应离子刻蚀，有很好的惰性，从容达到掩蔽钽酸锂的目的，在刻蚀过程中Cr金属的刻蚀速度很低，通过刻蚀金属和刻蚀钽酸锂的速率差，能够起到深度刻蚀钽酸锂的效果，从而形成较好的钽酸锂晶体表面图形，同时，Ti层金属在刻蚀结束后的残留部分也很容易通过酸性液体去除，最后可以得到干净的钽酸锂图形表面，解决了各层材料间应力较大使得图案容易被破坏的问题，使得在钽酸锂基底上制作微米级深度的图形成为可能，同时达到图形的侧壁倾角大，沟槽表面光滑的目的，并且金属掩膜的选择比高，刻蚀深度较深；
2、本发明中，之后采用氟基等离子体反应离子刻蚀后加氩等离子体物理轰击结合的方法，氟基气体可以实现较好的对钽酸锂表面的刻蚀，氩离子轰击可以较好的实现对上一步中表面形成的难融物质的去除，解决了氟基等离子体刻蚀过程中刻蚀停止的问题，使得钽酸锂刻蚀速度更快，实现了微米级深度图形的刻蚀，使图案侧壁倾角大，底部表面光滑；
3、提高钽酸锂的刻蚀速率，使得微米级深度的图案制作成为可能；
4、可以得到更大的选择比，简化实验流程；
5、实现图形的不失真转移；
6、实现刻蚀后的图案侧壁倾角更大，底部表面更加平整光滑。
附图说明
图1为本发明钽酸锂基底、覆盖光刻胶及镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜后的结构示意图；
图2为将图1中钽酸锂基底进行剥离后得到的具有Ti金属掩膜和Cr金属掩膜图案的钽酸锂基底结构示意图；
图3为刻蚀结束后微图形化的结构示意图；
图4为除去残余Ti金属最终的微图形化的结构示意图。
图中标记：1-钽酸锂基底，2-光刻胶，3-Ti金属掩膜，4-Cr金属掩膜。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例1
一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，包括如下步骤：
(1)清洗钽酸锂基底1；
(2)在钽酸锂基底1上涂光刻胶2，曝光和显影，得到图形化的光刻胶2；
(3)在光刻胶2表面用磁控溅射方法依次镀Ti金属掩膜3和Cr金属掩膜4，Ti金属掩膜3的厚度为100nm，Cr金属掩膜4的厚度为300nm；
(4)采用剥离法将步骤(3)的样品置于丙酮溶液中去除光刻胶2和多余金属部分，得到有图案的金属掩膜；
(5)采用CHF3等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底1进行3min反应离子刻蚀，氟基等离子体的刻蚀的流量为50sccm；
(6)采用氩等离子体对钽酸锂基底1进行1min物理轰击，Ar物理轰击时的流量为50sccm；
(7)重复步骤(5)和(6)，直至刻蚀结束，重复3次，总耗时12min；
(8)用硝酸铈铵清洗，酸铈铵的浓度为1.4g/ml，得微图形化完成的基底。
本实施例制得了深度为1μm的沟槽图案。
实施例2
在实施例1的基础上，步骤(2)中Ti金属掩膜3的厚度为20nm，Cr金属掩膜4的厚度为50nm；步骤(5)中采用CHF3与Ar等离子体的流量比为50sccm∶50sccm对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底1进行1min反应离子刻蚀；步骤(6)中采用氩等离子体对钽酸锂基底1进行30s物理轰击，Ar物理轰击时的流量为50sccm，重复1次，总耗时1.5min；其余步骤同实施例1。
本实施例制得了深度为400nm的沟槽图案。
实施例3
在实施例1的基础上，在实施例1的基础上，步骤(2)中Ti金属掩膜3的厚度为200nm，Cr金属掩膜4的厚度为500nm；步骤(5)中采用CF4与Ar等离子体的流量比为50sccm：50sccm对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底1进行5min反应离子刻蚀；步骤(6)中采用氩等离子体对钽酸锂基底1进行2min物理轰击，Ar物理轰击时的流量为50sccm，重复四次，总耗时28min；其余步骤同实施例1。
本实施例制得了深度为1.3μm的沟槽图案。
实施例4
在实施例1的基础上，在实施例1的基础上，步骤(2)中Ti金属掩膜3的厚度为100nm，Cr金属掩膜4的厚度为300nm；步骤(5)中采用SF6与Ar等离子体的流量比为50sccm∶50sccm对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底1进行4min反应离子刻蚀；步骤(6)中采用氩等离子体对钽酸锂基底1进行1min物理轰击，Ar物理轰击时的流量为50sccm，重复次数为2次，总耗时10min；其余步骤同实施例1。
本实施例制得了深度为1.2μm的沟槽图案。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)清洗钽酸锂基底；
(2)在钽酸锂基底上涂光刻胶，曝光和显影，得到图形化的光刻胶；
(3)在光刻胶表面依次镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜；
(4)用剥离法在钽酸锂基底表面制备出金属掩膜图案；
(5)采用氟基等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底进行1-5min反应离子刻蚀；
(6)采用氩等离子体对钽酸锂基底进行30s-2min物理轰击；
(7)重复步骤(5)和(6)，重复次数为1-4次，直至刻蚀结束；
(8)用硝酸铈铵清洗，得微图形化完成的基底。
2.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，用磁控溅射方法、电阻式蒸发方法或电子束蒸发方法镀Ti金属掩膜和Cr金属掩膜。
3.根据权利要求2所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，Ti金属掩膜的厚度为20-200nm。
4.根据权利要求2所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，Cr金属掩膜的厚度为50-500nm。
5.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，步骤(4)中采用剥离法将步骤(3)的样品置于丙酮溶液中去除光刻胶和多余金属部分，得到有图案的金属掩膜。
6.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，步骤(5)中氟基等离子体的刻蚀的流量为50sccm。
7.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，步骤(5)中采用氟基等离子体与Ar等离子体的混合气体刻蚀，氟基等离子体与Ar等离子体的流量比为50sccm:50sccm。
8.根据权利要求6或7所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，氟基等离子体包括CHF3，CF4或SF6。
9.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，步骤(5)中采用氟基等离子体对制备出金属掩膜图案的钽酸锂基底进行3min反应离子刻蚀。
10.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的钽酸锂微图形化方法，其特征在于，采用氩等离子体对钽酸锂基底进行1min物理轰击。
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