CN111612862A - 一种sraf图像的生成方法、系统及其电子装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造的光刻领域，特别涉及一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。所述SRAF图像生成方法包括：分析待处理版图中各边的对称性信息，基于具有对称性的边进行分组；根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组边的SRAF点生成范围；设定SRAF点之间的间隔距离，以间隔距离生成SRAF点，并标记其所属的父边及对应SRAF点的标签；保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及结合SRAF点及SRAF图像生成算法生成SRAF图像。通过SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置可有效解决现有方法生成的SRAF图像不能维持版图对称性的问题。

Description

一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置

【技术领域】

本发明涉及半导体制造的光刻领域，特别涉及一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。

【背景技术】

光刻工艺是现有大规模集成电路制造过程中最重要的工艺，即通过光刻机将掩模上集成电路的设计图形转移到硅片上的重要手段。掩模上集成电路设计图形通过光刻机的投影物镜在硅片上成像时，由于掩模上图形特征尺寸的较小，光的衍射现象显著。当某些高阶衍射光因投影物镜光学系统孔径限制无法参与成像时，在硅片上的成像将产生变形和图形无法分辨的现象。这一现象被称为光学邻近效应OPE(Optical Proximity Effect)。为提高成像分辨率和成像质量，人们可以通过对掩模上图形进行优化实现对上述光学邻近效应的校正即OPC(Optical Proximity Correction)。

一种传统的补偿方案是将次分辨率辅助特征SRAF(Sub-Resolution AssistFeatures)添加到掩模的图案。用于确定SRAF在光掩模上的放置方法包括基于规则的方法和基于模型的方法。在基于模型的方法中，需要提前放置一些点作为“种子”，用来辅助生成SRAF图像。我们将这些点称为SRAF点。然而，当前的方法中并未考虑图形的对称性，这使得生成的SRAF图像不能维持版图中的对称性。

因此，亟待提供一种可以维持版图的SRAF图像的生成方案。

【发明内容】

为解决现有方法生成的SRAF图像不能维持版图中原有对称性的技术问题，本发明提供一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。

本发明为解决上述技术问题提供以下技术方案：一种SRAF图像生成方法，提供一待处理版图，所述SRAF图像生成方法包括如下步骤：步骤S1：分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；步骤S2：以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；步骤S3：设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；步骤S4，获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及步骤S5：

对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。

优选地，所述对称性包括轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称中任一种或多种组合。

优选地，所述SRAF点范围划定规则包括：设定到所述对称性的边的最大距离c1和最小距离c2，将到所述对称性的边的距离小于最大距离c1且大于最小距离c2的区域定义为SRAF点生成范围；将到所述对称性的边的距离小于最小距离c2的区域定义为禁区。

优选地，上述步骤S3进一步包括：步骤S31：设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；步骤S32：判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则执行步骤S33，若否，则执行步骤S34；步骤S33：舍弃所选定的SRAF点；及步骤S34：保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。

优选地，上述步骤S4进一步包括：步骤S41：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；步骤S42：获取具有父边以及邻近边的SRAF点，进一步获得对应SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；步骤S43：判断步骤S42中对应的SRAF点到父边距离是否大于到邻近边距离，若是，执行步骤S44，若否，执行步骤S45；步骤S44：舍弃到父边距离大于到邻近边距离的SRAF点；及步骤S45：保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点。

优选地，在上述步骤S42中，所述每个SRAF点对应一条父边及至少一条邻近边；或所述每个SRAF点仅对应一条父边。

本发明为解决上述技术问题提供以下技术方案：一种SRAF图像生成系统，包括：对称边分组模块：配置用于分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；SRAF点的范围设定模块：配置用于以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；SRAF点父边归属模块：配置用于设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；SRAF点筛选模块：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点，针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和对应的SRAF点到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及SRAF图像生成模块：配置用于对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。

优选地，所述SRAF点父边归属模块包括：SRAF点生成模块：配置用于设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；及SRAF点位置判断模块：配置用于判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则舍弃所选定的SRAF点，若否，则保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。

优选地，所述SRAF点筛选模块包括：邻近边状态获取模块：配置用于获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；距离获取模块：配置用于基于既有父边又有邻近边的SRAF点，获取对应的SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；及距离判断模块：配置用于判断对应的SRAF点到父边距离是否大于到邻近边距离，若是，则舍弃对应的SRAF点，若否，则保留对应的SRAF点。

本发明为解决上述技术问题提供以下技术方案：一种电子装置，包括存储单元及一个或多个处理单元，所述存储单元用于存储一个或多个程序；当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理单元执行，使得所述一个或多个处理单元实现上述任一项所述的SRAF图像生成方法。

与现有技术相比，本发明提供的SRAF图像生成方法，是基于版图中各组具有相同对称性的边设置合适的SRAF点，并基于所述SRAF点生成SRAF图像；与现有的SRAF图像生成方法相比，本发明所提供的方法以具体版图的对称性为依据生成，先获得对应的可能生成SRAF点范围，并在该SRAF点范围内生成匹配的SRAF点，进一步地，在SRAF点进行判断处理后，基于SRAF图像生成算法，进一步生成SRAF图像。基于上述方法所获得的所述SRAF图像的对称性精度高，而且可有效维持原版图对称性。

本发明提供的SRAF图像生成方法中根据版图信息确定对称性，可适用于多种版图对称形式，如轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称等，具有灵活性和广泛的适用性，可解决多种版图的对称性的问题。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过SRAF点范围划定规则的限定可进一步限定SRAF点的范围；进一步地，通过基于距离的大小设定所述对称性的边的区域范围，从而获得对应的所述对称性的边的禁区，从而可在保证生成SRAF图像的准确度及对称性的同时，可使所述SRAF图像生成方法适用于多种版图中。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过设定各SRAF点的间隔距离，并去除不符合要求的SRAF点，仅保留在各SRAF点的之内且在禁区范围之外的可确保在所述SRAF点的范围内生成的SRAF点相对位置的一致性，便于后期生成SRAF图像更加精确，满足光刻表现的需求。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过标记各SRAF点所述的父边，有邻近边的标记邻近边，并比较特定SRAF点到父边距离和该对应的SRAF点相邻近边距离的大小进一步筛选SRAF点，可有效去除SRAF点范围重合区域的点，确保生成的SRAF图像信息的准确性。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过标记每个SRAF点的标签，并对具有相同标签的SRAF点进行相同的运算，相同标签的SRAF点在生成SRAF图像过程中产生的影响大小相同，进而保证对应位置生成的SRAF图像相同。

通过本发明提供的一种SRAF图像生成系统及其电子装置，所述SRAF图像生成系统及其电子装置具有与上述SRAF图像生成方法相同的有益效果，在此不再赘述。

【附图说明】

图1是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法的步骤流程示意图；

图2是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之基于具有对称性的边进行分组的步骤流程示意图；

图3是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之待处理版图的结构示意图；

图4是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之另一待处理版图的结构示意图；

图5是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之待处理版图中SRAF点范围的结构示意图；

图6是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点生成及标记其所属的父边的步骤流程示意图；

图7是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点的分布示意图一；

图8是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点筛选过程的步骤流程示意图；

图9是图7中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点的分布示意图一中O处所示放大示意图；

图10是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点的分布示意图二；

图11是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF图像示意图；

图12是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统的框架结构示意图；

图13是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统之对称边分组模块的框架结构示意图；

图14是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统之SRAF点父边归属模块的框架结构示意图；

图15是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统之SRAF点筛选模块的框架结构示意图；

图16是本发明第三实施例中提供的提供一种电子装置的框架结构示意图。

附图标识：

11、禁区；c1、最大距离；c2、最小距离；101、位于A区和E区叠加区域的SRAF点；102、位于E区的SRAF点；104、基于对称性的边h生成的SRAF点一；105、基于对称性的边h生成的SRAF点二；20、SRAF图像的生成系统；21、对称边分组模块；22、SRAF点的范围设定模块；23、SRAF点父边归属模块；24、SRAF点筛选模块；25、SRAF图像生成模块；211、版图获取模块；212、对称规则制定模块；213、分组模块；231、SRAF点生成模块；232、SRAF点位置判断模块232；241、邻近边状态获取模块；242、距离获取模块；243、距离判断模块；

40、电子装置；41、存储单元；42、处理单元。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明提供一种SRAF图像的生成方法，适用于解决半导体制造的光刻领域中，具有对称性版图的SRAF图像生成问题。

请参阅图1，本发明的一种SRAF图像的生成方法S10，以提供的待处理版图进行说明，具体包括如下步骤：

步骤S1：分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；其中，所述待处理版图中边为构成版图中图形的边缘，在一些具体实施例中，版图中的每一个图形可由多个边围合而形成。

步骤S2：以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；

步骤S3：设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；

步骤S4，获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及

步骤S5：对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。

其中，在上述步骤中，所述父边为形成SRAF点所在的SRAF点范围对应的边；所述邻近边为与选定的SRAF点所在的SRAF点所在的范围具有相交的SRAF点的范围的边。

每个基于相同对称性的边的分组中，基于具有相同对称性的边生成的SRAF点的位置满足对称性，对所述位置满足对称性的SRAF点标记相同的标签。

具有相同的标签的SRAF点在生成SRAF图像过程中，会经历相同的运算，且产生的影响大小相同，进而保证对应位置生成的SRAF图像相同。所述标签可理解为SRAF点的编号，具有相同标签的SRAF点的编号相同。

如图2所示，在本发明一些实施方式中，上述步骤S1：分析待处理版图中各边的对称性信息，基于具有对称性的边进行分组，进一步包括如下步骤：

步骤S11：获得待处理版图的信息，所述待处理版图中至少包括一组相同对称性的边；

步骤S12：基于待处理版图中各边的对称性信息确定所述待处理版图的对称规则；及

步骤S13：将满足对称规则的边进行分组。

为了更好的解释本发明的所保护的内容，提供一待处理版图，所述待处理版图的边满足对称规则，所述对称规则包括轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称中任一种或多种组合。

上述步骤S12中，基于待处理版图中各边的对称性信息确定所述待处理版图的对称规则时，应当遵循使所述待处理版图包含尽量多组满足对称信息的边。

请参阅图3，本发明的第一实施例提供一待处理版图，以此待处理版图为例进行说明。所述待处理版图包括8组对称性的边，且8组对称性的边满足垂直对称规则。基于满足垂直对称规则的边进行分组，将属于同一组的边，标记为相同的字母或数字。具体地，如图3所示，所述待处理版图中8组对称性的边分别标记为a、b、c、d、e、f、g和h。

如图4所示，本发明的其他实施方式中提供的待处理版图，其中包括3组具有相同对称性信息的边，所述对称性信息的边满足以等腰三角形角平分线处为对称轴对称规则。其中，以字母b和c标记分组的相同对称边有两条，以字母a标记分组的对称边仅有一条，且此边以等腰三角形角平分线处为对称轴呈自我对称。需要特别说明的是，如上述例子中所述，轴对称所基于的对称轴是可根据实际需求做调整的。以轴对称为例，所述对称性是指以这条边观察，一定范围内周围情况相同。所述周围情况包括：判断对称性的边的长度、宽度、与该边相邻的两条边的平形或相交情况等。

本发明的其他实施例中提供的待处理版图可包括1组、5组或10组等对称性的边，所述对称性的边满足轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称中任一种或多种组合的对称规则。具体符合对称规则的具有相同对称性信息的边的组合的数量不受限制。

在步骤S2中，所述的以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；范围具体可做如下的说明：

如图5所示，所述SRAF点范围划定规则包括：设定到所述对称性的边的最大距离c1和最小距离c2，将到所述对称性的边的距离小于最大距离c1且大于最小距离c2的区域定义为SRAF点生成范围；将到所述对称性的边的距离小于最小距离c2的区域定义为禁区11。

为了更进一步对所述SRAF点范围划定规则进行说明，本发明提供如下例子：

请继续参阅图5，归属于各对称性的边a、b、c、d、e、f、g及h的SRAF点的范围分别为A、B、C、D、E、F、G及H区域。具体地，到所述对称性的边的最大距离为150nm，到所述对称性的边的最小距离为50nm；因此，所述归属于各对称性的边a、b、c、d、e、f、g及h的SRAF点的范围宽度大于50nm小于150nm。在如图5所示的待处理图像中，到所述对称性的边两端的临界距离通过将各边对应的对角线的延长线分别与最大距离、最小距离的相交处作为限定。

本发明的其他实施例中，到所述对称性的边两端的最大距离和最小距离可通过其他方式限定，例如通过限定到所述对称性的边两端的最大距离和最小距离的具体数值等。

请继续参阅图5，到所述对称性的边a、b、c、d、e、f、g及h的距离小于最小距离的组成的区域为禁区11。所述禁区11内不设置SRAF点。

如图6所示，步骤S3：预设SRAF点之间的间隔距离，在所述SRAF点的范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边和邻近边；进一步包括：

步骤S31：设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；

步骤S32：判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则执行步骤S33，若否，则执行步骤S34；

步骤S33：舍弃所选定的SRAF点；及

步骤S34：保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。

其中，步骤S32中选定的SRAF点并对其进行判断可采取逐一选取方式，可也采取其他方式进行。

如图7所示，在在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点。当待处理版图中相邻的两边位置较近时，各边对应的SRAF点的范围会发生重叠，甚至进入其他边的禁区11。此时需要舍弃位于禁区11内的SRAF点。

请继续参阅图7，在本实施例中，位于A区的SRAF点对应的父边为a，对应的邻近边为e；位于B区的SRAF点对应的父边为b，对应的邻近边为f；位于E区的SRAF点对应的父边为e，对应的邻近边为a；位于F区的SRAF点对应的父边为f，对应的邻近边为b。

关于在A区域和E区域的重叠区域分部的SRAF点，则按其所归属区域进行父边和邻近边的划分。

对于位于D区、H区、G区及C区的SRAF点仅有父边，并不存在邻近边，对应的父边分别为d、h、g及c。

基于对称性的边h生成的SRAF点一104和基于对称性的边h生成的SRAF点二105，是基于具有相同对称性边h生成的SRAF点，基于对称性的边h生成的SRAF点一104和基于对称性的边h生成的SRAF点二105的位置满足对称性，且具有相同的标签。

结合图8与图9中所示，本发明步骤S4所述的获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；进一步包括：

步骤S41：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；

步骤S42：获取具有父边以及邻近边的SRAF点，进一步获得对应SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；

步骤S43：判断步骤S42中对应的SRAF点到父边距离是否大于对应的SRAF点到邻近边距离，若是，执行步骤S44，若否，执行步骤S45；

步骤S44：舍弃到父边距离大于到邻近边距离的SRAF点；

步骤S45：保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点。

所述每个SRAF点对应一条父边及至少一条邻近边；或所述每个SRAF点仅对应一条父边。

比较每个SRAF点到父边和到邻近边的距离的操作中，可采取逐一选择SRAF点的方式，也可采取其他方式选择SRAF点。

具体地，以如图9所示的SRAF点101和SRAF点102筛选过程进行说明。位于A区和E区叠加区域的SRAF点101位于A区和E区的重叠区域，但其是属于A区的点，因此，所述SRAF点的父边为a，邻近边为e。

所述位于A区和E区叠加区域的SRAF点101到父边a的距离为d1，所述位于A区和E区叠加区域的SRAF点101到邻近边e的距离为d2，由于d1大于d2，舍弃所述位于A区和E区叠加区域的SRAF点101。

位于E区的SRAF点102，其对应的父边为e，对应的邻近边为a，所述位于E区的SRAF点102到父边e的距离为d3，所述位于E区的SRAF点102到邻近边a的距离为d4，d3小于d4，保留所述SRAF点102。

本实施例中，SRAF点到父边的距离可以是SRAF点到父边的距离垂直距离，即SRAF点到其在父边的正投影处的连线距离，如图9中d3所示；当SRAF点在父边的正投影超出父边对应端点时，所述SRAF点到父边的距离为SRAF点到所述父边对应端点的连线距离，如图9中d1所示。

SRAF点到邻近边的距离与SRAF点到父边的距离类似，在此不做赘述。

或SRAF点邻近边的距离中

通过上述步骤筛选每个SRAF点，最终生成如图10所示的SRAF点的分布图。

基于如图10所示的步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成如图11所示的对称的SRAF图像。其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。

所述运算包括进行基于SRAF点生成SRAF图像需要经历的所有运算，其包括运用相应的SRAF点生成算法等将SRAF点生成对称的SRAF图像。

通过本发明提供的SRAF图像的生成方法，基于版图中各组对称性的边放置合适的SRAF点，并基于所述SRAF点生成SRAF图像，可有效解决现有SRAF图像生成过程中，不能维持原版图对称性的问题。

请参阅图12所示，本发明的第二实施例提供一种SRAF图像的生成系统20，包括：

对称边分组模块21：配置用于分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；

SRAF点的范围设定模块22：配置用于以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；

SRAF点父边归属模块23：配置用于设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；

SRAF点筛选模块24：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点，针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和对应的SRAF点到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及

SRAF图像生成模块25：配置用于结合步骤S4中所保留的SRAF点，并对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行相同的运算，生成SRAF图像。

如图13所示，所述对称边分组模块21进一步包括：

版图获取模块211：配置用于获得待处理版图的信息，所述待处理版图中至少包括一组对称性的边；

对称规则制定模块212：配置用于基于待处理版图中各边的对称性信息确定所述待处理版图的对称规则；及

分组模块213：配置用于将满足对称规则的边进行分组。

如图14所示，所述SRAF点父边归属模块23进一步包括：

SRAF点生成模块231：配置用于设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；及

SRAF点位置判断模块232：配置用于判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则舍弃所选定的SRAF点，若否，则保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。

如图15所示，所述SRAF点筛选模块24进一步包括：

邻近边状态获取模块241：配置用于获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；

距离获取模块242：配置用于基于既有父边又有邻近边的SRAF点，获取对应的SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；

距离判断模块243：配置用于判断对应的SRAF点到父边距离是否大于到邻近边距离，若是，则舍弃对应的SRAF点，若否，则保留对应的SRAF点。

本发明提供的SRAF图像的生成系统20具有SRAF图像的生成方法相同的有益效果，因此不做赘述。

如图16所示，本发明的第三实施例提供一电子装置40，包括存储单元41及一个或多个处理单元42，所述存储单元41用于存储一个或多个程序；当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理单元42执行，使得所述一个或多个处理单元42实现所述重量估算方法。

本实施例提供的电子装置40包括硬件或软件。当电子装置为硬件时，可以是支持SRAF图像的各种电子设备，包括但不限于掩模制造设备、光刻设备。在一些特别的实施例中，所述电子装置40还可为智能光刻设备。

当电子装置40为软件时，可以安装在上述所列举的电子设备中。其可以实现成多个软件或软件模块(例如用来提供分布式服务的多个软件或软件模块)，也可以实现成单个软件或软件模块，在此不做具体限定。

特别地，根据本发明所公开的实施例，上文参考流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。

例如，本公开的实施例包括一种计算机程序产品，其包括承载在计算机可读介质上的计算机程序，该计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。需要说明的是，本申请所述的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。

服务器可以是提供各种服务的服务器，例如对SRAF图像的生成提供支持的后台处理服务器。

计算机可读存储介质例如可以是但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

在本申请中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本申请中，计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。

计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。可以以一种或多种程序设计语言或其组合来编写用于执行本申请的操作的计算机程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言，诸如Java、Smalltalk、C++，还包括常规的过程式程序设计语言，诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。

在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络，包括局域网(LAN)或广域网(WAN)连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。

也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。描述于本申请实施例中所涉及到的模块可以通过软件的方式实现，也可以通过硬件的方式来实现。

所描述的模块也可以设置在处理器中，例如，可以描述为：一种处理器包括对称边分组模块、SRAF点的范围设定模块、SRAF点父边归属模块、SRAF点筛选模块及、SRAF图像生成模块。其中，这些模块的名称在某种情况下并不构成对该模块本身的限定，例如，对称边分组模块还可以被描述为“配置用于分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；的模块”等。

作为另一方面，本申请还提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质可以是上述实施例中描述的系统或设备中所包含的；也可以是单独存在，而未装配入该系统或设备中。

上述计算机可读介质承载有一个或者多个程序，当上述一个或者多个程序被该系统或设备执行时，使得该系统或设备：分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及结合步骤S4中所保留的SRAF点，并对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行相同的运算，生成SRAF图像。

与现有技术相比，本发明提供的SRAF图像生成方法，是基于版图中各组具有相同对称性的边设置合适的SRAF点，并基于所述SRAF点生成SRAF图像；与现有的SRAF图像生成方法相比，本发明所提供的方法以具体版图的对称性为依据生成，先获得对应的可能生成SRAF点范围，并在该SRAF点范围内生成匹配的SRAF点，进一步地，在SRAF点进行判断处理后，基于SRAF图像生成算法，进一步生成SRAF图像。基于上述方法所获得的所述SRAF图像的对称性精度高，而且可有效维持原版图对称性。

本发明提供的SRAF图像生成方法中根据版图信息确定对称性，可适用于多种版图对称形式，如轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称等，具有灵活性和广泛的适用性，可解决多种版图的对称性的问题。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过SRAF点范围划定规则的限定可进一步限定SRAF点的范围；进一步地，通过基于距离的大小设定所述对称性的边的区域范围，从而获得对应的所述对称性的边的禁区，从而可在保证生成SRAF图像的准确度及对称性的同时，可使所述SRAF图像生成方法适用于多种版图中。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过设定各SRAF点的间隔距离，并去除不符合要求的SRAF点，仅保留在各SRAF点的之内且在禁区范围之外的可确保在所述SRAF点的范围内生成的SRAF点相对位置的一致性，便于后期生成SRAF图像更加精确，满足光刻表现的需求。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过标记各SRAF点所述的父边，有邻近边的标记邻近边，并比较特定SRAF点到父边距离和该对应的SRAF点相邻近边距离的大小进一步筛选SRAF点，可有效去除SRAF点范围重合区域的点，确保生成的SRAF图像信息的准确性。

本发明提供的SRAF图像生成方法中通过标记每个SRAF点的标签，并对具有相同标签的SRAF点进行相同的运算，相同标签的SRAF点在生成SRAF图像过程中产生的影响大小相同，进而保证对应位置生成的SRAF图像相同。

通过本发明提供的一种SRAF图像生成系统及其电子装置，所述SRAF图像生成系统及其电子装置具有与上述SRAF图像生成方法相同的有益效果，在此不再赘述。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的原则之内所做的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种SRAF图像生成方法，其特征在于：提供一待处理版图，所述SRAF图像生成方法包括如下步骤：

步骤S1：分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；

步骤S2：以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；

步骤S3：设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；

步骤S4：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及

步骤S5：对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。

2.根据权利要求1所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：所述对称性包括轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称中任一种或多种组合。

3.根据权利要求1所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：所述SRAF点范围划定规则包括：设定到所述对称性的边的最大距离c1和最小距离c2，将到所述对称性的边的距离小于最大距离c1且大于最小距离c2的区域定义为SRAF点生成范围；将到所述对称性的边的距离小于最小距离c2的区域定义为禁区。

4.根据权利要求3所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：上述步骤S3进一步包括：

步骤S31：设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；

步骤S32：判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则执行步骤S33，若否，则执行步骤S34；

步骤S33：舍弃所选定的SRAF点；及

步骤S34：保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。

5.根据权利要求1所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：上述步骤S4进一步包括：

步骤S41：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；

步骤S42：获取具有父边以及邻近边的SRAF点，进一步获得对应SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；

步骤S43：判断步骤S42中对应的SRAF点到父边距离是否大于对应的SRAF点到邻近边距离，若是，执行步骤S44，若否，执行步骤S45；

步骤S44：舍弃到父边距离大于到邻近边距离的SRAF点；及

步骤S45：保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点。

6.根据权利要求5所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：在上述步骤S42中，所述每个SRAF点对应一条父边及至少一条邻近边；或所述每个SRAF点仅对应一条父边。

7.一种SRAF图像生成系统，其特征在于：包括：

对称边分组模块：配置用于分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；

SRAF点的范围设定模块：配置用于以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；

SRAF点父边归属模块：配置用于设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；

SRAF点筛选模块：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点，针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和对应的SRAF点到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及

SRAF图像生成模块：配置用于结合步骤S4中所保留的SRAF点，并对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行相同的运算，生成SRAF图像。

8.根据权利要求7所述的SRAF图像生成系统，其特征在于：所述SRAF点父边归属模块包括：

SRAF点生成模块：配置用于设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；及

SRAF点位置判断模块：配置用于判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则舍弃所选定的SRAF点，若否，则保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。

9.根据权利要求7所述的SRAF图像生成系统，其特征在于：所述SRAF点筛选模块包括：

邻近边状态获取模块：配置用于获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；

距离获取模块：配置用于基于既有父边又有邻近边的SRAF点，获取对应的SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；及

距离判断模块：配置用于判断对应的SRAF点到父边距离是否大于对应的SRAF点到邻近边距离，若是，则舍弃对应的SRAF点，若否，则保留对应的SRAF点。

10.一种电子装置，其特征在于：包括存储单元及一个或多个处理单元，所述存储单元用于存储一个或多个程序；当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理单元执行，使得所述一个或多个处理单元实现如权利要求1-6中任一项所述的SRAF图像生成方法。

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