CN111531572B - 物料定位夹紧装置及翻转机械手 - Google Patents

物料定位夹紧装置及翻转机械手 Download PDF

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Abstract

本发明涉及机械手技术领域,尤其涉及物料定位夹紧装置及翻转机械手,物料定位夹紧装置包括相对设置的定位组件和夹紧组件,定位组件包括定位夹爪、定位驱动件、定位传感件和调节件,夹紧组件包括夹紧夹爪、夹紧驱动件和夹紧传感件;定位夹爪用于固定物料的一侧,定位驱动件与定位夹爪连接,定位传感件用于检测物料和定位夹爪的移动位置,调节件与定位夹爪连接,用于调整定位夹爪的基准位置;夹紧夹爪用于固定物料的另一侧,夹紧驱动件与夹紧夹爪连接,夹紧传感件用于检测物料和夹紧夹爪的移动位置。定位组件先固定物料,保证物料的中心和旋转的中心位置稳定,不会发生偏移,夹紧组件后夹紧物料,保证物料不会由定位夹爪上松动脱出。

Description

物料定位夹紧装置及翻转机械手
技术领域
本发明涉及机械手技术领域,尤其涉及物料定位夹紧装置及翻转机械手。
背景技术
目前,采用机械手的自动搬运系统在半导体、太阳能、液晶面板和电子领域广泛应用,主要搬运的物料为晶圆、硅片、液晶面板等,在生产或运输过程中,有一些产品或过程检验需要将物料进行翻转,但现有的翻转装置一般是通过一个作动器来夹紧,夹紧力无法控制,无法保证翻转过程中物料的中心定位。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种物料定位夹紧装置,定位传感件和夹紧传感件分别用于实时检测定位夹爪和夹紧夹爪的移动位置,确保定位夹爪和夹紧夹爪与物料接触和固定程度,以及装置的夹紧力可以进行控制,不会造成物料过度挤压损坏或夹持不稳的问题。定位组件先固定物料,保证物料的中心和旋转的中心位置稳定,不会发生偏移,夹紧组件后夹紧物料,保证物料不会由定位夹爪上松动脱出。
本发明还提出一种翻转机械手。
根据本发明第一方面实施例的物料定位夹紧装置,包括相对设置的定位组件和夹紧组件,所述定位组件包括定位夹爪、定位驱动件、定位传感件和调节件,所述夹紧组件包括夹紧夹爪、夹紧驱动件和夹紧传感件;所述定位夹爪用于固定物料的一侧,所述定位驱动件与所述定位夹爪连接,用于驱动所述定位夹爪向所述夹紧夹爪移动,所述定位传感件用于检测所述物料和所述定位夹爪的移动位置,所述调节件与所述定位夹爪连接,用于调整所述定位夹爪的基准位置;所述夹紧夹爪用于固定所述物料的另一侧,所述夹紧驱动件与所述夹紧夹爪连接,用于驱动所述夹紧夹爪向所述定位夹爪移动,所述夹紧传感件用于检测所述物料和所述夹紧夹爪的移动位置。
根据本发明的一个实施例,还包括基座,所述定位驱动件、所述夹紧驱动件和所述调节件均设置于所述基座上。
根据本发明的一个实施例,所述定位传感件包括第一传感器和第一挡片,所述第一传感器设置于所述基座上,且位于所述定位夹爪和所述夹紧夹爪之间,所述第一挡片设置于所述定位夹爪上,且向所述第一传感器所在位置延伸。
根据本发明的一个实施例,所述定位传感件还包括第二传感器,所述定位夹爪上设有第一夹块,所述第二传感器检测所述第一夹块是否接触所述物料。
根据本发明的一个实施例,所述夹紧传感件包括第三传感器、第四传感器和第二挡片,所述第三传感器与所述第四传感器设置于所述基座上,且位于所述夹紧夹爪和所述定位夹爪之间,并沿所述夹紧夹爪靠近所述定位夹爪的方向依次设置,所述第二挡片设置于所述夹紧夹爪上,且向所述第三传感器所在位置延伸。
根据本发明的一个实施例,所述夹紧传感件还包括第五传感器,所述夹紧夹爪上设有第二夹块,所述第五传感器检测所述第二夹块是否接触所述物料。
根据本发明的一个实施例,所述定位组件还包括调节件,所述调节件与所述定位夹爪连接,用于调整所述定位夹爪的基准位置。
根据本发明的一个实施例,还包括导轨,所述导轨设置于所述基座上,所述定位夹爪和所述夹紧夹爪均设置于所述导轨上,并可沿所述导轨移动。
根据本发明的一个实施例,还包括用于检测所述物料是否达到夹紧位置的第六传感器。
根据本发明第二方面实施例的翻转机械手,包括翻转组件和上述物料定位夹紧装置,所述翻转组件包括翻转驱动件、限位件和翻转传感件,所述翻转驱动件通过基座与所述定位组件和所述夹紧组件连接,两个所述翻转传感件设置于所述翻转驱动件的两侧,所述限位件包括第一挡块和第二挡块,两个所述第一挡块分别对应两个所述翻转传感件设置于所述基座上,且分别位于所述翻转驱动件的两侧,所述第二挡块在所述第一挡块的转动轨迹上设置。
根据本发明的一个实施例,所述定位驱动件的压力大于所述夹紧驱动件的压力,在所述物料翻转过程中,所述定位夹爪处于所述夹紧夹爪的下方。
本发明实施例中的上述一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果:本发明实施例的物料定位夹紧装置,物料进入指定位置后,定位驱动件驱动定位夹爪移动,定位夹爪接触物料的一侧将其固定,并移动至调节件所调定的基准位置保持固定不动,而后,夹紧驱动件驱动夹紧夹爪移动,逐渐向定位组件移动,直至夹紧夹爪接触并夹紧物料的另一侧,由此,通过定位组件和夹紧组件实现对物料的夹紧。定位传感件和夹紧传感件分别用于实时检测定位夹爪和夹紧夹爪的移动位置,确保定位夹爪和夹紧夹爪与物料接触和固定程度,以及装置的夹紧力可以进行控制,不会造成物料过度挤压损坏或夹持不稳的问题。定位组件先固定物料,保证物料的中心和旋转的中心位置稳定,不会发生偏移,夹紧组件后夹紧物料,保证物料不会由定位夹爪上松动脱出。
除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外,本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点,将结合附图作出进一步说明,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例翻转机械手的物料定位夹紧装置的结构示意图;
图2是本发明实施例翻转机械手的翻转组件的结构示意图;
图3是本发明实施例翻转机械手的立体结构示意图。
附图标记:
1:定位组件;11:定位夹爪;12:定位驱动件;13:定位传感件;14:调节件;111:第一夹块;131:第一传感器;132:第一挡片;133:第二传感器;
2:夹紧组件;21:夹紧夹爪;22:夹紧驱动件;23:夹紧传感件;211:第二夹块;231:第三传感器;232:第四传感器;233:第二挡片;234:第五传感器;
3:导轨;
4:第六传感器;
5:翻转组件;51:翻转驱动件;52:限位件;53:翻转传感件; 521:第一挡块;522:第二挡块;511:旋转电机;512:中空轴减速器;
6:物料;
7:基座。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不能用来限制本发明的范围。
在本发明实施例的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明实施例的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。
在本发明实施例中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
如图1所示,本发明实施例提供的物料定位夹紧装置,包括相对设置的定位组件1和夹紧组件2,定位组件1包括定位夹爪11、定位驱动件12、定位传感件13和调节件14,夹紧组件2包括夹紧夹爪21、夹紧驱动件22和夹紧传感件23;定位夹爪11用于固定物料6的一侧,定位驱动件12与定位夹爪11连接,用于驱动定位夹爪11向夹紧夹爪21移动,定位传感件13用于检测物料6和定位夹爪11的移动位置,调节件14与定位夹爪11连接,用于调整定位夹爪11的基准位置;夹紧夹爪21用于固定物料6的另一侧,夹紧驱动件22与夹紧夹爪21连接,用于驱动夹紧夹爪21向定位夹爪11移动,夹紧传感件23用于检测物料6和夹紧夹爪21的移动位置。
本发明实施例的物料定位夹紧装置,物料6进入指定位置后,定位驱动件12驱动定位夹爪11移动,定位夹爪11接触物料6的一侧将其固定,并移动至调节件14所调定的基准位置保持固定不动,而后,夹紧驱动件22驱动夹紧夹爪21移动,逐渐向定位组件1移动,直至夹紧夹爪21接触并夹紧物料6的另一侧,由此,通过定位组件1和夹紧组件2实现对物料6的夹紧。定位传感件13和夹紧传感件23分别用于实时检测定位夹爪11和夹紧夹爪21的移动位置,确保定位夹爪11和夹紧夹爪21与物料6接触和固定程度,以及装置的夹紧力可以进行控制,不会造成物料6过度挤压损坏或夹持不稳的问题。定位组件1先固定物料6,保证物料6的中心和旋转的中心位置稳定,不会发生偏移,夹紧组件2后夹紧物料6,保证物料6不会由定位夹爪11上松动脱出。
本实施例中,物料6为圆形硅片。定位夹爪11与夹紧夹爪21分别位于物料6的两侧对称设置,定位夹爪11和夹紧夹爪21均分为两部分,一部分为配合硅片形状且接触硅片的夹爪部,另一部分为配合固定定位驱动件12和夹紧驱动件22连接的固定部。本实施例中,定位组件1位于左侧,夹紧组件2位于右侧,在定位夹紧过程中,定位驱动件12驱动定位夹爪11直线向右运动,夹紧驱动件22驱动夹紧夹爪21直线向左运动,定位驱动件12和夹紧驱动件22均采用气缸。在其它实施例中定位驱动件12和夹紧驱动件22也可采用其它形式的直线驱动装置。
其中,定位夹爪11的固定部上设置调节件14,通过调节件14可以调整定位夹爪11的基准位置,调节件14所限定的定位夹爪11的基准位置为预设的物料6在定位夹紧后,其中心处于操作位置预设中心时,定位夹爪11所在的位置,从而通过调整调节件14,可调整物料6的中心位置与操作位置预设中心相对应,可根据不同物料6的大小调整其所需的位置。本实施例中,调节件14采用定位调节螺丝,也可采用螺栓,在定位夹爪11移动的过程种,由调节件14顶住定位夹爪11的固定部从而限制定位夹爪11的移动。
根据本发明的一个实施例,本发明实施例的物料定位夹紧装置还包括基座7,定位驱动件12、夹紧驱动件22和调节件14均设置于基座7上。本实施例中,基座7作为定位组件1和夹紧组件2的安装平台,定位夹爪11的固定部和夹紧夹爪21的固定部的活动范围均处于基座7限定的范围内,调节件14安装在基座7上,从而确定定位驱动件12驱动定位夹爪11移动后,定位夹爪11的固定部能够移动到的最终位置。
根据本发明的一个实施例,定位传感件13包括第一传感器131和第一挡片132,第一传感器131设置于基座7上,且位于定位夹爪11和夹紧夹爪21之间,第一挡片132设置于定位夹爪11上,且向第一传感器131所在位置延伸。本实施例中,定位驱动件12驱动定位夹爪11移动的同时,第一挡片132同步移动,第一传感器131设置在定位夹爪11和夹紧夹爪21之间,且第一挡片132向第一传感器131所在位置延伸,在第一传感器131检测到第一挡片132后,第一传感器131被触发判定定位夹爪11到位。第一挡片132与第一传感器131的相对位置配合适应调节件14所调整的定位夹爪11的基准位置。
本实施例中,第一传感器131设置在定位夹爪11的固定部与夹紧夹爪21的固定部之间,第一挡片132设置在定位夹爪11的固定部上,第一挡片132位于第一传感器131上方。
根据本发明的一个实施例,定位传感件13还包括第二传感器133,定位夹爪11上设有第一夹块111,第二传感器133检测第一夹块111是否接触物料6。本实施例中,第一夹块111作为定位夹爪11上与物料6接触并固定物料6的部件,第二传感器133可实时感应检测第一夹块111是否接触到物料6。在第二传感器133检测到第一夹块111已接触物料6后,第一挡片132触发第一传感器131判断定位夹爪11到位。
本实施例中,第一夹块111设置在定位夹爪11的夹爪部靠近夹紧夹爪21的边缘,共有两个第一夹块111,第二传感器133设置在定位夹爪11的夹爪部,且靠近第一夹块111与第一夹块111连接。第一夹块111具有凹槽,物料6的边缘嵌入第一夹块111的凹槽内,第二传感器133可选择对射光传感器,第二传感器133也具有凹槽,物料6的边缘在嵌入第一夹块111的凹槽内的同时,也进入第二传感器133的凹槽内,对射光传感器检测到物料6,因此第二传感器133可判定第一夹块111夹紧物料6。
根据本发明的一个实施例,夹紧传感件23包括第三传感器231、第四传感器232和第二挡片233,第三传感器231与第四传感器232设置于基座7上,且位于夹紧夹爪21和定位夹爪11之间,并沿夹紧夹爪21靠近定位夹爪11的方向依次设置,第二挡片233设置于夹紧夹爪21上,且向第三传感器231所在位置延伸。本实施例中,夹紧驱动件22驱动夹紧夹爪21移动的同时,第二挡片233同步移动,第三传感器231和第四传感器232均设置在定位夹爪和夹紧夹爪21之间,且沿夹紧夹爪21向定位夹爪移动的方向依次设置,第二挡片233向第三传感器231和第四传感器232所在位置延伸,如果夹紧物料6成功,则在第三传感器231检测到第二挡片233后,第三传感器231被触发判定夹紧夹爪21到位,若夹紧物料6失败,即夹紧驱动件22继续驱动夹紧夹爪21移动,直至第四传感器232检测到第二挡片233,第四传感器232被触发判定夹紧夹爪21超出移动范围夹紧失败。
通过直接或者间接的检测传感元件来检测装置对物料6的夹紧力,如果夹紧力超出要进行保护,第一传感器131作为定位驱动件12的状态传感器、第二传感器133作为物料在位传感器、第三传感器231和第四传感器232作为夹紧驱动件22的状态传感器,可以检测到物料6有没有被正常夹紧,相对于只有物料在位传感器的检测方式,可靠性更高,也能够减少传感器的误报。
本实施例中,第三传感器231和第四传感器232均设置在定位夹爪11的固定部与夹紧夹爪21的固定部之间,第二挡片233设置在夹紧夹爪21的固定部上,第二挡片233位于第三传感器231和第四传感器232的上方。
根据本发明的一个实施例,夹紧传感件23还包括第五传感器234,夹紧夹爪21上设有第二夹块211,第五传感器234检测第二夹块211是否接触物料6。本实施例中,第二夹块211作为夹紧夹爪21上与物料6接触并固定物料6的部件,第五传感器234可实时感应检测第二夹块211是否接触到物料6。在第五传感器234检测到第二夹块211已接触物料6后,第二挡片233触发第三传感器231判断夹紧夹爪21到位。
本实施例中,第二夹块211设置在夹紧夹爪21的夹爪部靠近定位夹爪11的边缘,共有两个第二夹块211,第五传感器234设置在夹紧夹爪21的夹爪部,且靠近第二夹块211与第二夹块211连接。第二夹块211具有凹槽,物料6的边缘嵌入第二夹块211的凹槽内,第五传感器234可选择对射光传感器,第五传感器234也具有凹槽,物料6的边缘在嵌入第二夹块211的凹槽内的同时,也进入第五传感器234的凹槽内,对射光传感器检测到物料6,因此第五传感器234可判定第二夹块211夹紧物料6。由于第五传感器234的凹槽宽度远远大于第二夹块211的凹槽宽度,所以物料6有时会因倾斜、破碎等情况,在边缘进入第五传感器234的凹槽内后,并无法精确对准第二夹块211的凹槽并嵌入凹槽内,因此即使在第二挡片233运动到第三传感器231时候,若物料6没有嵌入第二夹块211的凹槽内,夹紧驱动件22会持续驱动夹紧夹爪21移动,则第二挡片233会触发第四传感器232判定夹紧夹爪21移动超出限制范围。
根据本发明的一个实施例,本发明实施例的物料定位夹紧装置还包括导轨3,导轨3设置于基座7上,定位夹爪11和夹紧夹爪21均设置于导轨3上,并可沿导轨3移动。本实施例中,导轨3为一条,沿定位夹爪11和夹紧夹爪21的移动方向设置,定位夹爪11的固定部和夹紧夹爪21的固定部设置在导轨3上。定位驱动件12驱动定位夹爪11在导轨3的导向下向右运动,夹紧驱动件22驱动夹紧夹爪21在导轨3的导向下向左运动。在其它实施例中,导轨3可分别为两条,分别对应定位夹爪11和夹紧夹爪21。
根据本发明的一个实施例,本发明实施例的物料定位夹紧装置还包括用于检测物料6是否达到夹紧位置的第六传感器4。本实施例中,第六传感器4可作为物料到位传感器,物料6到达定位夹爪11和夹紧夹爪21之间后触发第六传感器4判定为到达夹紧位置,可以防止物料定位夹紧装置的位置发生偏差导致无法正常夹到物料6,使装置操作更加可靠。
本实施例中,第六传感器4为两个对射传感器,两个对射传感器分别设置于定位夹爪11的夹爪部和夹紧夹爪21的夹爪部上,且位置相对。在其它实施例中,对射传感器也可用一个或多个反射型传感器来替代。
如图2和图3所示,本发明实施例提供的翻转机械手,包括翻转组件5和上述实施例的物料定位夹紧装置,翻转组件5包括翻转驱动件51、限位件52和翻转传感件53,翻转驱动件51通过基座7与定位组件1和夹紧组件2连接,两个翻转传感件53设置于翻转驱动件51的两侧,限位件52包括第一挡块521和第二挡块522,两个第一挡块521分别对应两个翻转传感件53设置于基座7上,且分别位于翻转驱动件51的两侧,第二挡块522在第一挡块521的转动轨迹上设置。本实施例中,在定位组件1和夹紧组件2的基础上还设置了翻转组件5,物料6夹紧成功后,翻转组件5控制定位组件1和夹紧组件2对物料6进行翻转动作。
本发明实施例的翻转机械手,定位组件1和夹紧组件2均固定在基座7上,翻转驱动件51与基座7连接,即翻转驱动件51通过驱动基座7转动,从而带动定位组件1和夹紧组件2同步转动,翻转动作为180°往复运动,限位件52可以防止翻转超过预设的角度范围。第一挡块521对应翻转传感件53设置在基座7上,两个翻转传感件53分布在一条水平线上且分别位于翻转驱动件51的两侧,翻转驱动件51驱动基座7转动同时带动第一挡块521转动,第二挡块522设置在第一挡块521的转动路径上,物料6处于水平0°时,第二挡块522正对一个翻转传感件53,此翻转传感件53以此判定物料6处于水平0°的状态,物料6旋转后处于水平180°时,第二挡块522正对另一个翻转传感件53,此翻转传感件53以此判定物料6处于翻转了180°的状态,两个第一挡块521会分别在转动的0°和180°位置与第二挡块522接触,此时第二挡块522作为两个第一挡块521在旋转过程中的位置止挡,从而保证翻转不会运动超限。
其中,翻转驱动件51包括旋转电机511和中空轴减速器。旋转电机511通过减速器与基座7连接,定位组件1和夹紧组件2的线缆通过中空轴减速器512的中空轴连接外部。当翻转传感件53的状态出现异常,装置报警同时将停止运行并保持定位组件1和夹紧组件2的当前位置以防止物料6发生掉落。
根据本发明的一个实施例,定位驱动件12的压力大于夹紧驱动件22的压力,在物料6翻转过程中,定位夹爪11处于夹紧夹爪21的下方。本实施例中,通过分别调节定位气缸和夹紧气缸的压力,达到控制夹紧力的目的,设定定位气缸的压力大于夹紧气缸的压力,物料6以定位夹爪11的固定其的位置为基准,由于夹紧气缸始终对夹紧夹爪21保持推动状态,所以夹紧夹爪21始终对物料6提供推力,配合定位夹爪11的固定状态可保持对物料的夹紧作用。因此,在物料6处于水平状态时,即处于非翻转过程中时,在夹紧驱动件22不断的驱动力作用下,为保证定位夹爪11不受影响,不被推离基准位置,保证物料6的中心位置不变,定位夹爪11对物料6的推力一定要大于夹紧夹爪对物料6的推力,即,定位气缸对于定位夹爪11的驱动力要大于夹紧气缸对夹紧夹爪21的驱动力,所以定位驱动件12的压力要大于夹紧驱动件22的压力。在物料6处于翻转过程中时,定位夹爪11始终保持在夹紧夹爪21的下方,定位夹爪11所承受的力不仅仅是来自夹紧夹爪21的对于物料6的推力还有物料6的自身重力,以及定位组件1的自身重力,均容易使定位夹爪11脱离基准位置,为保证定位夹爪11的基准位置不变,定位驱动件12的压力也要大于夹紧驱动件22的压力。利用定位夹爪11的定位机制防止翻转过程中产生的离心力造成夹紧力减小,保持翻转前后物料6的中心位置不变。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种物料定位夹紧装置,其特征在于:包括相对设置的定位组件和夹紧组件,所述定位组件包括定位夹爪、定位驱动件、定位传感件和调节件,所述夹紧组件包括夹紧夹爪、夹紧驱动件和夹紧传感件;所述定位夹爪用于固定物料的一侧,所述定位驱动件与所述定位夹爪连接,用于驱动所述定位夹爪向所述夹紧夹爪移动,所述定位传感件用于检测所述物料和所述定位夹爪的移动位置,所述调节件与所述定位夹爪连接,用于调整所述定位夹爪的基准位置;所述夹紧夹爪用于固定所述物料的另一侧,所述夹紧驱动件与所述夹紧夹爪连接,用于驱动所述夹紧夹爪向所述定位夹爪移动,所述夹紧传感件用于检测所述物料和所述夹紧夹爪的移动位置。
2.根据权利要求1所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:还包括基座,所述定位驱动件、所述夹紧驱动件和所述调节件均设置于所述基座上。
3.根据权利要求2所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:所述定位传感件包括第一传感器和第一挡片,所述第一传感器设置于所述基座上,且位于所述定位夹爪和所述夹紧夹爪之间,所述第一挡片设置于所述定位夹爪上,且向所述第一传感器所在位置延伸。
4.根据权利要求3所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:所述定位传感件还包括第二传感器,所述定位夹爪上设有第一夹块,所述第二传感器检测所述第一夹块是否接触所述物料。
5.根据权利要求2所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:所述夹紧传感件包括第三传感器、第四传感器和第二挡片,所述第三传感器与所述第四传感器设置于所述基座上,且位于所述夹紧夹爪和所述定位夹爪之间,并沿所述夹紧夹爪靠近所述定位夹爪的方向依次设置,所述第二挡片设置于所述夹紧夹爪上,且向所述第三传感器所在位置延伸。
6.根据权利要求5所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:所述夹紧传感件还包括第五传感器,所述夹紧夹爪上设有第二夹块,所述第五传感器检测所述第二夹块是否接触所述物料。
7.根据权利要求2所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:还包括导轨,所述导轨设置于所述基座上,所述定位夹爪和所述夹紧夹爪均设置于所述导轨上,并可沿所述导轨移动。
8.根据权利要求1至7任意一项所述的物料定位夹紧装置,其特征在于:还包括用于检测所述物料是否达到夹紧位置的第六传感器。
9.一种翻转机械手,其特征在于:包括翻转组件和如权利要求1至7任意一项所述的物料定位夹紧装置,所述翻转组件包括翻转驱动件、限位件和翻转传感件,所述翻转驱动件通过基座与所述定位组件和所述夹紧组件连接,两个所述翻转传感件设置于所述翻转驱动件的两侧,所述限位件包括第一挡块和第二挡块,两个所述第一挡块分别对应两个所述翻转传感件设置于所述基座上,且分别位于所述翻转驱动件的两侧,所述第二挡块在所述第一挡块的转动轨迹上设置。
10.根据权利要求9所述的翻转机械手,其特征在于:所述定位驱动件的压力大于所述夹紧驱动件的压力,在所述物料翻转过程中,所述定位夹爪处于所述夹紧夹爪的下方。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111531572B (zh) * 2020-07-07 2020-10-23 北京京仪自动化装备技术有限公司 物料定位夹紧装置及翻转机械手
CN112743514B (zh) * 2020-12-24 2022-11-11 华中科技大学 一种适用于声共振混合容器自动转运和翻转的设备
TWI793939B (zh) * 2021-12-23 2023-02-21 敔泰企業有限公司 晶圓片夾取總成及其夾取結構
CN115179510A (zh) * 2022-07-20 2022-10-14 深圳市沃尔核材股份有限公司 充电枪壳注塑设备
CN115425271B (zh) * 2022-09-15 2024-02-02 武汉逸飞激光股份有限公司 一种方形电芯保护架装配装置及装配方法
CN115424976B (zh) * 2022-11-07 2023-02-17 浙江果纳半导体技术有限公司 晶圆夹持机构及晶圆传输设备
CN115847092B (zh) * 2023-02-03 2023-07-28 天王电子(深圳)有限公司 一种手表表壳底盖智能装配机

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59166854A (ja) * 1983-03-14 1984-09-20 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 限界電流式酸素センサ
US7695239B2 (en) * 2003-07-14 2010-04-13 Fortrend Engineering Corporation End effector gripper arms having corner grippers which reorient reticle during transfer
KR20090036700A (ko) * 2007-10-10 2009-04-15 세메스 주식회사 반도체 세정 설비의 웨이퍼 반전 장치 및 그의 웨이퍼 감지방법
JP5243491B2 (ja) 2010-06-18 2013-07-24 東京エレクトロン株式会社 位置決め装置、基板処理装置及び基準部材の固定方法
CN103192401B (zh) * 2012-01-05 2015-03-18 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 机械手末端执行器
TWI625814B (zh) * 2012-07-27 2018-06-01 荏原製作所股份有限公司 工件搬送裝置
JP2016092025A (ja) 2014-10-29 2016-05-23 東レエンジニアリング株式会社 基板保持装置および方法ならびに基板検査装置
US10128139B2 (en) * 2015-03-27 2018-11-13 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate holding method and substrate processing apparatus
TW201714718A (zh) * 2015-10-21 2017-05-01 Els System Technology Co Ltd 定心裝置及具有該定心裝置的處理設備
JP6539199B2 (ja) 2015-12-18 2019-07-03 株式会社荏原製作所 基板搬送用移載機及び基板移載方法
CN105470192A (zh) * 2016-01-05 2016-04-06 天津华海清科机电科技有限公司 晶圆夹持机构
CN107230657B (zh) * 2016-03-24 2019-07-02 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种晶圆对中机构
JP2018041854A (ja) 2016-09-08 2018-03-15 株式会社荏原製作所 基板把持検出装置、基板把持装置、基板把持検出装置の調整方法
CN106586180A (zh) * 2017-01-06 2017-04-26 佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院 一种硅晶片拼装料盒及其自动上料装置
CN209754871U (zh) * 2019-04-03 2019-12-10 天津源天晟科技发展有限公司 一种定心夹紧装置
CN209868385U (zh) * 2019-04-18 2019-12-31 珠海市运泰利自动化设备有限公司 晶圆精确定位夹紧装置
CN110176425B (zh) * 2019-05-05 2021-12-10 深圳市迪科贝科技有限公司 一种抓取牢固的节能型芯片拾取设备
CN111531572B (zh) * 2020-07-07 2020-10-23 北京京仪自动化装备技术有限公司 物料定位夹紧装置及翻转机械手

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